第 11 卷 第 2 期 江 　苏 　石 　油 　化　工 　学　院 　学　报 Vol.11 N o.

2
1999 年 6 月 JOU RN AL OF JIANGSU INST IT U TE OF PET ROCHEM ICA L T ECHN OLOGY Jun.1999

超声能量在超声振动系统中的传递

廖华丽 　　　　　　　　　　胡爱萍
( 河海大学常州分校, 常州 213022) 　 ( 江苏石油化工学院机械工程系, 常州 213016)

摘 　要 　能量是否能在超声振动系统中有效传递是功率超声的一个非常关键的问题, 它关系到超声加工能否 进行以及加工效 率

的问题 。 通过对超声能量在超声振动系统中的传递过程的了解, 分析在传递过程中影响超声能量传递的因 素, 从理论上提出 一
些提高效率的具体手段和方法 。
关键词 　功率超声 ;变幅杆 ;负载 ;能量 ;效率 ;特性阻抗
中图分类号 　T B 553

　　超声振动系统由换能器 、 变幅杆和负载组成 。 ζ( x, t ) =Aej ( ωt -K x ) +Be j( ωt +Kx ) =ζ

1( x , t ) +

整个系统的能量传递经过了若干环节, 其中任何一 ζ2 ( x , t ) ( 2)
个环节设计不当都会造成能量的损失 。 在不考虑材 其中 ζ
1 ( x , t ) = Ae
j( ωt-K x)
表示沿 x 方向行进的波
料内部能量损耗的前提下, 分析传递过程中影响能 j ( ωt +K x )
即入射波 。而 ζ
2 ( x , t ) =Be 表示沿 -x 方向
量传递的因素 。 为了在最后环节获得最大的超声能
ω
量, 应保证超声振动系统能将能量最大限度地输入 行进的波即反射波 。其中 K = ν, A 、B 为积分常
被加工材料 。这实际上涉及到有关的匹配问题 。 下 数。
面将讨论超声振动系统的匹配条件 。 对于一端无限长的纵向杆, 由于没有发射体, 在
杆内没有反射波, 即 B =0 。则在杆内只有行波不会
1 　超声能量在超声振动系统中的传递 形成驻波 。

1.2 　纵向杆内的波动能量
1.1 　超声波在超声振动系统中的传播情况
当超声波传至系统内时, 各杆中的每一微小体
由于超声振动系统中各个构件的横向尺寸远小 积具有的势能 ΔE p 和动能 ΔE K 分别为 :
于波长, 所以不考虑横波的影响 。 另外不计材料内
∫
1 2 1 2
部的机械损耗 。 当超声波经过杆状系统时, 一方面 ΔE p = 2E σx d V ;
ΔE K = 2 ρV 0 u
会引起杆内各质点在其平衡位置附近按 u = u( x , ζ
其中 σx =E =-jEKAζ; V 0 为微元的体积, u 为
t ) 的规律振动, 同时通过相邻质点彼此之间的碰撞 x
将波以能量的形式沿轴向传播 。对于无限长的自由 振速 。

纵向振动, 它的振动方程为 : 声能量 :

2
ζ 2
2
ζ V 0 ω2 A 2 sin2 ( ωt -Kx )
ΔE =ΔE p +ΔE K = ρ
2 -ν 2 =0 ( 1)
x ( 3)
E 声能量对一个周期取平均值得 :
式( 1) 中 :
ν=ρ 为波速, 其中 E 为杆的弹性模 1 T
∫
1 2 2
量 、ρ为杆的密度 。 ΔE =
ΔEd t = ρV 0 ωA ( 4)
T 0 2
一端受简谐外力 F = F a cos ωt 作用的纵向杆的解 : 而平均声能量密度为 :

