Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd University

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept.
Yazd
University
Vacuum techniques
Introduction
Dr. G. Mirjalili
Physics Dept. Yazd University
Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

University
‫تكنيكهاي خلء‬
‫مقدمه‬
‫دكتر ميرجليلي‬
Physics Dept. Yazd University

University
Introduction to Vacuum
• What is vacuum ?
– The official definition is: “Low Pressure”
– Since “Low” is a relative term, “Low
Pressure” is relative to atmospheric
pressure.
• So . . . what is pressure?
– Pressure is “Force per unit area”.
• pounds/square inch
• newtons/square meter
• (example: hand in sand)

University
‫مقدمه اي بر خلء‬
‫• خل چيست؟‬
‫– تعريف رسمي خل فشار پايين مي باشد‪.‬‬
‫– به دليل اين كه ”پايين“ نسبي است‪” ،‬فشار پايين“ بستگي به فشار‬
‫اتمسفر دارد و نسبت به آن سنجيده مي شود‪.‬‬
‫• خب‪...‬حال فشار چيست؟‬

‫– فشار عبارت است از نيرو در واحد سطح‬
‫‪• pounds/square inch‬‬
‫‪• newtons/square meter‬‬
‫‪:‬‬ ‫•‬
‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

‫‪University‬‬
• The pressure exerted by a gas in a closed,
rigid container is caused by the gas
molecules striking the surface of the
chamber.
– Gas: form of matter where the molecules can
freely move in any direction, and it expands to
fill its container
• It is a combination of two factors:
1. how many gas molecules are in the chamber
(molecular density), and
2. the kinetic energy (heat) of the gas molecules

University
‫• فشاري كه گاز داخل يك ظرف بسته ي صلب ايجاد مي كند از‬
‫ضربه ي مولكول هاي گاز بر سطح محفظه ناشي مي شود‪.‬‬
‫– گاز‪ :‬حالتي از ماده است كه در آن مولكولها مي توانند به هر سمت‬
‫آزادانه حركت كنند و به شكل ظرف خود منبسط مي شود‪.‬‬
‫• تركيبي از دو عامل مي باشد‪:‬‬
‫‪ .1‬تعداد مولكولهاي داخل محفظه )چگالي مولكولي( و‬
‫‪ .2‬انر‍ژي جنبشي )گرمايي( مولكولهاي گاز‬

• Therefore a vacuum (low pressure)
can be created by:
– reducing the number of gas
molecules in the chamber (pumping),
or
– reducing the kinetic energy
(temperature) of the gas molecules

University
‫• بنابرين خل )فشار پايين( را مي توان با دو روش زير‬
‫بدست آورد‪:‬‬
‫– كاهش تعداد مولكولهاي داخل مخفظه )پمپاژ( يا‬
‫– كاهش انرژي جنبشي )گرمايي(‌ مولكولهاي گاز‪.‬‬

• Atmospheric Pressure:
– The earth is surrounded by an atmosphere consisting mainly of
nitrogen and oxygen.
– The force exerted by the atmosphere is 14.7 pounds per square
inch at the surface of the earth (at sea level, 45O latitude, 0OC).
– The 14.7 pounds
(force) is the effect of
the weight of the
molecules in the air
column above a one
inch square of the
earth’s surface
extending to edge of
the earth’s
atmosphere.
– Why is the
atmospheric pressure
lower as you go higher
in elevation? University
‫• فشار اتمسفري‪:‬‬
‫– كره ي زمين توسط اتمسفري كه بيشترين مقدار آن را نيترژن و اكسيژن تشكيل مي دهد‪ ،‬احاطه شده‬
‫است‪.‬‬
‫– نيروي ايجاد شده توسط اتمسفر بر سطح زمين ‪ 14.7‬پوند بر اينچ مربع مي باشد )همسطح دريا‪،‬‬
‫عرض جغرافيايي ‪ 45‬درجه و دماي صفر درجه سانتيگراد(‪.‬‬
‫– ‪ 14.7‬پوند )نيرو( اثر وزن‬

