Professional Documents
Culture Documents
6 - Khuếch tán và cấy ion
6 - Khuếch tán và cấy ion
Surface Processing
Mục tiêu chung Mục tiêu cụ thể
(nắm được)
1. Nắm được những nội dung cơ bản các 1. Các khái niệm, thuật ngữ cơ bản
Operations
quá trình xử lý bề mặt chi tiết gia công 2. Các hệ thống.
2. Nắm được những kiến thức cơ bản về 3. An toàn trong sản xuất.
công nghệ, thiết bị xử lý chất lượng bề mặt 4. Hiệu quả kinh tế
( C Á C Q UÁ T R Ì NH X Ử LÝ B Ề M Ặ T)
P H ẦN G I Ớ I T H IỆ U
K H UẾ CH TÁ N VÀ C Ấ Y I O N
( D I F FUS ION A N D I O N I MP LA NTAT ION)
( 2 T I Ế T)
Khoa Cơ Khí – Đại học Bách Khoa Tp.HCM – GV. Trần Hải Nam - namth@hcmut.edu.vn 1 TRẦN HẢI NAM - NAMTH@HCMUT.EDU.VN 2
TÀI LIỆU NGHIÊN CỨU, THAM KHẢO TÀI LIỆU NGHIÊN CỨU, THAM KHẢO
Tài liệu chính thức Tài liệu tham khảo Các quá trình xử lý bề mặt gồm có 3 quá trình xử lý chính
[1]. Serope Kalpakjian, Manufacturing [1]. John A. Schey., Introduction to (1) làm sạch Làm sạch đề cập đến các quy trình làm sạch
engineering and technology, 7th edition, manifacturing processes., Third edition, New
công nghiệp loại bỏ đất và các chất gây ô nhiễm
Pearson Education, Inc, 2014 York-London., 2000. (2) xử lý bề mặt do xử lý trước đó hoặc môi trường nhà máy.
[2]. Frank J. Riley., Assembly automation., A (3) lắng đọng lớp phủ và màng mỏng
[2]. M. P. Groover, Fundamentals of modern Chúng bao gồm cả phương pháp làm sạch hóa
manufacturing, 2010 management handbook, second edition, học và cơ học.
Industrial press Inc. New York., 1996 Vật liệu phi kim loại
Tác dụng chính của lớp phủ kim loại là Xử lý bề mặt là các hoạt đôiđộng
khicơ
cũng được
học và vật lýphủ
làm thay đổi tính chất phần bề mặt theo một cách
(1) bảo vệ chống ăn mòn, nào đó.
(2) nâng cao hình thức sản phẩm (ví dụ: cung cấp màu sắc hoặc kết cấu cụ thể),
(3) tăng khả năng chống mài mòn và (hoặc) giảm maVí dụ
sát cải
củathiện bề mặt hoàn thiện đó bằng các
bề mặt,
(4) tăng tính dẫn điện, nguyên tử của vật liệu lạ để thay đổi tính chất
(5) tăng điện trở, hóa học và vật lý của nó.
(6) chuẩn bị bề mặt kim loại để xử lý tiếp theo, và
(7) cấu trúc lại các bề mặt bị mòn hoặc bị xói mòn trong quá trình làm việc
TÀI LIỆU NGHIÊN CỨU, THAM KHẢO NỘI DUNG CHI TIẾT
Các quá trình xử lý bề mặt gồm có 3 quá trình xử lý chính 1. Quá trình làm sạch công nghiệp (Industrial Cleaning Processes)
(1) làm sạch
Trong mọi trường hợp, để đạt độ bám dính tốt 2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)
(2) xử lý bề mặt giữa lớp phủ và lớp nền thì bề mặt chất nền
3. Quá trình mạ điện liên quan (Plating and Related Processes)
(3) lắng đọng lớp phủ và màngphải
mỏngrất sạch.
