Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

Platforme za pozicioniranje,
pozicioniranje pozicioneri,
pozicioneri imaju zadatak da radni
objekt dovedu u zadati položaj.

Prema preciznosti pozicioniranja (rezoluciji) pozicioneri se mogu

podeliti na:
• milimetarske
ili t k (pozicioneri
( i i i rezolucije
l ij nešto
št manje j odd 1 mm),)
• mikrometarske (mikropozicioneri, rezolucije 0,1 – 1 μm) i
• nanometarske (nanopozicioneri
(nanopozicioneri, rezolucije 0,1
0 1 – 1 nm).
nm)

1
 Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

Konvencionalnim pozicionerima nije moguće realizovati zahteve
nanopozicioniranja; vrlo teško je realizovati rezoluciju bolju od 0,1
μm – 0,5 μ
μ μm.
Osnovni razlozi koji onemogućavaju konvencionalne pozicionere
da postignu visoku tačnost pozicioniranja su:
• pojava
j zazora i statičkog
t tičk trenja
t j kod
k d obrtnih
b t ih zglobova,
l b
• geometrijske greške i
• greške dimenzija komponenata pozicionera.
pozicionera

Zbog toga se javila potreba za razvojem drugačijih platformi, koje

bi bile u stanju da prevaziđu ove nedostatke.

2
 Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

Većina današnjih platformi za mikro- i nanopozicioniranje koristi
gipke mehanizme, zbog niza njihovih prednosti u odnosu na
klasične mehanizme (nema trenja, nema habanja, nema potrebe za
podmazivanjem nema zazora,
podmazivanjem, zazora mogućnost minijaturizacije),
minijaturizacije) koje
omogućavaju veoma precizno pozicioniranje. Osim toga, gipke
pplatforme mogu g biti monolitno izrađene ((iz jjednogg komada
materijala), i na taj način se eliminiše mogućnost greške pri
montaži.
Gipke
i k platforme
l f za mikro-
ik i nanopozicioniranje
i i i j se koriste
k i u
mnogim oblastima tehnike, npr. u proizvodnji telekomunikacionih
sistema i optičkih diskova za snimanje podataka.
podataka Koriste se i za
pozicioniranje uzoraka kod skenirajućeg elektronskog mikroskopa,
j saosnosti optičkih
za realizaciju p vlakana i lasera,, ppozicioniranje
j
maski u litografiji, manipulaciju mikrokomponenata3 u
mikrosklopovima, u biomedicini i mikrohirurgiji.
 Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

Kao pogonski elementi ovih platformi najčešće se koriste
piezoelektrični aktuatori; na slici je prikazan piezoaktuator sa
integrisanim gipkim mehanizmom.

4
 Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

U središtu aktuatora smešten je piezoelektrični kristal, odnosno set
međusobno uparenih piezoelektričnih kristala (PZT stack). Gipki
mehanizam, koji ujedno predstavlja i kućište aktuatora, ima zadatak da
poveća pogonsko pomeranje piezoelektričnog kristala (amplifier) kako bi
izlazno kretanje aktuatora bilo što veće; gipki mehanizam se sastoji od
odgovarajućih
g j krutih segmenata
g međusobno ppovezanih ggipkim
p
zglobovima.

5
 Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

Kada se dovede napon na piezoelektrični kristal, on počinje da se
podužno širi, čime pomera gipki mehanizam koji transformiše
pogonsko, horizontalno pomeranje u vertikalno pomeranje gornje
ploče aktuatora (donji deo aktuatora je fiksiran).
fiksiran) Na taj način se
pogonsko širenje piezokristala transformiše u značajno veće
ppomeranje
j ggornje
j pploče aktuatora.

6
 Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

Gipke platforme, pogonjene piezoelektričnim aktuatorima,
karakterišu:
• rezolucija reda veličine nm,
• jednostavna mehanička struktura,
struktura
• jednostavna mogućnost upravljanja i
• kompaktna
p konstrukcija.
j

7
 Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

Kao pogonski element gipkih platformi za pozicioniranje često se
koriste i termomehanički aktuatori. Na slikama je prikazan
termomehanički aktuator izrađen tehnologijama mikromehanike.
Aktuator je oblika dvokrake konzole,
konzole čiji su kraci različitog
(pravougaonog) poprečnog preseka, i sastoji se od dva aktivna Si-
sloja
j i sloja
j izolatora ((SiO2) između njih.
j Dovođenjemj napona
p na
krajeve aktuatora (razlika potencijala označenih sa + i – ) dolazi do
proticanja struje kroz aktuator.

8
 Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

Ukoliko bi se koristio samo jedan Si-sloj, aktuatuacija bi bila
realizovana u ravni aktuatora. Pri proticanju struje kroz konzolu javlja
se disipacija zbog koje dolazi do zagrevanja konzole. Manja
unutrašnja otpornost,
otpornost a time i manja disipacija kroz segment većeg
poprečnog preseka (A) dovodi do manjeg porasta temperature nego u
segmentima
g B i C ppa bi se krak A-C jjednoslojnog
j g termomehaničkogg
aktuatora deformisao manje od kraka B .

9
 Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

Zadatak izolatora (SiO2) je da smanji prelazak toplote i eliminiše
proticanje električne struje između aktivnih Si-slojeva; izolator je
smešten samo između segmenata A-A, dok je između segmenata
greda B-B
B B i C-C
C C slobodan prostor.
prostor Kao posledica ovakve dvoslojne
strukture, kad se na oba sloja dovede isti napon, vektor pomeranja
slobodnogg kraja
j konzole ((f)) ležaće u ravni aktivnogg sloja
j aktuatora.

10
 Gipki mehanizmi

Gipke platforme za pozicioniranje

Kada se napon dovede samo na jedan od slojeva, doćiće do kosog
savijanja konzole; vektor pomeranja slobodnog kraja konzole može
se razložiti na komponentu u ravni aktivnog sloja aktuatora (fx) i
komponentu upravnu na ovu ravan (fz).
)

11
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Na slici je prikazan je krutočlani mehanizam za paralelno
vođenje, tj. polužni četvorougao u kojem naspramni članovi
imaju jednake dužine, formirajući na taj način paralelogram.

12
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Na slici je prikazan opružni sistem za vođenje koji se zasniva na
krutočlanom polužnom četvorouglu za paralelno vođenje.

