Capitulo 4 Sensores de reactancia variable y electromagnéticos La variaci6n de la reactancia de un componente 0 circuito ofrece alternativas de medida a las disponibles en sensores resistivos. Muchas de ellas no requieren contacto fisico con el sistema donde se va a medir, o bien tienen un efecto de carga minimo. En concreto, ofrecen soluciones mejores a las vistas en el capitulo 2 para la medida de desplazamientos lineales y angulares, en el caso de tratar con materiales ferromagnéticos, y para la medida de la humedad. En este tipo de sensores la falta de linealidad intrinseca en alguno de los prin- cipios de medida empleados se supera mediante el uso de sensores diferenciales. Tienen en cambio una limitacién en la maxima frecuencia de variacién admisible en la variable medida, pues debe ser inferior a la frecuencia de la tensién de ali- mentacion empleada, necesariamente alterna, Algunos sensores electromagnéticos son de hecho generadores, pero se han in- cluido aqui por la similitud entre su sefial de salida y la obtenida con algunos de los sensores de reactancia variable. 4.1 SENSORES CAPACITIVOS 4.1.1 Condensador variable Un condensador eléctrico consiste en dos conductores separados por un die- Iéctrico (sélido, Kquido 0 gaseoso), o el vacio. La relacién entre la carga, Q, y la diferencia de potencial, V, entre ellos viene descrita por su capacidad, C = Q/V. Esta capacidad depende de la disposicién geométrica de los conductores y del ma- terial, dieléctrico, dispuesto entre ellos, C = C (e, G). Por ejemplo, para un condensador formado por n placas planas paralelas igua- les, con drea A, distancia d entre cada par, y un material entre ellas con constante dieléctrica relativa ¢,, la capacidad aproximada es174 Sensores de reactancia variable y electromagnéticos A Cxme—(a-1) (1.1) donde & = 8,85 pF/m es la constante dieléctrica del vacfo. Asf pues, cualquier fenémeno o magnitud que produzca una variaci6n en €,, A © d, provocard un cambio en la capacidad C y, en principio, puede ser detectado mediante el dispositivo anterior, En general, cualquier cambio en el dieléctrico 0 en la geometrfa puede ser considerado para la deteccién del fenémeno que lo pro- voca, En el cuadro 4.1 se da la capacidad para diversas configuraciones de interés. Cuadro 4.1 Expresiones de la capacidad aproximada para diversas configuraciones simples de interés en sensores. Las dos ultimas configuraciones son cilindricas. 4 ae: Ge Aye a & Cuneglad 18 la anchura en direccién perpendicular al xe. an fy + & ha) Inter) In(1-d/aSensores capacitivos 175 En [1] pueden encontrarse las expresiones exactas para algunas de estas configu- raciones y sus variantes. Si, por ejemplo, se considera la permitividad relativa, ¢,, para el aire es précti- camente 1, mientras que para el agua varia entre 88 a 0°C y 55,33 a 100°C. La sus- titucién de aire por agua como dieléctrico producird un cambio apreciable, que se puede aplicar, por ejemplo, a la medida del nivel de agua en un depésito, 0 a la medida de humedad si se dispone un dieléctrico que absorba y desabsorba agua sin histéresis. En los materiales ferroeléctricos, por encima de la temperatura de Curie la constante dieléctrica es proporcional al reciproco de la temperatura, segiin (1.2) donde T es la temperatura actual, T, es la temperatura de Curie y k una constante. En este caso, es la variacién de temperatura lo que produce un cambio importante en la capacidad de un condensador que incorpore un material de este tipo. El empleo de un condensador variable como sensor est sujeto a una serie de limitaciones. En primer lugar, en la expresién de la capacidad se suelen despreciar los efectos de los bordes, y ello puede que no siempre sea aceptable. En un condensador plano con placas paralelas, los efectos de los bordes son despreciables si la separacién entre placas es mucho menor que la dimensién li- neal de éstas. En