Chương 4

CÁC PHƯƠNG PHÁP

ĐO LƯỜNG ĐỘ DÀI BẰNG LASER
4.1 Đo chính xác độ dài bằng giao thoa kế laser.
4.1.1 Hiệu ứng giao thoa.

Hiện tượng giao thoa xảy ra khi hai sóng ánh sáng
kết hợp gặp nhau tại một điểm

Hai sóng ánh sáng kết hợp cần phải phát từ hai nguồn
sáng giống hệt nhau ( thường sử dụng hai sóng được
tách từ cùng một nguồn sáng )
 4.1.1.1-Sự giao thoa của hai sóng kết hợp
Dao động tổng hợp tại M là tổng véc tơ hai dao động
thành phần đạt tới đó .
t d
s1 = acos [ 2( - ) + 1 ]
1

T 
t d2
s2 = a cos [ 2 (  ) + 2 ]
T 
Giả sử hai dao động cùng phương , do đó độ lớn của dao động
tổng hợp tìm được theo phép cộng đại số:

Dao động tổng hợp có cùng chu kỳ như hai dao động thành
phần và có biên độ

và do đó cường độ sáng I là
 là hiệu pha của hai sóng khi gặp
nhau tại M
Vì (1 - 2 ) / 2 = const , nên sự
phân bố độ dọi phụ thuộc vào
hiệu đường đi (d2-d1).
Quĩ tích những điểm thoả mãn điều kiện d2-d1=const
là các mặt Hypecboloit tròn xoay nhận đường s1s2 làm
trục và nhận s1 , s2 làm các tiêu điểm
+ Độ dọi đạt cực đại bằng 4a2 khi hai sóng đồng pha ,
tức là d2-d1=m với m là số nguyên hay hiệu quang lộ
là một số nguyên lần bước sóng
+ Độ dọi đạt cực tiểu và bằng không khi hiệu quang
lộ là một số lẻ lần của nửa bước sóng .
 Hiện tượng khi tổng hợp hai sóng có cùng biên độ
tần số và có hiệu pha ban đầu không đổi tại một điểm
được gọi là giao thoa ánh sáng.
Thực chất giao thoa của sóng là sự phân bố lại năng
lượng sáng trong không gian. Muốn sự phân bố đó là
ổn định trong khoảng thời gian đủ để quan sát được ,
thì hiệu pha của chúng phải không đổi ít nhất trong
khoảng thời gian đó .
Hai sóng cùng biên độ, tần số và có hiệu pha không
đổi gọi là hai sóng kết hợp và sóng kết hợp là điêù
kiện cần để có giao thoa
4.1.1.2 Sự giao thoa của hai sóng trong trường hợp
tổng quát

Khi hai sóng s1 ,s2 có phương bất kỳ , khi đó việc tổng

hợp dao động thực hiện bằng phép cộng véc tơ .
S = S1 + S2

Cường độ của sóng

I = S2 =(S1+S2)2 = S12+S22 + 2S1S2

Lấy trung bình theo thời gian quan sát , ta có

(S2) = (S12) + (S22) + 2S1S2
Khi S1 và S2 là sóng phẳng đơn sắc thì (S2)=a 2/2 nên

Số hạng 2(S1S2)gọi là số hạng giao thoa , vì nếu nó

bằng không thì
a2=a12 +a22
Cường độ của dao động tổng hợp là tổng đơn giản của
cường độ gây ra bởi hai dao động thành phần và
không có giao thoa .

Vậy điều kiện thứ nhất để có giao thoa là : phương dao

động của hai sóng không vuông góc với nhau .
Khi hai sóng đơn sắc dao động cùng phương có tần số
khác nhau
S1 = a1cos(1t-1 ) với 1 =k1d1-01
S2 = a2cos(2t-2 ) với 2 =k2d2-02

Để quan sát được ảnh giao thoa thì thời gian quan sát t’ phải đủ lớn so
với chu kỳ dao động vậy chỉ có tích phân thứ nhất có thể khác không với
điều kiện :
- hiệu 1-2 đủ nhỏ và -2-1 =const
Vậy điều kiện thứ hai để quan sát được vân giao thoa
(tức là hệ vân ổn định trong suốt thời gian đủ để quan sát ) là
hai sóng phải có tần số khác nhau không nhiều và có
hiệu pha ban đầu không đổi .
Điều đó có nghĩa là phải có sự cộng các sóng kết hợp
.
Khi mô tả hai sóng ở dạng phức cóbiên độ phức U1(r)
và U2(r)
U(r) = U1(r) + U2(r)
cường độ sóng tổng là