13
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Donji kraj opruga 1 i 3 vezan je za postolje u tačkama A0 and B0
respektivno, dok je drugi kraj vezan za pokretnu "spojku" u
tačkama A i B. Sila koja deluje na tačku spojke A prouzrokuje
paralelno
l l vođenje
đ j spojkejk AB.
AB

14
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Horizontalno pomeranje Δx spojke AB i vertikalno odstupanje Δy
(razlika između realizovane i pravoliijske translacije člana) može
da se izračuna korišćenjem relacija :
Fl3 3(Δx )
2
Δx = E – modul elastičnosti,
Δy =
24EI z 5l Iz – moment inercije
površine
ši poprečnog
č
preseka

15
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Na osnovu jednačina može da se zaključi da horizontalno
pomeranje "spojke" AB (Δx) i vertikalno odstupanje (Δy) ne
zavise od dužine "spojke" .
Fl3 3(Δx )
2
Δx = E – modul elastičnosti,
Δy =
24EI z 5l Iz – moment inercije
površine
ši poprečnog
č
preseka

16
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Na slici je prikazan je opružni mehanizam za paralelno vođenje
ploča kao primer praktične primene gipkih opružnih mehanizama
za vođenje. Ovaj mehanizam se koristi za različite oblasti
primene:
i k d sistema
kod it za merenje
j sile
il i pomeranja,
j kod
k d optičkih
tičkih
sistema u kojima se zahteva precizno i ponovljivo kretanje, kod
sistema za vođenje sa malim pomeranjima koji su izloženi
promenljivim dinamičkim opterećenjima.

17
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Mehanizam za fokusiranje optičkih sočiva koji se koristi kod CD
player-a

18
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Izvršili smo proračun horizontalnog pomeranja "spojke" i
vertikalnog odstupanja (Δy) za opružni sistem za vođenje
sledećih dimenzija:

a = A 0 A = B 0 B = 40 mm
c = AB = A 0 B 0 = 80 mm

19
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Pretpostavljeno je da je površina poprečnog preseka članova
pravougaona, definisana širinom b = 5 mm and visinom h = 0.5
mm (za članove A0A i B0B), odnosno, širinom B = 16 mm i
visinom
ii H = 8 mm (za
( član
čl AB).
AB) Takođe
T k đ je
j prepostavljeno
t lj d su
da
opruge napravljene od čelika, modula elastičnosti E = 210000
N/mm2.

20
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Horizontalno pomeranje "spojke" (Δx) i vertikalno odstupanje
(Δy) opružnog sistema za vođenje

prema jednačinama prema ANSYS modelu

21
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Na slici je prikazan član gipkog mehanizma sa gipkim zglobovima u
obliku štapa. Dimenzije pravougaonog poprečnog preseka označene
su sa b i h za elastični segment, odnosno sa B i H za kruti segment,
d k je
dok j dužina
d ži elastičnog
l tič segmenta
t označena
č sa l.
l

22
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Na slici je prikazan gipki mehanizam sa gipkim zglobovima u
obliku štapa kao analogna kopija krutočlanog polužnog četvorougla
za paralelno vođenje.

23
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Izvršili smo proračun pomeranja za ovaj gipki mehanizam sa već
prethodno pomenutim parametrima (a = 40 mm, c = 80 mm, b = 5
mm, h = 0.5 mm, B = 16 mm, H = 8 mm, E = 210000 N/mm2)
k išć j programskog
korišćenjem k paketa
k t ANSYS.
ANSYS

24
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Horizontalno pomeranje "spojke" (Δx) i maksimalno vertikalno
odstupanje (Δymax) gipkog mehanizma
2,1
,
l = 10mm
Δymax
[mm] 1,8
l = 5mm
1,5
l = 2.5mm

1,2

0,9

0,6

0,3

0,0
2 4 6 8
Δx [mm]
10 25
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Tačnost vođenja se smanjuje sa povećanjem "dužine" gipkog zgloba
u obliku štapa. To znači da gipki mehanizam sa koncentrisanom
gipkošću (mala "dužina" gipkog zgloba u obliku štapa) može da
realizuje
li j bolju
b lj tačnost
t č t vođenja.
đ j
2,1
l = 10mm
Δymax
[mm] 1,8
l = 5mm
1,5
l = 2.5mm

1,2

0,9

0,6

0,3

0,0
2 4 6 8
Δx [mm]
10 26
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Na slici je prikazan gipki mehanizam sa gipkim zglobovima male
dužine kao analogna kopija krutočlanog polužnog četvorougla za
paralelno vođenje.

27
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Izvršili smo proračun pomeranja za ovaj gipki mehanizam sa
parametrima (a = 40 mm, c = 80 mm, wE = 0.5 mm, wR = 8 mm, l
= 2.5 mm, debljina materijala δ = 5 mm, E = 210000 N/mm2)
k išć j programskog
korišćenjem k paketa
k t ANSYS.
ANSYS

28
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Rezultati horizontalnog pomeranja "spojke" i vertikalnog odstupanja

29
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi razvijeni na osnovu polužnog
četvorougla za paralelno vođenje
Ako uporedimo dobijene rezultate, možemo da zaključimo da se
uvođenjem gipkih zglobova u obliku filma poboljšava tačnost
vođenja gipkog opružnog sistema za vođenje. Nasuprot tome,
uvođenjem
đ j gipkih
i kih zglobova
l b u obliku
blik štapa
št se ne poboljšava
b ljš t č t
tačnost
vođenja gipkog opružnog sistema za vođenje

30
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova S
Na slici je prikazan opružni sistem za vođenje u obliku slova S kao
pprimer jjednogg složenogg opružnog
p g sistema za vođenje,
j , konstruisanogg
u cilju dobijanja većeg horizontalnog pomeranja "spojke".

31
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova S
Opružni sistem za vođenje u obliku slova S može biti analiziran kao
ggipki
p mehanizam sa raspodeljenom
p j ggipkošću.
p Izvršili smo pproračun
horizontalnog pomeranja "spojke" i vertikalnog odstupanja (Δy) za
ovaj gipki mehanizam korišćenjem programskog paketa ANSYS.

