Lekcija 13

Termalni aktuatori
Doc.dr.sc. Jasmin Velagić
Elektrotehnički fakultet Sarajevo
Kolegij: Aktuatori
 2/40

13.1. Termalna (toplinska) aktuacija

ƒ Princip pretvorbe toplinske energije u mehaničko
kretanje (aktuaciju).
ƒ Koristi se svojstvo širenja tijela uslijed zagrijavanja kako
bi se proizvelo kretanja.
ƒ Kada električka struja teče kroz usku polugu (šipku),
poluga će se zagrijavati i širiti zbog visoke specifične
otpornosti i gustoće struje.
ƒ Kada struja prestane teći, poluga će se vratiti u prvobitni
oblik.
ƒ Termalni aktuatori se grade od slijedećih materijala:
metale, poluvodiče, keramiku, polimere.
 3/40

Pretvorba energije

Toplotna
Termoelektrički
Toplinsko efekat, Joule-ov
širenje, … zakon, toplinska
otpornost,…

Mehanička Električka
Piezoelektrički
efekat, piezo
otpornost,…
 4/40

13.1.1. Efekat toplinskog širenja (ekspanzije)

ƒ Širenje krutog tijela uslijed zagrijavanja.

L ∆L
ƒ Koeficijent toplinskog širenja α predstavlja relativnu promjenu
duljine uslijed jedinične promjene temperature.
ƒ Toplinsko naprezanje εT:
ε T = α∆T
ƒ Toplinski udar σT:
σ T = Eε T = Eα∆T
 5/40

Efekat toplinskog širenja (ekspanzije)

ƒ SIla uslijed toplinskog širenja F (izlaz):

FT = Aσ T

ƒ Tipične vrijednosti koeficijenta toplinskog širenja različitih

materijala:

c - toplinski kapacitet – izražava

sposobnost pohrane toplinske
energije
κ – toplinska vodljivost – izražava
sposobnost prijenosa topline.
 6/40

Efekat toplinskog širenja (ekspanzije)

ƒ Ovisnost koeficijenta toplinskog širenja o temperaturi zagrijavanja
 7/40

Primjer 1 (1/2)
Pretpostavimo da imamo silicijsku polugu duljine 100 µm, širine 1
µm i visine 1 µm. Poluga se zagrijava do temperature od 100 K
(uzeti da je početna temperatura 0 K) (αsilicija=2.6·10-6 1/K ,
Esilicija=450 GPa).
Potrebno je odrediti:
silu koja se razvija uslijed zagrijavanja.
a) produljenje poluge uslijed zagrijavanja.
Rješenje:
a) Sila uslijed toplinskog širenja:

FT = Aσ T = AEα∆T .

FT = (10 −3 ⋅10 −3 ) ⋅ (450 ⋅10 3 ) ⋅ 2.6 ⋅10 −6 ⋅100 = 117 µN.

 8/40

Primjer 1 (2/2)
b) Produljenje poluge:

∆L
= εT .
L

∆L = Lε T = Lα∆T .

−6 −6
∆L = 100 ⋅10 ⋅ 2.6 ⋅10 ⋅100 = 26 nm.
 9/40

13.1.2. Elektrotermalni efekat (aktuacija)

ƒ Tijelo se širi uslijed zagrijavanja i uzrokuje kretanje strukture.

ƒ Energija:
I 2 Lρ
q=I R=
2

A
ili
U2 U2A
q= =
R Lρ
 10/40

Elektrotermalni efekat (aktuacija)

ƒ Gustoća energije:

q I 2ρ
q& = = 2
V A
ili
q U2
q& = = 2
V L ρ

ƒ Prijenos toplote

∂T
κ + q& = 0,
∂x
1 q& 1
T ( x) = ( Lx − x 2 ) + (T2 − T1 ) x + T1
2κ L
 11/40

Elektrotermalni efekat (aktuacija)