收稿日期 :1999 -05 -15

 · 14 · 江 　苏 　石 　油 　化 　工 　学 　院 　学 　报 　　　　　　　　　　　　　1999 年

ν+ν
r =ν ( 6)
ε= ΔE = 1 ρω2 A 2
t
V0 2 ζ j ( ωt -K 1 x )
p =-σ=-E = jE 1 K 1 ζAe
入射波和反射波的声强分别为 : x
1 1 ζ j( ω t -K x )
I 1 = ε· ν
1 = ρω2 A 2 ν
1 = νV2 ;
ρ 因为 : pr = σr = E 1
r
2 1 m x = jE 1 K 1 ζBe 1
2
1 2 2 1 ζ
I 2 =-ε· ν=- ρ ωB ν 2 =- νV2
ρ p t =-σt =-E 2
t
= jE 2 K 2 ζ j ( ωt -K 2 x )
2 2 2 m x Ce
总声强为 : I = I 1 +I 2 jωt
ν
( x =0) = j ω
ζAe = V me jωt
如入射声强等于反射声强, 则杆内总声强为零 。 jω
t jωt
ν
r( x =0) = j ω
ζBe = V rm e
意味着在杆内没有行波, 这时反射波与入射波迭加
jωt
成驻波, 没有能量流存在即没有能量的传播 。由此可 ν
t( x =0) = j ωζ
Ce = V tme jωt
见, 所设计的超声系统必须保证在变幅杆和工具头 由式( 5) 得 :
中有足够的能量流存在, 必须要有足够的能量传播 。 ρ
1ν1ζ
B +ρ
1ν1ζ
A =ρ
2ν1ζ
C ( 7)
否则, 超声波发生器产生的功率就无法传递到加工 由式( 6) 得 :
材料上, 加工也就无法顺利进行 。下面讨论超声波在 ζ
A -ζ
B =ζ
C ( 8)
系统各部件间的传递情况 。
2 　影响超声能量传递的重要因素
1.3 　声波垂直入射的反射与透射
超声系统所采用的换能器 、变幅杆都是有限长 联合以上( 7) 式与( 8) 式可以求得在边界上反
度的, 超声波从换能器通过变幅杆传递到负载, 要通 射波声压与 入射波声压之 比 rp , 反射波质 点速度
过两个传动部件的界面 。这涉及到超声波从一种介 rν, 反射波声强与入射波声强之比 rI , 以及透射波与
质传入另一种介质时的一些现象 -即超声波的反 反射波声压( 力) 之比 tp , 透射波与入射波质点速度
射与透射现象 。 之比 tv 、透射波与入射波的声强之比 tI 分别为〔2〕 :
1.3.1 　声学边界条件 pr ζB ρ
2ν2 -ρ
1ν1
超声波的反射与透射都是在两种介质的边界处 rp = = =
p ζ
A ρ
2ν2 +ρ
1ν1

发生的 。假设入射波 、反射波与透射波的声 压分别 ν

r ρ
1ν1 -ρ
2ν2
rν= = ( 9)
为:
p 、p r 、p t , 位移为 ζ、ζ
r 、ζ
t , 速度为 ν、ν
r 、ν
t, 则 : ν ρ 2ν2 +ρ
1ν1
j( ωt-K x)
ζ= ζ
Ae 1 , Ir ζ2
B (ρ
2ν2 -ρ
1ν1)
2
rI = = 2 = 2
ζ
r =ζ
Be
j( ω
t -K 2 x )
, I ζA (ρ
2ν2 +ρ
1ν1)

ζ
t =ζ
Ce
j ( ωt-K x )
2 , pt 2ρ2ν
2
tp = p = ρν +ρν
2 2 1 1
在特性阻抗分别为 ρ
1ν1 和 ρ
2ν2 的两种介质分界面
ν 2ρ1ν
处应满足如下边界条件〔1〕( 见图 1) : t
tν = ν = ρν +ρν
1
( 10)
2 2 1 1
2
4ρ2
tI = 2
(ρ
2ν2 +ρ 1ν
1)

从以上几个方程可见, 超声波在分界面上反射
与透射的大小仅取决于介质的特性阻抗 ρ
V 。下面分
几种情况讨论 。

2.1 　无负载系统自由端的反射
这相当于超声振 动系统不带负载情况下的振
图 1 　 超声波在界面上的反射与透射
动 。是固体材料 ρ
1ν1 与空气 ρ
2ν2 间的边界 。由于空
( 1) 声压连续( x =0)
气的特性阻抗远远小于纵向杆的特性阻抗, 即 ρ
2ν2
pr +p = p t ( 5)
ρ
1ν1 , 由式( 9) 和( 10) 可知 :
( 2) 振速连续( x =0)
r I ≈1, t 1 = 0
 廖华丽等 .超声能量在超声振 动系统中的传递 · 15 ·