32
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova S
Dužine članova mehanizma su: a = 40 mm, c = d = 80 mm, e = f =
20 mm. Pretpostavljeno
p j jje da jje ppovršina ppoprečnog
p g ppreseka članova
pravougaona, definisana širinom b = 5 mm i visinom h = 0.5 mm (za
članove A0A i B0B), odnosno, širinom B = 16 mm i visinom H = 8
mm (za
( član
čl AB).
AB)

33
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova S
Horizontalno pomeranje (Δx) i maksimalno vertikalno odstupanje
((Δyymax) opružnog
p g sistema za vođenje
j u obliku slova S ((a = 40 mm,,
c = d = 80 mm, e = f = 20 mm)
21
2,1
Δymax r = 10mm
[mm] 1,8

15
1,5

1,2

0,9 r = 5mm

0,6 r = 2.5mm

0,3

0,0
2 4 6 8 10 34
Δx [mm]
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova S
Najbolja tačnost vođenja se može realizovati opružnom sistemom za
vođenje
j u obliku slova S sa najmanjom
j j vrednošću ppoluprečnika
p
zaobljenja (r = 2.5 mm).
21
2,1
Δymax r = 10mm
[mm] 1,8

15
1,5

1,2

0,9 r = 5mm

0,6 r = 2.5mm

0,3

0,0
2 4 6 8 10 35
Δx [mm]
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova S
Horizontalno pomeranje (Δx) i maksimalno vertikalno odstupanje
((Δyymax) opružnog
p g sistema za vođenje
j u obliku slova S ((a = 40 mm,,
c = d = 80 mm, r = 2.5 mm)
2,7

Δymax 2,4
[mm] 2,1

1,8

1,5

1,2

0,9

0,6 Δx = 10mm

0,3 Δx = 5mm
Δx = 2.5mm
0,0
5 10 15 20 25 30
e [mm]
36
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova S
Najbolja tačnost vođenja se može realizovati opružnom sistemom za
vođenje
j u obliku slova S sa vrednošću e = f = 22 mm.
2,7

Δymax 2,4
[mm] 2,1

1,8

1,5

1,2

0,9

0,6 Δx = 10mm

0,3 Δx = 5mm
Δx = 2.5mm
0,0
5 10 15 20 25 30
e [mm]
[ ]

37
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova U
Na slici je prikazan opružni sistem za vođenje u obliku slova U kao
pprimer jjoš jjednogg složenogg opružnog
p g sistema za vođenje, j ,
konstruisanog u cilju dobijanja većeg horizontalnog pomeranja
"spojke" sa većom stabilnošću u transverzalnom pravcu (pravcu
upravnom na pravac kretanja).
k j )

38
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova U
Opružni sistem za vođenje u obliku slova U takođe može biti
analiziran kao ggipki
p mehanizam sa raspodeljenom
p j ggipkošću.
p

39
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova U
Izvršili smo proračun horizontalnog pomeranja "spojke" i
vertikalnogg odstupanja
p j ((Δy)
y) za ovajj ggipki
p mehanizam korišćenjem
j
programskog paketa ANSYS. Želimo da uporedimo tačnosti vođenja
opružnog sistema za vođenje u obliku U i opružnog sistema za
vođenje
đ j u oblikublik S,
S pa smo zbog
b toga odabrali
d b li dužine
d ži članova
čl
mehanizma : a = 40 mm, c = 80 mm, r = 2.5 mm.

40
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova U
Pretpostavljeno je da je površina poprečnog preseka članova
ppravougaona,
g , definisana širinom b = 5 mm i visinom h = 0.5 mm ((za
članove A0AA0' and B0BB0'), odnosno, širinom B = 16 mm i
visinom H = 8 mm (za član AB).

41
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova U
Horizontalno pomeranje (Δx) i maksimalno vertikalno odstupanje
((Δyymax) opružnog
p g sistema za vođenje
j u obliku slova U ((a = 40 mm,,
c = 80 mm, r = 2.5 mm)

42
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova U
Najbolja tačnost vođenja se može realizovati opružnim sistemom za
vođenje
j u obliku slova U sa najmanjom
j j vrednošću ekscentriciteta
(e = 5 mm).

43
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova U
Horizontalno pomeranje (Δx) i maksimalno vertikalno odstupanje
((Δyymax) opružnog
p g sistema za vođenje
j u obliku slova U ((a = 40 mm,,
c = 80 mm, e = 5 mm)

44
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova U
Najbolja tačnost vođenja se može realizovati opružnim sistemom za
vođenjej u obliku slova U sa vrednošću ppoluprelnika
p zaobljenja
j j
r = 7.5 mm.

45
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje u obliku slova U
Takođe smo analizirali opružni sistem za vođenje u obliku slova U
sa manjom
j dužinom spojke
p j ((c = 35 mm). ) Ovakva struktura jje
kompaktnija sa konstruktivne tačke gledišta, a i može da realizuje
veću tačnost vođenja u odnosu na strukturu sa dužinom spojke c =
80 mm.

46
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje sa 4 opruge
Na slici je prikazan sistem za vođenje sa 4 opruge sa dodatnim
krutim članom ((1)) kao pprimer jjoš jjednogg složenogg opružnog
p g sistema
za vođenje, konstruisanog u cilju dobijanja veće stabilnosti sistema.

47
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje sa 4 opruge
Sistem za vođenje sa 4 opruge sa dodatnim krutim članom takođe
može biti analiziran kao ggipki
p mehanizam sa raspodeljenom
p j
gipkošću.

48
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje sa 4 opruge
Izvršili smo proračun horizontalnog pomeranja "spojke" i
vertikalnogg odstupanja
p j ((Δy)
y) za ovajj ggipki
p mehanizam korišćenjem
j
programskog paketa ANSYS. Dužine članova mehanizma su: a =
40 mm, c = A0B0= 80 mm, r = 5 mm, g = 5 mm.

49
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje sa 4 opruge
Pretpostavljeno je da je površina poprečnog preseka članova
ppravougaona,
g , definisana širinom b = 5 mm i visinom h = 0.5 mm ((za
članove A0A1A, A1A''' kao i B0B1B, B1B'''), odnosno, širinom B =
16 mm i visinom H = 8 mm (za članove AA'A''B''B'B i A'''B''').