Biểu thức cường độ của sóng tổng hợp khi giao

thoa giữa hai sóng kết hợp có biên độ khác nhau là
Trong trường hợp tổng quát này

Đại lượng

được gọi là độ sâu hay độ rõ của ảnh giao thoa .

4.1.1.3 Sự hình thành vân giao thoa đồng độ
nghiêng :
Hiệu quang trình của cặp tia IR và KR1 bằng
4.1.1.4 Ảnh giao thoa của vân đồng độ dầy

Trong trường hợp dọi sáng vuông góc r = 0 , hai

vân liên tiếp ứng với hai bề dày e1 và e2 :
2ne1 = m và 2ne2 = ( m+ 1 ) 
Và cách nhau một khoảng h= /2nα
 4.1.2 Phương pháp đo dộ dài bằng giao thoa kế laser.
Sơ đồ nguyên lý đo độ
dài bằng giao th0a kế Gt
laser St
CT
NguồnLaser S K
Sđ
Gđ
S't,S'đ
x
M đ®
Ảnh giao thoa nhận được trên mặt phẳng ảnh M có
cường độ sáng I đều nhau trên toàn bộ ảnh giao thoa

I=I1+I2+ 2cos
Trong đó
 Kết quả của phép biến đổi trên cho thấy:
-Chu kỳ của cường độ sáng trên màn thu M biến thiên
dạng hình sin tương ứng với dịch chuyển của gương
động x = /2n.
-Nếu số vân đếm được là N thì quãng đường mà
gương động Gđ đã dịch chuyển là
X = N. /2n
-Khi dịch chuyển x của gương động theo một chiều thì
có thể xác định được quãng đường X ứng với độ dài
cần đo.
-Nếu có thể phân biệt được k mức độ sáng tối giữa vân
sáng và vân tối thì còn có thể xác định được các lượng
dịch chuyển x nhỏ đến /2kn. Đó chính là cơ sở của
phép nâng cao độ phân giải của phép đo lên k lần.

- Quan sát trạng thái sáng tối trên màn M không cho
biết dịch chuyển x theo hướng nào vì ta nhận đưọc kết
quả sáng - tối như nhau khi dịch chuyển x là theo
hướng xa ra hay gần vào tấm chia chùm tia
Để phát hiện chiều biến đổi của dịch chuyển x, cần
phải xoay gương động nghiêng một góc 

 
Gt
St
CT
Nguôn S
Laser Sđ
Gđ
S't,S'đ
x
M
Sơ đồ nguyên lý giao thoa kế khi nghiêng gương
ảnh giao thoa là các vân giao thoa đồng độ dày có
bước vân .: H  /2n
Chiều dịch chuyển của các vân này là:
+ Khi gương động Gđ chạy xa so với gương tĩnh, thì
các vân sẽ dịch chuyển theo hướng về phía đỉnh nêm.
+ Khi gương động Gđ chạy lại gần gương tĩnh Gt, các
vân sẽ dịch chuyển rời xa đỉnh nêm.

Khi dùng hai cảm biến quang điện Cb1 và Cb2 đặt
cách nhau một phần tư bước vân H trên mặt phẳng
hứng ảnh giao thoa, ta sẽ nhận được hai tín hiệu sin
tính lệch pha nhau 900
 Gt Cb1
I
 G®
Cb2 x

H a) chiều thuận
I
I Cb1 Cb2
x
Cb1 Cb2
b) chiều nghịch

Tín hiệu thu trên cảm biến CB1 và CB2 là:

CB1 = Acos [ ( 4 / ).x ]
CB1 = Acos [ ( 4x / )( x/4) ]
Dấu /4 phụ thuộc vào chiều dịch chuyển gương
trong quá trình đo.
4.1.3 Các sơ đồ biến thể của giao thoa kế laser để
đo độ dài cơ khí.

