电大理工

2013 年 12 月 Study of Science and Engineering at RTVU. 第4期 总第 257 期

几何相位分析法(GPA)基本原理
郭红艳
辽宁广播电视大学锦州分校 (锦州 121000)

摘 要 阐述了利用高分辨像分析获得相关区域的位移场和应变场大小的几何相位法的基本原理，其方法是将高分
辨像的傅里叶变换后选择两个非线性矢量，软后再进行反傅里叶变换，即可以得到微观测量尺度上的、高精度的位移场
和应变场。
关键词 几何相位分析法 应变场 位移 高分辨电子显微镜

~
分析固体物质微观结构中的应变场，对于丰富人 换后的强度 I (r ) 定义为：
们对微观世界的认识有着十分重要的意义。获得该应 ~

变场的方法有两种常用方法： peak-finding(PF) 法和
I (r ) = ∫∫ I (k ) exp{2πig ⋅ r}dk
g
(4)

geometric phase images(GPA)法。相比而言，材利用高

分辨像处理技术分析获得位移场和应变场大小的几何 公式(3)的傅里叶变换为：
~ ~
相位分析方法，其精度和应用范围较 peak-finding 方 I (r ) = Σ H ( k ) ⊗ δ ( k − g ) (5)
~
法更高和更广泛。其精度可达 0.003nm[1] ，并已用于 算符 ⊗ 表示卷积计算，因此公式(5)说明 I (r ) 可以
~
半导体材料裂纹、位错和结构合金中小的析出相周围 用 H g (k ) 与倒易空间矢量 g 的卷积操作表示。对于完
位移场和应变场的测量[2-4]。GPA 方法是 M.J.Hytch 教 整晶体 HRTEM 像的傅里叶变换，只有其处于布拉格
~
授在 1998 年的 Ultramicroscopy 杂志上首先提出。由 位置时其值才不为零并且函数 H g (k ) 是 H g 高的 δ 函
于 HRTEM 像可以由经过 Fourier 变换后某一带轴 2 数。如果在图像某位置有变化，那么在傅里叶变换过
维的 Bragg 反射谱所表征。周期排列的 2 维强衍射斑 程中布拉格衍射位置直接会变成非零。在一个布里渊
点中蕴含晶体结构信息。选择两个非线性相关的衍射 区，g 可以写成：
~ ~
斑点就可以定义正空间的 2 维高分辨像，并以此为参 I (r ) = H g (k − g ) (6)
~
考可以度量实验高分辨像晶格的畸变。 这可以引入掩模函数 M (k ) 提取相应信息。
~
GPA 的基本原理： M (k ) =1 处于第一布里渊区 (7)
~
完整晶体的 HRTEM 像的强度可以用公式(1)来描 M (k ) =0 处于第一布里渊区之外 (8)
述： 接下来 H g (r ) 可以按照公式(9)进行定义
~ ~ ~
I (r ) = Σ H g exp{2πig ⋅ r} (1) H g (k ) = I (k + g ) M (k ) (9)
其中：I (r ) 表示在位置 r 处像的强度，g 是与布拉 这样，公式(5)给出的 HRTEM 像强度的傅立叶变
格反射点相关的周期性。傅里叶互相关系数 H g 可以 换可以用公式(9)表达出来。
用公式(2)描述： H g = Ag exp{iPg } (2) 完整晶体高分辨像傅里叶变换分量 H g ，强度
其中 Ag 表示振幅， Pg 表示相位。 I (r ) 分别用来表征与衍射矢量 g 相对应的高分辨像的
为了说明像的强度随位置的变化而改变，将 H g 振幅和相位。按照公式(2)的定义，将公式(1)写成振幅
看做位置的函数： Ag 和相位 Pg 的形式，并用该公式用于真实图像上，
I (r ) = Σ H g exp{2πig ⋅ r} (3) 考虑到傅里叶变换后图像存在共轭对称特性，因而可
相关系数 H g (r ) 可以解释为傅里叶分量 H g 的实 得公式(10)：
际值。为了将上述函数用傅里叶空间表达，必须对变 I (r ) = A0 + Σ 2 Ag cos{2πg ⋅ r + Pg } (10)
0
.20. 电大理工 总第 257 期

特定晶面的晶格条纹 B g (r ) 科研用公式(11)描述 始相位，对 Pg' (r ) 微分可以得到可用于确定局部倒易空

B g (r ) = 2 Ag cos{2πg ⋅ r + Pg } (11) 间矢量的改变量（ g (r ) → g (r ) + Δg (r ) ）。将原始相位
将掩膜板放置于傅里叶变换后的±g 衍射矢量位 减去常量 2πg (r ) 就可以得到 Pg (r ) 。
置，可以得到原图像的布拉格滤波像。在晶格条纹出 利用两个线性无关的倒易矢量 g1 和 g 2 可以确定
现变化的时候，在傅里叶变换后的衍射图中仍保留共 与之相对的相位 Pg (r ) 。
轭对称性： Pg1 (r ) = −2πg1 ⋅ u (r ) = −2π [ g1x u x (r ) + g1 y u y (r )] （23）

