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量測知識 & 儀器選擇 輕鬆學習

測量儀導覽
量測知識 & 儀器選擇 輕鬆學習

測量儀導覽 目錄

測量儀的基礎知識 測量儀的種類及特點
何謂量測?  3 游標卡尺 / 高度規(深度計) 16
關於單位  5 分厘卡 17
關於誤差  7 投影機 19
公差與配合  9 工具顯微鏡 20
類比與數位 10 CNC 影像尺寸測量儀 21
計量可追溯性 10 輪廓形狀測量儀 22
國際標準化持續進行中 11 三次元測量儀 23
粗糙度儀 24
執行量測的環境
室溫 12 測量儀的選擇方法
清淨度 12 依據目標物選擇 25
溫度與量測 13 依據刻度單位選擇 26
物質的剛性 13 依據成本選擇 27
量測值的確認 14 依據量測環境選擇 28
校正與定期檢查 14 依據用途選擇 29
依據量測速度選擇 30

依據作業項目量測
研究開發 31
首件開發的確認 32
驗收檢查 33
製程內檢查 / 首件件測 / 抽樣檢查 34
出貨前檢查 35

2
測量儀的基礎知識
正確的量測是製造的基礎。若未理解其意義與規定,將無法執行正確的量測,同時也可能發生誤差。以下為您

介紹測量儀的基礎知識。

何謂量測?

本資料所謂的「量測」是指,依據一定的基準(單位),以數值表示製造

物的尺寸。從本質而言,量測尺寸就是將量測目標物與基準物進行比較。
A OK
做為基準物使用的測量儀器,依據其量測目的、方法及精度,涵蓋各式

各樣的產品。藉由正確量測尺寸,即可「檢查」製造物是否符合所要求的
B NG
規格(容許值)。因此,準確的量測就是製造優良產品的基本條件。

C NG

容許值

正確的量測是檢查的基礎

3
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測量儀的基礎知識

量測對於製造的重要性

正確的尺寸量測是製造的基礎。從材料的採購、加工、組裝、品檢到出

貨,各項製程皆採用相同的基準進行量測,才能製作出符合設計的產品,

同時保證其品質。

只要有任何一人未做好量測工作,就無法確保品質。如果因此混入不良
品質
品,不僅會導致良率變差,如果做為完成品出貨,可能會發生客訴的情

況。換言之,在製造的所有過程中,組織全體成員都必須執行正確的量

測。

正確量測的基礎,在於參與製造者皆需具備量測的技術,並且正確管理 全員實施正確的量測
及使用測量儀。此為「測量管理」,也是品質管理的基礎。近年來,測量

管理已規格化為測量管理系統(ISO10012)。此外,為保證正確的量測,

目前也持續推動計量可追溯性的相關措施。

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測量儀的基礎知識

直接量測與間接量測

尺寸的量測分為「直接量測」與「間接量測」2 種方法。

「直接量測」是使用游標卡尺、分厘卡或三次元測量儀等測量儀器,直接對目標物進行量測的方法,也稱為絕對量測。 此量測方法可在測量儀器的

刻度範圍內進行廣泛的量測,但有可能因為錯誤判讀刻度而導致錯誤的量測。

與其相對的「間接量測」是使用塊規、環規等標準器,將其與目標物之間的差,以千分錶等測量儀計算出目標物的尺寸。由於標準器的形狀與尺寸

是固定的,因此很容易量測,但也有量測範圍受限的缺點。

關於單位

長度單位的歷史

❙ 人體基準
決定長度基本單位的方法,隨著時代而有很大的改變。很久以前,以人體做為基準,例如古代美索不達米亞、埃及、羅馬等地區,以 1 庫比特

(cubit)為單位來表示手肘到指尖的距離。但是,此長度依據地區而有不同,範圍在 450 至 500 mm 之間。現在我們已經知道,以施工精密度聞名

的埃及金字塔,使用了長、短 2 種的庫比特單位。據說在那個時代,是用國王等擁有權位者的身體來做為長度標準。直到今日,仍有美國等國家

使用以人體為起源的長度單位,例如碼(yard)、英尺(feet)及英寸(inch)。

以人體做為長度的單位

(1 庫比特) (1 庫比特)

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測量儀的基礎知識

❙ 地球基準
以人體為基準的長度單位已持續使用數千年,大約 200 年前產生了大幅 北極

變化。當時經過大航海時代,工業以西歐為中心開始盛行,因此需要統一
決定以地球北極到赤道的子午
全世界的長度基準。17 世紀歐洲開始出現統一單位的討論,經過一世紀 線的一千萬分之一為 1 公尺
以上的討論之後,1791 年法國提出公尺(Meter,希臘語意思為「量測」

這個單位。當時做為基準的是,從地球北極到赤道的子午線距離,並取 赤道

其一千萬分之一為 1 公尺。後來到了 19 世紀末期,由於必須整合全世界

的尺寸基準,法國於是以較不易氧化及磨損的白金銥合金製作出公尺標

準器。

❙ 光速基準
以地球為基準的單位,一開始就遭到難以量測的質疑,公尺標準器也有

製作上的誤差及經年劣化的問題,因此開始討論訂定新的基準。在 1960

年召開的國際度量衡大會(CGPM)中,規定以氪 86 元素在真空中放射 光
的橙色波長為 1 公尺。到了 1983 年,由於雷射技術的進步,便以光速與

時間為基礎,決定了 1 公尺的長度。當時規定的「光在真空中前進

299,792,458 分之 1 秒的距離」,就是如今對 1 公尺的定義。

299,792,458 分之 1 秒前進的距離= 1 m

國際單位系統

長度等度量衡在世界各地皆以一量一單位為原則。如前所述,1960 年國際度量衡大會(CGPM)訂定了「國際單位系統」,其簡稱「SI」為法語的

Le Système International d'Unités(國際單位系統)。

在國際單位系統中,長度以 m(公尺)做為 SI 單位(基本單位)。此外,可加上 km 的「k(千)=10 的三次方」之類的記號做為 SI 的前綴詞。

SI 基本單位

材質 名稱 記號

長度 公尺 m

SI 前綴詞(表示 10 的整數倍的記號)