50
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje sa 4 opruge
Horizontalno pomeranje (Δx) i maksimalno vertikalno odstupanje
((Δyymax) sistema za vođenje
j sa 4 opruge
p g ((a = 40 mm,, c = 80 mm,, r =
5 mm, g = 5 mm)

51
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje sa 4 opruge
Najbolja tačnost vođenja se može realizovati sistemom za vođenje
sa 4 opruge
p g sa vrednošću ekscentriciteta e = 10 mm.

52
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje sa 4 opruge
Horizontalno pomeranje (Δx) i maksimalno vertikalno odstupanje
((Δyymax) sistema za vođenje
j sa 4 opruge
p g ((a = 40 mm,, c = 80 mm,, e =
10 mm, g = 5 mm)

53
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje sa 4 opruge
Najbolja tačnost vođenja se može realizovati sistemom za vođenje
sa 4 opruge
p g sa najmanjom
j j vrednošću ppoluprečnika
p zaobljenja
j j ((r =
2.5 mm).

54
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje sa 4 opruge
Horizontalno pomeranje (Δx) i maksimalno vertikalno odstupanje
((Δyymax) sistema za vođenje
j sa 4 opruge
p g ((a = 40 mm,, c = 80 mm,, e =
10 mm, r = 2.5 mm)

55
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Gipki opružni sistem za vođenje sa 4 opruge
Najbolja tačnost vođenja se može realizovati sistemom za vođenje
sa 4 opruge
p g sa najmanjom
j j vrednošću ekscentriciteta spojke
p j g = 2.5
mm.

56
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Mobilnost gipkih opružnih sistema za vođenje
Gipki opružni sistemi za vođenje su pokretljivi zahvaljujući
fleksibilnosti njihovih
j elastičnih segmenata.
g Njihova
j ppokretljivost,
j ,
tj. mobilnost, je međutim ograničena. Istražićemo granice njihove
mobilnosti korišćenjem programskog paketa ANSYS.
P
Pretpostavićemo
ić d su članovi
da čl i napravljeni
lj i odd opružnog
ž č lik
čelika
(modul elastičnosti E = 210000 N/mm2, savojna čvrstoća σbs = 900
N/mm2). ) Maksimalni naponi savijanja σmax koji se javljaju pri
kretanju gipkih opružnih sistema za vođenje, a koji svakako moraju
biti manji
j od savojne
j čvrstoće ((σmax< σbs)), određuju
j krajnje
j j ppoložaje
j
članova gipkih opružnih sistema za vođenje, odnosno granice
njihovih pomeranja (mobilnosti) i maksimalnu silu.

57
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Mobilnost gipkih opružnih sistema za vođenje
Rezultati su prikazani u tabeli. Maksimalno realizovano pomeranje
vođene "spojke"
p j AB jje označeno sa Δxmax. Maksimalna sila koja
j
dovodi do pojave maksimalno dozvoljenih napona savijanja
označena je sa Fmax.

58
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Mobilnost gipkih opružnih sistema za vođenje
Mobilnost i tačnost vođenja
analiziranih ggipkih
p opružnih
p
sistema za vođenje su
upoređeni na slici. Mobilnost
opružnog
ž sistema
i za vođenje
đ j
u obliku slova U označena je
sa Δx1max, mobilnost sistema
za vođenje sa 4 opruge
označena jje sa Δx2max, dok jje
mobilnost opružnog sistema
za vođenje u obliku slova S
označena
č Δ 3max.
sa Δx
59
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Mobilnost gipkih opružnih sistema za vođenje
Analizom dobijenih rezultata
može se doći do sledećih
zaključaka:

u poređenju sa gipkim
mehanizmima konstruisanim kao
g kopije
analogne p j krutočlanom
polužnom četvorouglu za
paralelno vođenje, opružni
sistem za vođenje u obliku slova
S ima veću mobilnost i može da
realizuje vođenje veće tačnosti,
tačnosti
60
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Mobilnost gipkih opružnih sistema za vođenje
Analizom dobijenih rezultata
može se doći do sledećih
zaključaka:

tačnost vođenja opružnog

sistema za vođenje u obliku slova
U jje značajno
j bolja
j u odnosu na
tačnost vođenja preostala dva
analizirana opružna sistema za
vođenje,

61
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Mobilnost gipkih opružnih sistema za vođenje
Analizom dobijenih rezultata
može se doći do sledećih
zaključaka:

mobilnost opružnog sistema u

obliku slova S je značajno veća u
odnosu na mobilnost preostala
p
dva analizirana opružna sistema
za vođenje,

62
 Gipki mehanizmi
Gipki opružni mehanizmi
Mobilnost gipkih opružnih sistema za vođenje
Analizom dobijenih rezultata
može se doći do sledećih
zaključaka:

takođe, maksimalna sila koja

takođe
dovodi do pojave maksimalno
j
dozvoljenih napona
p savijanja
j j kod
opružnog sistema u obliku slova
S je značajno manja u odnosu na
maksimalnu silu preostala dva
analizirana opružna sistema za
vođenje
vođenje.
63
 Gipki mehanizmi
Nanopozicioniranje
N i i i j platforme
l tf samovođenim
đ i gipkim
i ki
mehanizmom za povećanje pomeranja
U ovom odeljku biće prikazano rešenje samovođenog mehanizma za
ppovećanje
j ppomeranjaj pplatforme koje
j eliminiše ppotrebu za rednom
vezom mehanizma za vođenje i mehanizma za povećanje
pomeranja. Ovakvo rešenje omogućava veliki opseg kretanja
platforme
l f i visoku
i k tačnost
č pozicioniranja,
i i i j uz kompaktnu
k k veličinu
liči
platforme.

64
 Gipki mehanizmi
Nanopozicioniranje
N i i i j platforme
l tf samovođenim
đ i gipkim
i ki
mehanizmom za povećanje pomeranja
Na slici je prikazana šema mehanizma za nanopozicioniranje
platforme koju pomeraju 4 simetrično postavljena, paralelno vezana
gipka mehanizma oblika paralelograma.
paralelograma Pogonska sila deluje
direktno na pokretnu platformu.

65
 Gipki mehanizmi
Nanopozicioniranje
N i i i j platforme
l tf samovođenim
đ i gipkim
i ki
mehanizmom za povećanje pomeranja
Ovakav složeni mehanizam za vođenje, sa jednim stepenom slobode
kretanja, može da realizuje vrlo precizno pozicioniranje platforme u
željenom pravcu (u pravcu y-ose),
y ose) bez pojave parazitnog kretanja (u
pravcu x-ose).