ƒ Produljenje uslijed zagrijavanja: nova duljina Lnovi

∫
L novi ( x) = [1 + α (T ( χ ) − T0 )]dχ
0
 12/40

13.1.3. Termalni bimorfizam metala

ƒ Bimetalna poluga (dva slijepljena metalna materijala različitih toplinskih
koeficijenata širenja).
ƒ Protokom struje kroz njih dolazi do savijanja
T=T1 T>T1 Polumjer savijanja bimetalne
poluge:

Materijal s većim (l1 + l 2 ) 2

toplinskim R= ,
koeficijentom Materijal s
6(α 1 − α 2 )(T1 − T0 )l1l 2
Električki
širenja manjim
kontakt
toplinskim gdje su:
koeficijentom
širenja l1, l2 – debljina svakog materijala
T0 – početna temperatura [ºC],
T1 – krajnja temperatura [ºC],
α1, α2 – toplinski (temperaturni)
koeficijent širenja svakog
materijala [ºC-1].

Na ovom principu radi termalni bimorfni prekidač.

 13/40

13.2. Podjela termalnih aktuatora

„ Aktuatori koji koriste efekte toplinskog širenja ili su

pogonjeni toplinskom energijom:

¾ Termoelastični aktuatori.
¾ Termalno bimorfni aktuatori.
¾ Bimorfni elektrotermalni aktuatori.
¾ Termalni pneumatski ventili.
¾ Aktuatori za pohranu podataka (glave za
pisanje/čitanje).
¾ Memorijski oblikovani aktuatori.
 14/40

13.2.1. Termoelastični aktuatori

ƒ Elektro-toplinsko-mehanički efekti.
ƒ Aktuacija (kretanje) temeljena na toplinskom širenju krutog tijela.

+U

Elastična
Sila (izlaz) Kotve
poluga

Kruta -U
poluga
 15/40

Termoelastični aktuatori

ƒ Elastična poluga se zagrijava → T (temperatura) raste

→ toplinsko širenje → kretanje poluga (generira se sila
za obavljanje rada).
ƒ Izvor zagrijavanja (topline): električka struja (Joule/Ohm
toplina).
ƒ Verzije aktuatora s jedim ili više pari poluga (ruku).
ƒ Veoma precizno upravljanje pomacima (rezolucija 10
nm).
ƒ Dizajn ovih aktuatora se općenito ne koristi u praksi jer
je malena izlazna sila naspram veličine sistema.
 16/40

Termoelastični aktuatori
ƒ Primjer: toplinski aktuator u obliku slova V

Termalni aktuator u obliku slova V

[Que, 1999]
 17/40

13.2.2. Termalno bimorfni aktuatori

ƒ Toplinski aktuator sa paralelnim polugama.
ƒ Također koristi princip toplinskog širenja, ali za razliku od
termoelastičnih aktuatora razvija veće sile.
ƒ Koristi poluge različitih debljina za generiranje kretanja.
ƒ Električka struja protječe kroz cijelu strukturu → raste T vruće
poluge → vruća poluga se širi (zakrivljuje) → veliki toplinski udar
→ diferencijal udara uzrokuje deflekciju.
Pravac kretanja
Kotva Savitljivi dio Hladna poluga (debela) (izlazna sila)
+

Vruća poluga (tanka)

Paralelne poluge [Guckel, 1992]

 18/40

Termalno bimorfni aktuatori

Veoma efikasni i proizvode velike iznose sila po jedinici površine.

Aktuator se translatira
u ovom smjeru
Hladna poluga

Vruća poluga

Kaskada termalnih aktuatora za velike sile.

 19/40

Termalno bimorfni aktuatori

Horizontalna deflekcija
 20/40

Termalno bimorfni aktuatori

Horizontalna deflekcija
 21/40

Termalno bimorfni aktuatori

Temperaturna razdioba
 22/40

Termalno bimorfni aktuatori

Analitičko modeliranje temperaturne razdiobe lateralno deflektiranog termalnog
aktuatora
 23/40

Termalno bimorfni aktuatori

 24/40

Termalno bimorfni aktuatori

Aktuator sa dvije vruće poluge
 25/40

Termalno bimorfni aktuatori

Odzivi deflekcije i sile uslijed prolaska el. struje za aktuatore s jednom i s
dvije vruće poluge
 26/40

Termalno bimorfni aktuatori

Vertikalna deflekcija
kontakti vruće poluge (Poly2)

vrh (priključak)
aktuatora

poluga prethodnog aktuatora

hladna poluga (Poly1)
 27/40

Termalno bimorfni aktuatori

Niska otpornost žica neophodna za elektro-termalnu aktuaciju.

