中国机械工程第 ２７ 卷第 １５ 期 ２０１６ 年 ８ 月上半月

旋转尺蠖压电电机驱动机构自由振动分析
邢继春 　 张 　 楠 　 李 　 冲
燕山大学 ，秦皇岛 ，
０６６００４
摘要：提出了一种新型旋转尺蠖压电电机。考虑旋转尺蠖压电电机驱动机构为连续系统，建立了驱
动机构动力学模型；利用该动力学模型求解了样机驱动机构的固有频 率 和 模 态 函 数。 分 析 了 系 统 参 数
对驱动机构固有频率的影响规律，为旋转尺蠖压电电机的设计打下了理论基础。
关键词：旋转尺蠖；驱动机构；模态分析；压电电机
中图分类号： １　　　　　　ＤＯＩ：
ＴＨ１１３． ３９６９／
１０． ｊｉ．
ｓｓｎ．
１００４－１３２Ｘ．
２０１６．
１５．
００２

Ｆｒｅ ｅ　Ｖｉｂｒａ ｔ
ｉｏｎ　Ａｎａ ｌｙｓ
ｉｓ　ｏｆ　 Ｄｒｉｖｉｎｇ　Ｍｅ ｃｈａｎｉｓｍｓ 　ｏｆ
　ａ　Ｒｏｔａ ｒｙ　Ｉｎｃｈｗｏ ｒｍ　Ｐｉｅｚｏｅｌ
ｅｃｔｒ
ｉｃ　Ｍｏ ｔｏｒ
Ｘｉｎｇ　Ｊｉｃｈｕｎ　Ｚｈａｎｇ　 Ｎａｎ　Ｌ ｉ　Ｃｈｏｎｇ
Ｙａｎｓｈａｎ　 Ｕｎ ｉｖｅｒｓｉ
ｔ ｙ，Ｑｉｎｈｕａｎｇｄａｏ， Ｈｅｂｅ ｉ，０６６００４
Ａｂｓｔｒａ ｔ：
ｃ Ａ　 ｎｏｖｅｌ　
ｒ ｏｔａｒｙ
　ｉｎｃｈｗｏ ｒｍ　ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒ
ｉ ｃ　ｍｏｔｏｒ　ｗａ ｓ　ｐｒｏｐｏｓ ｅｄ　ｈｅｒｅ
ｉｎ． Ｃｏｎｓｉ
ｄｅ ｒ
ｉ ｎｇ　ｔ
ｈｅ　ｄｒ
ｉｖ－
ｉ
ｎｇ　ｍｅ ｃｈａｎ ｉ
ｓｍ　 ｏｆ　ｔｈｅ　ｒｏｔａｒｙ　ｉｎｃｈｗｏ ｒｍ　 ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ　ｍｏｔｏｒ　 ｗａｓ 　ａ　ｃｏｎ ｔ
ｉｎｕｏｕｓ　ｓｙｓｔ ，
ｅｍ ｔ ｈｅ　ｄｙｎａｍｉｃｓ
ｍｏｄｅｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｄｒ ｉ
ｖ ｉ
ｎｇ　ｓｙｓ ｔｅｍ　 ｗａ ｓ　ｐｒ ｅｓ
ｅｎ ｔｅｄ．Ｔｈｅ　 ｎａｔｕｒａｌ　
ｆｒｅｑｕｅｎｃ ｉｅ ｓ　
ａｎｄ　 ｍｏｄｅ　ｆｕｎｃｔｉｏｎ　ｏ ｆ
　ｔｈｅ　ｄｒ
ｉｖｅ
ｍｅｃｈａｎｉｓｍ　 ｏ ｆ
　ａ　ｐｒｏｔｏｔｙｐｅ　 ｗｅｒｅ　ｓｏ ｌｖｅｄ　ｂｙ　ｕｓｉｎｇ　ｔｈｅ　ｄｙｎａｍｉ ｃｓ　ｍｏｄｅ ｌ．Ｔｈｅ 　
ｉｎｆｌ
ｕｅｎｃｅ ｓ
　ｏｆ　
ｓｙｓｔ ｅｍ　ｐａｒａｍｅ－
ｔ
ｅｒｓ　ｏｎ　ｔｈｅ　ｎａｔ ｕｒａｌ　
ｆｒｅｑｕｅｎｃ ｙ　ｏｆ　ｔ ｈｅ　ｄｒｉｖｉ
ｎ ｇ　ｍ ｅ
ｃｈ ａｎｉｓｍ　 ｗｅｒｅ　ａ ｎａｌｙｚｅｄ ．Ａｌｌ　
ｔｈｅ　ｃｏｎｃｌｕｓ
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ａｙ　 ｈｅｏ－
ａ　
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　ｆｏｕｎｄａ ｔｉｏｎ 　
ｆｏｒ　ｔｈｅ　ｄｅｓｉｇｎ　 ｏｆ　ｔｈｅ　ｒｏｔａｒｙ　ｉ
ｎｃｈｗｏ ｒｍ　 ｉ
ｐｅｚｏｅ ｌ
ｅ ｃｔ
ｒｉｃ　ｍｏ ｔｏｒｓ．
Ｋｅｙ　 ｗｏｒｄｓ： ｒｏｔａｒｙｉ
　 ｎｃｈｗｏ ｒｍ； ｄｒｉｖｉｎｇ　ｍｅ ｃｈａｎｉｓｍ； ｍｏｄａｌ　ａｎａｌ ｙｓ
ｉ ｓ；ｐｉｅｚｏｅ
ｌｅｃｔｒ
ｉｃ　ｍｏｔｏ ｒ

０　 引言 体装备等领域 ［１］。压电精密驱动器根据输出的运
近年来，利用 尺 蠖 运 动 原 理 的 压 电 高 精 密 微 动形式分为直 线 型 和 旋 转 型 ［２］，根 据 驱 动 信 号 的
位移驱动器逐渐应用于精密测量、微机电系统、精 频率可分为准静态驱动器和超声驱动器。准静态
密加工装配、纳米科学仪器、生物细胞操纵和半导 驱动器驱动信号 频 率 较 低，常 见 的 有 尺 蠖 压 电 电
机、惯性冲击 式 压 电 电 机 等 ［３］。 驱 动 信 号 频 率 较
收稿日期：
２０１５　１１　１６ 高的超声驱动器中关于行波超声电机研究的文献
基金项 目：燕 山 大 学 青 年 教 师 自 主 研 究 计 划 课 题 资 助 项 目 较多，成果也较为突出 ［４］。而且，现有的旋转型压
（
１３ＬＧＢ００２）
电电机中行波超 声 电 机 最 为 常 见，其 特 点 为 输 出

