彩色激光同轴位移计

CL-3000 系列

ø26 mm
（CL-L015）

几乎不受材质、形状影响的高精度测量
超小型激光同轴位移计

CL - 3000 系列
 无需选择安装方法、场所、用途的
超小型激光同轴位移计
可高精度测量目标物，传感器探头安装、程序设定都很简单。

无需选择安装方法、安装场所及用途的超小型彩色激光同轴位移计 CL-3000 系列，是为实现

“提高品质”、“防止不良品流出”、“提高成品率”等课题而制造，提高品质检测的可靠性。

胶片

硅晶片 封装基板

2
机械加工部件 精密冲压

玻璃

可适用于多种场景的
激光位移计
彩色激光同轴位移计
CL-3000 系列

3
 发热及电气干扰影响为零
符合规格的高精度位移计
新式的彩色共焦方式位移计，

光源等部件均配置在了光学单元里面。

因探头内部零件只有镜头，所以发热、

电气噪声等规格中无记载的误差因素影响为零。

确实是现场能可靠使用的高精度位移计。

操作指示灯
配置即使远距离仍具有高辨识度的操作
指示灯。实现了测量状态的可视化。

内部零件仅有镜头
探头内仅限镜头的结构设计。
没有电子零件，不会发热亦无噪音。

4
采用新式的“共焦原理”，解决了多个难题

超小型、轻量
不仅可以安装在之前难以安装的狭窄空间，
还可并列安装传感器探头及搭载在机器人上。

对应曲面、凹坑、高低差能力强
采用直上直下的测量方法，可高精度测量曲面、凹坑、
具有高低差等各种形状的目标物。

对应多种材质的高精度
除透明、镜面、金属粗糙面、陶瓷、粘合剂等液体之外，
对光多重反射、渗入的目标物也都能准确测量。

对于较繁琐的“双头对射厚度测量”
，
亦能简单设置并高精度测量

对薄片物的厚度测量也能通过标准的
PC 软件简单实现。
通过专用夹具及光轴调整功能，
可快速、准确设置并实现高精度测量。

5
 超小型、轻量

直径仅有 8 mm
狭小空间也能实现
非接触测量

涂胶辊的跳动测量

可在严酷生产现场发挥作用的电缆保护结构

为了保护不耐拉伸负载、冲击、弯曲及侧压等的光纤电缆，采用了金属制的软管。
电缆长度最长可延伸至 30 m。

6
仅具有超小型镜头的探头内部结构

实现了比以往*小 1/50 的超小型尺寸

探头内部为仅搭载镜头设计，因此实现了比以往*小 1/50 的
超小型尺寸。满足生产装置本身也要小型化的需求，能简单 传统的 ø8 小型探头
激光位移计*
地安装在狭窄之处，无空间上的限制。

是以往 * 体积的

1/50

超小 9 mm 的节距，可并列安装
传统* 激光位移计受探头尺寸的限制，测量时需要在 XY 平台
传统* CL 系列
等移动装置上移动目标物，因此增加了装置成本。CL 系列的
超小型探头，
即便是狭小空间也可并排安装，
可降低装置成本。

最小需 9 mm 的节距即可安装

轻便，可简单地安装在机器人上
重量约是传统* 激光位移计的 1/2。轻便，可减轻停止时的残
余振动，从而简单地安装在机器人的前端。

* 与本公司 LK-H 系列产品的比较

7
 对应曲面、凹坑、高低差能力强

彩色共焦方式位移计

传感器探头 控制器、光学单元

光源单元
至传感器探头 采用了超高亮度多色光源。
能在不同波段产生稳定的强光，并照
受光时
射。
透过针孔的光因反射位置不
同，其波长也不同。只有符
合焦点波长的光才能透过针
孔。

投光时
对每个波长投射具有
不同焦距的光

近距离 红色

中距离 绿色
至分光器

远距离 蓝色
Quad CMOS 分光器
*
实现比以往 多 26 倍的动态范围。 将受到的光按波长分解，照射到
通过 4 个高分辨率 CMOS 进行受光， Quad CMOS 上。
实现不同材质的高精度测量。
* 与本公司 LK-H 系列产品的比较

采用了超高亮度彩色光源，可大范围高精度测量。
将蓝色激光照射在同时发出红、绿光的荧光体上，生成多色光。相比普通的白色 LED 光源，可在范围更广的波段内实现稳定的高
亮度发光。在测量量程的不同位置都能确保有充分的光量，实现高精度测量。

■ 普通的白色 LED 光源 ■ 彩色光源

不同位置都能获
量程端的
得充分的受光量
受光量较少

能高亮度发光的波段比较窄 能高亮度发光的波段比较宽

8
采用彩色共焦方式，精度高

即使距离改变，光点直径也不会改变
以往* 的激光位移计在移动到测量范围的边缘的过程中光点直径会变大，受此影响精度会变差，或者无法正确跟踪形状。CL 系列的
光点直径在测量范围内的每个位置都几乎不会发生变化，因此可高精度测量。

