PUSAT LATIHAN TEKNOLOGI TINGGI (ADTEC) JABATAN TENAGA MANUSIA KEMENTERIAN SUMBER MANUSIA PUSAT PENTADBIRAN KERAJAAN PERSEKUTUAN

62530 PUTRAJAYA

PELAN MENGAJAR - TEORI

KOD NAMA DAN PROGRAM / PROGRAM CODE AND NAME TAHAP/ LEVEL No. DAN TAJUK MODUL/ MODULE No. AND TITLE EE-020-2 ASSISTANT SEMICONDUCTOR TECHNICIAN L2 DES4243 SEMICONDUCTOR FABRICATION 1 01.01 CARRY OUT SEMICONDUCTOR PACKAGING EQUIPMENT CONDITION CHECK 01.02 CARRY OUT SEMICONDUCTOR PACKAGING EQUIPMENT SAFETY CHECK 01.03 TROUBLESHOOT SEMICONDUCTOR PACKAGING EQUIPMENT FAILURE 01.04 CARRY OUT SEMICONDUCTOR PACKAGING EQUIPMENT PARTS/COMPONENTS FAILURE REPAIR/REPLACEMENT LE01. CHECK SEMICONDUCTOR PACKAGING EQUIPMENT LE02. REPAIR SEMICONDUCTOR PACKAGING EQUIPMENT
CARRY OUT SEMICONDUCTOR PACKAGING EQUIPMENT AND COMPONENTS MAINTENANCE USING STANDARD OPERATING PROCEDURE, EQUIPMENT MANUFACTURER SPECIFICATION, EQUIPMENT DATA BOOK, LOGBOOK, CHECKLIST, HAND TOOLS, REPORT FORMS, PERSONAL PROTECTIVE EQUIPMENT (PPE), RECORDING PROCEDURE SO THAT SEMICONDUCTOR PACKAGING EQUIPMENT RECORDED AND REPORTED, FAULTY COMPONENTS REPAIRED, FUNCTIONALITY TESTED AND MAINTENANCE ACTIVITY REPORTED IN ACCORDANCE WITH MANUFACTURER MANUAL. EE-020-2/DES4243/LE01/PM

No. DAN PERNYATAAN TUGASAN TASK (S) No. AND STATEMENTS

No. DAN PENGALAMAN PEMBELAJARAN LEARNING EXPERIENCE No. AND STATEMENTS

OBJEKTIF MODUL / MODULE OBJECTIVE

No. KOD / CODE No.

Muka : 1 Drp : 7

Code No.: EE-020-2/DES4243/LE01/PM

Muka : 2 drp. 7

ISI KANDUNGAN
01.01 CARRY OUT SEMICONDUCTOR PACKAGING EQUIPMENT CONDITION CHECK

No. DAN PENGALAMAN PEMBELAJARAN

TEMPAT : BILIK KULIAH

LE01. CHECK SEMICONDUCTOR PACKAGING EQUIPMENT Code No.: EE-020-2/DES4243/LE01/PM

TEMPOH : 1 JAM

Muka : 3 drp. 7

TAJUK ( Title ): THERMAL OXIDATION

TUJUAN PENGAJARAN ( Instructional Aims ):

Pelajar-pelajar mesti boleh:1. Terangkan maksud oxidation. 2. Terangkan jenis-jenis proses oxidation. 3. Terangkan applikasi oxidation.