９］　 马登成，杨士 敏，胡 永 彪 ．静 液 二 次 调 节 加 载 系 统
［ Ｐｅ
ｒｆｏ ｅ　
ｒｍａｎｃ ｏ
ｆ　Ｐｏ
ｓｉｔ
ｉｏｎ　
Ｓｅｒ
ｖｏ　
Ｓｙｓ
ｔｅｍ　Ｏｎ
ｌ ｗｉ
ｙ　 ｔ
ｈ
动态性能分析［ 计 算 机 仿 真，
Ｊ］． ２０１０，２７（
４）：３００－ Ｐｏ
ｓｉｔ
ｉｏｎ　ａｎｄ　Ｃｕ
ｒｒ ｔ　Ｌｏｏｐｓ［
ｅｎ Ｊ］．Ｔｒ
ａｎｓ
ａｃｔ
ｉｏｎｓ　ｏ
ｆ
３０３． Ｃｈ
ｉｎａ　
Ｅｌｅ
ｃｔｒ
ｏｔｅ
ｃｈｎ
ｉｃａ
ｌ　Ｓｏ
ｃｉｅ
ｔｙ，２００９，２４（
１０）：４０－
Ｄｅｎｇｃｈｅｎｇ，Ｙａｎｇ　Ｓｈ
Ｍａ　 ｎ，Ｈｕ　Ｙｏｎｇｂ
ｉｍｉ ｉａｏ．
Ｓｔｕｄｙ ４６．
ｏｎ　
Ｄｙｎａｍｉ
ｃ　Ｃｈａ
ｒａｃ
ｔｅｒ
ｉｓｔ
ｉｃｓ　
ｏｆ　
ａ　Ｓｅ
ｃｏｎｄａ
ｒ Ｒｅｇｕ
ｙ　 ｌａ－ １３］　 陈 伯 时 ．电 力 拖 动 自 动 控 制 系 统 运 动 控 制 系 统
［
ｔ
ｅｄ　Ｌｏａｄ
ｉｎｇ　Ｓｙ
ｓｔｅｍ ［
Ｊ］．Ｃｏｍｐｕ
ｔｅｒ　Ｓ
ｉｍｕ
ｌａｔ
ｉｏｎ， 北京：机械工业出版社，
［Ｍ］． ２００４．
２０１０，２７（
４）：３００－３０３． １４］　 焦宗夏，华清，王晓东，等 ．电 液 负 载 模 拟 器 的 复 合
［
［
１０］　Ｎｅ
ｓｔｅｇａ
ｒｄ　Ａ，Ｂｏｅ　Ｔ．Ｍｏｄｅ
ｌｉｎｇ　ａｎｄ　Ａｎａ
ｌｙｓ
ｉｓ　ｏ
ｆ 控制［ 机械工程学报，
Ｊ］． ２００２，３８（
１２）：３４－３８．
Ｍａ
ｒｉｎｅ　
Ｏｐｅ
ｒａｔ
ｉｏｎｓ［
Ｓ］．Ｄｅ
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ｉｃｅ　ＤＮＶ －ＲＰ －Ｈ１０３， Ｈｙｂｒｉ
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ｏｈｙｄｒａｕｌ
ｉｃ　Ｌｏａｄ　Ｓｉｍ－
２０１１． ｕ
ｌａｔ
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ｒＪ ． Ｃｈ
ｉｎｅｓ
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［
１１］　Ｋüｃｈ
ｌｅ Ｓ，Ｍａｈ
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ｌ ｎｇ，２００２，３８（
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Ｖｅｓ－ （编辑 　 陈 　 勇）
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Ｊ］．
ＩＥＥＥ／ＡＳＭＥ　
Ｔｒａｎｓ．ｏｎ　
Ｍｅｃｈａ－
ｔ
ｒｏｎ
ｉｃｓ，２０１１，１６（
２）：２９７－３０９．
１２］　 滕福林，胡 育 文，刘 洋，等 ．
［ 位 置／电 流 两 环 结 构 位 作者简介：吴金波，男，
１９７４ 年 生。 华 中 科 技 大 学 船 舶 与 海 洋 工
置伺服系统的 跟 随 性 能 ［ 电 工 技 术 学 报，２００９，
Ｊ］． 程学院副教授。主要研究方向为并联机器人、舰 船 机 电 设 备 的 动

２４（
１０）：４０－４６． 态特性分析等。宋宇宸，男，
１９９２ 年 生。 华 中 科 技 大 学 船 舶 与 海
洋工程学院硕士研究生。
Ｔｅｎｇ　
Ｆｕｌ
ｉｎ， Ｙｕｗｅｎ ，
Ｈｕ　 Ｌｉ Ｙａｎｇ，
ｕ　 ｅｔ　
ａｌ．Ｔｒ
ａｃｋ
ｉｎｇ
· １９９６ ·
旋转尺蠖压电电机驱动机构自由振动分析———邢继春 　 张 　 楠 　 李 　 冲

速度较高、行程较大，但在高精密定位中其定位精 叠堆 ２ 和 ６ 的电 压 信 号，钳 位 机 构 ４ 和 驱 动 机 构
度和分辨率较低 ［
５］
。而准静态压电电机中的尺蠖 ８ 恢复原状。完成了一个 周 期 的 动 作。 重 复 上 一
压电电机则能将 大 行 程 与 高 精 度、高 分 辨 率 很 好 周期的动作，以此来实现完整的连续运动。
地兼容，并且克服 了 惯 性 冲 击 式 压 电 电 机 输 出 力
矩较小的缺点 ［６］。
目前，尺蠖压 电 电 机 设 计 研 究 的 类 型 多 为 直
ａ）压电叠堆 １　　　　　　 （
（ ｂ）压电叠堆 ２
线型驱动器，将尺 蠖 驱 动 机 理 应 用 到 精 密 旋 转 驱
动技术中的实 例 不 多 ［７］，并 且 该 种 电 机 的 传 动 系
统的驱动与控制理论尚不完善，因此，大大限制了
尺蠖电机在 微 动 精 密 控 制 领 域 中 的 应 用 ［８－９］。 本 ｃ）压电叠堆 ３　　　　　　 （
（ ｄ）压电叠堆 ４
文提出了一种新型旋转尺蠖压电微动电机。该电 图 ２　 时序驱动信号