Lanci imaju veoma

Žičana opruga je dobar primjer visoku otpornost,
niskootporne realizacije. ali osiguravaju
dovoljno visok potencijal za
elektrostatičke aktuatore.
 28/40

Termalno bimorfni aktuatori

Termalni bimorfni prekidač - fabrikacija
 29/40

Termalno bimorfni aktuatori

Toplinski pogonjeni električki prekidači
 30/40

Termalno bimorfni aktuatori

Zrcala klipa
Aktuator
 31/40

Termalno bimorfni aktuatori

Primjeri: Zrcalo i mikro hvataljka
 32/40

Termalno bimorfni aktuatori

Primjer: Pogon noge mikrorobota
 33/40

Termalno bimorfni aktuatori

Chen & Culpepper, 2006: Micro-HexFlex

Howell, 2005: Nanopozicioner

 34/40

13.2.3. Bimorfni elektrotermalni aktuatori

Aktuator u obliku sendviča dva ili više sloja (materijala) s različitim
koeficijentima toplinskog širenja i unutarnjeg električkog zagrijavanja.
pomak
 35/40

Bimorfni elektrotermalni aktuatori

Aktivno kretanje kada se zagrijavaju sa unutarnjim električkim grijačem.

Smjer aktuacije

(l1 + l 2 ) 2
R= ,
6(α 1 − α 2 )(T1 − T0 )l1l 2
Metalni grijač
(zlato+nikal)

Ovdje ne vrijedi
 36/40

13.2.4. Termalni pneumatski ventili

ƒ Njihov rad se temelji na promjeni volumena tekućine uslijed
zagrijavanja (αtekućine >> αkrutog tijela).
ƒ Zahtijeva da grijač (toplinski (termo) otpornik) bude ugrađen u
supstrat.
ƒ Električka struja zagrijava element → temperatura fluida raste →
povećava se pritisak fluida → elastična membrana se gura prema
gore.

Tok fluida Fleksibilna membrana

Grijač Tekućinom napunjena

komora
 37/40

Termalni pneumatski ventili

ƒ Fleksibilne membrane djeluju kao ventili koji reguliraju protok
fluida.

Silicijska membrana prije i nakon toplinske deflekcije

 38/40

13.2.5. Termalni aktuatori za pohranu podataka

ƒ Piezoelektričko/elektrostatičko aktiviranje konzole sa toplinski
otpornom iglom.
ƒ Termalna AFM (atomic force microscope) glava za pisanje/čitanje
¾ Formira udubljenja na polikarbonatskom disku
(upisivanje).
¾ Udubljenje u disku mijenja njegovu temperaturu T
(čitanje).

Toplotna igla

Kretanje diska
Unošenje podataka
 39/40

13.2.6. Memorijski oblikovani aktuatori

ƒ Neki materijali (npr. NiTi) mogu se povratiti u početno
stanje nakon velikih deformacija sa toplinski induciranom
faznom transformacijom.
ƒ Nizak T: deformacija
ƒ Zagrijavanje iznad kritične T: povratak u originalno
stanje.
ƒ Velika gustoća energije (ali sporopromjenjiva).

Zagrijavanje (električka struja) Sobna temperatura T

 40/40

13.3. Prednosti i nedostaci elektrotermalnih aktuatora

ƒ Prednosti:
¾ potreban malen napon za aktuaciju,
¾ generiraju velike sile i male pomake,
¾ jednostavna fabrikacija,
¾ omogućuje višeosnu aktuaciju (više stupnjeva slobode).

ƒ Nedostaci:
¾ jako ovisni o temperaturi,
¾ imaju veliku vremensku konstantu (~1 ms),
¾ potrošnja energije,
¾ ograničen propusni opseg,
¾ upravljanje ovim aktuatorima je komplicirano (složeno).