‫مولكولهاي ستون هوايي بالي يك‬
‫اينچ مربع سطح زمين تا انتهاي‬
‫اتمسفر زمين مي باشد‪.‬‬
‫–‬

• Atmospheric Pressure:
– altitude and atmospheric pressure are related with the following formula:
– where P is in pounds per square inch (PSIA)

– where A is the altitude above sea level in meters
– The atmospheric pressure in a place

− A 17000
P = 14.7 ×10
(elevation 866 meters
above sea level) is about 13.1 psia.
– On top of Mt. Everest (8850m),
the pressure is 4.3 psia,
less than 1/3 of sea level!.
Atmospheric Pressure vs. Altitude
16.0
14.0
12.0
10.0
PSIA 8.0
6.0
4.0
2.0
0.0
0 2000 4000 6000 8000 10000
Altitude in meters above sea level

University
‫• فشار اتمسفري‪:‬‬
‫– فشار اتمسفر و ارتفاع طبق رابطه ي زير با هم نسبت دارند‪:‬‬
‫‪− A 17000‬‬
‫‪P = 14.7 ×10‬‬
‫– ‪ P‬فشار بر حسب پوند بر اينچ مربع مي باشد )‪.(PSIA‬‬
‫– ‪ A‬ارتفاع از سطح دريا به متر مي باشد‪.‬‬
‫‪Atmospheric Pressure vs. Altitude‬‬
‫‪‬فشار اتمسفري در ارتفاع ‪ 866‬متر بالي‬ ‫‪16.0‬‬

‫‪14.0‬‬
‫سطح دريا حدود ‪ psia 13.1‬مي باشد‪.‬‬ ‫‪12.0‬‬
‫‪10.0‬‬
‫‪PSIA‬‬ ‫‪8.0‬‬
‫‪‬بالي كوه اورست )ارتفاع ‪ 8850‬متر(‬ ‫‪6.0‬‬
‫فشار برابر ‪ psia 4.3‬مي باشد كه از يك سوم‬ ‫‪4.0‬‬

‫‪2.0‬‬
‫فشار در سطح دريا كمتر مي باشد‪.‬‬ ‫‪0.0‬‬
‫‪0‬‬ ‫‪2000‬‬ ‫‪4000‬‬ ‫‪6000‬‬ ‫‪8000‬‬ ‫‪10000‬‬
‫‪Altitude in meters above sea level‬‬

University
• Net Pressure:
– Molecules of air continuously striking the walls
of a container exert a force on the walls.
– If the container is open, then:
• the force inside = the force outside
• there is no “net pressure” on the chamber
walls.
– If the chamber is closed, and some of the gas
inside is removed (pumped out), there will a be
a net force pushing inwards on the walls of the
container.
• If the net force is greater than the
mechanical strength of the container, there
will be an implosion.

University
‫• فشار برآيند‪:‬‬
‫– ملوکول های هوايی که دائم بر ديواره ی ظرف برخورد می کنند بر آن فشار‬
‫وارد می کنند‪.‬‬
‫– در صورتی که ظرف در باز باشد‪:‬‬
‫• فشار داخلی = فشار خارجی‬
‫• برآيند فشار بر ديواره ی ظرف صفر خواهد بود‪.‬‬
‫– در صورتی که ظرف در بسته باشد و مقداری از گاز از آن برداشته شود )با‬
‫پمپاژ(‪ ،‬برآيند فشار از خارج به سمت ديواره ی ظرف نيرو وارد می کند‪.‬‬
‫• در صورتی که اين برآيند فشار بيش از استحکام مکانيکی ظرف باشد‪،‬‬
‫ظرف در خود فرو خواهد رفت‪.‬‬

• Net Pressure:
– Collapsed rail car due to condensing steam.
• http://www.arborsci.com/coolstuff/ultimate_gas_demo.htm

University
:‫• فشار برآيند‬
.‫– متلشی شدن واگن به دليل متراکم شدن بخار‬
http://www.arborsci.com/coolstuff/ultimate_gas_demo.htm •

University
• What is an ideal (perfect) vacuum ?
– A space containing nothing
– Pressure = 0 psia
– Does this exist ?
• Practically, no
• Deep space is a close approximation ( < 10-20
psia)
– What are some reasons why this does not exist
in the practical world?
• An actual vacuum is any pressure below
atmospheric pressure.