66
 Gipki mehanizmi
Nanopozicioniranje
N i i i j platforme
l tf samovođenim
đ i gipkim
i ki
mehanizmom za povećanje pomeranja
Mehanizam prikazan na slici može takođe da pomera pokretnu
platformu samo u jednom, željenom pravcu (u pravcu y-ose)
zahvaljujući simetričnom rasporedu 4 istovetna gipka mehanizma.
mehanizma
Za razliku od strukture prikazane na prethodnoj slici, pogonska sila
ne deluje
j direktno na ppokretnu pplatformu,, već na bočne delove
strukture.

67
 Gipki mehanizmi
Nanopozicioniranje
N i i i j platforme
l tf samovođenim
đ i gipkim
i ki
mehanizmom za povećanje pomeranja
Horizontalno pogonsko pomeranje piezoaktuatora (xu) deluje kako
na levi bočni deo strukture (xu/2), tako i na desni (xu/2).

68
 Gipki mehanizmi
Nanopozicioniranje
N i i i j platforme
l tf samovođenim
đ i gipkim
i ki
mehanizmom za povećanje pomeranja
Horizontalna pomeranja ovih delova strukture se preko simetrično
postavljenih gipkih mehanizama transformišu u povećano
pomeranje platforme u pravcu y-ose
y ose (yi); gornji par gipkih
mehanizama povlači pokretnu platformu naviše, a donji par je
istovremeno ggura u istom smeru.

69
 Gipki mehanizmi
Nanopozicioniranje
N i i i j platforme
l tf samovođenim
đ i gipkim
i ki
mehanizmom za povećanje pomeranja
Teorijski, stepen povećanja pomeranja iznosi:
α – nagibni ugao gipkih
yi la cos α
n= = čl
članova,
xu t 2 cos 2 α la – rastojanje između gipkih
la sin α +
6la sin α zglobova (dužina člana),
člana)
t – debljina gipkih zglobova.

70
 Gipki mehanizmi
Nanopozicioniranje
N i i i j platforme
l tf samovođenim
đ i gipkim
i ki
mehanizmom za povećanje pomeranja
Na slici je prikazan 3D-model opisane platforme za
nanopozicioniranje. Svi članovi, zglobovi i pokretna platforma
izrađeni su kao monolitna struktura,
struktura iz jednog komada materijala.
materijala
Piezoaktuator, čiji je zadatak da generiše pogonsko pomeranje
bočnih delova strukture,, smešten jje delom i kroz šupljinu
pj u
pokretnom delu platforme.

71
 Gipki mehanizmi
Nanopozicioniranje
N i i i j platforme
l tf samovođenim
đ i gipkim
i ki
mehanizmom za povećanje pomeranja
Na slici je prikazan izrađeni prototip prethodno analizirane
platforme za nanopozicioniranje. Monolitna struktura platforme sa
samovođenim mehanizmom za povećanje pomeranja izrađena je od
aluminijuma. Veličina mehanizma, ne uzimajući u obzir osnovu
ppostolja,
j , iznosi 98 mm x 56 mm x 15 mm. Ulazni napon p
piezoaktuatora se pojačava pojačivačem napona. Pri naponu od 150
V piezoaktuator može da realizuje pomeranje od 80 μm; krutost
piezoaktuatora iznosi 50 N/μm.

72
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za mikropozicioniranje
ik i i i j prii zavarivanju
i j
laserom
Na slici je prikazana je šema mehanizma za mikropozicioniranje
platforme (u vertikalnom pravcu) koja se koristi kod zavarivanja
laserom.
laserom

73
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za mikropozicioniranje
ik i i i j prii zavarivanju
i j
laserom
Piezoaktuator je smešten unutar mehaničke strukture pokretnog
stola, koja je izrađena od metala.

74
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za mikropozicioniranje
ik i i i j prii zavarivanju
i j
laserom
Mehaničku strukturu platforme čine, pored postolja i pokretnog
stola koji se pomera u vertikalnom pravcu, dva para paralelno
spregnutih opružnih elemenata,
elemenata dve poluge i dva elementa za prijem
pogonske sile i pogonskog pomeranja piezoaktuatora. Reč je o dva
identična,, simetrično ppostavljena
j mehanizma koji
j sinhronizovano
pomeraju pokretni sto.

75
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za mikropozicioniranje
ik i i i j prii zavarivanju
i j
laserom
U stvari, u dva nezavisna nivoa (jedan ispod drugog) izvedena su
dva ovakva mehanizma za pomeranje pokretnog stola koji
predstavlja sponu između ova dva mehanizma.
mehanizma

76
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za mikropozicioniranje
ik i i i j prii zavarivanju
i j
laserom
Svi segmenti strukture su međusobno povezani gipkim zglobovima
pa se na svakom od nivoa može uočiti po 14 gipkih zglobova:
• 2 x 4 = 8 zglobova opružnih elemenata (Kf), ) za vezu pokretnog
stola sa postoljem, i
• 2 x 3 = 6 zglobova
g ppoluga
g ((Kc1, Kc2 i Kc3)).

77
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za mikropozicioniranje
ik i i i j prii zavarivanju
i j
laserom
Maksimalno izduženje piezoelektričnog aktuatora iznosi samo 0,1%
njegove dužine. Da bi se aktuatorom moglo direktno ostvariti
zahtevano vertikalno pomeranje platforme,
platforme bilo bi neophodno
ugraditi piezoelektrični aktuator dužine veće od 200 mm. Ugradni
pprostor,, međutim,, ne dozvoljavaj ugradnju
g j ppiezoelektričnog
g
aktuatora te dužine.

78
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za mikropozicioniranje
ik i i i j prii zavarivanju
i j
laserom
Zbog toga je platforma tako konstruisana da se kreće vertikalno
naviše ili naniže, zavisno od toga da li se horizontalno postavljeni
piezoelektrični aktuator izdužuje ili skraćuje.
skraćuje Piezoaktuator je
smešten između dva elementa za prijem opterećenja (pogonskog
ppomeranja)
j ) ppiezoaktuatora. Horizontalno izduženje j ili skraćenje
j
piezoaktuatora transformiše se u vertikalno pomeranje platforme
posredstvom dve poluge koje su s jedne strane vezane za elemente
za prijem opterećenja, a s druge strane za pokretni sto.