Với mục đích làm giảm ảnh hưởng của các nguyên
nhân gây nên sai số để cho giao thoa kế laser đo độ dài
làm việc ổn định, chính xác cũng như nâng cao độ
phân giải khi đo, người ta đã nghiên cứu và sử dụng
trong đo lường cơ khí một số sơ đồ biến thể từ nguyên
lý cơ bản đã nêu trên.
4.1.3.1 Sơ đồ giao thoa kế với gương góc 3 mặt .
Khi đầu đo dịch chuyển , các sai lệch trong đường dẫn
động sẽ gây nên sự dao động của gương động . Để
giảm ảnh hưởng của các rung động này dùng gương
góc 3 mặt, Gt

St CT
S
Nguån Laser
S®
G®
S't,S'® x

M
Nhược điểm của sơ đồ này là không thể tạo ảnh giao thoa kiểu nêm
quang học, vì vậy sẽ không xác định được chiều dịch chuyển đầu đo.
 4.1.3.2 Sơ đồ giao thoa kế với ánh sáng laser phân
cực.
Để xác định được chiều dịch chuyển của gương động
Gđ khi dùng gương phản xạ góc, sử dụng laser phân
cực. Cb2

Cb1 Gt
S't,S' Gđ
CP
®
2 St Sđ
NguônLaser S
x
/4 CP
1

Hình 4.8 Sơ đồ giao thoa kế dùng ánh sáng laser phân cực dạng 1
Khi gương đo Gđ dịch đi /2 thì mặt phẳng phân cực
quay 1800, mặt phẳng phân cực tổng sẽ quay 450 nên
cường độ sáng thu trên cảm biến sẽ biến đổi đi một
chu kỳ.

Hướng quay của mặt phẳng phân cực tổng tuỳ thuộc
vào hướng dịch chuyển của gương góc, vì vậy trên hai
cảm biến quang điện ta sẽ thu được hai tín hiệu có pha
lệch nhau 900 tương ứng với chiều chuyển động của
gương đo Gđ.
Trong sơ đồ này sử dụng tấm V trễ pha /4 để tạo nên
sự lệch pha 900 giữa chùm tia đo Sđ và chùm tia
chuẩn St.

Gt

Cb1
St
CP Gđ
Sđ

Nguon
Laser S V
x
/4
4 Cb2
Sơ đồ giao thoa kế dùng ánh sáng laser phân cực dạng 2
Các giao thoa kế sử dụng ánh sáng laser phân cực còn
có ưu điểm là:

-Việc chia chùm tia laser đạt được tỉ lệ chia cường độ

sáng giữa hai tia chùm đều hơn và đạt được hệ số phản
xạ cao hơn. Nhờ vậy mà độ tương phản của ảnh giao
thoa cao hơn.

-Sơ đồ giao thoa kế dùng ánh sáng laser phân cực có

cấu tạo và điều chỉnh phức tạp song giảm được rất
nhiều ảnh hưởng của rung động của gương động trong
quá trình đovì vậy sơ đồ nguyên lý này thích hợp cho
điều kiện đo ở phân xưởng sản xuất.
4.1.3.3 Sơ đồ giao thoa kế có quang lộ chùm tia đo
tăng gấp đôi.
. Để tăng độ nhậy, người ta cho chùm tia đo Gđ đi qua
một hành trình kép

Sơ đồ giao thoa có độ phân giải cơ sở được tăng gấp đôi.

Do quãng đường ánh sáng tăng lên 4 lần trong nhánh
đo, nên chu kỳ tín hiệu trên bộ thu tương ứng với độ
dài dịch chuyển của gương động là /4, vì vậy độ
phân giải cơ sở được tăng lên gấp đôi.

