微波

半導體微波退火
410874041李庭誼
 微波是什麼？
微波（Microwave）是指波長介於紅外線和無線電波之間的電磁波。
微波的頻率範圍大約在 300MHz至300GHz之間。
所對應的波長為1公尺至1mm之間。

 微波的產生
微波能通常由直流或50MHz交流電通過一特殊的器件來獲得。
可以產生微波的器件有許多種，但主要分為兩大類：半導體器件
和電真空器件。

 微波的特性
微波的主要特點是它的似光性、穿透性和非電離性
似光性指它與頻率較低 非電離性指它的量子能 穿透性指它與紅外線
的無線電波相比，更能 量還不夠大，與物質相互 相比，照射介質時更
像光線一樣地傳播和集 作用時雖能改變其運動狀 易深入物質內部。
中。 態，但還不足以改變物質
分子的內部結構或分子間
的鍵。
 用途
在工農業生產上的應用主要包括測量和加熱兩個方面。
温
測量屬於弱功率應用，利用微波可以測量包括 度、濕
度、厚度、速度、長度等各種非電量。
加熱屬於強功率應用， 例如可以產生微波等離子體，在
大規模集成電路 中刻蝕亞微米級的精細結構。
半導體的微波退火技術
退火概述
退火（Annealing），在冶金
學或材料工程，是一種改變材
料微結構且進而改變如硬度和
強度等機械性質的熱處理。
退火概述
過程為將金屬加溫到高於再結晶溫度的
某一溫度並維持此溫度一段時間，再將
其緩慢冷卻。
半導體退火
在半導體工業中，矽晶圓需要進行退
火。因半導體材料中摻雜了雜質如硼、
磷或砷等，會產生大量空位，使原子排
列混亂，導致半導體材料性質劇變，因
此需要退火來恢復晶體的結構和消除缺
陷，也有利於間隙式位置的雜質原子進
入置換式位置。
半導體退火
半導體製程的退火過程對產品良率
影響重大，目前主流使用快速熱退
火(RTA)，透過熱傳導方式達到退
火效果，但因熱擴散效應會影響良
率，且一次只能處理一個晶片，既
耗時又費能。
 微波退火原理
微波加熱與傳統式加熱爐的差異性在於其熱的產生方式不同。
微波加熱反應最主要是利用電磁波轉變成熱能，使所需要的物質
達到快速加熱的效果。
微波可以引發離子的遷移及偶極矩(Dipole)的轉動，分子偶極距
隨著微波磁場的高速振動而快速旋轉，旋轉時因分子摩擦所產生
的熱能而使分子溫度升高。
 微波退火原理
微波對物質的加熱方式是從物質本身開始的，此方式能將能量藉
由空間均勻且迅速的穿透物質，並從物質內部加熱減少熱梯度，
進而達到減少製程時間與節省能源的目的。
目前微波退火技術在工業應用最成熟的是碳纖維，大約七年前就
由日本大廠率先引用。
退火方式的比較
傳統的爐管退火可以一次處理多片晶圓，但因
為溫度高、作業時間長，不適用於愈來愈精密
細小的元件，可能會造成電路失效或漏電。
RTA的溫度較低、作業時間短，但一次只能處
理一片晶圓。
退火方式的比較 效率提升 2 倍
相較之下，微波退火的溫度比
RTA更低，而且可以同時批次處 成本降低 9 成
理多片晶圓，成為更理想的解決
方案，而且只需置換現有的退火 壽命延長 6 倍
設備，原有前後上下游的製程都
不需要更動。
 半導體微波退火歷程
最一開始的5.8GHz 遇到的困難： 三方合作
高頻微波的5.8GHz磁控管技
交通大學因研究需要5.8GHz 術尚未進入成熟階段，元件 交通大學作元件，工研院做
工業規格的微波退火設備 壽命短(約500小時)，成本將 設備，國家奈米元件實驗室
近新台幣20萬。 提供半導體製程實作的潔淨
室。
 半導體微波退火歷程
研究方向改2.45GHz 遇到的困難:
因為微波模態和頻率平方
中研院兩大技術突破
因為工業等級的2.45GHz磁控 成正比，2.45GHz相較於 一、加大微波前端半波整流器
管費用僅需新台幣10000元， 5.8GHz則明顯居於劣勢。 裡電容器的電容，以及改變導
元件壽命長(3000小時)。 波管幾何方向。
二、襯片材質的改良
 半導體微波退火歷程
研究成果 未來展望
前述的硬體作法增加了兩倍模態數，所以均 工研院和交通大學主推的應用方向是光電產
勻性表現比5.8GHz更好，如果5.8GHz的退 業如矽薄膜、LED，其本身也是共價鍵的材
火時間需要300秒，2.45GHz只需要100秒就 料很適合開發微波退火相關應用。
能達到相同效果；單片晶圓的均勻性從95％
達到99.5％。
半導體微波退火帶來的影響
目前市場上由美國廠商主導的微波退火技術，是以變頻微波或
5.8GHz為主，兩者都以高頻微波來解決均勻性的問題，但其為管制
出口技術以及成本太高，國內廠商難以取得相關技術，交通大學、
工研院和國家奈米元件實驗室合力以創新想法來彌補低頻的缺點，
達到媲美5.8GHz的效果，對於能耗需求更高的光電產業而言，不但
可以降低成本，還有大幅縮短碳足跡的節能效果，符合綠色環保趨
勢。
參考資料
https://zh.m.wikipedia.org/wiki/%E9%80%80%E7%81%AB
https://www.itri.org.tw/ListStyle.aspx?
DisplayStyle=18_content&SiteID=1&MmmID=1036452026061075714&MGID=7
46055131501263064
https://zh.wikipedia.org/zh-tw/微波
https://baike.baidu.hk/item/微波/182739
https://www.automan.tw/magazine/magazineContent.aspx?id=3302

https://www.youtube.com/watch?v=dh4D6lrN8CU
謝謝大家