这意味着在超声振动系统的自由端能量不能传入空 ( 1) 为了满足行波存在的匹配条件 Z 2 =Z 1 , 而 Z =
气 。此时, 入射波的声强等于反射波的声强, 在杆内 ρ
ν, 其中 ρ和 ν取决于材料, 所以只要将两者的材料
两列反向的行波迭加形成驻波而在边界上没有能量 取得相同即可 。
流产生即形成了全反射 。由式( 9) 和( 10) 还可知 : ( 2) 从匹配的含义来讲, 只要两材料的特性阻抗相
rp =-1, rν =1, tp =0, tν =2 等即可满足匹配条件 。由特性阻抗的定义可知, 特性
这意味着分界面处是质点 的速度波幅和声压( 力) 阻抗 Z 与波传播的某一点行波压力幅值的大小成正
的波节 。 比, 所以在压力幅值为零的位置其特性阻抗为零 。只
2.2 　两种材料的构件在边界上的反射与透 要把分界面取在压力幅值为零的位置, 则两杆的特
射 性阻抗均为零, 即 Z 1 = Z 2 =0, 这同样实现了阻抗
对于具有不同特性阻抗 Z 1 =ρ
1ν1 和 Z 2 =ρ
2ν2
匹配 。当然, 这是针对等截面变幅杆而言的, 对于变
两种连接在一起的纵向杆, 连接处就存在反射与透 截面变幅杆, 这样并非真正能实现阻抗匹配, 能量也
射的问题 。假设有不同材料的纵向杆, 第一杆为有限 不可能全部传至加工区域 。超声波在变截面杆内传
长而第二杆为无限长 。在一般情况下, 第一根杆内存 播的实质是在机械阻抗变化的介质中传播的问题 。
在入射波与反射波, 而第二根杆内只有通过边界透 如果截面突变就会产生反射波, 就不能有效的传递
射过来的透射波, 反射波与透射波的大小取决于它 能量, 所以除考虑匹配问题外还必须使截面均匀变
们的特性阻抗 。从反射系数与透射系数的公式可以 化, 这就必须提高传动部件的加工精度以减少能量
看出 : 的损失 。
如 Z 2 >Z 1 , 则 p 与 pr 是同相的, 所以分界面处
3.2 　实现超声振动系统与负载的匹配
的合成声压达到极大值 p +p r , 分界面处是声压波
腹, 此时的 V 与 V r 反向, 分界面处同时是振速波 在超声振动系统 中传播的超声波在端部负载
节。 处, 其能量一部分被负载吸收, 而另一部分则反射回
如 Z 2 <Z 1 , 则分界面处是振幅波腹和力波节 。 来 。透射到负载被负载吸收的能量与入射的能量之
从边界面起每隔 1/ 4 波长波节就变为波腹, 反之波 比为能量透射系数, 而反射回来的能量与入射能量
腹则变为波节 。如 Z 2 = Z 1 , 则 :
p r = 0, p t = p , I r 之比为能量反射系数 。设负载的阻抗为 ZH , 如其透
jωt
=0, I t = I , 即没有反射, 入射波全部透射而成为透 射波的速度为 V t = j ωζ
Ce , 其幅值为 V tm = ω
ζC,

射波 。 则负载上一个周期的平均功率为 :
从上面的分析可知, 要使超声波的能量从一个 1 2 1
V Z = ω2 ζ
P = 2
CZH ( 11)
部件通过界面全部传至另一部件, 应使两个传动部 2 tm H 2
而入射波的平均功率为 :
件具有相同的特性阻抗 。这时部件内只有行波没有
驻波 。也就是说, 要使行波存在或者使能量在界面上 W = IS = 1 ρ 2
νSν = 1 Z 1 S V 2m =
2 1 1 m 2
不形成反射, 必须满足行波的匹配条件 。对于两等截 1
Z S ω2 ζ
2
( 12)
面的部件保证只有行波而不产生驻波的匹配条件为 2 1 A

两构件的特性阻抗相同 。即 Z 2 = Z 1 。 其中, S 为变幅杆的截面积, V m 为入射波的振速幅

值 。由此可得了透射系数 :

3 　提高超声能量传递效率的结论 1 2 2
ω ζCZ H Z Hζ2C
P 2
Kt = = 1 = 2 =
W Z Sω 2 2
ζA Z 1 SζA
2 1
3.1 　实现系统内部各环节间的阻抗匹配
4Z 2H
2 ( 13)
对于超声振动系统, 在换能器与变幅杆之间以 1 +Z H )
( Z′
及变幅杆与工具头之间都存在分界面, 如果不满足 1 = Z 1 S 为变幅杆的波阻 。
其中, Z′
匹配条件, 那么从理论上分析能量就不可能全部传 而反射系数 :
至加工区域, 效率就不可能高, 这是在设计时必须考 H -Z′
( Z′ 1)
2
K F =1 -K t = 2 ( 14)
虑到的重要问题 。在超声系统内部的特性阻抗匹配 H +Z′
( Z′ 1)

