Cm bin p sut MEMS silicon cho khng gian

Th nm, 10 Thng 6 2010 02:17

Cm bin p sut mi MEMs da trn p in tr silicon, c pht trin o t 20Bar ti trn
1000Bar cho nhng ng dng chuyn ng trong khng gian.
Phn t silicon c dng ng vi v tr ngoi v cu in tr c m rng vi tnh n nh cao
pht hin p sut do ng sut mang li, c xy dng bi chun cng ngh silicon phng v
qu trnh ring MEMs, nh l lin kt nng chy silicon v thut khc in t.

Hnh 1: a, Cm bin hp nht v phn t cm bin silicon dng ng, b, mt ct
ngang cu in tr
Cm bin trn c trin vng ng dng trong lnh vc gia cng th. u im ca n l c s khc
bit cc thuc tnh quan trng nh kch thc v khong cch nh, mc cng ca kim loi,
trc i xng, tn hiu u ra ln, p ng nhit v p sut nhanh, nhy gia tc thp. Hiu ng
tr cng c gim thiu bng cch loi b v gy ra ng sut bi khong cch ln gia vng
cm nhn v vng cht, hon ton chnh xc trong phm vi p sut 700bar v di nhit t -
70C ti 1350C l hn 0,01%FS. c im tr v lp li c o ti 10 ppm.
1. Gii thiu.
Nh sn xut Presens tp trung chnh vo cng nghip ho ph hp cho nhng ng dng cho p
sut trung bnh v cao nh p sut du v gas c yu cu v chnh xc, n nh lu di v kh
rung.

Hnh 2: Sai s p sut p dng cho p sut v nhit khc nhau
2. Cng ngh Silicon
Nguyn tc o lng c khai thc bi Presens bao gm s hp nht cu in tr bn ngoi
trn mt cu trc silicon dng ng.
Cho mt ng thng ng sut theo hng ngang s cao gp i hng trc. S khc bit ng sut
gia hai phng s tng ng vi p sut v c th c o lng bi p in tr ca cu in
tr. Khi tc dng p lc bn ngoi n phn t ng l o ng sut nn lun chng li nhng
p lc gy h hi.
Phn t cm bin c ch to bi tiu chun cng ngh mt phng silicon v tiu chun qu
trnh gia cng kch thc nh, ging nh hn hp lin kt silicon v khc in ho. Cu in tr
c ch to bi mt lp epitaxial silicon v kt ni in vi chun lp nhm. Hnh dng mt ct
ca in tr ph bin p in tr trong hnh 1.b

Hnh 3: Vng n nh
3. Dng ca phn t cm bin
Cm bin c trin vng bi c s khc bit cc thuc tnh quan trng v khong cch v kch
thc nh, tnh cht cng ca kim loi cao v tn hiu u ra ln. nhy nm trong khong
10V/V/bar ti 1mV/V/bar. c trng di tn hiu u ra c chn trong di 50mV/V do vn
sc mnh t nhiu in.
Tn hiu p sut c b thm bi cng o mt nhit trong cng mt lc cu in tr, u o
trong thi gian cc k ngn cho nhit b khng i ca p sut ra. Hon ton chnh xc cho
phm vi p sut 700bar v nhit t t -70C ti 1350C l hn 0,01%FS. c im tr v lp li
cho phm vi p sut 700bar trong yu cu 10 mbar ( < 10 ppm). Cam kt c o khong
1mbar ( 1-2 ppm).
Khong cch ln tng i ca 3-4mm t vng cht ti vng cm nhn gim ti mc ti thiu
kch thc v em li ng sut so vi silicon cm bin thng thng, khong cch c th theo
th t nh hn 10 ln. Vic ng gi gy ra ng sut l nhn t quan trng to ra tr v so
lch lu di.
nh hng chnh trong qu trnh lm vic cm bin p sut vi iu kin lnh vc gia cng th
l t gia tc v nhit trong thi gian ngn. c im sai lch trong thi gian ngn ti
7500C/min khi dm cm bin vo trong nc o c khong 0,2bar, gia tc cm nhn
c tnh ton v o c trong yu cu 1mbar/g.
c im ny cho php chnh xc cao trong iu kin ng, iu l cn thit duy trnh
chnh xc ca phng th nghim trong iu kin lnh vc gia cng th.
Tnh n nh lu di trong mi trng gia cng th c phn tch bng vic so snh u ra
cm bin t hai p sut ging nhau v nhit cm bin c t cng mt v tr trong du. Vic
so snh u ra cm bin c thc hin khong 3 nm sau trong iu kin lp t p sut v
nhit tip xc ging ht nhau. p sut thay i trong gii hn nh hn 0,05bar c ch ra
trong hnh 3. T cuc kim tra , tnh n nh di hn c c lng khong
0,003%FS/nm.

