MIKROELEKTRONIKAI RZKELK I

Dr. Pdr Blint

BMF KVK Mikroelektronikai s Technolgia Intzet s MTA Mszaki Fizikai s Anyagtudomnyi Kutat Intzet 2. ELADS: LABORMRSEK

2008/2009 tanv 1. flv

LABORATRIUMI MRSEK MINIMLISAN SZKSGES ISMERETEK

Laboratriumi mrsek: Termisztoros hmrskletmrs s kirtkels. Hall effektus s mgneses tr mrse. Fotdida, lavinafotodida, fotoellenlls tulajdonsgainak mrse. Piezorezisztv nyomsrzkel tulajdonsgainak mrse.

TERMISZTOROK
A termisztorok olyan ellenllsok, amelyek hmrskleti tnyezje (TK) a szoksos fmek illetve norml ramkri ellenllsok hmrskleti tnyezjhez kpest nagysgrendekkel nagyobb. A termisztor ellenlls hmrskleti tnyezje nagy s ltalban negatv, de van pozitv egytthatj tpus is. Elnevezsek: negatv TK, NTC termisztor vagy melegen vezet, illetve pozitv TK, PTC termisztor, vagy hidegen vezet.

OXIDTERMISZTOROK
Az NTC termisztorok alapanyaga flvezet tulajdonsg fmoxidok (MnO, NiO, stb.) Az oxidtermisztorok olyan fmoxidokbl kszlnek, amelyeknek nagy a hmrskleti egytthatjuk (flvezet tulajdonsg!), ellenllsuk stabil, s gyrtsuk jl reproduklhat. Kedvez tulajdonsggal rendelkeznek a keverk oxidok, mint pl. a TiO2+MnO, vagy a Mn2O3+NiO+CoO keverkek. A nagyobb hkapacits s szlesebb hmrsklettartomnyban alkalmazhat termisztorok grammnyi tmegek is lehetnek, mg a gyngy-, flia-, szltermisztorok tmege miniatr vltozatban nhny mg is lehet.
4

TERMISZTOROK KARAKTERISZTIKI

R(T) = Aexp(B/T)
5

TERMISZTOR KARAKTERISZTIKI

ln R = ln A + B/T Az ellenlls logaritmust az abszolt hmrsklet reciproka 6 fggvnyben brzolva a karakterisztika egyenes.

TERMISZTOR KARAKTERISZTIKI

Termisztor paramtereinek meghatrozsa mrsek alapjn

7

OPTIKAI TULAJDONSGOK: FNY S FLVEZET KLCSNHATSA

Optikai tulajdonsgok: az energiasv-szerkezet a meghatroz. Az EM sugrzs, gy a fny is elnyeldik (elektron-lyuk prok keletkezse mellett), ha h = hc/g Eg A hosszhullm levgs g hatrhullmhossza g = hc/EG , gyakorlati egysgekben g [m] = 1,24/EG [eV]. A tiltott svnl kisebb energij fotonok, illetve a hatrhullmhossznl hosszabb hullmhossz fny szmra a flvezet tltsz.
8

ELEKTROMGNESES SUGRZS ELNYELSE FLVEZETKBEN

Adott anyagban, x mlysgben az elektromgneses sugrzs intenzitsa: I(x)=IOSexp(-x) Ios az intenzits a felleten, x a mlysg s az elnyelsi (abszorpcis) tnyez

FLVEZET FNYRZKELK
Szilcium technolgia: nagyon rett, viszonylag olcs, de a Si fizikai tulajdonsgai miatt nem alkalmazhat mindentt! Eszkzk: fotoellenlls, PIN fotodida, lavina-fotdida, fm-flvezet tmenetes (Schottky) dida, fototranzisztor

10

FNYDETEKTLS FVEZETVEL
Fizikai mechanizmus: Kvantum felttel: optikai abszorpci tltshordoz (elektron-lyuk pr) kelts ltal. h = hc/ > EG

Detektls: fotram, fotfeszltsg, ellenlls vltozs. A detektlsi folyamat kvantumos jelensgen alapul: kvantum-hats ill. foton-detektor.

11

A FOTODIDA
A fotodidk, s az egykristlyos napelemek lnyegben pn-tmenetes eszkzk. Fny hatsra bennk fotoram generldik. A fotoramot a keltett elektronok s lyukak hozzk ltre. A kirtett rtegbeli beptett elektromos tr az elektronokat az n-tpus, a lyukakat a p-tpus tartomny fel sodorja.

12

PN TMENET: BEPTETT ELEKTROMOS TR

Kirtett rteg s beptett elektromos tr zrirnyban elfesztett pn-tmenetben

13

PLDA: Si FOTODIDA KARAKTERISZTIKI

= =1 1

Si fotodida spektrlis karakterisztiki. Az R rzkenysg linerisan nvekszik majd a hatrhullmhossz elrse 14 utn meredeken lecskken.