記號 記號 指數顯示 單位乘上的倍數

6
百萬 M 1×10 1,000,000

千 k 1×103 1,000

0
- - 1×10 1

百分之一 c 1×10-2 0.01

-3
千分之一 m 1×10 0.001

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測量儀的基礎知識

關於誤差

誤差的種類

長度的誤差是指目標物的真實值(真值)與量測值之間的差,或是指定值與量測值之間的差,以「誤差 = 量測值 - 真值」表示。在現實情況下,無

論量測的精密度多麼高,也難以求得真實值,量測值不可避免有某種程度的「不確定性」。

依據產生的條件區分,誤差可大致分為三類。為了防止發生誤差,必須考慮各種條件。

❙ 系統誤差
因特定原因導致量測值偏差的誤差。例如,因測量儀器的個別差異所產生的誤差(器差)、溫度、量測方法等。

❙ 偶發誤差
量測時偶然發生的誤差。例如附著於測量儀器的灰塵造成誤差等。

❙ 過失誤差
因量測者經驗不足或操作錯誤所產生的誤差。

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測量儀的基礎知識

誤差的因素

實際量測現場可能產生的誤差因素如下。

❙ 因溫度產生的誤差
物體的體積會因為溫度變化而改變,長度也會改變。此情況會同時在量測的目標物與測量儀器上出現。溫度與物體長度的變化,可以用「熱膨脹係

數」表示。依據材質的種類,熱膨脹係數各有不同。另外,國際標準組織已將量測長度時的標準溫度定為 20°C。

主要的熱膨脹係數
單位:×10-6/K

鑽石 1.0

玻璃 8 至 10

鐵 11.8

金 14.2

鋁 23.1

PET 樹脂 70.0

* 熱膨脹造成變化量的計算式
ΔL=L(材料長度)×α(熱膨脹係數)×ΔT(溫度差)
補充說明
293 K(20°C):在此溫度條件下的值。

❙ 因物質變形產生的誤差
在物體上施力會造成一定比例的變化。此外,停止施力時就會恢復原狀。物體的此種變化稱為「彈性變形」。作用於物體的力稱為「應力」,一般會

與物體的變形呈現比例關係,兩者的關係以「縱彈性係數(楊氏係數 / 楊氏模數)」表示。

應力增強,變形量也會增加,例如以外徑分厘卡進行量測時,勿將測微螺桿轉得過緊。

阿貝原理

阿貝原理是說明量測精度、也是設計測量儀器時的重要方針。 阿貝原理是指,「為提高量測精度,量測目標物與測量儀器的刻度必須與量測方向位

於同一條線上」。

以實際測量儀器中的外徑分厘卡而言,其刻度與量測的位置位於同一線上,相對的,游標卡尺的刻度則是與量測位置分離的。換言之,外徑分厘

卡符合阿貝原理,游標卡尺則不符合阿貝原理。因此,外徑分厘卡的量測精度較高。

游標卡尺不符合「阿貝原理」

刻度的位置

量測的位置

分厘卡符合「阿貝原理」

量測的位置 刻度的位置

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測量儀的基礎知識

公差與配合

何謂公差?

無論如何,量測值與真實值(真值)之間一定會產生誤差。但重要的是,要明確定義容許的誤差範圍。在量測領域中,容許誤差的最大尺寸與最小

尺寸的差稱為「公差」或「容差」。此外,工業規格等法律認可的誤差範圍,也稱為公差。

在實際的圖面中,若記載「60(+0.045 -0.000)
」,即表示基準尺寸為 60,
「+0.045 -0.000」為上限及下限的公差。因此,上限值為 60.045,下限

值為 60.000。

實務上,設定公差的理由之一是要在精確度與加工成本之間取得平衡。因為若要提高精度,成本也會相對提高。重要的是,隨著個別工件來設計

個別的公差值才能取得品質與成本的平衡。

何謂配合?

設定公差的另一個理由是,必須規定在組合軸與孔之類的多個零件時的尺寸差異。這稱為「配合」或「嵌合」。

檢討配合時,量測的思考方式會因為以軸或以孔為基準而有不同。例如,若以軸的直徑為基準來思考,如果只要讓軸能夠貫通孔,則使用「間隙配

合 / 餘隙配合」,如果要讓軸插入孔之後固定,則使用「過盈配合」,如果是上述兩者之間的基準,則使用「過渡配合」。

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測量儀的基礎知識

類比與數位

近年來,測量儀器持續朝向數位化發展。例如,帶有數位計數器的游標 類比式 數位式


卡尺及分厘卡。過去若要正確讀取游標卡尺的副尺刻度,需要經過練習,

但數位式游標卡尺可以瞬間顯示 1/100 單位的數字。


游標卡尺 游標卡尺
然而,數位式測量儀器也有它的缺點。當數位式測量儀器的數值超過精

度範圍時,只要操作時的力量稍有增減,其數值顯示就會快速跳動改變。

特別是可以測量到 1/1000 單位的測量儀器,依據量測目標而定,有可能


分厘卡 分厘卡
會因為量測值不能穩定下來,導致無法確定應該選擇哪個數值。

此外,依據作業內容而定,有時候使用類比式測量儀器更容易直覺地掌

握尺寸。因此,應依據用途與所需的精度,分別使用適合的類比與數位

測量儀器。

計量可追溯性

為保證食品安全,近年來持續強化生產履歷體制,以追蹤從原料的栽培、運送、加工、包裝到出貨的過程。這稱為「食品的可追溯性(履歷管理)
」。

另一方面,在量測領域中,也開始重視可追溯性的思考方式。此思考方式稱為「計量可追溯性」,它能證明日常進行的量測皆在公差內。

10
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測量儀的基礎知識

國際標準化持續進行中

計量可追溯性目前已納入國際度量衡委員會(CIPM)等國際研究機關訂定的「國際標準」以及各國研究機關訂定的「各國標準」。隨著經濟全球化

的腳步,要求符合計量可追溯性的情況也逐漸增加。

國際度量衡委員會之下設有研究組織「國際度量衡局」(BIPM),從事有關國際單位系統(SI)的相關基礎研究。

在製造業邁向全球化的過程中,符合國際標準是必要的。為了讓尺寸量測結果在世界任何地方都能獲得一致的認同,透過國際相互承認而形成的

計量可追溯性是不可或缺的。

11
執行量測的環境
不同的環境會對量測造成很大的影響,例如溫度變化可能造成物質變形、空氣中的塵埃可能導致測量儀器的不

穩定性。以下為您介紹執行量測時應注意的環境問題。

室溫

為了進行高可靠度的量測,必須注意執行量測的場地環境。對於執行量
量測室
測場所而言,溫度與清淨度特別重要。在溫度及濕度方面,ISO 標準環
20°C 室溫
境將其定位「溫度 20°C」。
50% 濕度
依據溫度的不同,加工材料會因為溫度變化而產生熱膨脹,因此需要進
行精密量測的房間,必須嚴格管理室溫。有些機械加工業者以 0.1°C 為
單位,進行嚴格的室溫管理。