79
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Na slici je prikazano jedno od često korišćenih rešenja gipkih
zglobova, u obliku dve redno vezane lisnate opruge, koje se može
izraditi npr.
npr EDM-
EDM postupkom (electric discharge machining),
machining)
erozimatom sa žicom.

80
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Na slici je prikazana šema i konstruktivno izvođenje gipke
platforme za nanopozicioniranje u pravcu x-ose, sa 4 ovakva gipka
zgloba.
zgloba

81
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Na slici a) je prikazan model ovakvog pozicionera sa ucrtanim
piezoelektričnim aktuatorom (predstavljen plavom bojom). Kada se
na piezoelektrični aktuator dovede napon,
napon on počinje da se izdužuje,
izdužuje
generišući pogonsku silu koja pomera platformu u pravcu x-ose uz
deformaciju
j ggipkih
p zglobova
g ((slika b).
) Smanjivanjem
j j električnogg
potencijala skraćuje se dužina piezoelementa, a deformisani
zglobovi vraćaju platformu unazad.

82
a) b)
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Ovakva vrsta gipkih zglobova najjednostavnije se može modelirati
kao greda uklještena na jednom kraju (konzola) i izložena savijanju
pod dejstvom sile F koja deluje na slobodnom kraju konzole); kod
rešenja prikazanog na prethodnoj slici ova sila (F) odgovara
četvrtini vrednosti ggenerisane ppogonske
g sile aktuatora ppošto jje
njome potrebno istovremeno deformisati 4 gipka zgloba platforme.

83
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Ugib slobodnog kraja konzole (f) može se odrediti relacijom:
l – dužina konzole,
Fl3 E – modul
d l elastičnosti
l ič i materijala
ij l odd koga
k je
j
f= konzola izrađena,
3EI
I – moment inercije površine poprečnog
preseka konzole; moment inercije
ppravougaonog
g g poprečnog
p p g ppreseka širine b i
visine d može se odrediti relacijom
bd 3
I=
12

84
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Pošto oblik gipkog zgloba prikazanog na prethodnoj slici podseća na
dve redno vezane lisnate opruge, približnije vrednosti deformacije
ovog zgloba nudi model konzolne grede sa prepustom.
prepustom

85
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Ugib slobodnog kraja ovakve konzole može se odrediti relacijom:

Fl3
f=
12EI

a krutost gipkog zgloba (c) relacijom:

F 12EI
c= = 3
f l

86
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Uz pomoć vrednosti za krutost gipkih zglobova može se odrediti
opseg kretanja platforme za usvojenu vrednost maksimalne sile
aktuatora Opseg kretanja se može odrediti i korišćenjem vrednosti
aktuatora.
granice elastičnosti materijala gipkih zglobova. Maksimalno
dozvoljeno
j ppomeranje
j ggipkih
p zglobova
g određuje
j se relacijom:
j
σmax – maksimalno dozvoljeni napon na savijanje
2
σ max l materijala,
j ,
f max =
3Ed l, d – konstruktivno-geometrijski parametri
gipkog zgloba

87
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Za poznate vrednosti konstruktivno-geometrijskih parametara gipkih
zglobova i materijala od koga su izrađeni može se za svako
konkretno pomeranje slobodnog kraja konzole (f) odrediti i
odgovarajuća vrednost napona na savijanje. Upoređenjem ove
vrednosti sa maksimalno dozvoljenim
j naponom
p na savijanje
j j može
se utvrditi da li su konkretne deformacije gipkih zglobova u
granicama elastičnosti.
σ max l 2
f max =
3Ed

88
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Na slici a) prikazan je model nešto drugačijeg rešenja prethodno
opisanog gipkog zgloba, kod koga debljina lisnatih opruga nije
konstantna; pri deformaciji zgloba (slika b),
b) veća koncentracija
napona se javlja duž segmenata manje debljine.

89
a) b)
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Velika potražnja nanopozicionera u raznim oblastima industrije,
medicine, biotehnologije, dovela je do pojave mnogih firmi koje se
bave proizvodnjom nanopozicionera.
nanopozicionera Na slici je prikazan npr.npr
nanopozicioner P-750 firme "PI" koji može da pozicionira objekte
velike težine ((do 10 kg).
g) Opseg
p g kretanja
j pplatforme iznosi 75 μ
μm,, sa
rezolucijom pozicioniranja manjom od 1 nm, a da bi dostigla željenu
koordinatu potrebno joj je nekoliko milisekundi.

90
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Mehanički deo nanopozicionera, izrađen kao monolitna struktura, iz
jednog komada materijala, sastoji se od kutije, platforme za
nanopozicioniranje i četiri gipka zgloba oblika prikazanog na
prethodnoj slici. Kutija služi za pričvršćavanje pozicionera na
odgovarajućem
g j radnom mestu p pa stoga
g ppredstavlja
j nepokretni
p deo
pozicionera, dok platforma i zglobovi predstavljaju pokretne delove.
Izduženje piezoelektričnog aktuatora gura platformu u jednom
smeru, da bi pri njegovom vraćanju na početnu veličinu
(skraćivanju) deformisani zglobovi preuzeli realizovanje povratnog
kretanja platforme.
platforme

91
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 1 stepenom
t slobode
l b d
kretanja
Na slici je prikazan držač reznog alata numerički upravljane
glodalice sa platformom koja ima zadatak da pozicionira alat u
nanometarskom opsegu.
opsegu Kada se na piezoelektrični aktuator dovede
napon, on počinje da se izdužuje, generišući pogonsku silu koja
ppomera alat pprema radnom komadu ((u ppravcu x-ose).
) Kada dođe do
kontakta između alata i radnog komada započinje njegova obrada.
Uz pomoć davača sile mere se sile rezanja, a pomoću povratne
sprege vrši se njihova regulacija, kako ne bi došlo do neželjenih
vibracija radnog komada.

92
 Gipki mehanizmi

Povećanje pogonskog pomeranja piezoaktuatora

Direktnim dejstvom piezoaktuatora na platformu može se realizovati
relativno malo pomeranje platforme (do nekoliko desetina μm).
Ukoliko se zahteva veće pomeranje platforme,
platforme ono bi se moglo
realizovati slobodnim krajem obrtne poluge na koju, na znatno
manjem
j kraku,, deluje
j ppogonski
g piezoaktuator .
p

93
 Gipki mehanizmi

Povećanje pogonskog pomeranja piezoaktuatora

Na slici je prikazana šema i model jednog takvog konstruktivnog
izvođenja gipke platforme sa polugom za povećanje pogonskog
pomeranja piezoaktuatora.
piezoaktuatora Oba zgloba poluge,
poluge njena veza sa
postoljem i platformom, realizovani su gipkim zglobovima.