PIN FOTODIDA FELPTSE

15

LAVINA FOTDIDA

Lavina fotdida (avalanche photodiode, APD) Az tkzsi ionizci tltshordozsokszorozdst hoz 16 ltre (ersts)

LAVINA FOTDIDA

I-U karakterisztika (sttram), ersts (lavinasokszorozsi tnyez) feszltsgfggse.

17

LAVINA FOTODIDA

Si lavinafotodida multiplikcis tnyezje a zrfeszltsg fggvnyben 18

MGNESES RZKELK
Mgneseses rzkel: ktfle tpus lehet. 1. Kzvetlenl rzkelhet egy mgneses teret (direkt alkalmazs), pl. mint egy magnetomterben a Fld mgneseses tert, vagy egy adattrol kszlkben az adathordoz (mgneses lemez, szalag, krtya, stb.) loklis mgnesezettsgt. 2. A mgneses tr mint kzvett eszkz szolgl nemmgneses jelek rzkelsre (indirekt alkalmazs) mint pl. lineris- vagy szghelyzet, elmozduls s sebessg rzkels permanens mgnesekkel kontaktusmentes mdon, vagy ramrzkels a mgneses tere rvn, stb.
19

LORENTZ ER
A legtbb mgneses szenzor a Lorentz ert hasznlja ki F = -q v x B mely az anyagban (fm, flvezet, vagy szigetel) mozg elektronra hat. Br a H mgneses trer az rzkelend mennyisg, a B mgneses indukci, mely az erhatst lerja, hatrozza meg a szenzor vlaszt.

20

A HALL ELEKTROMOS TR
p-tpus mintban a lyukak sebessge -x irny, a lyukakra hat F = e v x B Lorentz er irnya y, s lefel trti el a lyukakat. A lyukak az als lapon felhalmozdva egy +y irny elektromos teret hoznak ltre. Mivel az y irnyban nem folyik ram, az y irny tr (a Hall tr) egyenslyt tart a Lorentz er tervel, Ey = vxBz. Ekkor Ey = Vy/w = VH/w = RHjxBz, 21 s a Hall lland RH = 1/ep.

HALL RZKELK
Az eszkz alapegyenlete UH = K x I x B I - az eszkzn tfoly ram [A], B - az alkalmazott mgneses indukci [Vs/m2], UH - a Hall-feszltsg [V], K - rzkenysgi lland [m2/As] , mely magban foglalja a geometriai, s a flvezet anyagi paramtereket. Az eszkz kimenjele a mgneses tr fggvnyben lineris.
22

Si MEMS MECHANIKAI RZKELK

A szilcium alap MEMS mechanikai rzkelk elnys tulajdonsgai Jl meghatrozott elektromos tulajdonsgok mellett rendkvl j mechanikai tulajdonsgok Jelents mretcskkents lehetsge Tmeggyrthatsg Integrlhatsg
23

SI MEMS ER S NYOMSRZKELK

24

PIEZOREZISZTV HATS
Piezorezisztv hats: mechanikai feszltsg fajlagos ellenlls vltozs

25

SZILCIUM NYOMSRZKLE

26

Balesetvdelmi s tzvdelmi szempontok

A laborban kvetelmny a fegyelmezett viselkeds, tilos az tels italfogyaszts, dohnyzs, nylt lng hasznlata. Ne hintzzanak a szkeken! Tzveszlyes vagy egyb veszlyes anyagokat tilos bevinni a laborba. A fkapcsolt, hosszabtkat, mrsi sszelltsokat s szmtgpeket csak a felgyel tanr engedlyvel szabad bekapcsolni. A szmtgpeket tilos sztszedni, a berendezst belertve a szmtgpeket is tilos ronglni. A szkeken tilos hintzni. A hlzati csatlakoz kihzsnl s bedugsnl fokozott vatossg szksges. A mrsi sszelltsokat talaktani csak feszltsgmentests utn szabad. ramts, baleset vagy tz esetn azonnal rtesteni kell a portt. Tz vagy testzrlat esetn azonnal ki kell kapcsolni a fkapcsolt. Feszltsg alatt lv szemlyhez (testzrlat) tilos kzvetlenl hozzrni. ramts esetn a srlt szemlyt minden esetben orvoshoz kell vinni, akkor is, ha ltszlag nincs semmi baja.

Balesetvdelmi s tzvdelmi szempontok

Tz esetn a srlt vagy magatehetetlen szemlyeket ki kell menteni s meg kell kezdeni a tz oltst. Elektromos tzet tilos vzzel oltani, poroltt vagy szndioxidos oltt kell hasznlni. Tz vagy bombariad esetn fegyelmezetten, de gyorsan kell elhagyni az pletet. Nem szabad megllni az plet kzelben. A szmtgpek hasznlatakor rnknt 10 perc sznetet kell tartani. Gzpalack csak a felgyel tanr engedlyvel nyithat ki vagy zrhat el. Hasznlatakor elszr a gzpalack szelept nyitjuk meg, majd nagyon vatosan a nyomscskkent szelepet, s utoljra a nyomscskkent utni szelepet. Az elzrs ugyanebben a sorrendben trtnik.