DOI:10.13385/j.cnki.vacuum.2009.05.

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第 46 卷第 5 期 真 空 VACUUM Vol. 46, No. 5

2009 年 9 月 Sep. 2009

干式螺杆真空泵研究现状与展望

郭 蓓 1, 薛建国 2, 牛 瑞 2, 张 建 1, 吴 炎 1

(1.西安交通大学能源与动力工程学院 , 陕西 西安 710049; 2.江苏亚太泵阀技术有限公司,江苏 泰州 225400)

摘 要 ：介 绍 目 前 螺 杆 式 真 空 泵 现 状 ，分 析 了 螺 杆 端 面 型 线 研 究 情 况 和 整 机 冷 却 中 存 在 的 问 题 ，并 对 下
一步的研究方向进行了展望
关键字：螺杆真空泵；端面型线；机体冷却
中图分类号:TB752 + .2 文献标识码:B 文章编号 ：1002-0322（2009)05-0037-04

Current situation and outlook for R&D of dry screw vacuum pumps

GUO Bei1 , XUE Jian-guo2 , NIU Rui2 , ZHANG Jian1 , WU Yan1

( 1.Energy & Power Engineering School, Xi'an Jiaotong Univ., Xi'an 710049,China;
2.Yatai Pump/valve Technology Co., Ltd, Taizhou 225400, China )

Abstract: Describes the current situation of R&D of screw vacuum pumps and discusses the exixting problems or focal points
studied recently, ie., the end face screw -thread profile and the conditions of the entire pump during cooling. And an outlook
is given for what will be studied further in the near future.
Key words: screw vacuum pump; end face screw- thread profile; whole set cooling

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用 和机体冷却方面做了很多研究。
场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油 螺杆泵的技术关键问题。
及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需 （1）转子端面型线
求量很大, 真空获得产品已经出现更新换代的局 螺杆真空泵主要部件是一对旋向相反的螺距
面, 大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系 螺杆，电机的传动轴连接主动转子，通过一对高精
统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生 度的同步齿轮带动从动螺杆，两螺杆间留有间隙，
产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非 通过两转子的啮合达到抽气的目的(如图 1)。
接触型干式泵, 是 20 世纪 90 年代初期出现的一
种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽
气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优
点, 但其制造技术为国外掌握, 我国尚处于起步阶
段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。

1 研究现状 图 1 两转子传动示意图
Fig.1 Schematic of dual- rotor drive
干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美
和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密 核心技术是螺杆齿形，不同的齿形直接决定
加工等行业首选真空获得设备，日本在螺杆压缩 着泵的极限真空、抽气速率、容积效率、振动和噪
机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型 声等技术性能指标的差异。目前螺杆真空泵的端
线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步 面型线主要分为两种，单头转子型线和多头转子
的 开 发 出 了 等 螺 距 、变 螺 距 转 子 型 线 ，并 在 转 子 型线。如图 2、3 所示。

收稿日期：2008-12-08
作者简介：郭蓓(1973),女，河北省保定市人，博士，副教授。
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一般形式的螺杆真空泵型线进行了对比, 螺杆爪
式型线仍然存在泄漏三角形, 但对极限真空影响
很 小 , 这 种 型 线 主 要 在 轴 向 泄 漏 (透 孔 )方 面 进 行
了改进,使得改进后透孔面积大大减小,真空度可
以明显提高。
西安交通大学压缩机研究所的郭蓓教授在
多头螺杆转子型线基础上, 研发出一种新型的单
头转子端面型线,也称自共轭型线,两个转子完全
图2 单头转子端面型线 相 同 ,. 理 论 上 给 出 了 完 整 的 接 触 线 , 在 同 样 的 抽
Fig.2 Single- thread profile of rotor end faces
气速 率 下 , 可 以 保 证 轴 向 泄 漏 (透 孔 )面 积 更 小 , 极
限真空度有很大提高。

图3 多头转子端面型线
Fig.3 Multi- thread profile of rotor end faces
源于螺杆压缩机的多头转子型线起步较早， 图4 端面型线形状
有的厂家直接用螺杆压缩机的转子型线用在真 Fig.4 Different screw- thread profiles of rotor end faces

空泵上使用。日立公司很早就把 4－6 头螺杆转 里奇乐、凯尼和莱宝公司在单头等螺距转子

子型线用在真空泵上，韩国 LG 公司的真空泵目 型线基础上均研发出单头变螺距转子型线，并将
前也使用多头转子型线，由于两啮合转子接触线 产品投放市场。除了使用一对非等距螺杆以外，
的 顶 点 不 能 达 到 阴 、阳 转 子 气 缸 孔 的 交 线 ，在 接 变螺距螺杆式设计和等螺距螺杆式设计的基本
触线顶点和机壳的转子气缸孔之间，会形成一个 原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内
空 间 曲 边 三 角 形 ，也 就 是 泄 漏 三 角 形 ，气 体 将 从 部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得
压力较高的齿间容积，泄漏至压力较低的邻近齿 其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多
间 容 积 ，由 于 这 个 泄 漏 三 角 形 的 存 在 ，导 致 多 头 工 艺 中 ，这 种 内 部 压 缩 同 多 级 泵 一 样 ，极 易 造 成
螺杆真空泵的极限真空度较低，加上这类转子加 气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液
工难度大，需要专用机床，造价昂贵，因而逐步退 化。而等螺距螺杆式设计中，气体通路最短也最
出螺杆真空泵市场。为适应市场需求，各公司开 简单。这样，气体在泵体内停留的时间也最短。虽
始开发单头等螺距转子型线，日本的荏原株式会 然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其
社和大晃株式会社等相继研发出了具有知识产 耗电量相对较高，但在很多复杂的半导体工艺中
权的单头螺杆转子型线。KASHIYAMA 公司也有 表现出极高的稳定性。
自己的单头转子型线见世。
东北大学的刘春姐、张世伟等是国内较早研
究 螺 杆 真 空 泵 的 学 者 ，对 单 头 等 螺 距 型 线 、单 头
变螺距型线、双边对称圆弧型线做了一定的研
究，并申请了专利。但其所发表的文章中尚未给
出完整的转子端面构成及啮合、泄漏和齿间面积
利用效率的分析。
台湾中正大学的冯展华教授与汉钟精机合
作，研发螺杆真空泵，并于 2004 年申请了专利(图 图 5 单头等螺距螺杆转子 图 6 单头变螺距螺杆转子
Fig.5 Uniform pitch single- thread Fig.6 Variable pitch single- thread
4)。去年在爪式真空泵的 基 础 上 ，提 出 了 螺 杆 爪
screw rotor screw rotor
式 型 线 ，给 出 了 螺 杆 转 子 端 面 型 线 的 构 成 ，并 与
第5期 郭 蓓, 等：干式螺杆真空泵研究现状与展望 · 39 ·