机以压电叠堆作 为 驱 动 元 件，由 于 定 子 的 特 殊 结
构，当工作时驱动机构可产生角度位移；并且具有
实现箝位装置可调、单个零件结构简单、能够实现
微动压电电机大行程等优点。本文针对旋转尺蠖
压电电机的关键 部 件 驱 动 机 构 建 立 动 力 学 模 型，
并进行自由振动分析。

１　 旋转选尺蠖压电机工作原理
图 １ 为旋转 尺 蠖 压 电 电 机 实 物 图 及 爆 炸 图。
时序驱动信号如图 ２ 所示，图 ２ 中 Ａ 为驱动电压
Ｔ 为电机工 作 一 个 周 期 的 时 间。 当 施 加 图
幅值，
图 ３　 驱动原理示意图
２ａ 所示的时 序 信 号 时，图 ３ 中 压 电 叠 堆 １ 伸 长，
钳位机构 ３ 顶住 转 子。 继 续 输 入 图 ２ｂ 所 示 时 序
２　 驱动机构动力学模型的建立
信号，压电叠堆 ５ 伸长，由于驱动机构利用杠杆位
移放大原理，驱 动 机 构 ７ 发 生 弯 曲。 钳 位 机 构 ３ 如图 ４ 所示，驱 动 机 构 由 基 座 和 驱 动 机 构 两
带动转子 ９ 顺时针转过一定角度θ。 当输入图 ２ｃ 部分固连组成，并 通 过 基 座 上 的 中 心 孔 与 固 定 轴
所示时序信号时，压电叠堆 ２ 伸长顶住转子后，撤 形成过盈配合，其中 １ 为压电堆，
２ 为支撑梁，
３为
销压电叠堆 １ 和 ５ 的 电 压 信 号，钳 位 机 构 ３ 和 驱 ４ 为基座梁。建立 驱 动 机 构 动 力 学 模 型，
驱动梁，
动机构 ７ 恢复原状。钳位机构 ４ 带动转子转过角 对驱动 机 构 进 行 相 应 的 简 化。 驱 动 机 构 关 于 ｘ
度θ。将压电 叠 堆 ６ 输 入 图 ２ｄ 所 示 的 时 序 信 号 轴、
ｙ 轴 成 反 对 称 结 构，因 此，取 驱 动 机 构 的 １／４
后，压电 叠 堆 ６ 伸 长，驱 动 机 构 ８ 发 生 弯 曲，钳 位 进行动力学问题研究，并作以下假设：
机构 ４ 再带动转子顺时针 转 过 角 度θ。 撤 销 压 电

图 ４　 驱动机构轴测爆炸图和驱动机构平面图

１）考虑驱动 机 构 的 弹 性 变 形 主 要 发 生 在 压
（
电叠堆、支撑梁、驱动梁和基座梁上。
２）考虑支撑梁的长度小于截面高度的 ５ 倍，
（
该梁段为铁摩辛 柯 梁，故 考 虑 截 面 剪 切 惯 量 和 转
图 １　 旋转尺蠖压电电机
动惯量。

· １９９７ ·
 中国机械工程第 ２７ 卷第 １５ 期 ２０１６ 年 ８ 月上半月

３）考虑支撑 梁 和 基 座 梁 处 两 尺 寸 相 同 的 柔
（ 由压电本构方程推导出轴向内力表达式：
性铰链弯曲变形，忽略拉伸变形，将柔性铰链视为 ｖ Ｖ（ｔ）
Ｆ ＝ｃ３Ｅ３Ａｐ Ｅ
－ｃ３３ｄ３３Ａｐ （
２）
ｙ ｌｐ
铰链 与 卷 簧 的 组 合，卷 簧 刚 度 为 Ｋ ，可 利 用 直 圆
其中，ｄ３３ 为 压 电 系 数，当 驱 动 电 压 信 号Ｖ （
ｔ）＝０
型柔性铰链转动刚度公式 ［７］求解：
时，把式（ ２）代入式（ １），令 ｐ＝０，得到压电堆轴向
Ｍｚ ＥｈｊＲ２
Ｋ＝ ＝
αｚ Ｈ
１２　 振动偏微分方程：
２ ２　
２３　
ｓ（６ ２
ｓ ＋４ｓ＋１） １２
ｓ（ ２ｓ＋１）４　
　ｖ ２ ｖ
Ｈ＝ ２＋ ５ ａ
ｒｃａｎ　槡
ｔ ４
ｓ＋１ ２ ＝ａ ２
（
３）
（
２ｓ＋１）（ｓ＋１）
４ （ ｔ ｙ
４ｓ＋１）２
ｓ＝Ｒ／
ｔ ｃ３Ｅ３ １
式中，
Ｍｚ 为关于ｚ 轴 的 弯 矩；
αｚ 为 关 于ｚ 轴 的 转 角；
Ｅ为
ａ＝
槡
ρ
＝
槡
ρｓ　
ｐ
Ｅ
ｐ ３３

驱动机构材料弹 性 模 量；
ｈｊ为 铰 链 宽 度；
ｔ为凹口处最小 设式（
３）解的形式为
Ｒ 为切口半径。
厚度； ｖ（
ｙ，ｔ）＝φｐ（
ｙ）ｑ（
ｔ） （
４）

４）驱动 梁 与 基 座 梁 通 过 两 个 螺 钉 固 连。 考
（ 其中， ｔ）为 广 义 坐 标，压 电 堆 轴 向 振 动 模 态
ｑ（
虑两梁在两螺钉位置ｌ５ 、 ｌ６ 处有相同的动态位移， ｙ）为
φｐ（
如图 ５ 所示。 ωｙ ωｙ
φｐ（
ｙ）＝Ａ１ｓ
ｉｎ ＋Ａ２ｃ
ａ
ｏｓ
ａ
（
５）