94
 Gipki mehanizmi

Povećanje pogonskog pomeranja piezoaktuatora

Ovakvim rešenjem realizovan je hod platforme koji je više od četiri
puta veći od hoda samog piezoaktuatora; uvećanje pomeranja se
pojačava sa povećanjem dužine poluge (L1) i smanjivanjem
odstojanja mesta delovanja aktuatora od nepokretnog kraja poluge
((L2)).

95
 Gipki mehanizmi

Povećanje pogonskog pomeranja piezoaktuatora

Ovakvo rešenje pogonskog pomeranja platforme treba odabrati i
kada nema dovoljno mesta za smeštaj piezoaktuatora koji bi trebalo
da deluje direktno na platformu; primer za to je nedostatak mesta
između lisnatih opruga na slici za smeštaj kanala sa
ppiezoelektričnim aktuatorom.

96
 Gipki mehanizmi

Povećanje pogonskog pomeranja piezoaktuatora

Krutost jednog ovakvog rešenja platforme mogla bi se odrediti
izrazom:
gde su :
4K d L1 2K n L1 L1 – dužina poluge,
K sp = + L2 – odstojanje mesta delovanja
L2 L2
aktuatora
kt t odd zgloba,
l b
Kn – krutost gipkih zglobova,
Kd – krutost opruga
opruga.

97
 Gipki mehanizmi

Povećanje pogonskog pomeranja piezoaktuatora

Na slici prikazana je raspodela napona pri pozicioniranju platforme
polugom za povećanje pogonskog pomeranja piezoaktuatora.

98
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 2 i 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Ako bi se jednoosnom pozicioneru pridodala gipka platforma sa
piezoaktuatorom koji je pomera u pravcu y-ose dobio bi se dvoosni
pozicioner.
pozicioner

99
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 2 i 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Isti princip je iskorišćen i kod nanopozicionera sa 3 stepena slobode
kretanja, u pravcu x- , y- i z-ose. Na slici je prikazan nanopozicioner
P 733 3 firme "PI"
P-733.3 PI . Opseg kretanja platforme iznosi 100 μm x 100
μm x 10 μm (u pravcu x-, y- i z-ose), sa rezolucijom pozicioniranja
od samo 0,1, nm

100
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 2 i 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Na slici je prikazan nanopozicioner Nano UHV-200 firme
"Solupam". Opseg kretanja platforme iznosi 200 μm x 200 μm x
200 μm,
μm sa rezolucijom pozicioniranja od samo 0,4 0 4 nm.
nm
Titanijumska konstrukcija omogućava radnu temperaturu i do
100°C.

101
 Gipki mehanizmi
I d t ij ki nanopozicioneri
Industrijski i i i sa 2 i 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Kod nanopozicionera prikazanog na slici pogonsko kretanje
platforme u pravcu x-ose realizuje jedan piezoaktuator, a u pravcu y-
ose dva piezoaktuatora,
piezoaktuatora istih perfomansi,
perfomansi kada rade simultano.
simultano Kada
se na jedan od ova dva aktuatora dovede električni potencijal a na
drugi
g ne,, pplatforma će realizovati rotaciju
j oko z-ose.

102
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Na slici a) prikazana je šema gipkog mehanizma koji omogućava 3
stepena slobode pozicioniranja platforme: translacije u pravcu x- i y-
ose i rotaciju oko z-ose
z ose (upravno na ravan slike).
slike) Svaki od 3
identična pogonska segmenta (slika b), sa 3 obrtna gipka zgloba
((RRR)) izvedena u obliku p polukružnogg zareza,, ppogoni
g ppo jjedan
piezoaktuator. Ovakva gipka platforma koristi se kod elektronskog
mikroskopa za pozicioniranje uzoraka.

103
a) b)
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Pošto gipki segment sa prethodne slike omogućava realizovanje
većeg opsega kretanja, mogli bi ga modelom kvazikrutog tela, kao
i gipke zglobove male dužine,
dužine predstaviti kao dva kruta člana
međusobno spojena klasičnim obrtnim zglobom i linearnom
uvrtnom oprugom
p g krutosti cθ .
cθ

cx cθ

Nedostatak ovakvog modela je da modelira

c
samo rotaciju
segmenta oko zz-ose
ose, a ne i deformacije u pravcu xx- i yy-ose
ose.
y

104
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Zbog toga je mnogo adekvatnije predstaviti gipki segment modelom
prikazanim na slici, u koji su pored uvrtne zavojne opruge torzione
krutosti cθ uvedene i dve cilindrične zavojne opruge u pravcu x-
x i y-
y
ose, čije su krutosti cx i cy respektivno..
cθ

cx
cθ

cy

105
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Korišćenjem ovakvog modela gipkog segmenta, gipka platforma bi
se mogla predstaviti modelom prikazanim na slici a); na slici b)
prikazan je model ove platforme u programskom paketu ANSYS.
ANSYS

106
a) b)
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Na slici je prikazan izrađeni prototip prethodno analizirane gipke
platforme za mikropozicioniranje.

107
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Mikromanipulacioni sistem koji se koristi kod veštačke oplodnje za
mikro/nano pozicioniranje ljudskih jajašca veoma podseća na
prethodno opisanu gipku platformu; pozicioniranje se i ovde
realizuje uz pomoć 3 piezoelektrična aktuatora.

108
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Na slici a) predstavljeno je nešto drugačije rešenje gipke platforme
za pozicioniranje sa 3 stepena slobode kretanja. Gipki mehanizam
platforme sa 12 gipkih zglobova u obliku polukružnog zareza,
platforme, zareza
pogone 3 piezoelektrična aktuatora (PZT1, PZT2 i PZT3).
Simetričnost konstrukcije j mehanizma ((ose aktuatora ggrade
međusobno ugao od 120o) omogućava veliko radno pomeranje
izvršnog segmenta. Na slici b) prikazan je model ove platforme u
programskom paketu ANSYS.