University
‫• خلء ايده آل )کامل( چيست؟‬
‫– فضايی که در آن هيچ چيز وجود نداشته باشد‪.‬‬
‫– فشار = ‪psia 0‬‬
‫– آيا چنين چيزی وجود دارد؟‬
‫• عملَ خير‬
‫• فضای خارج از جو زمين تقريب خوبی از خلء می باشد‬
‫) < ‪(psia 20-10‬‬
‫–‬
‫• خلء واقعی هر فشاری پايين تر از فشار اتمسفری می باشد‪.‬‬

Short History of Vacuum
• Evangelista
Torricelli - 1643
– developed a suction
pump to remove
water from a well
– developed the first
crude barometer
– pressure unit (torr)
is named after him

University
‫تاريخچه ی خلء‬
‫‪• Evangelista‬‬
‫‪Torricelli - 1643‬‬
‫– برای برداشتن آب از چاه‬
‫پمپ مکشی ابداع نمود‪.‬‬
‫– اولين بارومتر اوليه را‬
‫اختراع نمود‪.‬‬
‫– واحد فشار ‪ torr‬به نام او‬
‫به کار می رود‪.‬‬

• Short history: Otto von Guericke - 1663
– invented a piston vacuum pump
– Magdeburg hemispheres demonstration:
• two bronze
hemispheres
were put
together, the air
was pumped
out, and two
teams of horses
could not pull
them apart
• impressed the
socks off the
emperor!

University
‫• تاريچخه‪Otto von Guericke - 1663 :‬‬
‫– پمپ خلء پيستونی اختراع نمود‪.‬‬
‫– نمايش نيم کره های مگدبرگ‪:‬‬
‫• دو نيم کره از برنز روی‬
‫هم گذاشته شدند و در آن‬
‫با پمپ خلء ايجاد شد و‬
‫دو دسته اسب نتوانستند‬
‫آنها را از هم جدا کنند‪.‬‬
‫• اين کار امپراطور را‬
‫حيرت زده کرد‪.‬‬

• Edison - 1879
– used vacuum in his first electric lamp
• early 1900’s
– continued development of vacuum pumps and
gauges to support new vacuum tube technology
• 1950’s
– development of diffusion pump, ion pump, and
ion gauge opened the door to high and ultra-
high vacuum: < 10-6 torr
• 1970’s
– turbomolecular pump and cryo pumps invented

University
‫• ‪Edison - 1879‬‬
‫– در اولين لمپ الکتريکی خود از خلء استفاده نمود‪.‬‬
‫• اوايل ‪1900‬‬
‫– ادامه ی توسعه ی پمپ ها و گيج های خلء برای پشتيبانی از تکنولوژی های‬
‫جديد لمپ های خلء‪.‬‬
‫• دهه ی ‪1950‬‬
‫– ابداع پمپ پخشی‪ ،‬پمپ يونی و گيج يونی راه را برای خلء پرفشار و بسيار‬
‫پرفشار باز نمود‪torr 6-10 < :‬‬
‫• دهه ی ‪1970‬‬
‫– اختراع پمپ های توربو مولکولی و پمپ های سرمايی )‪(cryo‬‬

Why is a Vacuum Needed?
1:
To move a particle in a (straight) line over a large distance

University
‫چرا به خلء نیاز می باشد؟‬
‫‪:1‬‬
‫برای حرکت دادن يک ذره به طور مستقيم در يک مسير طولنی‬