caso contrario, la ecuacién (1.1) debe sustituirse por una aproxi- macién mejor. Si se trata de dos placas rectangulares finas, con anchura a, longi- tud /y separaci6n d, una formula més correcta cuando a> 10 des yi ten (3) donde se ve que el error relativo decrece efectivamente al aumentar la relacién a/d. Un método para reducir el efecto de los bordes sin alterar las relaciones geo- métricas consiste en emplear guardas, tal como se indica en la figura 4.1. Consiste qu a a allan fe Figura 4.1 Empleo de guardas en condensadores para reducir el efecto de bordes.176 Sensores de reactancia variable y electromagnéticos en rodear uno de los dos electrodos del condensador con un anillo puesto al mismo potencial que dicho electrodo. Si el otro electrodo del condensador se mantiene a un potencial conocido, las I{neas de campo eléctrico en el centro que- dan delimitadas a una zona bien definida. El efecto de la separacién g entre la guarda y el electrodo, supuesta g < d/5, se puede tener en cuenta empleando como anchura (0 radio) efectivo del electrodo el real més g/2. En [20] hay factores de correccién mds precisos. Otra consideracién es el aislamiento entre placas, que debe ser alto y cons- tante. Si, por ejemplo, en caso de humedad variable aparecieran resistencias pard- sitas en paralelo con C por variar el aislamiento ofrecido por el dieléctrico, se ten- drfan variaciones en la impedancia del condensador no atribuibles a un cambio de capacidad. Si la medida es sensible sdlo al médulo de la impedancia, pero no a su fase, los errores pueden ser importantes. La conductividad es un problema a con- siderar en dieléctricos polares (que tienen momentos dipolares permanentes), pues suelen tenerla alta. Es el caso del agua, acetona y algunos alcoholes. La pre- sencia de una componente resistiva en la impedancia, significaré que hay una disi- pacién de potencia que puede producir interferencias térmicas. En cambio, los dieléctricos no polares, como los aceites y los distintos derivados del petréleo, sue- len tener una conductividad muy baja. Dado que sélo una de las dos superficies puede ponerse a tierra, las interferen- cias capacitivas son otra fuente de error a considerar. Segan la figura 4.2, si otro conductor préximo, por ejemplo de la red de distribucién eléctrica, est4 a un de- terminado potencial respecto a tierra, la placa que no esté conectada a tierra al- canzard también un potencial que segiin su frecuencia puede interferir en el cir- cuito hasta impedir la medida. Puede ser necesario apantallar cléctricamente esta placa y los cables conectados a ella respecto al entorno ajeno al sensor. Los cables de conexién son otra fuente de error. Al ser apantallados para evi- tar las interferencias capacitivas, afiaden una capacidad en paralelo con el conden- sador, por lo que se pierde sensibilidad pues la magnitud a medir hard ca s6lo la capacidad del sensor, que es ahora una parte de la capacidad total. Si ade- més hay movimiento relativo entre los conductores del cable y el dieléctrico, se tiene una fuente de error adicional que puede ser muy grave si las variaciones de geometria son importantes 0 si el dieléctrico del cable tiene propiedades piezo- eléctricas notables (apartado 63.1). Los sensores capacitivos no son lineales 0 no lineales en si mismos. dad depende del pardmetro que varia y de si se mide la impedancia o l cia del condensador. En un condensador plano, por ejemplo, con ¢, 0 A variable, Ia salida es lineal si se mide la admitancia (proporcional a C), pero es no lineal si varfa la separaci6n entre placas, de la forma C = eA/x o C = eAl(d + x). En este se- gundo caso, se tiene A e—4A_ d(1+a) (14) donde a = x/d. Si se deriva (1.4) para encontrar la sensibilidad, se obtieneSensores capacitivos 177 aC =A GO _ = Fae Get a (1-2a+3@-40 +...) (1.5) donde se ve que el sensor no es lineal pues la sensibilidad, lejos de ser constante, varia