109
a) b)
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Na slici je prikazan izrađeni prototip prethodno analizirane gipke
platforme sa mernim uređajima (laserski interferometar), PZT
aktuatorima i modulom za upravljanje.
upravljanje Mehanizam platforme
izrađen je od legure čelika.

110
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Strukturni parametri mehanizma prikazani su na slici, a njihove
dimenzije date su u tabeli; poluprečnik zareza gipkog zgloba
označen je sa r,
r a debljina materijala gipkog zgloba sa b.
b

111
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Na slici prikazana je platforma za
precizno pozicioniranje Si-pločice
(supstrata) u mikrolitografiji.
mikrolitografiji
Mehanizam platforme sastoji se
zapravo
p od dve pplatforme sa p
po 3
stepena slobode kretanja:
translacijama u x- i y-pravcu i
rotacijom oko z-ose za ugao θ.
Jedna od platformi realizuje grubo
pozicioniranje uz pomoć tri
linearna motora jednosmerne
struje
j (g
(globalni ppozicioner),
), a
druga predstavlja mikropozicioner 112
za fino podešavanje.
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Detaljni prikaz mikroplatforme i njen princip rada prikazani su
na slici. Gipki mehanizam mikroplatforme sastoji se od
pokretnog spoljašnjeg okvira i nepokretne unutrašnje ploče.
ploče

113
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Tri piezoelektrična aktuatora realizuju fina pomeranja
spoljašnjeg okvira u x- i y- pravcu i njegovu rotaciju (θ) u
odnosu na unutrašnju ploču koja je čvrsto spojena za globalni
pozicioner; za svako od ovih pomeranja konstruisana je
drugačija
g j vrsta ggipkog
p g zgloba.
g

114
 Gipki mehanizmi
Gi k platforme
Gipke l tf za pozicioniranje
i i i j sa 3 stepena
t slobode
l b d
kretanja
Si-pločica se postavlja na gornju površinu spoljašnjeg okvira
mikroplatforme, tako da se njeno pozicioniranje vrši dejstvom
obeju platformi.
platformi

115
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za pozicioniranje
i i i j sa 6 stepeni
t i slobode
l b d
kretanja
Veliki broj primena zahteva pozicioniranje izvršnog člana uz
pomoć 6 stepeni slobode kretanja (3 translacije i 3 rotacije);
ovde spadaju npr.
npr uređaji za pozicioniranje endoskopskih
skenera (pozicioniranje u mm-oblasti), mehanizmi za centriranje
u mikrooptičkim
p uređajima
j (pozicioniranje
(p j u mm-oblasti), ),
elektronski mikroskopi (pozicioniranje u oblasti desetih delova
milimetra).

116
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za pozicioniranje
i i i j sa 6 stepeni
t i slobode
l b d
kretanja
Na slici je prikazan prototip mehanizma μHexFlex platforme za
pozicioniranje. Sastoji se od same platforme koja je sa
postoljem povezana članovima sa gipkim zglobovima (služe za
pojačavanje pomeranja) i malih termomehaničkih aktuatora
(µ
(µm-veličine).)

117
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za pozicioniranje
i i i j sa 6 stepeni
t i slobode
l b d
kretanja
Termomehanički aktuatori se pobuđuju toplotom generisanom
protokom struje kroz električni otpornik. U odnosu na
kapacitivne elektrostatičke aktuatore,
aktuatore termomehanički aktuatori
mogu da realizuju veće pogonske sile i veća pogonska
ppomeranja,
j , utoliko veće što jje veća g
gustina struje
j koja
j pprotiče
kroz otpornik. Nedostatak termomehaničkih aktuatora je da
imaju sporiji odziv u odnosu na elektrostatičke aktuatore;
njihove dinamičke karakteristike ograničene su fenomenima
termičkih promena. Zbog toga je njihova primena ograničena na
aplikacije kod kojih se zahtevaju velike sile i pomeranja uz malu
brzinu kretanja.

118
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za pozicioniranje
i i i j sa 6 stepeni
t i slobode
l b d
kretanja
Termomehanički aktuatori
realizuju pomeranja u ravni, ali i
van nje.
nje Takva kombinacija
pomeranja omogućuje realizovanje
od jjednogg do šest stepeni
p slobode
kretanja platforme.

119
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za pozicioniranje
i i i j sa 6 stepeni
t i slobode
l b d
kretanja

a) translacija u pravcu horizontalne ose u ravni,

b) translacija u pravcu vertikalne ose u ravni,

120
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za pozicioniranje
i i i j sa 6 stepeni
t i slobode
l b d
kretanja

c) translacija u pravcu ose upravne na ravan,

d) rotacija oko vertikalne ose u ravni,

121
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za pozicioniranje
i i i j sa 6 stepeni
t i slobode
l b d
kretanja

e) rotacija oko horizontalne ose u ravni,

f) rotacija oko ose upravne na ravan

122
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za pozicioniranje
i i i j sa 6 stepeni
t i slobode
l b d
kretanja
Kao što je prikazano na slici, pomeranja u ravni platforme (x, y, θz)
generišu se momentima koji deluju u temenu trougaone platforme
oko osa koje ne leže u ovoj ravni,
ravni dok se pomeranja van ravni
platforme (z, θx, θy) generišu silom koja deluje van ove ravni i/ili
momenta koji j deluje
j u temenu trougaone
g platforme,
p , u njenoj
j j ravni.
Ovakvi načini opterećenja mogu biti primenjeni na jedno ili više
temena istovremeno kako bi se dobilo pomeranje sa 6 stepeni
slobode kretanja.

123
 Gipki mehanizmi
Gi k platforma
Gipka l tf za pozicioniranje
i i i j sa 6 stepeni
t i slobode
l b d
kretanja
Cilj je da gipki članovi i termomehanički aktuatori budu µm-
veličine i međusobno integrisani i da realizuju pomeranja u opsegu
od nekoliko µm sa tačnošću reda nm. nm Na slici je prikazano više
različitih izvođenja gipkih članova platforme μHexFlex, koja mogu
da zadovolje j pprethodno navedene zahteve;; varijanta
j pprikazana na
slici c) realizuje najveće pojačanje pomeranja.
a) paralelno vezani
gipki članovi,
b) redno vezani
gipki članovi,
članovi
c) gipki članovi
izvedeni u obliku
luka 124
a) b) c)