H − g (r ) = H g* (r ) (12) Pg 2 (r ) = −2πg 2 ⋅ u (r ) = −2π [ g 2 x u x (r ) + g 2 y u y (r )] （24）

~
用矩阵方式表示位移场：
利用公式(7)和(8)定义的布里渊掩膜板 M (k ) 过滤
−1
得到的布拉格滤波像的强度可以表示为： ⎛ux ⎞ 1 ⎛ g1x g1 y ⎞⎟ ⎛ Pg1 ⎞
⎜ ⎟=− ⎜⎜ ⎜ ⎟ （25）
⎜uy ⎟ ⎜ Pg 2 ⎟
B g (r ) = 2 Ag cos{2πg ⋅ r + Pg (r )} (13) ⎝ ⎠ 2π ⎝ g 2 x g 2 y ⎟⎠ ⎝ ⎠
假设倒易空间晶格矢量相对于完整晶体倒易空间
⎛ a1x a2 x ⎞ ⎛g g ⎞
矢量发生了改变，既： 令 A = ⎜⎜ ⎟ ，G = ⎜ 1x 2 x ⎟ ，按照线性代数原理可
⎟ ⎜ g1 y g 2 y ⎟
g → g + Δg (14) ⎝ a1 y a2 y ⎠ ⎝ ⎠

式中： Δg 表示在倒易空间中相对于完整晶体的 得 G T = A −1 。 T 表示矩阵的转置，带入公式（25）可

改变量。这样公式(11)则可以写成 得：
B g (r ) = 2 Ag cos{2πg ⋅ r + 2πΔg ⋅ r + Pg } (15)
⎛ux ⎞ 1 ⎛ a1x a1 y ⎞⎟⎛⎜ Pg1 ⎞⎟
将公式(15)与公式(13)进行比较可知，相位作为位 ⎜ ⎟=− ⎜⎜ （26）
⎜uy ⎟
⎝ ⎠ 2π ⎝ a2 x a2 y ⎟⎠⎜⎝ Pg 2 ⎟⎠
置的函数可以表示为：
Pg (r ) = 2πΔg ⋅ r (16) 根据弹塑性力学原理将公式（26）求导数，得到应变
场大小：
忽略任意完整晶体产生的常数相位 Pg ，那么由于
倒易空间晶格矢量的变化在相位图上必定产生位移量 ⎛ ∂u ∂u x ⎞
⎟
⎜ x
Pg (r ) 的明显变化。 ⎛ ε xx ε xy ⎞ ⎜ ∂x ∂y ⎟ （27）
⎜
ε =⎜ ⎟ =
⎟ ⎜ ∂u y ∂u y ⎟
针对具体的 HRTEM 图像，GPA 分析的过程是： ⎝ ε yx ε yy ⎠ ⎜ ⎟
⎝ ∂x ∂y ⎟⎠
首先对 HRTEM 像利用适当的掩膜板滤波后进行傅里
叶变换得到含有强度信息的倒易空间的衍射谱；选择
参考文献
一个衍射斑点作参考的矢量 g，利用适当的掩膜板做 [1] Hÿtch M J, Putaux J-L, Pénisson J-M. Measurement of the
滤波处理；接着计算原始图像傅里叶变换后的强度 displacement field of dislocations to 0.03Å by electron
~ ~
I (k ) ，并应用 M (k ) 于位置矢量 g；进行反傅里叶变换 microscopy[J]. Nature, 2003, 423: 270-273.
可以计算出 H g' (r ) 。 [2]Zhao C W, Xing Y M, Bai P C. Quantitative measurement of
H g' (r ) = H g (r ) exp{2πg ⋅ r} (17) deformation field aroundlow-angle grain boundaries by electron
按照公式(2)将 H g (r ) 写成振幅和相位形式： microscopy[J]. Physica B, 2008, 403(10-11) : 1838-1842.
H g' (r ) = Ag (r ) exp{2πig ⋅ r + iPg (r )} (18) [3]侯小虎, 白朴存, 赵春旺, 邢永明. 喷射沉积Al-Zn-Cu-Mg合

接着按下面公式计算布拉格滤波后的像强度 金GP区应变场的定量测量[J]. 实验力学, 2011,26(1): 16-20.

Bg (r ) ，振幅 Ag (r ) ，相位 Pg (r ) 。 [4]Zhao C W, Xing Y M, Bai P C. Experimental examination of

Bg (r ) = 2ℜe[ H g' (r )]
Ag (r ) = Mod [ H g' (r )]
Pg (r ) = Phase[ H g' (r )] − 2πg ⋅ r
Pg' (r ) = Phase[ H g' (r )]
公式中 ℜe 表示实部， Pg' (r ) 表示 HRTEM 像的原
displacement field in an edge dislocation core in aluminum[J] ．
(19)
Physics Letters A, 2008, 372 (3) : 312-315.
(20)
[5]Hÿtch M J, Snoeck E, Kilaas R. Quantitative measurement of
(21)
displacement and strain fields from HREM micrographs[J].
(22)
Ultramicroscopy, 1998, 74: 131-146.
(责任编辑：云龙)