精密量測需要溫度管理

清淨度

室內的清淨度也是執行精密測量的重要條件。空氣中的塵埃有可能進入 生產現場 量測室


測量儀器的內部,造成可動部的磨耗。而且,量測目標物與測量儀器之
間如果夾有塵埃,可能會造成不穩定性的誤差。 A
生產現場可發現的塵埃種類,包括加工所產生的沙粒或金屬粉、從作業
服掉落的纖維,以及人的毛髮等。上述塵埃有可能造成次微米以上的誤 B D
差,因此必須從日常開始努力營造潔淨的環境。

A: 灰塵 B: 油 C: 加工粉末 D: 清淨的環境

12
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執行量測的環境

溫度與量測

物體的體積會因為熱膨脹而改變,而長度也會因為溫度變動而改變。因此,即使是相同規格的物體,量測時的溫度如有不同,長度也可能不同。

此外,如下表所示,熱膨脹的比率依據材質而有不同。

材質與熱膨脹係數範例

材質 熱膨脹係數 ×10-6

鋁 23

黃銅 17.5

聚乙烯 100 至 200

量測物體長度時,必須考量溫度條件。國際標準組織已將量測時的「標準
量測室
溫度」定為 20°C。 20°C 室溫

將量測目標物從室溫不同的房間攜帶至另一個房間時,溫度不會急劇變

化,因此一般需靜置一小時以上,使溫度達到平衡。此外,量測時的溫

度如果不是 20°C,必須計算誤差並予以校正。

除了量測目標物之外,測量儀器也會產生熱膨脹,因此兩者皆必須維持
量測目標物 測量器
標準溫度。

必須使溫度達到平衡

物質的剛性

從外對物體施力時,抵抗變形的特性成為「剛性」。另外,當外力消失而

物體恢復原狀,這稱為「彈性變形」。而外力與彈性變形的比率稱為「楊

氏係數」。

分厘卡
材質與楊氏係數範例

材質 楊氏係數(×1010 N/m2)

鋁 7.03 楊氏係數較低的物體,
黃銅 10.06
如果過於壓緊將會變形
聚乙烯 0.04 至 0.13

我們知道,楊氏係數越低,剛性越低,也比較容易變形。例如,以分厘卡量測楊氏係數較低的物體時,如果將螺絲旋得過緊,可能會導致變形而

無法正確量測。

13
測量儀導覽
執行量測的環境

量測值的確認

有關如何確認量測值,這並非很簡單的事。量測值並非真正的值,其中
200 mm
必定有誤差,因此難以評價其可靠性。過去評價可靠性時,是以真實值

為基準,並綜合評價量測值的偏差(系統誤差)與不一致(偶然誤差)。

但是,真實值難以求得,導致量測值的確認也無法達到完全一致,因此
• 不確定度 ±0.01 mm
創造出以統計學觀點來判斷量測結果可靠性的方法。這就是所謂「不確定 • 可靠度 95%
度」的思考方法。透過統計處理來推測誤差,然後算出真實值落在哪個範

圍內。 真實值具備 95%的可靠度,


例如,經過加工的金屬棒長度的量測值為 200 mm,不確定度為 ±0.01 mm, 處於 199.99 至 200.01 mm 之間
則會標記為可靠度 95%。在此情況下,真實值為 95%的可靠度,表示其

落在 199.99 至 200.01 mm 的範圍內。

此方法已獲得國際標準組織(ISO)等國際規格所採用。

校正與定期檢查

校正的意義

校正是指利用標準器來取得測量儀器顯示的數值與真實數值之間的關係。
檢查 校正
利用標準器進行校正,可確保測量儀器的可靠性。

基本上,實施校正的時機為,使用測量儀器之前和之後各執行一次校正。 • 使用前
若要持續使用測量儀器並定期進行校正,應預先決定校正週期,並依據 • 使用後
週期進行校正,這稱為「校正週期」。 週期的決定需以廠商的建議為基準,

並依據測量儀器的使用頻率進行判斷。

可靠量測的基礎

14
測量儀導覽
執行量測的環境

基於 ISO9001 的測量儀器管理

近年來,只是徹底管理測量儀器已不足夠,還必須以系統來進行管理,並取得客觀的認證。其背景為,工業產品也必須證明其具備國際基準所認

定的可靠規格。具體而言,透過取得 ISO9001 認證以管理測量儀器的做法已相當普及。此外,為了統整公司內部的管理體制,應以 ISO9001 為基

礎訂定「測量儀器管理規定」,適當且正確地執行測量儀器的管理。

目前,各企業都被要求支援計量可追溯性,因為必須向客戶證明量測的可靠性,因此無論規模大小,各企業的生產現場大多已採用基於 ISO9001

的校正。

校正方法

校正有許多實施的方法。可依據公司內部的情況,選擇最適合的方法。

校正的種類 概要

公司內部校正 在公司內部指派校正者,決定校正週期與校正基準,然後實施校正。(例如:游標卡尺,分厘卡等)

公司外部校正
將測量儀器送交至校正業者,委託進行校正。(例如:塊規、千分錶等)
(交付廠商校正)

到府校正 委託校正業者派遣專業校正人員,前來公司內部實施校正。(例如:投影機、三次元測量儀等)

定期檢查與器差

測量儀器與其他儀器相同,持續使用會導致齒輪等零件磨耗,量測面也會磨損。如此可能會無法維持原本應有的精度。

測量儀器具備的精度稱為「器差」。器差會對量測值的不一致產生影響,因此必須透過定期檢查(定期校正),確認儀器有無問題。

15
測量儀的種類及特點
依據量測的部位與準確度、使用時的便利性等,選擇符合用途的測量儀器極其重要。以下為您介紹測量儀器的

概要、特點及結構。

游標卡尺 / 高度規(深度計)