con.xy es tanto mayor cuanto menores sean d y x. Esta tiltima consideracion podrfa sugerir el empleo de condensadores con d muy pequefia, pero hay que te- ner en cuenta el limite impuesto por la tensién de ruptura dieléctrica, que para el aire es de 30 kV/cm. Para un sensor del tipo C = €A/x, la sensibilidad es dC _ eA a6) a , donde su dependencia de x y, por tanto, su no linealidad, queda manifiesta. Si en este condensador se afiade un dieléctrico entre placas, de la forma indicada en la figura 4.3, la capacidad respectiva de cada una de las partes es A Co=b £0 r (1.7) A C,=€9— (1.8) x La capacidad total ser4 la combinacién en serie de la capacidad de cada parte, de la forma OC, c= (9) C+Cy x o ¢ a Co Figura 4.2 Interferencias en un sensor ca- Figura 4.3 Disminucidn de la no linealidad pacitivo debidas a campos eléctricos proxi- de un sensor capacitivo de placas planas mos. paralelas mediante un dieléctrico adicional.178 —_Sensores de reactancia variable y electromagnéticos ee A A ae gg 4 (1.10) A A d+e,x . €, €9 — + & — d x Derivando (1.10) para tener la nueva sensibilidad, se obtiene MC eet A _ = (lat) dr d+exy sy" . +i d ~-S, [ 28% 43 (S)-«(S) -| (1.2) d d d d Comparando esta ecuacién con (1.6), se observa que el sistema es ahora més lineal. Por otra parte, la ecuacién (1.10) indica cudl seria el efecto de la presencia, quizés inadvertida, de un dieléctrico entre las placas de un condensador de este tipo. Una alternativa para tener una salida lineal en un sensor capacitivo plano ba- sado en una variacién de la distancia entre placas, es medir, en vez de su admitan- cia, su impedancia, 1.13 jot (1.13) El empleo de condensadores diferenciales, seguin se ver4, permite también ob- tener una salida lineal con el pardmetro que se detecta. Una dltima consideraci6n relativa a las limitaciones de los sensores capacitivos es su alta impedancia de salida. Si bien la impedancia decrece cuanto mayor sea Ia frecuencia de alimentacién, la impedancia de las capacidades pardsitas también decrece al aumentar la frecuencia. Una solucién es poner la electrénica de acon cionamiento de sefial cerca. Otra es emplear un transformador de impedancias. También se puede medir la corriente a través del condensador en vez de la ten- sién en bornes de éste, con lo que la exigencia de una impedancia de entrada alta desaparece, segiin se verd en el siguiente capitulo. Frente a las limitaciones anteriores, los sensores capacitivos presentan una se- tie de ventajas que los hacen atractivos en muchas aplicaciones. Por una parte, como sensores de desplazamiento tienen un error por carga mecénica minimo. Al no haber contacto mecdnico directo, como sucedia en el caso de los potenciéme- tros, no hay errores de friccién ni de histéresis y, ademés, no hay que hacer mucha fuerza para desplazar al elemento mévil. Si se considera que la energia, E, almace- nada en un condensador de capacidad C, esSensores capacitivos 179 + cv? (1.14) para un condensador plano, la fuerza necesaria para desplazar una placa (F = E/d) es del orden de 1 F=—-—y? 1.15 2 15) (1.16) que es una fuerza practicamente despreciable. Las placas pueden tener ademés poca masa, reduciéndose asf su inercia. Otra ventaja es que la estabilidad y la reproducibilidad son muy elevadas, pues al no depender C de las propiedades (conductividad) de las placas, no afectan en este sentido los cambios de temperatura, ni hay envejecimiento ni derivas temporales, La dilataciOn térmica de las placas, s{ que afecta. Si el dieléctrico es aire, e, varia poco con la temperatura. Para una temperatura absoluta T (K), una presin P (Pa) y una humedad relativa y (%), tenemos e, (aire) =1 ++ Pa (F--ooms)| (1.17) T P T donde P;, es la presién de vapor de saturaci6n para el agua a la temperatura T, T-273 log Py =7,45 Be TRB +2,78 (1.18) Para otros materiales los cambios térmicos de la permitividad pueden ser impor- tantes, pero