Do độ nhậy quang học tăng lên đòi hỏi độ chính xác

và sự đồng chỉnh các chi tiết quang cơ cao hơn, đồng
thời cũng nhậy cảm với rung động nhiều hơn. Sơ đồ
nguyên lý này chỉ thích hợp cho việc đo lường ở
phòng thí nghiệm.
4.1.3.4 Sơ đồ giao thoa kế laser đo theo hiệu ứng
Đốp-lơ.
Phương pháp đo theo hiệu ứng Đốp-lơ sẽ giảm ảnh
hưởng của sự biến động cường độ sáng trên ảnh giao
thoa.
Gt

St CT
S
Nguån f Sđ
Laser Gđ
S't,S'đ V
f& ff
M
Hình 4.11 Sơ đồ giao thoa kế laser đo theo tần số.
Hiệu ứng Đốp-lơ xảy ra khi gương Gđ dịch chuyển
với tốc độ V trong quá trình đầu đo dịch chuyển để
thực hiện phép đo

Do mặt phẳng hứng ảnh giao thoa đứng yên, trên bộ

thu bằng cảm biến quang điện nhận được biến đổi tần
số dao động sóng ánh sáng của chùm tia đo Sđ theo
hiệu ứng Đốp lơ.

Sự giao thoa của hai chùm tia Sđ và St là sự giao

thoa của hai sóng có tần số xấp xỉ nhau. Cường độ ánh
sáng giao thoa thu trên cảm biến quang điện biến đổi
theo chu kỳ phách của hiệu hai tần số đó
Khi gương động dịch chuyển theo đầu đo, nếu xét
trong khoảng thời gian t, gương Gđ chuyển động đều
với vận tốc V, nó đi qua quãng đường /2n trong thời
gian T=  / 2nV. Tần số ánh sáng bị biến đổi một
lượng là:

ở đây f là tần số sóng ánh sáng của laser và c là vận tốc ánh
sáng.
 Vận tốc dịch chuyển của gương động Gđ là

V=f /2n

Trên mặt phẳng M, cường độ sáng thu được bởi cảm

biến quang điện

I = I1+ I2 +2(I1I2)1/2 cos (2f.t)

Cường độ sáng giao thoa biến thiên theo tần số dịch
chuyển Đốp-lơ biến đổi theo qui luật sin tính theo thời
gian với tần số 2f.

Khi xác định được lượng biến đổi tần số f trong

khoảng thời gian t ta xác định được quãng đường dịch
chuyển của gương trong thời gian đó:

x = V.t = f.t / 2n
 Phương pháp theo phương pháp đo tần số là phương
pháp đo theo giá trị trung bình của vận tốc dịch
chuyển gương động Gđ. Khi tốc độ của gương động
dịch chuyển không đều trên quãng đường đo x, cần
phải thực hiện cách đo vi phân là chia nhỏ x thành các
độ dài vi phân xi có tốcđộ dịch chuyển Vi với thời
gian .ti.

Khi đó, độ dài cần đo được tính là:

x=∑ xi = ∑fi .ti / 2n

Độ chính xác khi đo phụ thuộc vào độ chính xác của

phép đo tần số fi và đo thời gian chuyển động.ti của
đầu đo.
Phương pháp đo này là phương pháp đo động. Với tần
số dịch chuyển Đốp-lơ khoảng 100 MHz cho phép đo
dịch chuyển đến tốc độ tới 30 m/s,
Sự biến đổi của cường độ sáng I trong biểu thức không
phụ thuộc vào dấu của thành phần f. Vì vậy sơ đồ
nguyên lý này không xác định được hướng biến đổi
của kích thước đo.
Đặc điểm cơ bản của phương pháp này là nó đạt được
độ chính xác cao nhờ khả năng đo chính xác tần số
dịch chuyển Đốple , khoảng thời gian dịch chuyển và
sự ổn định cao của tần số laser.
Độ không ổn định của cường độ tín hiệu giao thoa thu
nhận do sự biến động của công suất nguồn phát laser
không ảnh hưởng đến kết quả đo do dao động biên độ
điện áp của tín hiệu thu nhận không ảnh hưởng đến giá
trị của tần số.
4.1.4 Phương pháp đo dộ dài bằng giao thoa kế
laser với nguồn laser hai tần số.
Để xác định hướng dịch chuyển của gương động
trong phương pháp đo theo tần số, sử dụng nguồn phát
laser có hai tần số f1 và f2 .
Gt
V
f2 CP f1f1
f1&f2
cp
Nguån f1
Laser Gđ

f2- f1 f2- f1f1

Cb1 Cb2

Sơ đồ giao thoa kế đo bằng laser hai tần số.