Why is a Vacuum Needed?
Atmosphere (High)Vacuum
Contamination
Clean surface
(usually water)
2: To provide a clean surface

University
‫چرا به خلء نیاز می باشد؟‬
‫اتمسفر‬ ‫خلء بال‬
‫ناخالصی‬
‫سطح پاک‬
‫( معمول آب(‬
‫‪2:‬‬
‫برای دست یابی به یک سطح پاک‬
Why Use Vacuum?
• Cleanliness: low pressure =< low number
of molecules of potential contaminants
– extend formation time for native oxides
– reduce or eliminate impurities incorporated
during processing
• Plasma generation: plasmas can easily be
created and sustained in a low pressure
environment
– used for etching, deposition, and ion
implantation
• Lower molecular interference:
– increase mean free path for ions used in
sputtering

University
‫چرا از خلء استفاده می کنيم؟‬
‫• تميزی‪ :‬فشار پايين =< تعداد کمتری از مولکول های مواد آلينده‬
‫ی بالقوه‬
‫– طولنی کردن زمان توليد اکسيد کننده های محلی‪.‬‬
‫– کاهش يا از بين بردن ناخالصی هايی که در فرايند پردازش آميخته می شود‪.‬‬
‫• توليد پلسما‪ :‬پلسما می تواند به راحتی در محيط های کم فشار توليد‬
‫و نگهداشته شوند‪.‬‬
‫– در حک کردن‪ ،‬ته نشينی و تزريق يون استفاده می شود‪.‬‬
‫• کاهش تداخل مولکولی‪:‬‬
‫– افزايش مسافت آزاد ميانگين يون ها در فرايند ‪Sputtering‬‬

Why Use Vacuum?
• Low friction:
– reduce heat dissipation requirements for
processes.
• Thermal insulation:
– i.e. thermos bottle
• Promote evaporation:
– materials can be evaporated at lower
temperatures by reducing the pressure
• Mechanical advantage:
– use pressure differences to hold items in place
or to transport them from one place to another

University
‫چرا از خلء استفاده می کنيم؟‬
‫• اصطکاک پايين‪:‬‬
‫– کاهش نياز به تقليل دما در در فرآيندها‪.‬‬
‫• عايق گرمايی‪:‬‬
‫– برای مثال در فلسک‪.‬‬
‫• کمک به تبخير‪:‬‬
‫– با کاهش فشار مواد در دماهای پايين تر تبخير می شوند‪.‬‬
‫• مزيت مکانيکی‪:‬‬
‫– استفاده از تفاوت در فشار برای نگهداشتن اجسام يا نقل و انتقال آنها‪.‬‬

Uses for Vacuum: Non-
Semiconductor
• freeze drying of foods and pharmaceutical
products
• optical lens coatings
• vacuum storage to retard spoilage or
oxidation (rust)
• vacuum tubes and cathode ray tubes
• vacuum cleaners
• mechanical advantage:
– suction cups
– transport (bank drive-up window)

University
‫کاربردهای خلء‪ :‬غير نيمه رسانا‬
‫خشک کردن در خلء و سرمای غذاها و فراورده های دارويی‬ ‫•‬
‫روکش کردن لنزهای اپتيکی‬ ‫•‬
‫انبار خلء برای کاهش فساد يا اکسيداسيون )زنگ زدن(‬ ‫•‬
‫لمپ های خلء و لمپ های اشعه کاتدی‬ ‫•‬
‫جارو برقی‬ ‫•‬
‫مزيت مکانيکی‪:‬‬ ‫•‬
‫– کاپ مکش )‪(Suction cups‬‬
‫– نقل و انتقال‬

Uses for Vacuum:
Semiconductor
• Layering (CVD, sputter, evaporation)
– reduce impurities
– allow plasma generation
– increase mean free path
• Dry etching
– plasma etching or Reactive Ion Etching
• Ion implantation (doping)
• Vacuum clamping (chucks, wands, robot
arms) used to manipulate wafers by
touching backside only.
– Used in virtually all process tools

