SEM 心得

SEM 在化工系也有一台其實是非常普遍的分析儀器，但系館裡的機台感覺不像

助教示範給我們看的機台這麼高級，而且使用方式和精密程度看上去也複雜許

多。當中助教提到了上課教的許多操作細節和原理，像是用 SEM 做表面的元素

分析時，不能在 sample 上面鍍比較重的元素，這會讓輕的元素(Be,B,C)用背向

散射成像時不能很明顯，解決的方式是可以改成塗銀膠，或是開始操作前應注

意水、電、器。水為冷卻水，確定是水足夠能冷卻儀器線路，通常水溫範圍是

18~20 度上下，電為電力維持器，注意是否開啟正常運作，萬一發生跳電時其

提供的電力還能讓操作者可以正常將 SEM 關機，最後氣為氮氣和冷氣，主要是

用來維持 SEM 在 20 度左右的溫度，防止儀器過熱。能實際上看到儀器構造讓

我能跟書本上的知識連結在一起，讓我獲益良多，未來在操作儀器時也會更小

心謹慎。