系数 Ａｉ（ ２）由边界条件确定，进而得出无穷
ｉ＝１，
多个固有频率 ωｉ（ ２，…）及 对 应 的 模 态 函 数
ｉ＝１，
φｐｉ（
ｉ＝１，
２，…）。
２　 支撑梁自由振动
２．
简化支撑梁，其动力学模型如图 ７ 所示，考虑
支撑梁的长度小 于 截 面 高 度 的 ５ 倍，认 为 该 梁 为
铁摩辛柯梁模型，Ｏ１ 端柔性铰 链 简 化 为 简 支 端 和
定刚度卷簧，刚度 为 Ｋ 。 对 支 撑 梁 模 型 建 立 坐 标
系，对应的 弯 曲 振 动 横 向 位 移 为ｙ１（ ｔ），梁 的
ｘ１ ，
图 ５　 驱动机构简化模型图
密度和弹性模量 分 别 为 ρ、
Ｅ ，横 截 面 积 为 Ｓ１ ，极
１　 压电堆自由振动
２． 惯性矩为Ｉ１ ，作用在梁上的分布载荷为 ｆ（ ｘ１ ，
ｔ）。
压电叠堆为多层压电陶瓷片的粘合体。考虑
压电叠堆为连续系统，忽略层与层间的能量耗损，
预紧力不能使压 电 堆 产 生 电 荷，忽 略 预 紧 力 对 动
力学模型的影响，只考虑压电叠堆纵向振动。
压电堆动力学模型如图 ６ 所示，其中 ｖ（
ｙ，ｔ）
为压电堆的轴 向 振 动 位 移，
ｐ 为单位长度轴向外
图 ７　 支撑梁动力学模型
力，Ｆ 为轴向内力。设ρｐ（ ｙ）为压电堆质量密度，
ｙ）＝ｃ３３ 为 其 弹 性 模 量，
Ｅｐ（ Ａｐ 为 横 截 面 积，取 一
Ｅ
设梁的切变 模 量 为 Ｇ ，取 厚 度 ｄｘ１ 为 研 究 对
小微元建立动力学方程： 象，截面产生的切应变 γ＝Ｆｓ／（ Ｆｓ为 单 元
κＧＳ１ ），
２　
ｖ Ｆ 所受剪力，
κ 为 截 面 形 状 因 素。 截 面 因 刚 体 转 动
ρｐＡｐｄｙ 
ｔ２ （ ）
＝ Ｆ ＋ ｄｙ －Ｆ ＋ｐｄｙ
ｙ
（
１）
产生的角度θ 和 应 变γ 都 使 中 心 轴 的 切 线 偏 转，
则有ｙ１／ｘ１ ＝θ＋γ。
对微元应用牛顿第二定律列出平衡方程：
２
　ｙ１ （
ｘ１ ，
ｔ） Ｆｓ
ρＳ１ｄｘ１ ｔ２
＝ Ｆｓ＋（
ｘ１
＋ｄｘ１ －Ｆｓ＋）
ｆ（
ｘ１ ，
ｔ）ｄｘ１ （
６）
令式（
６）中 ｆ＝０，代入切应变，化简可得
２
　ｙ１ （
ｘ１ ，
ｔ）  ｙ１
ρＳ１ ｔ２
－κＧＳ１
ｘ１ ｘ１（－θ ＝０） （
７）

图 ６　 压电堆动力学模型 考虑截面转动 产 生 的 惯 性 力 矩，建 立 力 矩 平

衡方程：
· １９９８ ·
旋转尺蠖压电电机驱动机构自由振动分析———邢继春 　 张 　 楠 　 李 　 冲

２
模型如图 ８ 所示。
（Ｍ ＋ｘＭ ＋ｄｘ ）－Ｍ －Ｆ ｄｘ ＋Ｊｔθｄｘ ＝０
１
１ ｓ １ ２ １ （
８）

其中，Ｍ 为 单 元 所 受 弯 矩；
Ｊ 为 截 面 转 动 惯 量，
Ｉ１ 。
Ｊ＝ρ
由力矩和转角的 关 系 知 Ｍ ＝ －ＥＩ１
θ／ｘ１ ，
代入式（
８ 化简整理得
），
２ ２
θ ｙ１ θ
ＥＩ１
ｘ１
２ ＋κＧＳ１
ｘ１ （
Ｉ１ ２ ＝０
－θ －ρ
ｔ
 ） （
９）

从式（
７）、式（
９）中消去θ，可 得 铁 摩 辛 柯 梁 动
力学方程：
２ ４ ４　 ２ ４　
　ｙ１ 　ｙ１ Ｅ ｙ１ ρＩ１ｙ１
ρＳ１ 
ｔ ２ ＋ＥＩ１
ｘ１
４ －ρＩ１ １＋ ２
κＧ ｘ１（ ）
２＋
ｔ κＧ ｔ４
＝０
图 ８　 驱动梁和基座梁动力学模型
（
１０）
仅考虑转 动 惯 量 的 影 响，忽 略 剪 切 变 形，式 在驱动梁中，取微元 ｄｘ２ 为研究对象，建立动
力学方程：
１０）可简化为
（
２
　ｙ２ （
ｘ２ ，
ｔ） Ｆｓ

２
　
ｔ
ｙ１ ＥＩ１４　
２ ＋
ｙ１ Ｉ１ ４　
４ －
ｙ１
２
ρＳ１ ｘ１ Ｓ ｘ１ ｔ２
＝０ （
１１） ρＳ２ｄｘ２ ｔ２
＝Ｆｓ－ Ｆｓ＋（
ｘ２
ｄｘ２ ＋ｆ（
ｘ２ ，）
ｔ）ｄｘ２

（
１９）
设式（
１１）中解的形式为
以右截面上任一点为矩心建立平衡方程：
ｙ１ （
ｘ１ ，
ｔ）＝φ（
ｘ１ ）
ｑ（ｔ） （
１２）
其中，φ（ｘ１ ）为 支 撑 梁 的 模 态 函 数。 代 入 式 （Ｍ ＋ｘＭｄｘ ）－Ｍ －Ｆ ｄｘ ＋ｆ（ｘ ，ｔ）ｄｘ ｘ２ ＝０
２
２ ｓ ２ ２ ２
２

１１）得
（
（
２０）
 （） （）
ｑ ｔ ＥＩ１φ ４ （ｘ１ ）
＝－ （
１３） 令 ｆ（ ｔ）＝０，由 式 （
ｘ２ ， ２０）得 Ｆｓ ＝Ｍ／ｘ２ ，
ｑ（ｔ） （ （ ） 
ρ Ｓ１φ ｘ１ －Ｉ１φ （ ｘ１ ））