的方法有两种 : 下面分几种情况加以讨论 :
 · 16 · 江 　苏 　石 　油 　化 　工 　学 　院 　学 　报 　　　　　　　　　　　　　1999 年

( 1) 设变幅杆端部是固定的, 即 Z H ※ ∞, ν
t =0则由 负载中去, 就需要匹配 。这种匹配是行波存在的匹
式( 13) 和( 14) 可得 K t =0, K F =1 。 配 。下面讨论在行波状态下的匹配条件 。
( 2) 设变幅杆端部是无负载的自由端, 即 Z H =0 则 设振源及振动系统的阻抗为 Z 1 , 振源的力振幅
K t =0, K F = 1 即无论变幅杆端部是固定 还是自 为 F m , 负载阻抗为 Z H , 则负载输入端振速幅值 V m
由, 都几乎全部反射没有透射 。 = F m / ( Z H + Z′
1) , 在 负 载 上 产 生 的 功 率 为

( 3) 设负 载是 电抗 性的, 即 Z H = jX H , 则 K F = 1 2
V mZ H , 而 :
2 2
( jX H -Z′
1) 4( jX H ) 2
2, K t = 2 。显然反射 系数 Z 1 = R 1 +jX 1 , Z H = R H +j X H
( jX H +Z′
1) ( jX H -Z′ 1)

和透射系数都是复数 。这表明入射与反射有相位差 。 所以 :
F 2mR H
( X 2H 2
+Z′
1) P = ( 15)
反射系数的模为 :
|K F |= =1, 其物 ( R 1 +R H ) 2 +( X 1 +X H ) 2
( X 2H 2
+Z′
1)
P 为有功功率, 即在力阻负载 R H 上消耗的功率 。
理意义是反射波振幅等于入射波振幅, 如果系统末
负载 获 得 最 大 能 量 的 条 件 是 dp/ dX H = 0 及
端只有无功负载( 电感性负载或电容性负载) 时, 能
d p/ dR H =0, 由式( 15) 得 :
量不会有损失将全部反射, 在振动系统中形成驻波 。
X H =-X 1 , R H = R 1
也就没有能量输出 。
反之, 只有末端具有有功阻抗或复数阻抗时, 才 如果力源是力感抗, 负载应是力容抗, 而且它们的有

有能量的输出 。输出能量的大小取决于力阻的大小 。 功负载应相等 。故匹配的条件应是 :

负载和振源( 包

只有当条件 ZH =Z′ 括振动系统) 的有功负载相等, 无功负载的符号相

1 成立时, 振动能量才能全部注

入到负载中去 。 反。
从以上分析可知, 能量反射系数和透射系数的
大小表征了超声振动系统与负载的匹配程度 。在此 参 　考 　文 　献

匹配的物理意义是能量向消耗性负载传输的最佳条 1 　金长善 .超声工程 .哈尔滨 :哈 尔滨工业大 学出版社, 1989.5

件。 ～ 53
( 4) 负载阻抗匹配的条件, 如果负载是纯力阻负载, 2 　 杜 功 焕 . 声 学 基 础 ( 下 册 ) . 上 海 :上 海 科 学 出 版 社,

在系统中形成行波把振源所产生的能量全部注入到 1981.247 ～ 267

The Transmi ssion of Ultrasonic Energy in th e Ultrasonic Vibration System

Liao Huali
( Hohai University Changzhou Branch, Changzhou 213022)
Hu Aiping
( Department of M echanical Engineering, Jiangsu Institute of Petrochemical Technology , Changzhou 213016)

Abstract 　It is a critical problem in t he pow er ult rasonic devices that energy can be t ransmit ted eff icient ly in ul-
trasonic vibration system .It concerns ultrasonic machining and its efficiency .We can analy ze t he f actors that af-
f ect the energy transmission by studying t he t ransmissio n of ult rasonic energy in the ultrasonic sy stem .And we
bring forw ard some methods to im prove efficiency in theory .
Key words 　Power ultrasonic ;Amplitude t ransfo rmer ;Load ;Energy ;Vibration ;Resist ance