概要

游標卡尺是可量測長度(外形)、內徑或段差等的測量儀。使用簡單並可進行精度相對較高的量測,因此在生產作業現場相當普及。近來看到數位

式游標卡尺的機會逐漸增加。

一般使用的游標卡尺稱為 M 型游標卡尺,而量測較大物體的則有 BC 型游標卡尺。

結構與用途

• 量測長度(外形):將量測目標物夾在外測定面之間,然後讀取主尺與副尺的數值。

• 量測內徑:將內測定面插入量測目標物之間,將內測定面向外張開直到無間隙為止。

• 量測段差:利用深度桿或主副尺的高低差,插入孔洞或段差進行量測。

16
測量儀導覽
測量儀的種類及特點

游標卡尺的主要使用方法

1. 量測時握住主尺部分,拇指推動滑桿,以外測定面的兩端夾住目標物。此時如果過於用力推壓滑桿,外測定面會傾斜而無法正確量測。此外,

量測圓桶形時,需以外測定面的平行面確實夾住目標物。

2. 讀取數值時,需結合游標卡尺的主尺刻度與副尺刻度。一般的副尺刻度為主尺刻度的 20 分之一,因此可量測到 0.05 mm 單位。

3. 從左邊開始檢視副尺,讀取與主尺刻度重疊的位置。

使用時的注意事項

• 量測時,若對滑桿過度施力,可能會導致外測定面歪斜,產生誤差。

• 在刻度為零的狀態下,正常的外測定面接合處不會有漏光的情形。

• 特別是內測定面尖端與深度桿,如果使用時過於粗暴,可能會造成變形,必須特別注意。

• 建議定期確認量測精度是否正確。以塊規進行量測是簡單且便利的方法。

• 游標卡尺、高度規及深度計的校正週期為 6 個月至 2 年。

高度規與深度計

高度規及深度計可說是游標卡尺的同類儀器。高度規搭配千分錶即可量

測高度。另一方面,深度計可用於量測段差。

高度規 深度計

分厘卡

概要

將目標物夾住即可量測大小的工具。依據機型而定,有些機型能以 1 µm 為單位進行量測。不同於游標卡尺,由於它以「阿貝原理」為準,因此可

進行更準確地量測。

一般提到分厘卡,大多是指外徑分厘卡。另外,依據量測用途而定,還有內徑分厘卡、3 點式內徑分厘卡、棒型分厘卡、深度分厘卡等各種類型。

此外,依據儀器框架的大小而定,其可量測範圍可能為 0 至 25 mm、25 至 50 mm 等,以 25 mm 為一個級距,必須使用符合目標物的儀器進行

量測。另外,近來數位式分厘卡也日漸普及。

* 阿貝原理

阿貝原理是指「為提高量測精度,量測目標物與測量儀器的刻度必須與量測方向位於同一條線上」。以分厘卡而言,其刻度與量測的位置位於同一

線上,符合阿貝原理,因此可稱其量測精度較高。

17
測量儀導覽
測量儀的種類及特點

結構與用途

A C
B D

G H

I
E
F

A: 鐵砧 B: 測微螺桿 C: 夾鉗 D: 套筒
E: 框架 F: 防熱板 G: 基準線 H: 嵌環 I: 微調旋鈕

• 將目標物放置於鐵砧與測微螺桿之間,旋轉嵌環使兩端向中間靠緊。

分厘卡的主要使用方法

1. 量測前,用布將鐵砧與測微螺桿的接觸面擦乾淨。藉此可去除鐵砧與測微螺桿的髒污與塵埃,以達到正確的量測。

2. 分厘卡的手持方法是以左手拇指與食指夾住框架的防熱板部分,並以右手拇指與食指捏住嵌環。

3. 將目標物放置於鐵砧與測微螺桿之間,旋轉微調旋鈕直到開始空轉時,即可讀取量測數值。

4. 此時必須讀取套筒上的主要刻度以及嵌環上的刻度。以套筒右側的線條讀取以 0.5 mm 為單位的數值,然後利用與嵌環的中央線(基準線)對齊

的刻度讀取以 0.01 mm 單位的數值。

嵌環的刻度為
「0.15」

嵌環的刻度超過
「12.0 mm」 12.0+0.15=12.15 mm

使用時的注意事項

• 校正分厘卡時,可使用塊規或專用的量規。此外,為了正確量測,必須確保鐵砧表面維持平行。進行多次量測之後,鐵砧表面可能會因為磨損

或髒污而未能保持平行。因此,應定期使用所謂的光學平面,透過呈現出來的牛頓環確認是否平行。
• 量測金屬目標物或使用塊規進行校正時,需注意熱膨脹。金屬應盡可能勿以徒手拿取,或可使用不導熱的精密作業用手套拿取。

• 分厘卡的校正週期為 3 個月至 1 年。

18
測量儀導覽
測量儀的種類及特點

投影機

概要

投影機是一種光學測量儀,量測原理類似光學顯微鏡。其運作方式是將目標物放置於載物台,從下方投射光線,使目標物的輪廓投影於螢幕上。

採用遠心光學系統,可進行正確的量測。

其最初的開發目的是檢查目標物的輪廓,後來推出具有量測功能的產品。有些大型投影機的螢幕直徑超過 1 m。

此種裝置的優點包括以下各點。
• 能以非接觸的方式量測目標物。

• 可量測形狀較小或形狀複雜的目標物。

• 不同於工具顯微鏡,無需透過目鏡進行觀察,而且可讓多數人同時觀察。

可用於檢查及量測電子零件或精密零件等廣泛的用途。過去需要較多時間來找出目標物的原點及進行定位。

結構與用途

投影螢幕

投影鏡頭
可動載物台

載物台移動把手
(XY 把手)