由材 料 力 学 弯 矩 和 挠 度 的 关 系 得 Ｍ ＝ ＥＩ２ ·
ｑ （
ｔ）
令 ω 为 系 统 固 有 频 率。 导 出
＝ －ω２ ， ２
　ｙ２（
ｘ２ ，
ｔ）／ｘ２
２，代入式（
１９）化简得
ｑ（ ｔ）
４
　ｙ２ （ ｔ） ２　
ｘ２ ， ｙ２ （
ｘ２ ，
ｔ）
ｔ）的微分方程及 φ（
ｑ（ ｘ１）的微分方程： ＥＩ２ ４ ＋ρ ２ ＝０ （
２１）
ｘ
２ ｔ

 （） ２　
ｑ ｔ ＋ω ｑ（
ｔ）＝０ （
１４）
（
设式（
２１）中方程解的形式为
４） （ ） ４
φ ｘ１ ）＋δ２φ
（ ｘ１ －β ＝０ （
１５）
２ ２
ｙ２ （
ｘ２ ，
ｔ）＝η（
ｘ２ ）
ｑ（ｔ） （
２２）
ρＳ１ω ２ ρω
　　 将式（
２２）代入式（
２１）导出
４
β ＝ ＥＩ１ 　δ ＝ Ｅ
（
４）
设式（ η （ ｘ２ ）－β２η（
ｘ２ ）＝０ （
２３）
１５）解的一般形式为
４ ２
ｘ１ ）＝ｅλｘ１ β ＝ρＳ２ω ／（ ＥＩ２ ）
φ（ （
１６）
则式（
２３）的通解，即驱动梁的模态函数为
将式（
１６）代入式（
１５），导出本征方程为
４ ２ ２ ４
λ ＋δ λ －β ＝０ （
１７） η（
ｘ２ ）＝Ｃ１ｃｏｓ（βｘ２ ）＋Ｃ２ｓ
ｉｎ（βｘ２ ）＋ （
２４）
Ｃ３ｓｉ （ ）
ｎｈβｘ２ ＋Ｃ４ｃ ｏｓｈ（βｘ２ ）
解出 ４ 个本征值：±ｉ
β１ ，±β２ ，其中
其中，系 数 Ｃｉ （
ｉ＝１，
２， ４）可 由 边 界 条 件 确 定，
３，
４ ２ ４ ２
δ δ δ δ
从而可以得到无穷多个固有 频 率 ωｉ （
β１ ＝
槡
槡 ４
β ＋ ４ ＋ ２ 　β２ ＝ 槡
槡 ４
β ＋４ －２ ｉ＝１，
２，…）
则式（ 及对应的模态函数ηｉ（
ｉ＝１，
２，…）。
１５）的通解，即支撑梁的模态函数为
在基座梁中，取 ｄｘ３ 单元体为研究对象，微元
φ（
ｘ１ ）＝Ｂ１ｃｏｓ（β１ｘ１ ）＋Ｂ２ｓｉｎ（β１ｘ１ ）＋ １８）
（
Ｂ３ｓｉｎｈ（β２ｘ１ ）＋Ｂ４ｃｏｓｈ（β２ｘ１ ） 体沿 ｙ３ 方向的动力学方程为
其中，系数 Ｂｉ（
ｉ＝１，
２， ４）可 由 边 界 条 件 确 定，
３，
２
　ｙ３ Ｆｓ
并可得到无穷多个固有频率 ωｉ （ ２，…）及 对
ｉ＝１，
ρＳ３ｄｙ 
ｔ２
＝Ｆｓ－ Ｆｓ＋ （
ｘ３
ｄｘ３ ＋ｆ（
ｘ３ ，
ｔ））
ｄｘ３

（
２５）
应的模态函数 φｉ（
ｉ＝１，
２，…）。
微元体满足力矩平衡条件，力矩平衡方程为
３　 驱动梁和基座梁自由振动
２．
驱动梁和基座梁动长度 均 大 于 截 面 宽 度 的 ５ （Ｍ ＋ｘＭｄｘ ）－Ｍ －Ｆ ｄｘ －ｆ（ｘ ，ｔ）ｘ２ｄｘ ＝０
３
３ ｓ ３ ３
３
３

倍，可视为欧拉 伯努利梁。两个梁左端分别在长 （
２６）
度为ｌ５ 、
ｌ６ 处利用螺栓固连，驱动梁右端与压电堆 上述方程与驱 动 梁 动 力 学 方 程 一 致，故 可 得
相连，基座梁 右 端 利 用 柔 性 铰 链 约 束。 其 动 力 学 简化后的弯曲振动方程：

· １９９９ ·
 中国机械工程第 ２７ 卷第 １５ 期 ２０１６ 年 ８ 月上半月

４
　ｙ３ （ ｔ） ２　
ｘ３ ， ｙ３ （
ｘ３ ，
ｔ） 位置处的位移值。
ＥＩ３ ４　 ＋ρ ＝０ （
２７）
ｘ３ ｔ２
 表 １　 结构参数
将式（
２７）的解分离变量，把解的形式写成 压电叠
梁材料参数 柔性铰链参数
ｙ３ （
ｘ３ ，
ｔ）＝ψ（
ｙ）ｑ（
ｔ） （
２８） 堆位置