Hnh 4:
4. V
4.1 Mi trng c cch ly v
Kim loi v cm bin r rng c rt nhiu ng dng. V cm bin c lm t titanium v thp
nguyn cht c cht lng.
Cm bin khng gian, phn t cm nhn c bc trong v titanium bng cch hn tia electron.
Trong iu kin in p cao thy tinh kim loi xuyn qua l gia khoang phn t cm bin c
gy p sut cao v phn mch c ghp. Phn t cm bin c gn bng cch dnh vo khi
dy lin kt khng nhy cm. V kt ni in c thc hin bng dy lin kt.
Phn t cm bin c bo v bi vng m vng c to ra do mng ngn chia lm 2 phn
trong cng mt lc s n mn kim loi. Mng phn chia c hn thnh v s dng k thut hn
EB. Cui cng, l hng cm bin c in y bng silicon lng v c bt kn bng mt bi
c hn in tr. Gim p lc trn mng ngn c gii hn ti 50ppm ca p sut c p
dng, p sut b kh bi iu chnh trong lc b. Nhn mt mt ct ngang ca vng tch khi
v c ch ra trong hnh s 4
Tng trng lng cm bin trong cm bin khng gian yu cu 125gran. Phn mch ghp c
bt kn, v giao din in l do kt ni kn theo yu cu ESA. Cm bin p sut khng gian hon
thnh c biu din trong hnh 4b

Hnh 5 : ng gi vi kch thc nh
4.2 Cm bin ng knh nh
bo v nhng ng dng cht lng tr ca phn t cm bin c th c loi b dn ti mt
quan im thay th v c cc phn t silicon dng ng c th c s dng nh in thng
qua trc tip.
Nhng quan nim v thay th l da trn gn phn t silicon dng ng vo mt ci l trn vch
ngn v thp nh c ch ra hnh 5. L kim loi c bit ph thuc vo ng dng, nhng thy
tinh hoc epoxy c cho l thch hp.
Mu u tin ca phn t cm bin MEMs silicon thy tinh lm nng chy vo kim loi cng
c ch ra trong hnh 6. ng knh kim loi cng l 5mm v chiu di y 7mm, cho php
kch thc nh v gn tch hp ca cm bin vo h thng. S ct ngang ca cm bin y
vi thy tinh c bt kn c ch ra trong hnh 6b. Vic lp rp cc chi tit c th hn vo l p
sut bng cng ngh hn tia electron, laser hoc in tr. Ton b khi lng bt u nh hn
30gram, ph thuc thc t cu hnh mch.

Hnh 6: Phn t cm nhn
5. Mch
5.1. Giao din mch tng t.
Cm bin bao gm mt mch ghp cho ng dng v xc nh chng trnh c th. S 2 loi
mch nh ch ra trong hnh 7 cho php o lng chnh xc ca cm bin in p ra cu v tng
tr cu, c hai bin i vi tng p sut v nhit . S phi hp khuych i thit b o thng
thng vi iu bin ca phn tn hiu cu c s dng cho s n nh cao.
nh hng nhit tn hiu p sut l yu cu u tin c b bng cch s dng kch thch
dng in khng i. Mng in tr mng mng c bao gm b cc phn t cm bin ring v
cm bin nhy bin i.
Yu cu t chnh xc cao, tin trnh thm vo v b nhit l cn thit trong phn mm h
thng ngoi. Tn hiu ra cm bin l 0-5V. Tng s chnh xc cho cm bin hon thnh l hn
0,1%FS.
Yu t chnh hp thnh c s dng trong nguyn mu.
- S chnh xc mng in tr v mng in tr
- S chnh xc qu trnh khuych i
- CMOS switch (Intersil HI9P303-P)
- iu khin tuyn tnh(National LM117H)
- Ngun MOSFET (Intersil IRFF9130)

Hnh 7 : a, Giao in mch tng t . b, Giao din mch s
5.2. Giao din mch s
S pht trin ca ASIC s (mch tch hp ng dng ring) bt u khi c s gia tng sn vt,
c thc y bi trng lng v kch thc nh, ci thin chng trnh, ci thin chnh xc,
ci thin cc sn phm logic do cc thnh phn t hn.
S pht trin chnh xc cao, giao din mch cm bin s kh pht x c da trn tn ti t
hp tn hiu b mt cm bin. Nhim v chnh ca ngi thit k l tng hiu qu phn gii ln
14bit khng nh hng gim pht x.
Cc s khi ca ASIC giao din k thut s c th hin trong hnh 7b. N bao gm cc b
dn knh tng t, mt b ADC 14 bit v giao din s song song hoc ni tip. in p vo
khc nhau Vs v Vr c chuyn thnh mt in p cui cng mt cch lin tc v c s hoc
thng qua ADC. in p tham chiu cu c gi tr cao hn t nng lng ngun cp.
Vi cm bin ny to nn mt cuc cnh tranh v tng chnh xc, gim kch thc, trong
lng v tit kim nng lng ti chu u. Cm bin p sut Presens s c sn xut 100% ti
chu u, gii thiu b dn knh vi u vo tng t c kh nng gm nhiu hn (2-3) phn t
cm nhn m bo yu cu s d tha.

6.Kt lun
chnh xc cao cm bin p sut p in tr pht trin thnh cng vic s dng cc tiu
chun p in tr. Do nhng c im quan trng nh tn hiu u ra ln, gia tc cm nhn thp,
p ng p sut v nhit nhanh, v kh nng qu ti, cm bin s c kh nng duy tr
chnh xc trong phng th nghim vo lnh vc th. Ngoi ra, vi cc ng dng chuyn ng
trong khng gian l cc mi hn trong cu trc v titanium v gii php mch trong iu kin
ghp tng t. Cng ngh ny ang c tip tc vi mt cuc thm nh cao tin ti qu trnh
ch to ra mt sn phm cht lng cho ngnh cng nghip v tr.