su resistividad suele variar més, por lo que los sensores resistivos cabe considerarlos a priori como inferiores en este aspecto. La alta resolucién disponible en la medida de capacidades hace que se tenga también una resolucién muy alta en los sensores capacitivos, en particular para la medida de desplazamientos, pues se logra detectar cambios de hasta 10 pm. La utilizacién de técnicas de fotolitografia, frecuentes en la industria de los semicon- ductores, ha creado grandes perspectivas para este tipo de sensores. Por tiltimo, si bien se deben apantallar de campos eléctricos externos, segtin se ha dicho, los sensores capacitivos no producen campos magnéticos 0 eléctricos grandes. Esto es una ventaja frente a los sensores inductivos, que pueden producir campos magnéticos de dispersi6n intensos. En la figura 4.4 se muestran esquemdticamente algunas disposiciones de me-180 Sensores de reactancia variable y electromagnéticos Figura 4.4 Esquema del principio de funcionamiento de diversos sensores capacitivos basa- dos en u iacién de érea, de distancia entre placas y de dieléctrico. dida basadas tanto en una variaci6n de 4rea como en una variaci6n de la separa- cién o del dieléctrico, si bien esta tiltima no es tan frecuente debido a los proble- mas mecénicos de construccién y operacién. Para medir desplazamientos grandes y muy pequefios, se emplea la configuracién de distancia variable. Para desplaza- mientos intermedios, 1 a 10 cm, es mas habitual la de area variable. Para muchas de estas configuraciones hay variantes con placas miiltiples, que obedecen a (1.1). Cabe sefialar que en este caso, si por ejemplo el pardmetro va- riable es A, se aumenta la sensibilidad, pues dc=—< (n-1)aa (1.192) pero la sensibilidad relativa no cambia, dC dA = —— (1.196) c A enta- Los valores habituales de C estén entre 1 y 500 pF, y la frecuencia de ciGn suele ser superior a 10 kHz para reducir la impedancia de salida. Entre las aplicaciones més inmediatas de los sensores capacitivos, segin se de- duce de la figura 4.4, estén la medida de desplazamientos lineales y angulares, y los detectores de proximidad. Estos diltimos tienen un alcance superior al doble de los detectores inductivos, y se pueden aplicar no sélo a metales sino también a dieléctricos como papel, madera, vidrio y pléstico. Pueden detectar incluso a tra- vés de una pared o caja de cart6n. Los sensores capacitivos se pueden realizarSensores capacitives 181 bien por micromecanizado y se prestan a la integracién. En [10] se describe una de las numerosas realizaciones posibles. Ademés, los sensores capacitivos permitirén la medida de cualquier magnitud que se pueda convertir en un desplazamiento, como pueden ser la presién, la fuerza o par, o la aceleracién, si se aplica a un sis- tema inercial; algunos microacelerémetros de silicio estén basados en un sensor capacitivo. Los sensores de presién capacitivos con diafragma de silicio emplean diafragmas més finos que los equivalentes piezorresistivos y por ello pueden me- dir presiones menores. En la figura 4.5a se muestra un microsensor de presin ca- pacitivo con diafragma corrugado. La alta resolucién de los sensores capacitivos permite incluso la medida de deformaciones mediante un sistema como el esbo- zado en la figura 4.5b. Consiste en dos l4minas flexibles arqueadas, montadas una sobre otra y cementadas sobre la pieza a ensayar. La deformacién de esta pieza en direccién horizontal cambia la curvatura de los arcos y con ella la distancia ver- tical entre las placas det condensador. Este tipo de galga extensométrica permi- te medir a altas temperaturas y posee un coeficiente de temperatura mucho més pequefio que las galgas basadas en un conductor, si bien sus dimensiones son mayores (1 a2 cm). En [2] se presentan diversos tipos de micrémetros capaci- tivos. Las variaciones de la constante dieléctrica se aplican, por ejemplo, en la