Trên cảm biến quang điện Cb2 cường độ sáng là

I = I1+ I2 +2(I1I2) 1/2 cos 2 f.t
Khi gương động Gđ dịch chuyển thì tần số của tia
phản xạ f1 thay đổi một lượng f1, còn tần số phách
giao thoa nhận được là f2-(f1  f1) = f  f1.
Khi đó cường độ sáng trên cảm biến Cb2 sẽ biến đổi
là:
I = I1+ I2 +2(I1I2) 1/2 cos [2( f  f1)t ]
Cảm biến Cb1 với tần số phách f . Tín hiệu đo f 
f1 và tín hiệu chuẩn f được đưa vào bộ xử lý đếm
tần số
Vận tốc dịch chuyển gương động Gđ
V = 1 f1 /2n
Độ lớn của độ dài đo
x = V.t = 1 f1.t / 2n
Khi đo theo vi phân quãng đường dịch chuyển thì
x = 1 f1i.ti / 2n
Dấu của thành phần f1 cho biết chiều biến đổi kích
thước đo:
- Dấu cộng tương ứng với chiều dịch chuyển của
gương động lại gần tấm phân chùm CP làm giảm hiệu
quang lộ giữa hai chùm tia giao thoa.
-Dấu trừ tương ứng với chiều dịch chuyển của gương
động đi xa tấm phân chùm CP làm tăng hiệu quang lộ
-Việc xác định dấu dịch chuyển này thực hiện thông
qua sự biến đổi của giá trị tuyệt đối của sự biến thiên
tần số  f f1.
 Sơ đồ giao thoa kế đo theo nguyên lý dùng nguồn
laser hai tần số có độ nhạy thấp hơn khi dùng nguồn
laser một tần số song nó cho phép nâng cao tốc độ
dịch chuyển của đầu đo, giảm ảnh hưởng của rung
động và sự biến động của cường độ sáng của ảnh giao
thoa. Sơ đồ nguyên lý này hiện đang được sử dụng
nhiều trong các máy đo dùng trong công nghiệp.
4.1.5 Ảnh hưởng của môi trường đo đến độ chính
xác của giao thoa kế laser .
Về nguyên lý thì hình ảnh giao thoa sẽ là duy nhất
nếu bước sóng của ánh sáng laser  luôn luôn ổn định.
Độ dài bước sóng ánh sáng phụ thuộc vào tính chất
của môi trường mà nó lan truyền,

Độ dài bước sóng laser trong không khí là

 = 0 /n
-0 là bước sóng của bức xạ laser trong chân không
- n là chiết suất không khí.
 Chiết suất của không khí phụ thuộc nhiều vào các
thông số của nhiệt độ, áp suất, độ ẩm và thành phần
hoá học của nó.
Khi thực hiện phép đo, chiết suất này còn phụ thuộc
vào sự ổn định trạng thái của không khí.

Vì vậy, bước sóng laser cần phải được hiệu chỉnh

theo sự sai lệch của điều kiện đo thực so với các điều
kiện tiêu chuẩn khi xác định bước sóng của nguồn
laser.
Giá trị chiết suất của không khí khô có 0,03% CO2 ở
150 C và áp suất 760 mm Hg ứng với chiều dài sóng
laser HeNe =0,63299138m trong chân không là:
nkhô=1,0002765 .

