Vi hệ thống

GV: Nguyễn Hoàng Nam

(chương trình Kỹ sư CLC – Khóa 51)

18/08/2010 1
 Vi hệ thống

§3 Phân loại và ứng dụng

Phân loại theo công nghệ sản xuất

Vi bề mặt Vi khắc
Vi khối

Vi hệ thống 2 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

Phân loại theo lĩnh vực

1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS

1.3.2 Vi quang hệ thống - MOEMS

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

1.3.4 Vi hệ thống lưu dẫn– Microfluidic

1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS

Vi hệ thống 3 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS

Vi ngắt (micro-switch)

Vi hệ thống 4 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS

Vi ñộng cơ (micro-motor)

Vi hệ thống 5 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.2 Vi quang hệ thống (MOEMS)

Vi hệ thống 6 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.2 Vi quang hệ thống (MOEMS)

Vi hệ thống 7 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

Vi hệ thống 8 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

Vi cuộn cảm (micro-inductor)

Vi hệ thống 9 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

Vi tụ (micro-capacitor)

Kiểu bề
mặt treo

Kiểu cài
răng lược

Vi hệ thống 10 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

Vi cộng hưởng (micro-resonator)
ạng thanh

ạng ñĩa
ñơn

Dạng
ñơ
Dạng
Dạng thanh

Dạng LC
ñôi

Vi hệ thống 11 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

Vi lọc (micro-filter)

Bộ lọc ñơn Bộ lọc ñôi

Vi hệ thống 12 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.4 Vi hệ thống lưu dẫn– Microfluidic

Vi hệ thống 13 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS

Vi hệ thống 14 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS

Vi hệ thống 15 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS

Vi hệ thống 16 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống
nghiệp xe Phân loại theo phạm vi ứng dụng
Trong ngành
công nghiệ
hơi

Vi hệ thống 17 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

Phân loại theo phạm vi ứng dụng

Vi hệ thống 18 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

Phân loại theo phạm vi ứng dụng

Vi hệ thống 19 Nguyễn Hoàng Nam

 Vi hệ thống

Tổng quát

Vi hệ thống 20 Nguyễn Hoàng Nam