University
‫کاربردهای خلء‪ :‬نيمه رسانا‬
‫• رونشانی )ته نشينی بخارات شيميايی)‪ ،CVD) ،sputter‬تبخير(‬
‫– کاهش ناخالصی‬
‫– توليد پلسما‬
‫– افزايش مسافت آزاد ميانگين‬
‫• حکاکی خشک‬
‫– حک با پلسما و حک با يون فعال‬
‫• تزريق يون )دوپه کردن(‬
‫• مهار خلئی )گيره‪ ،‬قلم نوری‪ ،‬بازوهای روبات( برای حرکت دادن‬
‫تراشه ها از طريق تماس با پشت آنها‪.‬‬
‫– تقريبا در تمامی ابزار فرايندی استفاده می شود‪.‬‬

Pressure Measurement

University
‫اندازه گيری فشار‬
• Higher pressure: ‫فشار بيشتر‬

• Lower pressure: ‫فشار کمتر‬
University
BAROMETER
Mercury: 13.58 times

heavier than water:
10.321 Column is 13.58 x shorter :
mm 10321 mm/13.58=760 mm
(= 760 Torr)
760 29,9
mm in
WATER MERCURY
University
‫بارومتر‬
‫جيوه‪ 13.58‬برابر سنگين تر از آب‬

‫است‪:‬‬
‫‪10.321‬‬ ‫ستون جيوه ‪ 13.58‬برابر کوتاه تر‬
‫‪mm‬‬ ‫‪mm/13.58=760 mm 10321‬‬
‫‪((= 760 Torr‬‬
‫‪760‬‬ ‫‪29,9‬‬
‫‪mm‬‬ ‫‪in‬‬
‫آب‬ ‫جيوه‬
• Barometer:
– Torricelli placed a glass
tube that was sealed at
one end in a beaker of
mercury (Hg).
– The level of Hg in the tube
went up and down as the
surrounding pressure was
changed.
– At sea level, the
atmospheric pressure will
support a column of Hg
760mm high.
– 1 torr = 1 mm Hg = 1/760
atmospheric pressure

University
‫• بارومتر‪:‬‬
‫توريسلی يک لوله ی آزمايش را در‬ ‫–‬
‫يک ظرف پر از جيوه )‪ (Hg‬قرار‬
‫داد‪.‬‬
‫با تغيير فشار محيط سطح جيوه در‬ ‫–‬
‫لوله تغيير می کرد‪.‬‬
‫در ارتفاع همسطح دريا فشار‬ ‫–‬
‫اتمسفری ستون جيوه ی ‪760‬‬
‫ميليمتری نگه می دارد‪.‬‬
‫‪torr = 1 mm Hg = 1‬‬ ‫–‬
‫‪ 1/760‬فشار اتمسفری‬

Pressure of 1 standard atmosphere
AT SEA LEVEL, 0O C AND 45O LATITUDE
CGS →P=dyne/cm2=bar
P=ρgh=13.6×98×76=1012928bar≈10 6bar ≈ 1013
mbar
MKS →P=N/m2 =pascal
P=13600 ×9.8 ×.76=101292.8 ≈105 pascal
100 pascal=1 mbar=.76 Torr

University
‫فشار یک اتمسفر استاندارد‬
45O ‫ و عرض جغرافيایی‬0O C ‫همسطح دریا و‬
CGS →P=dyne/cm2=bar
P=ρgh=13.6×98× 76=1012928bar≈106bar ≈ 1013
mbar
MKS→P=N/m 2=pascal
P=13600× 9.8×.76=101292.8 ≈10 5pascal
pascal=1 mbar=.76 Torr 100

University
Pressure Equivalents
Atmospheric Pressure (Standard) =
0 gauge pressure (psig)