将式（
２８）代入式（
２７），导出 ＧＰａ）ｂ（ｍｍ） ｔ（ｍｍ）ｈｊ（ｍｍ）Ｒ（ｍｍ）ｌ２（ｍｍ）
ｇ／ｃｍ３）Ｅ（
ρ（
（
４） （） ８．９　 ９０　 ５　 １　 ５　 ２　 ２０
ψ ｘ３ ）－β４ψ ４ （
（ ｘ３ ）＝０ （
２９）
支撑梁参数 驱动梁参数 基座梁
式（
２９）的通解，即基座梁的模态函数为 ｌ１（ｍｍ）ｈ１（
ｍｍ）ｌ３（ｍｍ）ｈ３（ｍｍ） ｌ４（ｍｍ） ｈ４（ｍｍ）
ψ（
ｘ３ ）＝Ｄ１ｃｏｓ（βｘ３ ）＋Ｄ２ｓ
ｉｎ（βｘ３ ）＋ ３０）
（
１０　 ５　 ２８．
５　 ５　 ３５　 ５
（ ） 螺栓距梁端位置 压电叠堆参数
Ｄ３ｓｉｎｈβｘ３ ＋Ｄ４ｃ ｏｓｈ（βｘ３ ） Ｅ （
ｌ５（ｍｍ）ｌ６（ｍｍ） ｃ３３ ＧＰａ） ρｐ（ ｌｎｐ（ｍｍ）Ａｐ（ｍｍ２）
ｇ／ｃｍ３）
通过边界条件可 确 定 式 （
３０）中 系 数 Ｄｉ （
ｉ＝ ３．
５　 ９　 ５５．６　 ７．
５　 １０　 ２５
１，
２， ４），进 而 得 到 固 有 频 率 ωｉ （
３， ２，…）及
ｉ＝１， 表 ２　 不同材料对应的固有频率 ａｄ／ｓ
ｒ
对应的模态函数 φｉ（ ｉ＝１， ２，…）。 材料 ω１ ω２ ω３ ω４ ω５
４　 边界条件和连续条件
２． 铝 １１５　
０８２　 ３５５　
２３０　 ３８７　
３７９　 ５０２　
９６２　 ８０７　
５９９
由驱动机构分离后各段的边界条件和连续条 碳钢 １１７　
３４５　 ３３７　
３７７　 ４０８　
３６６　 ５７１　
０２４　 ８５１　
３５２
黄铜 ７４　
１９５　 ２３８　
３９２　 ２５１　
０６６　 ４２８　
０６９　 ５２３　
４１７
件，可知以下关系式：
合金钢 １１５　
８５９　 ３３４　
１４９　 ４０３　
１６４　 ５６７　
９０７　 ８４０　
５０７
１）压电堆 ｙ＝０ 处为固定端，此处轴向位移
（ 灰铸铁 ９５　
８９０　 ２９５　
７３５　 ３２６　
８９１　 ４９５　
６９６　 ６８１　
４９５
为零，即
φｐ（
０）＝０ （
３１）
２）支撑 梁 ｘ１ ＝０ 处 为 卷 簧 和 铰 链，挠 度 为
（
零，转角不为零，即
φ（
０）＝０
·
ＥＩ１φ（ （）
０）＝Ｋφ ０ ｝ （
３２）

３）驱动梁 ｘ２ ＝０ 和 基 座 梁 ｘ３ ＝０ 处 为 自 由
（
端，弯矩和剪力均为零，即
 …
η（０）＝η（
０）＝０烌
ａ）压电堆和支撑梁振型
（
烍 （
３３）
 …
ψ（
０）＝ψ（）
０ ＝０烎
４）基 座 梁 ｘ３ ＝ｌ４ 处 为 弹 性 约 束，边 界 条
（
件为
 ·
ＥＩ３ψ （
ｌ４ ）＝Ｋψ（
ｌ４ ） （
３４）
５）压电堆 ｙ＝ｌｎｐ和驱动梁 ｘ２ ＝ｌ３ 结合处，有
（
φｐ（ｌｎｐ）＝η（ ｌ３ ）
Ｅ ·
ｃ３３Ａｐφｐ（
…
ｌｎｐ）＝ＥＩ２η（ｌ３ ）
｝ （
３５）

６）支撑梁 ｘ１ ＝ｌ１ 和驱动梁 ｘ２ ＝ｌ２ 结合处，有

（
（ ）
ＥＩ１φ （ ）
ｌ１ ＝ＥＩ２η ｌ２ ｂ）驱动梁和基座梁振型
（
·
φ（
ｌ１ ）＝η（
ｌ２ ）
· ｝ （
３６）
图 ９　 驱动机构 １ 阶振型

（７）驱动梁与基座梁通过螺栓固连，螺栓位置 　　 由表 ２ 和图 ９～ 图 １１ 可知：
在ｌ５ 、
ｌ６ 处，有 １）在 ５ 种材料中，黄铜对应的驱动机构同阶
（
η（
ｌ５ ）＝ψ（
ｌ５ ） 固 有 频 率 最 小，碳 钢 对 应 的 同 阶 固 有 频 率 最 大。
η（
ｌ６ ）＝ψ（
ｌ６ ） ｝ （
３７）
不同材料对应 的 固 有 频 率 中，
２阶和３阶固有频
率总是相差最小。
３　 结果分析
２）同阶振型中，压电堆的轴向振动和支撑梁
（
１　 固有频率及模态分析
３． 对应的铁摩辛柯 梁 的 弯 曲 振 动 较 弱，而 驱 动 梁 和
驱动机构结 构 参 数 见 表 １，将 参 数 代 入 连 续
基座梁对应的欧拉伯努利梁的弯曲振动现象较明
条件得出系统的 固 有 频 率 及 振 型，不 同 材 料 对 应
显。这是因为压电堆和支撑梁都是截面与长度尺
的固有频率见表 ２。图 ９～ 图 １１ 所示为前 ３ 阶固
寸比值较大而不易产生振动。
有频率对应的振型，且振型图中标出了ｌ５ 、
ｌ６ 及ｌ２
３）同 阶 固 有 频 率 中，驱 动 梁 和 基 座 的 ｌ５ 和
　　 （
· ２０００ ·
旋转尺蠖压电电机驱动机构自由振动分析———邢继春 　 张 　 楠 　 李 　 冲

所示，可知：

ａ）压电堆和支撑梁振型
（

图 １２　 固有频率随 ｈ 变化情况

ｂ）驱动梁和基座梁振型
（
图 １０　 驱动机构 ２ 阶振型
图 １３　 固有频率随 ｈｊ变化情况

（
ａ）压电堆和支撑梁振型 图 １４　 固有频率随ｌ１ 变化情况

ｂ）驱动梁和基座梁振型
（ 图 １５　 固有频率随ｌ３ 变化情况
图 １１　 驱动机构 ３ 阶振型
１）随 ｈ 的 增 大，
（ １ 阶 固 有 频 率 ｆ１ 先 增 大 后
ｌ６ 处的位移值分别相 同，这 与ｌ５ 和ｌ６ 处 因 螺 栓 连 减小，
２ 阶 和 ３ 阶 固 有 频 率 ｆ２ 、
ｆ３ 先 增 大 而 后 趋
接而具有相同位移的假设是一致的。 于平稳。这是由于 当 梁 高 度 ｈ 较 小 时，各 梁 段 皆
２　 系统参数对结构的影响规律
３． 已振动，随梁高度的增大固有频率增大；当梁高度
分别选取梁高度ｈ（包括ｈ１ 、 ｈ４），铰链宽度
ｈ３ 、 ｈ 继续增大时，铰链相对各梁段更易发生振动，故
ｈｊ ，各梁段长度ｌ１ 、 ｌ４ 及螺栓作用位置ｌ５ 为目标
ｌ３ 、 系统的固有频率变化不大。
参数，作固有频率随参数变化曲线，如图 １２～ 图 １７ ２）随铰链宽度 ｈｊ的增大，
（ １ 阶和 ２ 阶固有频
· ２００１ ·
 中国机械工程第 ２７ 卷第 １５ 期 ２０１６ 年 ８ 月上半月