投影機的主要使用方法

1. 將目標物放置於載物台上。

2. 將量尺對準放大投影於螢幕上的影像以量測尺寸。亦可同時使用 XY 載物台,透過移動量來量測尺寸。

3. 依據投影機的不同,有些投影機採用稱為「目標夾取式」刻度。它以 2 條讀取線之間的刻度來量測長度。

使用時的注意事項

• 投影機的校正週期為 6 個月至 3 年。

19
測量儀導覽
測量儀的種類及特點

工具顯微鏡

概要

結合光學顯微鏡與精密可動檯面,以進行目標物量測的裝置。與投影機同樣採用遠心光學系統,可進行正確的量測。而且,此為非接觸氏量測,

因此無需擔心對目標物造成損傷。

依據用途而定,包括工具顯微鏡、工廠用工具顯微鏡、萬能工具顯微鏡等。其各自的特點如下。

• 工具顯微鏡:為第一種量測用顯微鏡,用於工具的量測。

• 工業顯微鏡:適用於小尺寸的加工零件等的量測。

• 萬能工具顯微鏡:應用範圍比工具顯微鏡更廣泛,可量測較大的目標物。

結構與用途

量測資料顯示部

物鏡
可動載物台

載物台移動把手
(XY 把手)

工具顯微鏡的主要使用方法

1. 將目標物設置於載物台上。

2. 與一般光學顯微鏡相同,以穿透光或反射光照射目標物,將陰影的邊界對準基準線以進行量測。依據目標物使用不同的照明(背光照明、同軸落

射照明等)。

3. 量測值可輸出做為各種 CAD 資料使用。

使用時的注意事項

• 與使用一般顯微鏡相同,需要在無塵的環境中使用。此外,設置台必須無振動或傾斜。

• 使用後需蓋上防塵罩以防止灰塵堆積。

• 工具顯微鏡的校正週期為 1 至 3 年。

最新的工具顯微鏡

近年出現無需移動 XY 載物台或對焦,即可瞬間量測尺寸的機型,可在短時間內量測多個目標物。

20
測量儀導覽
測量儀的種類及特點

CNC 影像尺寸測量儀

概要

與投影機及工具顯微鏡同樣是利用影像進行量測的非接觸式裝置。

CNC 是 Computer Numerical Control 的縮寫,意思是「電腦數值控制」,它以影像處理技術為基礎,可進行高速且高精度的自動量測。隨著生產現

場朝向工廠自動化邁進,CNC 技術也獲得長足的發展。

除了高精度的量測之外,在生產線用於確認零件品質方面也非常受到重視。最近的機型利用高精度的 CCD,可透過彩色影像進行觀察。此外,藉

由軟體的進步,除了可進行多種邊緣檢測之外,亦可支援複雜的演算。

結構與用途

CCD CAMERA

量測物設置載物台

控制盤

CNC 影像尺寸測量儀的主要使用方法

1. 預先將目標物放置於量測室 5 小時以上,使其溫度達到室溫(一般為 20°C),預防因熱膨脹造成誤差。

2. 將目標物設置於載物台,進行影像讀取及邊緣檢測。

3. 還有能夠透過輔助使用雷射光及接觸式探頭進行量測的機型。

4. 量測值可輸出做為各種 CAD 資料使用。

使用時的注意事項

• 必須定期使用校正片,確認自動對焦等功能的精度。

21
測量儀導覽
測量儀的種類及特點

輪廓形狀測量儀

概要

使用探針在目標物表面上滑動,以量測及記錄其輪廓形狀的裝置。有些機型亦可做為表面粗糙度儀使用。CNC 控制的機型可量測角度、圓弧的半

徑、段差、螺絲的節距等。適用於量測螺紋形狀或微米級薄膜等細微的形狀。

近年來,有些機型以雷射取代觸針,能以非接觸的方式探測輪廓以量測複雜的形狀。此外,依據機型而定,有些機型能以上下兩面進行量測。

主要在首件開發時,用於確認其規格是否與設計圖相符。另外,亦可運用於逆向工程。

結構與用途

驅動部

探針 檢測器

量測台

輪廓形狀測量儀的主要使用方法

1. 將觸針安裝至本體。

2. 依據定位、原點設定等操作步驟進行量測。

3. 使用 Y 軸置物台或旋轉置物台等夾具,即可進行自動化量測。

4. 測量資料可轉換為各種 CAD 資料使用。

使用時的注意事項

• 必須選擇符合目標物形狀與量測目的的探針。

• 雷射式機型特別需要無塵的量測環境。

• 為了以高精度進行量測,必須使用夾具等,在測量儀上進行準確的定位。

• 使用前必須進行校正。使用專用的套件進行校正。

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測量儀導覽
測量儀的種類及特點

三次元測量儀

概要

過去,若要使用投影機或工具顯微鏡以目視方式進行量測,不僅需要熟悉操作方法,而且量測作業較為耗時。

相對於此,三次元測量儀是利用線性滑軌和影像處理技術,以量測目標物的長寬高的裝置。此外,不僅可自動量測目標物及記錄量測資料,也能

透過各種演算以計算出特殊的值。

在機型方面,接觸式探測頭來量測 / 接觸,以及運用雷射等等非接觸式。其中也包括適用於汽車產業,可量測 10 m 以上之目標物的機型。

其用途則包括量測汽車零件模具、機械零件類的立體物等目標物與圖面之間差異等。近來由於用 3D 列印製作首件的狀況逐漸普及,因此也出現利

用三次元測量儀來確認尺寸。

結構與用途

移動橋

觸發器探頭

載物台 控制部

三次元測量儀的主要使用方法

1. 預先將目標物放置於量測室 5 小時以上,使其溫度達到室溫(一般為 20°C),預防因熱膨脹造成誤差。

2. 依據儀器的操作步驟進行量測。

3. 將量測取得的資料匯入電腦,即可運用做為 3D-CAD 等的資料。

使用時的注意事項

• 部分機型可量測到 0.1 µm 的精度,但若要達到目標量測精度,需要正確的使用與管理。

• 使用時必須確認可動部是否可平行及垂直作動。此外,需使用標準器等,確認沒有讀數誤差。

• 要進行正確的量測,必須讓目標物達到與量測室相同的溫度。或者,可設定量測參數以進行校正。

• 使用接觸式探頭進行量測時,要使探頭接觸目標物的速度一致,這為重要量測要素。

• 三次元測量儀的校正週期為 6 個月至 2 年。

23
測量儀導覽
測量儀的種類及特點

粗糙度儀

概要

又稱為「表面粗糙度儀」,可量測目標物表面平滑度(凹凸的程度)
。主要有觸針式與雷射式。過去一般機型皆採用鑽石做為觸針,但在量測半導體

等的表面時,可能會造成表面損傷,因此目前光學型的產品較為普及。除了量測平面之外,也有能量測曲面的機型,最近更出現能依據表面的量

測資料,顯示出三次元影像的產品。

在用途方面,例如可確認金屬表面的磨損狀況或切削面的狀況,以及在塗裝時確認完成的狀態等。在電子零件薄膜加工不斷發展的過程中,部分

機型還能以奈米級的精度進行量測。

結構與用途

上下支架

驅動部

探針(檢測器)