Hiệu chỉnh sự thay đổi độ ẩm, nhiệt độ, áp suất được

xác định theo công thức sau:
(n-1)=(nkhô-1).P/720,775[1+P(0,817-0,0133T).10 - 6
/(1+0,003662T)]-5,6079.10-8f
f là áp lực riêng phần của hơi nước ở nhiệt độ T0C và áp suất toàn
phần khí quyển P(mm Hg)
Để tính toán trực tiếp sự thay đổi bước sóng ánh sáng
của laser trong không khí có thành phần không đổi, có
thể dùng công thức của Edle.
Trong không khí thường, ví dụ trong không khí với
thành phần CO2 xác định ở nhiệt độ 200 0 C,
P=1013hPa, độ ẩm tương đối H= 50%, bước sóng
 =0.63282m.
/= 10-6(0,9.t –0,3P +0,01H)
( t: 0K ; P: Pa; H: %)
Với nhiệt độ t sai lệch đến 100 0 C và độ ẩm f =30  50%.
Với độ chính xác đủ dùng trong thực tế, chiết suất
không khí đối với laser HeNe được ổn định trong
khoảng Lemba có thể tính theo công thức
n-1 = (78,64P /T -12f/T).10-6
Sai số đo nẩy sinh khi sai lệch áp suất, nhiệt độ, độ
ẩm khômg khí với giá trị chuẩn là P=760 mmHg,
T=200C, f=1mm Hg,
( L/L) =(-0,93T+0,36P-0,06f).10-6
: L là sai số tuyệt đối đo
L là giá trị dịch chuyển do
T là sai lệch nhiệt độ đối với nhiệt độ chuẩn
P là sai lệch áp suất đối với áp suất chuẩn
f là sai lệch độ ẩm đối với chuẩn
Giá trị bước sóng ch của laser HeNe đối với giá trị
chuẩn của nhiệt độ, áp suất và độ ẩm khi hiệu chỉnh
theo tần số trung tâm của môi trường laser là
ch = 0,63281976 m.
Khi đó trong kết quả đo cần phải đưa vào hiệu chỉnh
sự thay đổi kích thước của chi tiết đo khi nhiệt độ thay
đổi.
LT/L = - t
 là hệ số dãn nở thẳng do nhiệt độ của vật liệu chi tiết đo.
L là kích thước chi tiết đo cần xác định.
t là sự thay sai lệch nhiệt độ của vật cần đo đối với điều kiện
tiêu chuẩn.
• Hình 4.13 Sơ đồ đo có hiệu chỉnh sai số tự động.
4.1.6 Ảnh hưởng của rung động môi trường đến
giao thoa kế laser.
Trong môi trường xung quanh ta luôn xuất hiện các
rung động
. Các rung động này lan truyền trên mặt đất, trên nền
nhà của các xưởng sản xuất và các phòng thí nghiệm.
. Các rung động này gây ảnh hưởng nghiêm trọng đến
độ chính xác của các phép đo và các nguyên công
công nghệ chính xác.
Khi xảy ra các cộng hưởng cục bộ tại các bộ phận
của dụng cụ đo, gây nên các biến dạng và dịch chuyển
vị trí lớn của các bộ phận, chi tiết thiết bị.
 Các rung động trong môi trường xung quanh có thể
làm thay đổi vị trí tương quan giữa các chi tiết quang.
Tạo nên các sai lệch như: độ không thẳng hàng, sự
thay đổi khoảng cách tương đối giữa các chi tiết quang
làm giảm sự rõ nét hoặc sai lệch các ảnh quang mà các
sai lệch này thay đổi theo sự biến động của rung động.

Do độ nhạy của hiệu ứng giao thoa đến một phần

mười bước sóng thì những rung động trực tiếp rất nhỏ
đến một vài phần mười của micromet cũng làm cho hệ
giao thoa không ổn định, vị trí vân giao thoa thay đổi,
gây nên sai số đo.
4.1.6.1 Đặc điểm của rung động môi trường.
+ Sàn nhà mang các dao động thẳng đứng trong dải từ
10 đến 30Hz từ người, xe cộ, các hoạt động địa chấn,
các công trường xây dựng.

+ Các toà nhà cao tầng dao động đến hàng mét trong
gió thổi với tần số từ 1 đến 10Hz.

