Opolską i Wyżyną Woźnicko-Wieluńską, od wschodu z Wyżyną Krakowsko-Częstochowską, od południa z Kotliną Oświęcimską i Kotliną Ostrawską, od zachodu z Kotliną Raciborską i Pradoliną Wrocławską. W podłożu ma platformę paleozoiczną. Jej najwyższym wzniesieniem jest Góra Świętej Anny o wysokości 408 m n.p.m. Wyżynę Śląską pokrywają osady polodowcowe, przede wszystkim piaski. Na trasie przepływu Białej Przemszy znajduje się Pustynia Błędowska – największe w Europie pole luźnych piasków. Postępuje jej zarastanie w wyniku wprowadzenia tam roślin wydmowych, np. mikołajka nadmorskiego.