14.7 pounds per square inch (psia)
29.9 inches of mercury
760 millimeter of mercury
760 torr
760,000 millitorr or microns
101,325 pascal
1.013 bar
1013 millibar
University
Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd University
‫معادل های فشار‬

(‫فشار اتمسفری )استاندارد‬
0 gauge pressure (psig) ‫فشار گيچ‬

14.7 pounds per square inch (psia)
‫پوند بر اینچ مربع‬
29.9 inches of mercury ‫اینچ جيوه‬
760 millimeter of mercury ‫ميليمتر جيوه‬
760 Torr ‫تور‬
760,000 millitorr or microns ‫ميليتور یا ميکرون‬
101,325 Pascal ‫پاسکال‬
1.013 Bar ‫بار‬
1013 Millibar ‫ميلی بار‬
THE ATMOSPHERE IS A MIXTURE OF GASES
PARTIAL PRESSURES OF GASES CORRESPOND TO THEIR RELATIVE VOLUMES
PERCENT BY PARTIAL PRESSURE

GAS SYMBOL VOLUME TORR PASCAL
Nitrogen N2 78 593 79,000

Oxygen O2 21 158 21,000
Argon A 0.93 7.1 940
Carbon Dioxide CO2 0.03 0.25 33
Neon Ne 0.0018 1.4 x 10-2 1.8
Helium He 0.0005 4.0 x 10-3 5.3 x 10-1
Krypton Kr 0.0001 8.7 x 10-4 1.1 x 10-1
Hydrogen H2 0.00005 4.0 x 10-4 5.1 x 10-2
Xenon 0.0000087 6.6 x 10-5 8.7 x 10-3
X
Water Variable 5 to 50 665 to 6650
H2 O
University
‫اتمسفر مخلوطی از گازهاست‬
‫فشار جزئی گازها با نسبت حجمی آنها متناسب است‬

‫درصد حجمی‬ ‫فشار جزئی‬
‫گاز‬ ‫نماد‬ ‫تور‬ ‫پاسکال‬
Nitrogen N2 78 593 79,000
Oxygen O2 21 158 21,000
Argon A 0.93 7.1 940
Carbon Dioxide CO2 0.03 0.25 33
Neon Ne 0.0018 1.4 x 10-2 1.8
Helium He 0.0005 4.0 x 10-3 5.3 x 10-1
Krypton Kr 0.0001 8.7 x 10-4 1.1 x 10-1
Hydrogen H2 0.00005 4.0 x 10-4 5.1 x 10-2
Xenon 0.0000087 6.6 x 10-5 8.7 x 10-3
X
Water Variable 5 to 50 665 to 6650
H2 O
University
Vapor pressure of water at various
temperatures
T (O C) P (mbar)
100 (BOILING) 1013
25 32
0 (FREEZING) 6.4
-40 0.13
-78.5 (DRY ICE) 6.6 x 10 -4
-196 (LIQUID NITROGEN) 10 -24

University
‫فشار بخار آب در دماهای مختلف‬
T (O C) P (mbar)
100 (‫(جوش‬ 1013
25 32
0 (‫(یخ‬ 6.4
-40 0.13
-78.5 (‫(یخ خشک‬ 6.6 x 10 -4
-196 (‫(نيتروژن مایع‬ 10 -24

University
• Other units of pressure:
– inches of water, pascals, bar, atmospheres, and pounds
per square inch.
– Pascals and Bar are used in Europe
– In the U.S. (and in this class) we mostly use torr written
using scientific notation.
• i.e. 5 x 10-6 torr, etc.
• Important conversion, atmospheric pressure:
– 1 atm. = 760 torr = 760 mm Hg = 406.8 in. H2O = 14.7
pounds/in2 = 1.013 bar = 101,325 Pa
• Note: Potential confusing terminology!
– High vacuum = low pressure
– Low vacuum = high pressure (relatively)