+Máy, thiết bị hoạt động tạo nên các dao động đến
200Hz.
Các rung động lan truyền trên nền nhà các phòng thí
nghiệm và nhà xưởng là các sóng cơ học ngang và
dọc:
+ Khi nền phòng nằm trên mặt đất và nền nhà đủ
cứng thì thành phần sóng dọc lan truyền theo bề mặt
nền nhà là chủ yếu.
+ Khi nền phòng nằm ở các tầng cao của nhà và nền
phòng không đủ cứng thì thành phần dao động ngang
thường là chủ yếu. Ngoài ra còn có sự lắc ngang do
dao động của nhà
Tính chất của các rung động là ngẫu nhiên về biên độ
và tần số..
Phổ tần số từ 0 đến hàng chục kHz với các đặc tính
biên độ- tần số là thường có biên độ lớn ở tần số nhỏ
và giảm đi khi tần số tăng lên.
Theo tài liệu của hãng Mellgriot, mật độ phổ công suất
của các rung động môi trường :
- Trong công nghiệp nặng: <10-7 g2/Hz.
- Trong công nghiệp nhẹ: <10-8 g2/Hz.
- Gần đường giao thông: <10-9 g2/Hz.
- Bước chân người bước nhẹ: <10-2 g2/Hz.
4.1.6.2 Các biện pháp giảm rung động và hệ thống
giảm chấn.
+Sử dụng thiết bị giảm chấn trong mối liên kết giữa
nền nhà và thân máynhư đệm cao su, đệm khí...
+ Thiết kế máy và bệ máy có khả năng chịu ảnh hưởng
ít nhất của rung động như: tăng khối lượng bệ máy
hoặc thân máy để tăng lực quán tính chống lại rung
động ở tần số cao. Tăng độ cứng của thân máy để
giảm biến dạng và ảnh hường của rung động ở tần số
thấp.
+ Sử dụng các chất hấp thụ năng lượng rung động
bằng ma sát nội như chất dẻo lỏng nhớt, dầu có độ
nhớt cao, các vật liệu hạt rời như cát.
Đệm tấm Lò so Đệm khí

Đệm cao su Mang đàn Đệm Màng

hồi
• 4.1.6.2. Các hệ giảm chấn quang học của hãng
Mellesgriot.

• Hãng MellesGriot đã chế tạo các hệ giảm chấn

dùng cho các nghiên cứu về quang học còn được gọi
là bàn quang học. Các bàn giảm chấn này có các
kích cỡ và khả năng giảm chấn khác nhau tuỳ thuộc
vào các mục đích sử dụng và mức độ rung động của
môi trường. Hãng MellesGriot chia các loại bàn
giảm chấn quang học thành 3 cấp độ:
• -Cấp độ 1- Bàn Hoàn thiện (Perfomance):
Dùng trong các lĩnh vực quang học thông thường
như laser xung, quang sợi đa mốt, các định vị vị trí
cần đến độ chính xác cỡ micromet... trong môi
trường yên tĩnh hoặc ít rung (có mật độ phổ công
suất nhiễu nhỏ hơn 10-10g2Hz).
- Thân bàn với độ phẳng đạt đến 0,10 mm / 1m2,
-Hệ số biến dạng động học nhỏ hơn 1,3 x 10-3
mm/N.
-Biến dạng thân bàn khi đặt tải trọng113 Kg nhỏ hơn
1,65m.
-Chân bàn không dùng các phần tử giảm chấn
• -Cấp độ 2- Bàn Hoàn thiện hơn (Perfomanceplus):
Sử dụng với quang sợi đơn mốt, các phổ kế, tốc
kế quang... ở môi trường mật độ phổ công suất nhiễu
đến 10-8 đến 10 -9 s2Hz.
-Độ phẳng thân bàn đạt đến 0,05 mm/m2.
- Hệ số biến dạng động học nhỏ hơn 0,9 x 10-3
mm/N.
- Độ biến dạng thân bàn khi chịu tải 113 kg đặt
giữa thân bàn 1,5 m.
- Các phần tử giảm chấn ở 4 chân bàn Tần số cộng
hưởng theo phương thẳng đứng nhỏ hơn 5,5Hz và
theo phương nằm ngang nhỏ hơn 4,5Hz.
• -Cấp độ 3- Bàn siêu hoàn thiện (UtraPerfomance):
Với các giao thoa kế, hologram, các định vị vị trí
nhỏ hơn micromet hoặc cỡ nanomet.. và môi trường
có rung động nhiều tới hơn 10-7g2Hz.
-Độ phẳng thân bàn đạt 0,05 mm/1m2.
-Hệ số biến dạng động học nhỏ hơn 0,5 x 10-3
mm/N.
-Các phần tử giảm chấn ở 4 chân bàn
-Có khả năng điều chỉnh độ cao 13mm và tự động
ổn định độ cao đạt 0,25mm
-Tần số cộng hưởng theo phương thẳng đứng nhỏ
hơn 1,35Hz và theo phương nằm ngang nhỏ hơn
1,0Hz.