工作台

• 觸針式機型一般使用尖端半徑 2 µm 的觸針。但是,依據不同的精密加工品而定,可檢討是否要採用 0.1 至 0.5 µm 等級的探針。依據使用的觸

針而定,量測值可能會出現不一致的情形,必須做好事前確認的工作。

粗糙度儀的主要使用方法

1. 接觸式機型的觸針會在目標物的表面上滑動,以量測表面的粗糙度。另一方面,雷射非接觸式則以雷射照射目標物,藉由檢測反射光來量測粗

糙度。

2. 量測時必須注意量測方向。以金屬加工品為例,為確實掌握凹凸的特徵,基本上是與加工方向成直角進行量測。

3. 為了正確量測,決定量測速度非常重要。首先從低速開始嘗試,然後在量測值不會大幅波動的速度範圍內進行量測。

使用時的注意事項

• 為了正確進行量測,必須定期校正。

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測量儀的選擇方法
針對在學習測量儀器的特點與注意要點之後,仍不確定選擇哪款測量儀器者。為您介紹依據目標物、成本等各

種項目來選擇測量儀器的方法。

依據目標物選擇

尺寸 形狀

透明?
材質
非透明?
選擇符合目標物
條件的測量儀

形狀簡單或複雜

長方體、圓形物等目標物的形狀越是簡單,就越容易量測尺寸。而且,除了可使用直尺、捲尺之外,也能使用游標卡尺、分厘卡等各種測量儀器

進行量測。量測高度時,可使用高度規,或搭配使用千分錶。

相對於此,多角形、星形等形狀複雜的目標物尺寸較不容易量測,可使用的測量儀器也比較有限。在量測複雜形狀的尺寸時,特別能發揮強大功

能的是投影機及影像尺寸測量儀。近來也出現只需將目標物放置在載物台,即可瞬間量測出複雜形狀尺寸的機型。

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測量儀導覽
測量儀的選擇方法

材質堅硬或柔軟?

以游標卡尺或分厘卡的量測部夾住金屬和陶瓷等硬度較高的目標物時,這類目標物較不易變形,各種測量儀器皆很容易進行量測。

另一方面,以測量儀器夾住合成樹脂等柔軟的目標物時,較容易產生變形,因此較不容易量測。此時應使用非接觸型的測量儀。例如,影像測量

儀利能以非接觸方式量測外形尺寸,非常便利。

依據尺寸的大小選擇

使用工具顯微鏡能有效量測次微米之類的極小目標物。其原理與顯微鏡相同,可進行非接觸性的量測,無需擔心對目標物造成損傷。

另一方面,汽車等達到數公尺的目標物,可使用長尺進行簡易的測量。另外,大型 CNC 三次元測量儀可在進行精密測量時發揮功能。

依據透明或非透明選擇

非透明的目標物可利用各種測量儀器進行量測。但是,若要量測透明薄膜的厚度等,光的穿透率較高的目標物,則需要較多的工時。有些分厘卡

等接觸式的儀器也能量測透明物,但不適合準確量測如薄膜這類柔軟的物體。在這方面,雷射位移計等利用雷射光的測量儀,則能以非接觸的方

式準確量測。 點此了解

依據刻度單位選擇

依據量測精度選擇

1 mm 直尺、捲尺

0.1 mm 游標卡尺、高度規

0.01 mm 分厘卡

0.001 mm 指示分厘卡、影像尺寸測量儀

0.0001 mm

1 mm 單位

刻度以 1 mm 為單位進行量測的工具中,最常用的就是直尺。製造現場會使用鋼製或玻璃製的直尺。另外,捲尺也很常見,工廠的技術人員幾乎

無不例外,人人都會帶著捲尺。

在金屬加工等生產作業現場,也會經常看到塊規。塊規是以鋼鐵材質製成的長方體,可提供 0.1 µm 的尺寸及平行度精度保證,對於量測加工物的

尺寸而言極為重要。組合多個塊規即可量測各種長度,也是其優點之一。

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測量儀導覽
測量儀的選擇方法

0.1 mm 單位

若要進行以 0.1 mm 為單位的量測,一般會使用的是游標卡尺。其最小刻度為 0.02 mm 或 0.05 mm。此外,量測高度時,可使用高度規。

0.01 mm 單位

若要進行以 0.01 mm 為單位的量測,經常使用的是分厘卡。它以所謂的阿貝原理為基礎,因此可進行高精度的量測。此外,也會經常使用千分

錶。另外,投影機可正確量測多個量測點。

0.001 mm 單位

若要以微米為單位進行量測,可使用指示分厘卡。最近一般比較常見的是以數位顯示量測值的機型。量測時必須要注意塵埃的附著。

此外,使用數位測量儀,不是熟練者也能進行微米單位的量測。

0.0001 mm 單位

分厘卡等機械式測量儀器能夠量測到 1 µm,但不容易量測到次微米單位。可使用雷射式的長度測量儀或數位分厘卡、非接觸式測量儀等。另外,

最近也出現了影像尺寸量測等技術,可輕鬆進行高精度的量測。

為了更準確地量測,量測環境非常重要,例如在 20°C 恆溫狀態的量測室中進行量測。

依據成本選擇

低成本的量測工具有直尺及捲尺等,可說是生產現場的必要工具。 另外, 高價

游標卡尺也是成本較低的測量儀器,可在進行以 0.1 mm 為單位的量測。

千分錶及高度規的成本稍高,可進行以 0.01 mm 為單位的量測。 CNC 影像尺寸測量儀


分厘卡的價格範圍較廣,可依據量測目的及精度來選擇及使用。
影像尺寸測量儀
近來有許多用於精密量測的數位式測量儀,另外還有價格較高的影像尺
分厘卡
寸測量儀及 CNC 影像尺寸測量儀。 雖然統稱為測量儀器,但涵蓋低價到
游標卡尺、千分錶、高度規
高價的各種產品,必須依據量測的目標物、用途及精度等,選擇適合的
直尺、捲尺
產品。