University
‫• واحدهای ديگر فشار‪:‬‬
‫– اينچ آب‪ ،‬پاسکال‪ ،‬بار‪ ،‬اتمسفر‪ ،‬و پوند بر اينچ مربع‪.‬‬
‫– پاسکال و بار در اروپا استفاده می شوند‪.‬‬
‫– در آمريکا بيشتر از تور با نماد علمی استفاده می شود‪:‬‬
‫• مثل ‪ ،x 10 5-6 torr‬و غيره‬
‫• تبديل مهم فشار اتمسفری‪:‬‬
‫– = ‪atm. = 760 torr = 760 mm Hg = 406.8 in. H 12O‬‬
‫‪14.7 pounds/in2 = 1.013 bar = 101,325 Pa‬‬
‫• نکته‪ :‬اصطلحاتی که ممکن است گيج کننده باشند‪:‬‬
‫– خلء بال = فشار پايين‬
‫– خلء پايين = فشار بال )نسبی(‬

• Vacuum Ranges: (depends on source)
Atm
Ultra-High Vacuum High Vacuum Medium Rough
Vacuum Vacuum
10-14 10-12 10-10 10-8 10-6 10-4 10-2 100 102 103
Pressure (Torr)
103 105 107 109 1011 1013 1015 1017 1019
Density in molecules per cubic cm (at 25 OC)

• Does the risk of implosion increase significantly as you move from low
vacuum to ultra-high vacuum?
• 109vacuum
Which 107 range(s)
105 103
would a10barometer
1
10-1 be10useful
-3
10for?
-5
10-7
Mean Free Path in meters (at 25 OC)

University
‫• دامنه های خلء ‪ :‬به منبع بستگی دارد‬
‫خلء بسيار بال‬ ‫خلء بال‬ ‫خلء متوسط‬ ‫‪ Atm‬خلء کم‬
‫‪Ultra-High Vacuum‬‬ ‫‪High Vacuum‬‬ ‫‪Medium‬‬ ‫‪Rough‬‬
‫‪Vacuum‬‬ ‫‪Vacuum‬‬
‫‪10-14‬‬ ‫‪10-12‬‬ ‫‪10-10‬‬ ‫‪10-8‬‬ ‫‪10-6‬‬ ‫‪10-4‬‬ ‫‪10-2‬‬ ‫‪100‬‬ ‫‪102 103‬‬
‫)‪(Torr‬فشار‬
‫‪103‬‬ ‫‪105‬‬ ‫‪107‬‬ ‫‪109‬‬ ‫‪1011‬‬ ‫‪1013‬‬ ‫‪1015‬‬ ‫‪1017‬‬ ‫‪1019‬‬
‫(چگالی مولکول ها بر اساس سانتيمتر مکعب)در دمای ‪ 25‬درجه سانتيگراد‬
‫‪109‬‬ ‫‪107‬‬ ‫‪105‬‬ ‫‪103‬‬ ‫‪101‬‬ ‫‪10-1‬‬ ‫‪10-3‬‬ ‫‪10-5‬‬ ‫‪10-7‬‬ ‫•‬
‫مسافت آزاد ميانگين ))در دمای ‪ 25‬درجه سانتيگراد‬ ‫•‬

Vacuum Ranges
• Low (rough) Vacuum:
– atmosphere down to 1 torr,
– clamping, non-industrial applications
• Medium Vacuum:
– 1 torr to 1 x 10-3 torr
– CVD, plasma etch
• High Vacuum:
– 1 x 10-3 to 1 x 10-8 torr
– ion implanters, sputterers,
evaporators
• Ultra-high Vacuum:
– less than 1 x 10-8 torr
– molecular beam epitaxy, research
instruments