ALAT BANTUAN PENGAJARAN BAHAN PENGAJARAN BERTULIS

TAJUK Kertas Penerangan Kertas Tugasan

NO. KOD P T

ALAT PANDANG DENGAR

White Board Power Point Slide

WB PP

PERALATAN, KELENGKAPAN, BAHAN

LCD Projektor Komputer / Laptop Marker Pen Duster

LCD PC PEN DST

Code No.: EE-020-2/DEE1133/LE01/PM

Muka : 4 drp. 7

AKTIVITI PENGAJARAN
( Instructional Activities )

INST. AIDS

MASA

Persediaan ( Preparation )
1. Selesakan pelajar - beri salam dan salam sejahtera. - tulis kursus, tahap dan tarikh. - tanya khabar kesihatan pelajar. 2. Semak senarai kehadiran pelajar. 3. Tekan aspek - disiplin - tatatertib - kerjasama. 4. Bawa pelajar kepada tajuk dengan mengaitkan tentang oxidation. 5. Tulis tajuk di white board THERMAL OXIDATION 6. Tulis tujuan pengajaran di white board dan nyatakan kepada para pelajar. Pelajar-pelajar mesti boleh: 1. Terangkan maksud oxidation. 2. Terangkan jenis-jenis proses oxidation. 3. Terangkan applikasi oxidation. WB PEN WB PEN 10 min

7. Terangkan tujuan/kepentingan/faedah dari pelajaran ini. - Mengetahui maksud oxidation - Mengetahui jenis-jenis oxidation

8. Siasat pengetahuan pelajar berkenaan tajuk yang akan dipelajari. - Tanya pelajar tentang pengetahuan mereka mengenai oxidation - Pernahkah mendengar maklumat mengenai oxidation

Code No.: EE-020-2/DES4243/LE01/PM

Muka : 5 drp 7

TOPIK PENGAJARAN
( Instructional Topic )

AKTIVITI PENGAJARAN
( Instructional Activities )

INST. AIDS

MASA

Penyampaian ( Presentation )
1. Terangkan maksud oxidation 1. Thermal oxidation - The formation of SiO2 on a silicon surface at high temperatures inside a furnace PP 30 min

2. Terangkan jenis-jenis proses oxidation.

2. Dry Oxidation - the silicon wafer reacts with the ambient oxygen, forming a layer of silicon dioxide on its surface. Wet Oxidation - hydrogen and oxygen gases are introduced into a torch chamber where they react to form water molecules, which are then made to enter the reactor where they diffuse toward the wafers. The water molecules react with the silicon to produce the oxide and another byproduct, i.e., hydrogen gas.

3. Terangkan applikasi oxidation.

3. Diffusion mask Screen oxide Barrier layer Pad oxide Blanket field oxide LOCOS Gate oxide

Code No.: EE-020-2/DES4243/LE01/PM

Muka : 6 drp. 7

AKTIVITI PENGAJARAN
( Instructional Activities )

INST. AIDS

MASA

Penggunaan ( Application )
1. 2. 3. 4. Edarkan kertas penerangan. Arah pelajar semak helaian setiap muka surat kertas penerangan. Arah pelajar baca Kertas Penerangan Uji kefahaman pelajar dengan bertanyakan soalan berkaitan tajuk yang telah diajar.

10 min

S1 : Apakah yang dimaksudkan dengan proses oxidation? J1 : The formation of SiO2 on a silicon surface at high temperatures inside a furnace. S2 : Apakah yang dimaksudkan dengan dry oxidation? J2 : The silicon wafer reacts with the ambient oxygen, forming a layer of silicon dioxide on its surface. 5. Segera bantu/perbetulkan kesilapan pelajar dan akui jawapan yang diberi dan beri pujian/motivasi. 6. Ulang perkara-perkara penting dan buat ulasan.

Code No.: EE-020-2/DES4243/LE01/PM

Muka : 7 drp. 7

AKTIVITI PENGAJARAN
( Instructional Activities )

INST. AIDS

MASA

Pengesahan ( Confirmation )
1. Berikan masa kepada pelajar untuk membuat persediaan 2. 3. Edarkan kertas tugasan kepada pelajar. Beri arahan 4. 5. semak mukasurat. Tulis nama dan tarikh. Masa Menjawab adalah 5 Minit Markah lulus minima adalah 50% T 10 min

Beri ringkasan mengenai apa yang telah diajar. Minta bersedia untuk topik yang akan datang Tajuk : Photolithography

6.

Ucapkan salam.