Professional Documents
Culture Documents
Metody Bottom-Up I Top-Down Wytwarzania Mikro - I Nanomateriałów
Metody Bottom-Up I Top-Down Wytwarzania Mikro - I Nanomateriałów
litograficzne
szeroko
stosowane
mikro-
nanoelektronice
operacji technologicznych.
Wanym aspektem w procesie produkcyjnym litograficznym jest nie tylko
kilkuset
nanometrw
elektromagnetycznego)
do
(w
przypadku
kilkudziesiciu
wykorzystywania
nanometrw
(w
promieniowania
przypadku
metod
powoduje
zwikszenie
rozdzielczoci
technik
litograficznych.
litografia
pozwala
pokona
ograniczenia
rozdzielczoci
metod
10
polidimetylsiloksanowe
(w
jzyku
angielskim
polydimethylsiloxane
11
Rozdzielczo osigana w tego typu metodach zaley nie tylko od wielkoci wizki i jej
mocy, ale rwnie od charakterystyki danego materiau i procesu usuwania jego skrawkw.
Wspczesne urzdzenia FIB maj ukady umoliwiajce bardzo dokadn obrbk
materiau. Pozwalaj one nie tylko usun atomy z powierzchni podoa za pomoc
rozpylania przez jony (ktrych rdem jest najczciej gal), lecz rwnie osadzi na nim inny
materia.
12