低價

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測量儀導覽
測量儀的選擇方法

依據量測環境選擇

製造現場 量測室

辦公室

製造現場

經常可在金屬加工等生產作業現場看到的有游標卡尺、分厘卡及塊規等。塊規是以鋼鐵材質製成的長方體,可提供 0.1 µm 的尺寸及平行度精度保

證,對於量測加工物的尺寸而言極為重要。組合多個塊規即可量測各種長度,也是其優點之一。

製造現場通常會有塵埃、油及加工碎屑,測量儀器可能會髒污或損傷而產生誤差。日常必須注意做好清潔工作。

量測室

若要進行以 0.01 mm 為單位的量測,經常使用的是分厘卡。它以所謂的阿貝原理為基礎,因此可進行高精度的量測。此外,也會經常使用千分

錶。進行以次微米為單位的量測時,會使用雷射式的長度測量儀或影像尺寸測量儀等,可輕鬆進行高精度的量測。

量測室通常會進行室溫管理,但目標物如果是金屬時,則有發生熱膨脹的可能。為進行精密的量測,必須注意要讓目標物達到室溫,以及不以徒
手握持等。

辦公室

相較於製造現場,辦公室的污染等風險較低,但在此類環境下難以實現在量測室進行的精密量測。此外,由於可能會有多人進行量測,一旦測量

儀器的管理鬆懈,存在無法實現正確量測的風險。因此,必須事先規定儀器的管理者與管理標準。

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測量儀導覽
測量儀的選擇方法

依據用途選擇

長度的量測

在製造現場量測長度時,一般會使用直尺、捲尺或塊規進行量測。長達數公尺的目標物,則可使用長尺。若要進行更精密的量測,可使用游標卡

尺、千分錶或分厘卡等。

角度的量測

進行以度為單位的量測時,半圓量角器可發揮作用。若要以分為單位進行量測,可使用測角儀或投影機。若要更進一步以秒為單位,則有名為正

弦規的測量儀器。此外,利用量角儀與自動準直儀,即可進行以秒為單位的量測。

用於確認直角度的工具有直角定規及直角度測量儀。

孔徑的量測

游標卡尺非常適合用於量測物體的孔徑。此外,也有專用的內徑測量儀。

若要量測直徑較大的輪狀目標物,可使用棒狀的分厘卡、缸徑規、小徑測量儀、塞規。若要進行更精密的量測,可使用數位分厘卡或空氣分厘卡。

需要進行光學精密量測時,可使用投影機、工業顯微鏡及影像尺寸測量儀等。

座標的量測

若要量測工件上的孔洞位置等座標,可使用偏心游標卡尺、孔洞螺距規、

高度規、針規。

需要進行光學精密量測時,可使用投影機、工業顯微鏡、二次元或三次元

測量儀,以及影像尺寸測量儀等。若要進行半導體等的超精密量測,可使

用光波干涉標準測量儀。

29
測量儀導覽
測量儀的選擇方法

依據量測速度選擇

以手動作業方式確實量測

游標卡尺及分厘卡雖然使用上較麻煩,但可確實進行量測。為了更正確地量測,必須進行多次的量測。若要量測多個目標物,由於較花費時間,

因此不太適合。

自動快速量測

使用影像尺寸測量儀,可瞬間量測複雜目標物的多個部位尺寸。無需進行多次量測,即使有多個目標物,也能自動快速地量測。

30
依據作業項目量測
在生產製程中,有許多作業需要進行量測。以下為您介紹在研究開發、試作評價等各種作業中進行量測時的重

點及注意事項。

研究開發

在研究開發領域中,有許多情況需要使用高精度的數位測量儀。有些測
R&D room
量儀器可量測到 10 nm 的高精度。但是,一味追求精度並不一定適當,

還是必須依據用途與所需的精度來選擇測量儀器。

使用時,應事先確認儀器的特性與功能,並依照正確的操作與管理方法 新人 老手

進行量測。

* 選擇測量儀的重點在於,即使具備高精度、
高功能,但任何人都很容易使用

使用的測量儀器範例

• 工具顯微鏡

• CNC 影像尺寸測量儀

• 輪廓形狀測量儀

• 三次元測量儀

• 粗糙度儀

• X 射線 CT

• 真圓度測量儀

31
測量儀導覽
依據作業項目量測

選擇測量儀器時的重點

• 必須假定開發的案件可能會有所改變,因此需事先確認儀器是否具有通用性。

• 由於經常要量測多個實驗樣本,因此能夠自動且快速量測的測量儀器將有助於量測作業。

• 以高精度的測量儀器而言,如果需要專業知識與技能,將無法很容易地進行量測。因此重點在於選擇容易操作的測量儀器,讓新手也能很容易

地進行量測。

量測作業的注意事項

• 在進行精密量測時,必須在恆溫室等溫度、濕度、清淨度皆達到一定標準的環境中進行。此外,如果難以執行溫度管理,則必須事先依據熱膨

脹係數算出誤差,然後求出標準溫度下的量測數值。
• 許多測量儀器的價格都非常高昂,因此必須謹慎使用及管理。必須事先決定負責管理儀器的人員、訂定操作步驟,並由全體使用者共同遵守。

必須在完成量測後,依照步驟進行儀器的清潔作業。

 另外,通常會有多位人員使用少數的測量儀器,因此一般必須事先預約。相關預約步驟也必須在導入儀器時做好決定。

首件開發的確認

測量儀器在首件開發時主要用途為量測及確認。一般而言,首件的數量

可能有數十件甚至數百件,因此必須能正確有效地量測,並且讓專案成

員都能共享量測資料。

量測尺寸時,經常會使用游標卡尺或分厘卡。但是,由於近年來經常需

要精密的量測,因此會使用工具顯微鏡、表面粗糙度儀、輪廓形狀測量

儀、三次元測量儀等。此外,不僅量測趨向於高精度,對於支援複雜化

形狀量測的需求也逐漸升高。

在首件開發的過程中,需決定量產時的檢查項目以及檢查的點數。因此,
* 人數少也能有效進行正確量測的儀器較為理想
將首件開發時使用的測量儀器用於量產時的檢查,將可減少誤差產生。

