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REL 015 真直度真平度量測
REL 015 真直度真平度量測
REL 015 真直度真平度量測
教授:范光照
應用直規 (Straightedges) 量測
常用直規為鑄鐵、工具鋼和花崗石材料製成。應用其
作標準而量測平台或機械台之真平度如下圖所示:
應用刀邊直規 (Knife
edge straightedges)
刀邊直規常稱為刀口平 外形
尺,因為他有真直度極佳之
邊緣。量測時以其穿透餘隙
光檢查待測物件之真直度。
此法想要達到高精度是相當
困難的,但是判斷平面真直
度為最有效且最迅速之法。 應用情形
外形 應用情形
電容式 (Capacitance
type)
擺錘兩邊設有電
極,若受待測工件影
響導致間隙不同即產
生的電容不同,形成
角度的差異。
應用水平儀量測
因水平儀測 為角度,故需轉換成真直度,其量測原理如圖
示。水平儀必須沿著待測物表面作直線移動,和以水平儀基座的
長度做等距移動。此外,量測前須先將水平儀放在待測物的中央
部位且略保水平。
應用自動視準儀量測
方式與水平儀量測方式極為相
似,當自動視準儀固定後,將
反射鏡置於待測物之機械平台
A 處,量測時反射鏡必須沿著
直規或平行塊作導引,然後反
射鏡移到 B 處,此時必須注意
AB 距離等於反射鏡基座之長
度。所有量測數據均以斜線直
表示,最後可得一曲線,由此
曲線可計算出真直度誤差大小
Data
LD Power Analog Signal
Acquisition
Supplier Processor
&Processor
簡易法評估真直度
這種評量方式是以待測直線隻首尾兩點為基準,以水平儀原理之
圖為例,首點為 0 ,尾點為 +12μm ,中間各點以首尾點連線之距
離計算出來即可,如下所示,其真直度誤差為 14μm 。
量測前需將量錶觸及直規,並調整支持架使直規
之各量測點均在量錶可量測範圍。完成三條路徑之量
測,下圖為量測情形:
應用水平儀量測
為量測真直度延伸,真平度之量測乃將待測平面作
數條真直度之量測如下圖,並將各量測路徑所得之數
據作適當的調整使相同號碼的數值需相同,再經分析
後即可得到真平度的誤差大小。
應用自動視準儀量測
其量測方式與水平儀
相同,其角度最小數可
達 0.2 秒。
應用雷射量測儀量測
對準工作較繁,雷射
干涉儀與電腦連線使用
、數值分析均方便。