Tóm tҳt báo cáo khóa luұn tӕt nghiӋp

24/11/2010 Hà Nӝi, ViӋt Nam

THIӂT Kӂ, TÍNH TOÁN VÀ MÔ PHӒNG SENSOR LӴC
3 BҰC TӴ DO KIӆU ĐIӊN DUNG

_



Sinh viên lӟp Cơ điӋn tӱ 2
Khoa Cơ khí - Đҥi hӑc Bách khoa Hà Nӝi
xuanhung.vaeco@gmail.com




Báo cáo này giͣi thi͏u t͝ng quan quy v͉ h͏ th͙ng vi cơ đi͏n t͵ và quy trình thi͇t
k͇ tính toán và mô ph͗ng sensor l͹c 3 b̵c t͹ do ki͋u đi͏n dung. Trong đó s͵ dͭng
ph̯n m͉m ANSYS 12.0 đ͋ mô ph͗ng sau đó đ͉ xṷt mô hình t͙i ưu nh̹m m͹c đích
phͭc vͭ quá trình s̫n xṷt th͹c nghi͏m.

ëÊ hë
ë
ë

—͏ th͙ng vi cơ đi͏n t͵ MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) là thu̵t ngͷ
dùng đ͋ ch͑ các h͏ th͙ng tích hͫp các thành ph̯n đi͏n t͵ và cơ khí có kích thưͣc cͩ
micomet.
Thuұt ngӳ MEMS đưӧc đӅ xuҩt vào năm 1987 khi chuӛi ba hӝi thҧo vӅ
microdynamics và MEMS đưӧc tә chӭc vҧo tháng 7 năm 1987 ӣ thành phӕ Salt Lake,
Utah; vào tháng 11 năm 1987 ӣ Hyannis, Massachusetts và tháng 1 năm 1988 ӣ
Princeton, New Jersey. Nhӳng cuӝc hӝi thҧo này mӣ ra mӝt kӍ nguyên mӟi cӫa các
thiӃt bӏ vi cơ điӋn tӱ. Thuұt ngӳ tương đương cӫa MEMS như microsystems đưӧc ưa
thích tҥi châu Âu và micromachine đưӧc ưa chuӝng ӣ Nhұt Bҧn. Khi đó MEMS chӍ là
ӭng dөng bӏ đӝng và bӏ giӟi hҥn vӅ công nghӋ nhưng đã nhanh chóng nәi lên như mӝt
lĩnh vӵc liên ngành có liên quan đӃn rҩt nhiӅu lĩnh vӵc chuyên ngành khoa hӑc và kӻ
thuұt khác.
ëë Ê _

_

h
h



-Ê Thu nhӓ các thiӃt bӏ hiӋn tҥi.
-Ê Phát triӇn thiӃt bӏ mӟi dӵa trên nguyên lí chӍ hoҥt đӝng đӕi vӟi vi kích thưӟc
-Ê Phát triӇn công cө mӟi đӇ giao tiӃp vӟi thӃ giӟi micro.
ëëë Ê 
_ë

h
h



ëëë

 


q1] Xӱ lí dӳ liӋu (thiӃt bӏ in ҩn«); q2] Lĩnh vӵc giao thông; q3] ThiӃt bӏ cҫm
tay và ĐiӋn tӱ gia dөng; q4] Ӭng dөng y sinh; q ]Hàng không vũ trө,quӕc
phòng và an ninh nӝi đӏa; q
]Tӵ đӝng hóa công nghiӋp và điӅu khiӇn quá trình
ëëë  
Ba yêu cҫu cơ bҧn cho vұt liӋu đưӧc sӱ dөng cho MEMS:
(a)Ê Khҧ năng tương thích vӟi công nghӋ gia công chҩt bán dүn
 Â
Ê ß
tí i t t
tí
ơ 
Â
Ê ç
t


ëëë

   

m  t  
t ßt 
tli  M t 
ßi
B

i
m i   
 t li M t
t 
 i   
  C   i t
!"#$ %
m&'tíi ""i
(t 
ßi
 
)i &CM
ë
Ê   
 ë 
R%ÊC  M M$*+tӧ ӟi
, !
,  -i.t
/

li012""ӟi345
/
lĩ
"ӟi
6%ÊC, M M$tӯ7ӟ
t/t*itìt
Ӎ845tli $ili
7/
49; 
t i 
/
 t li  */
 ӧ
 8 45 t M M$ 
 7i t l t li 
1li":
;%ÊC -.tӯtӏt<M M$t -ttӟi
/
3454=45.ti+tl1
tӏt<i
>
?6-+ t:
m)i0"i/t@=
A
ti B 0.C="1tӏt<i