medida de humedad (inferior al 85%), empleando éxido de aluminio o poliimida como dieléctrico [11] [12]; al andlisis quimico de mezclas binarias de fluidos no conducto- res con constante dieléctrica muy distinta, por ejemplo la mezcla gasolina-etanol en automdviles (figura 4.5c); a la medida de temperatura, empleando mezclas de materiales ferroeléctricos para obtener la temperatura de Curie adecuada, por ejemplo, SrTiO, (7. = - 240°C) y BaTiO; (7, = + 120°C) y a la medida de espeso- res finos de materiales dieléctricos cuya permitividad no cambie apenas con la hu- medad o se mantenga constante al variar ésta. En las figuras 4.5d y e se muestra un inclinémetro direccional basado en la variaciOn respectiva de la capacidad entre dos pares de placas curvadas que constituyen la cara interna de una cipula. La cara externa de la ctipula es de aluminio y acttia de masa eléctrica. Entre las dos caras hay un liquido de constante dieléctrica alta que no Ilena todo el espacio sino que deja una burbuja de aire (indicada a trazos). Cuando el sensor est4 en posicién ho- rizontal, la burbuja est centrada, pero cuando se inclina en una direccién se des- plaza, modificando la capacidad de cada uno de los dos condensadores, definidos en direcciones ortogonales. La resolucién es de 0,01° y el margen de + 20°. Otra de las aplicaciones muy frecuentes, ademas de las medidas de desplaza- mientos, es la medida de nivel de Ifquidos conductores y no conductores (aceite, gasolina). En la figura 4.6a se presenta un sensor basado en una variacién de érea aplicable al caso de un Ifquido conductor. La expresién de la capacidad conside- rando que ¢s un sistema de dos electrodos cilfndricos, es 2neh In dJd, (1.20) El recipiente metélico debe conectarse a tierra para evitar el peligro de las descargas eléctricas y el efecto de las capacidades pardsitas.182 Sensores de reactancia variable y electromagnéticos [ LO \ Tope de ‘sobrepresion — Condensador de reterencia variable Etectrodo externo. Entrodo de combustible guido Cora externa dielectrico Cora interna deta’ coputa Cubierta y d€10 cipula bose de pldstico Cireuites de acondicionamiento a Figura 4.5 Ejemplos de sensores capacitivos. a) Para medir presiones mediante un dit fragma corrugado (Documentacién Monolithic Sensors Inc.). 6) Gaiga extensométrica capaci- tiva. c) Medidor de composicién de la mezcla gasolina-etanol en automéviles (Documentacién Siemens). a) y e) Inclinémetro (Documentacién Lucas Sensing Systems). Cireuito integrade e acondicionamiento Pieza sobre to ZZ; eve cement {a galgeA H Y H H a Figura 4.6 Configuraciones de sensores capacitivos para ls medida del nivel de liquidos con- ductores y no conductores. El sensor de la figura 4.66 est4 basado en una variacion de distancia, y es apli- cable cuando la conductividad del Ifquido es muy alta (mercurio, agua, ...), de modo que su superficie pueda actuar como «electrodo». Si es asf, se forma un divi- sor de tensién capacitivo que da una tensién de salida a G+G V,=V (1.21) siendo C, constante y C, variable de forma inversamente proporcional a h. La sa- lida es, pues, no lineal, pero se puede linealizar mediante un servosistema que des- place el electrodo de medida y el de referencia, de modo que su distancia al If- quido sea constante, y midiendo cuénto hay que desplazar el electrodo de medida para que asf suceda. El sensor de nivel de la figura 4.6c esta basado en una variacién de dieléctrico. Si los dos cilindros conductores se consideran coaxiales, la capacidad total serd 2n Cerny fit + ee) (1.22) y, asf, de no haber capacidades pardsitas, la relacién entre C y A, serfa lineal. 