使用的測量儀器範例

• 游標卡尺

• 分厘卡

• 工具顯微鏡

• 粗糙度儀

• CNC 影像尺寸測量儀

• 輪廓形狀測量儀

• 三次元測量儀

選擇測量儀器時的重點

• 由於首件的數量通常比較多,因此最好使用任何人都能快速簡單且正確測量的儀器。

• 由於經常會量測多種形狀複雜的零件,因此在量測時容易設定的測量儀器較為便利。

• 選擇測量儀器時,重點在於必須考慮量產時的檢查作業,並選擇容易導入生產線的測量儀器。

32
測量儀導覽
依據作業項目量測

量測作業的注意事項

• 在試作評價中,通常會有多人進行多項試作品的評價,因此適當管理測量儀器是很重要的。

• 如果加工機器的現場與進行試作評價的現場位於不同的地點,在各自現場進行尺寸量測時,可能會因為溫度等環境差異而產生誤差。必須預先

考慮量產的情況,使量測條件達到一致。

驗收檢查

在進行產品的加工與組裝時,需針對向外採購的材料與零件實施驗收檢
組裝生產線
查。依據全數檢查或抽樣檢查而定,所需的作業與時間有很大的不同,
進貨檢查
因此使用的測量儀器也會不同。

一般而言,依據進貨商品隨附的品質保證書或圖面,進行必要項目的量

測。如此可找出不符合公差標準的零件,以避免流入組裝生產線。如果
零件
混入不符合公差標準的零件,可能全數零件都需要再進行檢查。或者,
零件
直接出貨可能會發生客訴情形。因此在驗收檢查時進行量測是很重要的。 零件

* 不讓不符合公差標準的零件進入生產線是重要的使命
使用的測量儀器範例

• 角尺

• 游標卡尺

• 分厘卡

• 塊規

• 工具顯微鏡

• 三次元測量儀

選擇測量儀器時的重點

• 進貨的零件必須立即進行組裝,則必須快速進行檢查。因此,需要能夠快速且正確量測多個量測點的儀器。

• 由於進貨的零件包含各種類型,因此在量測時容易設定的儀器較為便利。

量測作業的注意事項

• 為了作業效率及測量儀器的品質管理,必須明確規定存放場所與管理者。

• 如有多位操作者進行量測,必須推動量測方法的標準化。例如,使用游標卡尺或分厘卡量測時,必須注意應以相同的觸壓進行量測。

• 外部供貨方進行的檢查,有可能與公司驗收檢查的數值出現差異。此時,不僅要將公司內部的量測方法進行標準化,還必須要求外部供貨方也

採用同樣的量測方法。可視情況製作分層散佈圖等統計資料,以明確掌握測量儀器、量測者、外部供貨方的量測值差異,同時分享量測資訊以

檢討改善量測方法。

33
測量儀導覽
依據作業項目量測

製程內檢查 / 首件件測 / 抽樣檢查

在生產現場中,為了確保製程內所有產品皆符合規格,進行正確的量測
製程內檢查 後續工程
是很重要的。

近年來由於行動電子裝置及運輸機的製造持續增加,對於高精度機械加 • 確實設定測量儀的量測條件
• 容易操作的機型
工的要求也年年持續升高。依據產品而定,有些產品要求的精度比過去
• 確實做好檢查等管理工作
高一位數,因此必須重新調整相關的檢查準備工作。

在製程中,必須按照規定的規格,生產同一品質的產品。因此,在進行

檢查時,除了應確實設定測量儀器的量測條件,還必須確實整頓量測環

境,以確保在生產線運作時能正確進行量測。 * 製程內檢查的迅速化是提升效率的關鍵

使用的測量儀器範例

• 游標卡尺

• 分厘卡

• 千分錶

• 塊規

• 專用夾具

選擇測量儀器時的重點

• 為了讓現場的操作員能夠正確且充分使用,應選擇容易操作的儀器。

• 檢查如果過於耗時,會對生產線的運作造成影響,導致生產力降低,因此重點在於選擇可快速且正確進行量測的儀器。

量測作業的注意事項

• 在量產的作業現場,可以事先製作專用的夾具。如需長期使用,也必須注意因夾具磨損、髒污等造成的誤差。除了進行定期檢查之外,還必須

事先決定管理方法。
• 使用塊規時,若以徒手觸摸會造成熱膨脹或髒污而產生影響,因此戴上手套進行相關作業。此外,塊規無法立即進入溫度平衡狀態,因此需要

一些時間使其恢復至室溫。
• 製程內的量測資料不僅可用於品質檢查,還可以做為統計資料運用,除了可明確發現不一致的量測值之外,也可成為探究問題的契機。

34
測量儀導覽
依據作業項目量測

出貨前檢查

進行出貨前檢查時,必須在有限的時間中,快速確認尺寸是否符合規格。
出貨前檢查

出貨

產品

誰都能以相同的標準進行量測

* 產品是否符合客戶要求的精度?

使用的測量儀器範例

• 游標卡尺

• 分厘卡

• 塊規

• CNC 影像尺寸測量儀

• 三次元測量儀

選擇測量儀器時的重點

• 必須詳細了解客戶要求的精度,然後選擇測量儀器。

• 選擇誰都能簡單地使用且耐久性較佳的儀器。

量測作業的注意事項

• 進行金屬零件等出貨前檢查時,在有限的量測時間中,可能會使用容易量測的游標卡尺。必須事先詳細了解客戶要求的精度,以避免出貨後造

成問題。
• 進行出貨前檢查時,會頻繁使用測量儀器,因此必須做好儀器管理以避免精度降低。除了使用前的確認或使用後的清潔,也必須由單位部門訂

定規定,確實執行儀器的存放場所及攜出等相關規定。
• 使用游標卡尺時,如果因為時間不夠而匆忙進行量測,可能會在量測面處於傾斜狀態下進行量測,導致無法取得正確的尺寸。此外,分厘卡必

須從正上方讀取刻度,避免因為視差而讀取錯誤的數值。無論任何量測作業,皆必須熟悉正確的量測方法並徹底執行。

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