>
m!=
i A
D t./13
/
-E 
? 
7i t
F%ÊM lӟi
/
 ti+t 7ӏ M M$ M M$ !:t *% C  
t i   
?  'i i
i  t0"i "
/

3
A*/
 -tơt 10iӧ

tí
ӧ1.
Gt
i i "5lӟ

Ê _    ë
&?-tì"i. i 3tĩi l
tĩi C0-tEi70


l
1/1t -+l
ti+1t -+ ӯHC=-4ӧ

,t3
tí

 -.ӏ
D70

4"iliE i 
 -.ӏ@i 4 l
t,B 
"
t-Iii/tӏi 4 


ë
Ê  
 _ ëë 

+t

:*i ì
Jt14?"tKÂ ì 



+t

:Alӧ
4?"tKÂ ì



+t

:*i ì
Jt14?"

 ì 


Ê
 % 7%


%
ëë
 _      ë 

,B 1? ""#!$L$ttít/l
 "":t/
45lE:*i

Hi /1t-Iit/
45lE
0"7i+t,B 1ơ1/1",1

t>

ӯHt,ơ7
D:


ëëë
Ê ë    ë 
Vư
 
_"
7" tt
"$M7ӣi
:t,ӟ
1i;ii tӣ*0R
(
6


C1Dlӟ11i":l"tA*0A*+t4íiJNO:

t
0"B 
Vư t ì
i 
ì
t
 ttê

 &D1t:it;$
-ơ7t i
%;Ci+ Â%; /8;$
-*,

 Vi
%
Vư !
"
i
#t$%Â&'(

 Là mӝt trong loҥi ăn mòn khô dӏ hưӟng thư<ng đưӧc sӱ dөng phә biӃn trong
quy trình gia công MEMS vӟi hӋ sӕ tӍ lӋ dӏ hưӟng cao (high aspect radio).
Dùng dung dӏch H202 + H2SO4 tӍ lӋ 1:4 đӇ hòa tan lӟp photoresis, sau đó rӱa và
sҩy khô chip.
Bưͣc 4: B͙c hơi kim lo̩i làm b̫n c͹c và đi dây ln ṱm thͯy tinh Glass Pyrex
Bưͣc 5: Quá trình dán (Anodic Bonding) ṱm thͯy tinh và ṱm silicon
Bưͣc 6: B͙c bay hơi axit —) ăn mòn lͣp Oxit Silicon

ác bưͣc chính trong quá trình gia công c ̫m bi͇n

r
_

Trong bҧn đӗ án này ta đã tìm hiӇu mӝt cách tәng quan vӅ hӋ vi cơ điӋn tӱ, các
kiӃn thӭc vӅ hiӋu ӭng tĩnh điӋn, t ng bưӟc mô phӓng và đưa ra kӃt cҩu hình hӑc cӫa
cҧm biӃn lӵc kiӇu điӋn dung. Song mһt hҥn chӃ cӫa đӗ án là chӍ d ng lҥi ӣ khâu tìm
hiӇu quy trình gia công cҧm biӃn, hi vӑng ӣ đӅ tài cao hơn tôi sӁ đi vào thӵc nghiӋm
chӃ tҥo cҧm biӃn và thí nghiӋm ӭng dөng thӵc đӃ đo lӵc.

r 

q1] NguyӉn ViӋt Hùng, NguyӉn Trӑng Giҧng, ³Ansys và mô ph͗ng s͙ trong công nghi͏p
ph̯n t͵ hͷu h̩n , NXB Khoa hӑc và Kӻ thuұt, 2003.
q2] M.— Bao, ³Micro mechanical transducers: pressure sensors, Acceler-ometers and
gyroscopes?, —andbook o sensors and actuators , vol. 8´ Elsevier, Amsterdam, 2000.
q3] Grant McFarland, ³Microprocessor Design- A Practice Guide rom Design Planning to
Manuacturing, McGraw-Hill Publishing Companies. Inc, 200
.
q4] Phuc Hong Pham, Dzung Viet Dao, Satoshi Amava, Ryoji Kitada, Susumu Sugiyama,
³Straight movement o micro containers based on ratchet mechanisms and electrostatic
comb-drive actuators , Journal of Micro-mechanics and Microengineering, 200
, vol 1
,
p2 32- 2 38.