University
‫دامنه های خلء‬
‫• خلء پايين )خشن(‪:‬‬
‫– اتمسفر تا ‪ 1‬تور کاهش يافته‬
‫– مهار کردن‪ ،‬کاربرد صنعتی‬
‫• خلء متوسط‪:‬‬
‫– ‪ torr 1‬تا ‪x 10 1-3 torr‬‬
‫– ‪ ،CVD‬حک کردن پلسمايی‬
‫خلء بال‪:‬‬ ‫•‬
‫– ‪ x 10 1-3‬تا ‪x 10 1-8 torr‬‬
‫– تزريق کننده های يون‪ ،‬اسپاتر کننده ها‪ ،‬تبخير کننده ها‬
‫خلء بسيار بال‪:‬‬ ‫•‬
‫– کمتر از ‪x 10 1-8 torr‬‬
‫– اپيتاکسی )رشد بلور بر ليه ی بلوری ديگر( اشعه ی‬
‫مولکولی‪ ،‬ابزار تحقيقی‬

Additional Vacuum Terminology
• Molecular Density: the number of
particles per unit volume of a gas
(particles/cm3)
– what is molecular density as you approach
an ideal vacuum?
• Mean Free Path: the average distance a
molecule of a gas can travel in a
straight line before striking another
molecule or the chamber wall
– what is the mean free path as you approach
an ideal vacuum?

University
‫اصطلحات ديگر خلء‬
‫• دانسيته مولکولی‪ :‬تعداد ذرات در واحد حجم گاز‬
‫)‪(3particles/cm‬‬
‫–‬
‫• مسافت آزاد ميانگين‪ :‬ميانگين فاصله ای که يک مولکول بايد‬

‫در مسير مستقيم طی کند تا به مولکول ديگر يا ديواره ی‬
‫محفظه برخورد کند‪.‬‬
‫–‬

Vacuum Terminology
• Base (Ultimate) Pressure: the lowest
pressure a vacuum system can achieve
– no gas is flowing into the system
– used at the beginning of a process to remove
impurities
– what might limit the base pressure of a system?
• Process (Operating) Pressure: pressure in
a system with gasses flowing into it at
equilibrium
– is process pressure higher or lower than base
pressure?

University
‫اصطلحات خلء‬
‫• فشار پايه )نهايی(‪ :‬کمترين فشار قابل دستيابی در يک سيستم‬
‫خلء‪.‬‬
‫– هيچ گازی به داخل سيستم جريان ندارد‪.‬‬
‫– برای از بين بردن ناخالصی ها در ابتدای فرايند استفاده می شود‪.‬‬
‫–‬
‫• فشار فرايند )عمليات(‪ :‬فشار سيستمی که گازها در تعادل به‬

‫داخل آن جريان دارد‪.‬‬
‫–‬


Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd University

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

You might also like

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd University

Uploaded by

Document Information

Original Description:

Original Title

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd University

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept.

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫• خب‪...‬حال فشار چيست؟‬

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

‫– ‪ 14.7‬پوند )نيرو( اثر وزن‬

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

– where P is in pounds per square inch (PSIA)

– The atmospheric pressure in a place

Atmospheric Pressure vs. Altitude

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Atmospheric Pressure vs. Altitude‬‬

‫‪‬فشار اتمسفري در ارتفاع ‪ 866‬متر بالي‬ ‫‪16.0‬‬

‫فشار برابر ‪ psia 4.3‬مي باشد كه از يك سوم‬ ‫‪4.0‬‬

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫• خلء واقعی هر فشاری پايين تر از فشار اتمسفری می باشد‪.‬‬

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

To move a particle in a (straight) line over a large distance

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫برای حرکت دادن يک ذره به طور مستقيم در يک مسير طولنی‬

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

2: To provide a clean surface

‫اتمسفر‬ ‫خلء بال‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

• Higher pressure: ‫فشار بيشتر‬

Mercury: 13.58 times

‫جيوه‪ 13.58‬برابر سنگين تر از آب‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

‫‪Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd‬‬

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

Dr. G. Mirjalili, Physics Dept. Yazd

0 gauge pressure (psig)

‫معادل های فشار‬