（2） 泵体结构和冷却： 磨 损 了 ，Ni 层 也 能 实 现 防 腐 蚀 ， 同 时 采 用

R 全 氟 化 橡 胶 密 封 圈 。 SDV 系 列 是 凯 尼
Kalrez ○
公司主推的螺杆真空泵。
（2） 德国莱宝公司在 2002 年底正式推出的
SREWLINE 系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专
门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵，它是
一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰
图 7 干式螺杆真空泵的结构 苦的真空问题，如粉尘、焦油等。此泵也是采用变
Fig.7 Construction of dry screw vacuum pump
螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，
螺杆真空泵结构主要由螺杆转子、壳体、冷 大大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐
却循环和密封件构成。传动轴连接主动转子，通 粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷
过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷 却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命长。
却 水 通 道 ，用 来 冷 却 转 子 和 排 气 口 温 度 ，同 步 齿 （3） 德国普旭公司的 COBRAN 系列螺杆泵，
轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件 制程工艺最理想的真空泵，特别适用于化工和制
来密封以达到无油的效果。 干式螺杆真空泵同 药行业的各工艺流程。普旭是世界上最大的真空
无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般 泵 、鼓 风 机 和 压 缩 机 的 供 应 商 之 一 ，真 空 泵 的 质
真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用 量较高，相比其他厂家，在欧洲市场占有率极高，
双唇形密封件。在传动方式上，目前通用的是直 价格偏贵。
连 电 机 ，用 联 轴 器 与 转 子 连 接 ，极 少 数 用 皮 带 或 （4） 德国里奇乐的 VSA/VSB 系列，VSA 系列
者传动链传动。 为等螺距转子，市场评价较好，性能稳定。VSB 系
等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度 列是变螺距转子设计（非线型齿形设计），同其他
非 常 高 ，如 冷 却 效 果 不 好 ，会 造 成 转 子 和 机 壳 变 几家一样，通过内压缩来改变泵的功耗和排气温
形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个 度 ，不 用 两 级 压 缩 中 间 冷 却 ，单 级 即 可 实 现 很 高
环节，水冷是最常见的方法，在机壳本体、轴承外 的真空度。在密封件上做了改进，静态密封元件
侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的 优 选 Viton 材 料 ， 在 有 特 殊 要 求 的 情 况 下 选 择
目的。莱宝公司在转子内部通水冷却，增加转子 PTFE 或者添加有 PTFE 的密封件。动态密封元件
寿命，并达到很好的冷却效果。但该结构设计，需 在真空泵吸入侧用双密封唇；真空泵排气侧用简
要一定的技术及加工水平支持。 单的带有防止气体外溢的密封圈，以防止固体物
用水冷有时不能达到冷却效果，因而通常在 质进入泵内。
靠近排气端转子附近通冷却气体（多为氮气），现 （5） 日本的几个螺杆真空泵生产商。日本是
在国外的主流螺杆真空泵都采用这种方法。这种 应用螺杆真空泵非常多的国家，半导体和 LCD 行
方法有几个好处，第一，能冷却转子及机壳，降低 业应用广泛，大晃株式会社的吉村将士等很早就
排气温度；第二，当气体内含有颗粒物时，能防止 在单头等螺杆转子方面申请了专利，在转子上做
颗粒物沉积，或者发生化学反应引起爆炸。 了深入的研究。日立公司早期也做过螺杆泵方面
的研究。
2 国内外主要生产公司概况
（1） 塔海尔公司的 KDP，SDV 系 列 螺 杆 真 空
3 研究展望
泵 ，塔 海 尔 公 司 收 购 了 凯 尼 真 空 公 司 ，凯 尼 是 美 干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段，
国历史上最悠久的从事真空获得设备的专业制 很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐
造公司，在螺杆真空泵制造方面也是处于世界领 蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率
先 地 位 ，KDP 系 列 为 等 螺 距 转 子 的 真 空 泵 ，SDV 等问题仍然很棘手，当抽取一些活泼气体时，由
为 变 螺 距 螺 杆 泵 ，二 者 均 为 水 冷 系 统 ，风 冷 系 统 于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的，
可选择。SDV 是在 KDP 基础上进行的改进，变螺 用在需要控制音量的场合，如何降噪也要成为研
距螺杆泵能实现气体内部压缩，使排气温度降 究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真
低 ，同 比 等 螺 距 节 能 30％ ；在 转 子 上 采 用 NiFlon 空获得设备行业占主导地位，就像现在螺杆压缩
涂 层 ，即 第 一 层 为 Ni，第 二 层 为 PFA，即 使 PFA 机在行内的统治地位一样。
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