４）理论分 析 为 新 型 旋 转 尺 蠖 压 电 电 机 的 样
　　 （
机改进和实验研究打下了理论基础。

参考文献：
［
１］　Ｒｉ
ｃｈａ
ｒｄ　
Ｊ　Ｃ．
Ｎａｎｏ－ｓ
ｃａｌ
ｅ　Ｍｅ
ａｓｕ
ｒｅｍｅｎ
ｔｓａｎｄ　
　 Ｍａｎ
ｉｐｕ－
ｌ
ａｔｏｎ ［
ｉ Ｊ］．
Ｊｏｕ
ｒｎａ
ｌ　ｏ
ｆ　Ｖａ
ｃｕｕｍ　
Ｓｃｉ
ｅｎｃ
ｅ　ａｎｄ　
Ｔｅｃｈｎｏ
ｌ－
ｏｇｙ：Ｂ，２００４，２２（
４）：１６０９－１６３５．
［
２］　Ｄｕｏｎｇ　
Ｋ，Ｇａ
ｒｃｉ
ａ　Ｅ．
Ｄｅｓ
ｉｇｎ　
ａｎｄ　Ｐｅ
ｒｆｏ
ｒｍａｎｃ
ｅ　ｏ
ｆ　ａ
Ｒｏ
ｔａｒ
ｙ　Ｍｏ
ｔｏｒ　
Ｄｒｉ
ｖｅｎ　
ｂｙ　
Ｐｉｅ
ｚｏｅ
ｌｅｃ
ｔｒｉ
ｃ　Ｓ
ｔａｃｋ　
Ａｃｔ
ｕａ－
图 １６　 固有频率随ｌ４ 变化情况 ｔ
ｏｒｓ［
Ｊ］．
Ｊａｐａｎｅ
ｓｅＪ
　ｏｕ
ｒｎａ
ｌ　ｏ
ｆ　Ａｐｐ
ｌｉｅｄ　
Ｐｈｙ
ｓｉｓ，
ｃ １９９６，
３５：
６３３４－６３４１．
［
３］　Ｉ
ｔａｓｕ　Ｙ，Ｔｏ
ｔ ｒｉｉ　Ａ，Ｕｅｄａ　Ａ．
Ｉｎｃｈｗｏ
ｒｍ　Ｔｙｐｅ　Ｍｉ－
ｃ
ｒｏｒ
ｏｂｏ
ｔ　Ｕｓ
ｉｎｇ　
Ｆｒｉ
ｃｔｉ
ｏｎ　
Ｆｏｒ
ｃｅ　
Ｃｏｎ
ｔｒｏ
ｌ　Ｍｅ
ｃｈａｎ
ｉｓｍｓ
［Ｃ］
／／２０１１ Ｉ
ｎｔｅ
ｒｎａ
ｔｉｏｎａ
ｌ　Ｓｙｍｐｏ
ｓｉｕｍ　ｏｎ　Ｍｉ
ｃｒｏ－
ｎａｎｏ　Ｍｅ
ｃｈａ
ｔｒｏｎ
ｉｃｓ
　ａｎｄ　Ｈｕｍａｎ　Ｓｃ
ｉ ｅ （ＭＨＳ）．
ｅｎｃ
Ｎａｇｏｙａ，２０１１：
２７３－２７８．
４］　 赵淳生 ．世界超声电机技术的新进展［
［ 振 动、测 试
Ｊ］．
与诊断，
２００４，
２４（
１）：
１－５．
Ｚｈａｏ　Ｃｈｕｎｓｈｅｎｇ．Ｒｅ
ｃｅｎ
ｔ　Ｐｒ
ｏｇｒ
ｅｓｓ
　ｉｎ　Ｕｌ
ｔｒａ
ｓｏｎ
ｉｃ
图 １７　 固有频率随ｌ５ 变化情况 Ｍｏ
ｔｏｒ　
Ｔｅｃｈｎ
ｉｑｕｅ［
Ｊ］．
Ｊｏｕ
ｒｎａ
ｌ　ｏ
ｆ　Ｖｉ
ｂｒａ
ｔｉｏｎ，Ｍｅ
ａｓｕ
ｒ－