4.1.2 Condensador diferencial Un condensador diferencial consiste en dos condensadores variables dispues- tos fisicamente de tal modo que experimenten el mismo cambio pero en sentidos ‘opuestos. Si se considera, por ejemplo, la figura 4.7, se tiene184 Sensores de reactancia variable y electromagnéticos £A Q= 1.234) dex (2%) &A GQ= 1.236) =a (1.236) Mediante un acondicionamiento adecuado de la sefial de salida, se logra que ésta sea lineal, y ademas hay un aumento de la sensibilidad con respecto al caso de un condensador simple. Figura 4.7 Condensador diferencial basado en la variacién de distancia entre places. Para obtener una tension de salida, se puede restar o dividir V; y V>. En el pri- mer caso, se tendré v 1 G = =v 7 _ (1.24) 1 joc, +p joc, jac, Vv q 1 .y_S_ (125) 1 joc, G+ Joc, jue, y sustituyendo las capacidades por los valores dados por (1.23a y 1.236), se ob- tiene (1.26)Sensores capacitivos 185 d-x v. 127 2d (1.27) yal restar, d+x d-x x V,-V,=V) = =V— 1.28) neve tev am Si se mide, en cambio, la relacién de tensiones, eA Me Gl dex dex (1.29) VG eA dex d-x expresién que se puede linealizar, quedando como 1 - x/d, s6lo si x/d < 1. Por lo tanto, la salida es no lineal. Si en vez de variar C, y C; con la distancia entre pla- cas, el pardmetro variable es su drea, por ejemplo tal como se indica en la figura 48a, se tiene C= 0 1007) gy, MOHD) _ 6, HOHE (1.30) d a Cyne B04) 9% y, HOt _ 6, HOte (131) d En este caso, también, una medida que implicara una diferencia de capacidades darfa un resultado proporcional a x, pero una que implicara el cociente, no. Con el esquema de la figura 4.85 se obtienen las mismas expresiones (1.30) y (1.31). Los sensores capacitivos diferenciales se emplean para medir desplazamientos entre 10? y 10 mm, con valores de capacidad del orden de 1 2 100 pF. Un micro- acelerémetro de silicio basado en un condensador diferencial (Motorola), consiste en tres placas planas paralelas de polisilicio con superficie micromecanizada y se- paradas por aire. La placa superior y la inferior son fijas, mientras que la central pende de dos brazos en voladizo y constituye una masa inercial que es sensible a la aceleracién en direcci6n perpendicular a las placas. El inclinémetro de la figura 4.5e también es diferencial. En la figura 4.8c se presenta un sensor capacitivo angular diferencial lineal (LRDC) [13]. Consiste en dos placas circulares iguales paralelas, cada una divi- dida por un espacio aislante en dos mitades a lo largo de un diémetro. Uno de los dos pares de placas semicirculares resultantes puede girar respecto al otro. El érea186 Sensores de reactancia variable y electromagnéticos Pace Poco Pecos mentee TN TS f ‘ota of Procos rig Rotor a a Figura 4.8 Condensadores diferenciales basados en la variacién del érea efectiva entre placas. de cada condensador es proporcional al desplazamiento angular @ medido res- pecto a la posicién de desplazamiento cero, que corresponde al caso en que los dos espacios aislantes son perpendiculares entre si. Si se desprecian las capacida- des pardsitas, se forman cuatro condensadores cuyas capacidades respectivas son 26 G=G= amt (2) (1.32) o=q- 2 (-2) (133) Si estos cuatro condensadores se ponen en un puente, con C y C3 (y C2 y Cy) en brazos opuestos, la tensién de salida ser proporcional a @. La figura 4.8d muestra otro condensador diferencial, en este caso con dos pla- cas fijas y una placa mévil («rotor») (Camille Bauer Inc.). Se definen asf dos con- densadores donde el desplazamiento del rotor aumenta la capacidad de uno y dis- minuye en igual cuantfa la del otro, permaneciendo constante la suma de capa- cidades. Las limitaciones descritas para el condensador variable son, en general, aplica- bles aquf también, salvo en lo relativo a la linealidad, pues segtin se ha visto es po- sible tener una salida proporcional a la magnitud de interés incluso en el caso de una variacién de la distancia entre placas. Una fuente de error particularmenteSensores inductivos 187 grave es la capacidad de los cables de salida pues esté en paralelo con cada con- densador y ello introduce una no linealidad y una pérdida de sensibilidad. 4.2 SENSORES INDUCTIVOS