4. Lớp phủ chuyển đổi (Conversion Coating)
(1) các bộ phận bằng nhựa được phủ để tạo cho chúng có vẻ ngoài giống kim loại; 6. Lớp phủ hữu cơ (Organic Coatings)
(2) một lớp phủ bọc lên thấu kính thủy tinh quang học; và
(3) một số quá trình phủ và lắng đọng nhất định được sử dụng trong chế tạo chip bán dẫn và bảng
mạch in (PCB - printed circuit boards). 7. Lớp tráng men sứ và phủ gốm (Porcelain Enameling an Other Ceramic Coatings)
8. Quá trình sơn nhiệt và cơ khí (Thermal and Mechanical Coating Processes)
(1) Bề mặt của chất nền được thấm (ngâm tẩm) bởi các ngoại nguyên tử
(2) Làm thay đổi tính chất hóa học và đặc tính của chất nền.
bản
NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di
chuyển của các nguyên tử hoặc phân tử trong
NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di
chuyển của các nguyên tử hoặc phân tử trong
vật liệu hoặc qua ranh giới giữa hai vật liệu tiếp vật liệu hoặc qua ranh giới giữa hai vật liệu tiếp
2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and
xúc Ion Implantation)
với nhau 2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and
xúc Ion Implantation)
với nhau
Khuếch tán khối (mass Diffusion) Khuếch tán khối (mass Diffusion)
(1) Trong vật liệu, ngoài truyền nhiệt (heat transfer ) còn có truyền khối (mass transfer). (a) mô hình các nguyên tử khi cho hai khối rắn tiếp xúc
- Ban đầu, cả hai có cấu trúc nguyên tử riêng;
(2) Khuếch tán cũng xảy ra đối với chất lỏng và khí - Sau một thời gian có sự trao đổi các nguyên tử
xuyên qua ranh giới (interface) trong các mảnh
(3) Xảy ra trong kim loại nguyên chất, hợp kim và giữa ranh giới (common interface) 2 vật liệu. riêng biệt.
- Khi đủ thời gian, việc lắp ráp hai mảnh cuối
(4) Các nguyên tử trong vật liệu liên tục chuyển động do sự khuấy động nhiệt của chúng.
cùng sẽ cho kết quả một thành phần thống nhất
(5) Khắc phục các lỗ trống và các khiếm khuyết khác trong cấu trúc tinh thể (crystal structure) xuyên suốt (a uniform composition). (b) Phân bố nồng độ kim loại A theo hướng dc/dx
NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di
chuyển của các nguyên tử hoặc phân tử trong
NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di chuyển của các
nguyên tử hoặc phân tử trong vật liệu hoặc qua ranh giới
vật liệu hoặc qua ranh giới giữa hai vật liệu tiếp giữa hai vật liệu tiếp xúc với nhau
2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and
xúc Ion Implantation)
với nhau 2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)
Khuếch tán khối (mass Diffusion) Khuếch tán khối (mass Diffusion)
Mặc dù các phương trình này khó sử dụng
trong tính toán vì vấn đề đánh giá D, nhưng
(1) Khi bắt đầu khi hai mảnh A và B được ghép Độ dốc nồng độ ở hình (b) tương ứng với sự
chúng rất hữu ích trong việc hiểu sự khuếch
lại với nhau, mỗi khối có thành phần riêng; (a) mô hình các nguyên tử khi cho hai khối rắn tiếp xúc phân bố tức thời của các nguyên tử trong tổ hợp
tán(a)và
mô hình các nguyên tử khi cho hai khối rắn tiếp xúc
các biến mà D phụ thuộc
(2) Sau một thời gian, sự trao đổi nguyên tử đã Mối quan hệ thường được sử dụng để mô tả
xảy ra; khuếch tán khối là định luật đầu tiên của Fick:
(3) Cuối cùng, điều kiện đồng đều của nồng độ 𝑑𝑐 𝑑𝑚 𝑑𝑐 Tốc độ khuếch tán khối
xảy ra. 𝑑𝑚 = −𝐷 × × 𝐴 × 𝑑𝑡 = −𝐷 × ×𝐴
𝑑𝑥 𝑑𝑡 𝑑𝑡
(b) Phân bố nồng độ kim loại A theo hướng dc/dx (b) Phân bố nồng độ kim loại A theo hướng dc/dx
NỘI DUNG CHI TIẾT NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di chuyển của các
nguyên tử hoặc phân tử trong vật liệu hoặc qua ranh giới
giữa hai vật liệu tiếp xúc với nhau
2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation) 2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)
NỘI DUNG CHI TIẾT Sự khuếch tán khối lượng bao gồm sự di chuyển của các
nguyên tử hoặc phân tử trong vật liệu hoặc qua ranh giới
NỘI DUNG CHI TIẾT
giữa hai vật liệu tiếp xúc với nhau
2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation) 2. Thấm khuếch tán và thấm ion (Diffusion and Ion Implantation)
THẤM (CẤY) ION (ion Implantation) THẤM (CẤY) ION (ion Implantation)
1.
2.
3.