率不变，３ 阶固有频率先增大后不变。 ｅｍｅｎ

ｔ＆ Ｄｉ
ａｇｎｏ
ｓｉｓ，
２００４，
２４（
１）：
１－５．
［
５］　Ｂｅ
ｒｎａ
ｒ Ｙ，
ｄ　 Ｃｈｒ
ｉｓｔ
ｅｎ　
Ｊ　Ｌ，Ｈｅ
ｒｎａｎｄｅ
ｚ　Ｃ，
ｅｔａ
　ｌ．
Ｆｒｏｍ
３）随ｌ１ 的 变 化，固 有 频 率 基 本 没 有 发 生 变
（
Ｐ
ｉｅｚ
ｏｅｌ
ｅｃｔ
ｒｉ Ａｃ
ｃ　 ｔ
ｕａｔ
ｏｒｔ
　ｏ　
Ｐｉｅ
ｚｏｍｏ
ｔｏｒ［
Ｊ］．
Ｐｉｅ
ｒｓ　
Ｏｎ－
化，这是由于支撑梁是铁摩辛柯梁，其主振动频率
ｌ
ｉｎｅ，
２００１，
７（５）：
４１６－４２０．
远大于驱动梁和 基 座 梁 的 主 振 动 频 率，故 支 撑 梁
［
６］　Ｓｕｎ　
Ｘｉａｎ
ｔａｏ，Ｃｈｅｎ　
Ｗｅｉ
ｈａｉ，Ｚｈａｎｇ　
Ｊｉａｎｂ
ｉｎ，ｅ
ｔ　ａ
ｌ．Ａ
长度的改变对驱动机构低阶固有频率的改变影响
Ｎｅｗ　Ｎｏｖｅ
ｌ　Ｐ
ｉｅｚ
ｏ－ｄ
ｒｉｖｅｎ　Ｌ
ｉｎｅ
ａｒ－ｒ
ｏｔａ
ｒｙ　Ｉ
ｎｃｈｗｏ
ｒｍ
很小。 Ａｃ
ｔｕａ
ｔｏｒ［
Ｊ］．Ｓｅｎｓ
ｏｒｓ ｓ　Ａ：Ｐｈｙ ｌ，
　ａｎｄ　Ａｃ
ｔｕａ
ｔｏｒ ｓｉｃ
ａ
４）随ｌ３ 的变化，
（ ２ 阶和 ３ 阶固有频率变化较 ２０１５，２２４：
７８－８６．
大，且固有频率值在 ３ 阶固有频率时出现了突变， ［
７］　Ｌ
ｉ　Ｊ
ｉａｎｐ
ｉｎｇ，
Ｚｈａｏ　 ｉ，
Ｈｏｎｇｗｅ Ｓｈａｏ　
Ｍｉｎｇｋｕｎ，
ｅｔａ
　ｌ．
Ｄｅ－
这是由于ｌ３ 对驱动 梁 会 产 生 直 接 影 响，且 驱 动 梁 ｓ
ｉｇｎ　
ａｎｄ　
Ｅｘｐｅ
ｒｉｍｅｎ
ｔ　Ｐｅ
ｒｆｏ
ｒｍａｎｃ
ｅ　ｏ
ｆ　ａｎ
　Ｉｎｃｈｗｏ
ｒｍ
相对容易 振 动，故 较 低 频 率 容 易 随 ｌ３ 发 生 变 化， Ｒｏ
Ｔｙｐｅ　 ｔ
ａｒ Ａｃ
ｙ　 ｔ
ｕａｔ
ｏｒ［
Ｊ］．
Ｒｅｖ
ｉｅｗ　
ｏｆ　Ｓｃ
ｉｅｎ
ｔｉｆ
ｉｃ　Ｉ
ｎ－

并且随ｌ３ 的增大到某一值使得振型发生变化。 ｓ
ｔｒｕｍｅｎ
ｔｓ，
２０１４，
８５：０８５００４．
［
８］　Ｔｏｍｏｙｕｋ
ｉ　Ｙ，Ｒｙｕ
ｉｃｈ
ｉ　Ｙ，Ｍａ
ｓａｓｈ
ｉ　Ｉ，
ｅｔａ
　ｌ．
Ａｐｐ
ｌｉｃ
ａ－
（
５）ｌ４ 变化时，
１阶和２阶固有频率发生局部
ｔ
ｉｏｎ　
ｏｆ　
Ｍｉｃ
ｒｏ　
Ｐｉｅ
ｚｏ　
Ａｃｔ
ｕａｔ
ｏｒ（
ＳＩＤＭ）—Ｌｅｎｓ　
Ｄｒｉ
ｖｅ
变化，而 ３ 阶固有频率没有发生变化，这是由于基
ｆ
ｏｒ　
Ｍｏｂ
ｉｌｅ　
Ｐｈｏｎｅ　
Ｃａｍｅ
ｒａ［
Ｊ］．
Ｊｏｕ
ｒｎａ
ｌ　ｏ
ｆ　ｔ
ｈｅＪ
　ａｐａｎ
座梁相对于驱动 梁 更 加 容 易 振 动，故 其 主 振 动 频
Ｓｏ
ｃｉｅ
ｔｙ　ｆ
ｏｒ　Ｐｒ
ｅｃｉ
ｓｉｏｎ　Ｅｎｇ
ｉｎｅ
ｅｒｎｇ，２００９，７５ （
ｉ １）：
率是最低的。
１４４－１４５．
６）当ｌ５ 增大并且ｌ６ 与ｌ５ 相对距 离 不 变 时，
（ ２ ［
９］　Ｋｉ Ｋ，Ｎａｈｍｇｙｏｏ　
ｈｗａｎ　 Ｃ，Ｗｏｏ
ｊｉｎ　
Ｊ．Ｔｈｅ　
Ｄｅｓ
ｉｇｎ　
ａｎｄ
阶和 ３ 阶固有频 率 在 某 一 区 间 先 不 变 后 减 小，而 Ｃｈａ
ｒａｃ
ｔｅｒ
ｉｚａ
ｔｉｏｎ　
ｏｆａ　
　 Ｐ
ｉｅｚ
ｏ－ｄ
ｒｉｖｅｎ
　Ｉｎｃｈｗｏ
ｒｍ　
Ｌｉｎｅ
ａｒ
１ 阶和 ２ 阶频率都不变。 Ｍｏ
ｔｏｒ　
ｗｉｔ
ｈ　ａ　
Ｒｅｄｕｃ
ｔｉｏｎ　
Ｍｅ ｉｍ［
ｃｈａｎｓ Ｊ］．
ＪＳＭＥ　
Ｉｎｔ
ｅｒ－
ｎａ
ｔｉｏｎａ
ｌ　Ｊ
ｏｕｒ
ｎａｌ，Ｓｅ
ｒｉｓ　Ｃ： Ｍｅ
ｅ ｃｈａｎ
ｉｃａ
ｌ　Ｓｙ
ｓｔｅｍｓ，
４　 结论 Ｍａ
ｃｈｉ
ｎｅ　
Ｅｌｅｍｅｎ
ｔｓａｎｄ　
　 Ｍａｎｕ
ｆａｃ
ｔｕｒ
ｉｎｇ，
２００４，
４７（
３）：

１）选用碳钢 材 料 可 以 增 大 驱 动 机 构 的 固 有
（ ８０３－８１１．
（编辑 　 陈 　 勇）
频率。
２）驱动梁和 基 座 梁 的 振 动 比 压 电 堆 和 支 撑
（
作者简介：邢继春，男，
１９８３ 年生。 燕 山 大 学 机 械 工 程 学 院 讲 师。
梁的振动显著。
主要研究方向为压电电机驱动与控制。发表 论 文 １０ 余 篇。 张 　
３）参数 ｈ、
（ ｌ３ 对驱动 机 构 系 统 总 体 固 有 频 率 楠（通信作者），男，
１９８１ 年 生。 燕 山 大 学 机 械 工 程 学 院 副 教 授 。
的影响较大。 李 　 冲，男，
１９８８ 年生。燕山大学机械工程学院博士研究生。

· ２００２ ·