■ 普通三角测距方式激光位移计*的受光元件上的光点直径 ■ 彩色共焦方式的受光元件上的光点直径

NEAR NEAR

参考距离 参考距离

近距离 红色
FAR FAR
中距离 绿色
远距离 蓝色

亦能对透明、镜面体的曲面、倾斜实现高精度测量
重点是除了同轴的彩色共焦方式之外，照射光的开口亦为广角。如果能接收部分反射光，就可通过检测其反射光的波长位置来进
行高精度的测量。

■ 传统的激光位移计*（典型案例） ■ CL 系列（典型案例）

位移量（mm） 位移量（mm）
1.5
0.75
即使是光泽 1.5
0.75
0 表面，也具 0
-0.75 有出色的角 -0.75
-1.5 -1.5
-8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 度特性 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8

位置（mm） 位置（mm）

大部分的反射光
即使仅部分受光，也能测量
没有返回受光部

凹坑、段差也无死角 透明、镜面体也能正确测量
由于采用同轴的彩色共焦方式，所以能在不影响探头的安装 由于采用同轴彩色共焦方式测量，因此即使透明、镜面体的
方向及移动方向的情况下测量。 测量高度发生变化，也可无位置偏离地测量相同测量点。

■ 传统的激光位移计* ■ CL 系列 ■ 传统的激光位移计* ■ CL 系列

因高度不同而发生
测量位置偏移 无测量位置偏移

* 与本公司 LK-H 系列产品的比较

9
 对应多种材质的高精度

无需选择材质，
用一个传感器探头就能
实现高精度测量

金属 黑色橡胶 镜面体 玻璃 凝胶体

测量示意图

CL 系列

传统的激光位移计*

金属 黑色橡胶 镜面体 玻璃 凝胶体

：传统的激光位移计* ：CL 系列

实现基于不同材质的高精度直线性
■ 传统的激光位移计*（典型案例） ■ CL-3000 系列 CL-L015/CL-L015G（典型案例）
：透明、镜面体
5 5
4 4 ：白陶瓷
3 3
直线性误差

直线性误差

：金属粗糙面
2 2
1 1 ：黑橡胶
0 0
-1 -1
：乳白色树脂
（µm） -2 （µm） -2
-3 -3
-4 -4
-5 -5
-0.8 -0.6 -0.4 -0.2 0 0.2 0.4 0.6 0.8 -0.8 -0.6 -0.4 -0.2 0 0.2 0.4 0.6 0.8
目标物的高度（mm） 目标物的高度（mm）

10 * 与本公司 LK-H 系列产品的比较

即使材质混合，也能进行稳定的高精度测量

即使是粗糙面也能进行高精度测量
将光集中在测量点内的 4 点上，用 4 个 CMOS 接受反射光。 Quad 处理系统
通过各自得到的受光光谱将测量值的可靠性数值化，通过一
稳定的测量值
定的运算处理，排除微小凹凸的影响，算出稳定而正确的测
独自运算处理
量值。

可靠性 ▶ 高 低 高 低

CMOS CMOS CMOS CMOS

分光器

对多重反射较强
在对 IC 引脚等有光泽的目标物高度进行测量时，
典型案例 ：无 Quad 处理 ：有 Quad 处理
通过 Quad 处理，不受引脚端部的多重反射光的影响，可以 0.2

进行高精度测量。
0.1
测量值

（mm）

-0.1

-0.2
-2.5 -2 -1.5 -1 -0.5 0 0.5 1 1.5 2 2.5

位置（mm）

对薄膜状透明体测量力较强 对光渗入的目标物较强
可以准确地分离、测量 15 µm 以上的透明胶片和玻璃上的涂 在印刷电路板和半透明的液体剂等，光渗入的目标物中也能
膜表面及背面的反射光。 高精度测量。

受光波形

针孔
反射光对准聚焦的
受光量

透明体厚度
位置只有目标物的
15 µm 以上 *
表面反射的光

表面
-50 -40 -30 -20 -10 0 10 20 30 40 50
背面 高度（µm）

*CL-PT010 时

11
 对于较繁琐的“双头对射厚度测量”，
亦能简单设置 ＆ 高精度地测量

通过专用夹具及光轴调整功能简单设置
在双头对射厚度测量时，为了实现高精度的测量，重要的是调整彼此的光轴。
在 CL 系列中，采用专用夹具和 PC 软件上的光轴调整功能，可轻松准确地调整光轴。

12
安装误差极少的光轴调整功能
在双头对射厚度测量中，如果彼此的传感器探头光轴不匹配，只要目标物有微小的移动或倾斜，都会造成较大误差。
进行了光轴正确匹配的 CL 系列，能够完成高度精度的厚度测量。

■ 三角测量方式* ■ CL 系列
厚度 1000 µm 厚度 1000 µm
光轴偏移量 500 µm 光轴偏移量 0 µm

θ 角度 厚度测量结果（µm） 误差（µm） θ 角度 厚度测量结果（µm） 误差（µm）

光轴偏
光轴偏 1.5 987.2 -12.8 1.5 1000.3 0.3
移量为零
移量 1.0 991.1 -8.9 1.0 1000.2 0.2
0.5 995.7 -4.3 0.5 1000.0 0.0
θ θ
0.3 997.4 -2.6 0.3 1000.0 0.0
0.0 1000.0 0.0 0.0 1000.0 0.0
-0.3 1002.6 2.6 -0.3 1000.0 0.0
-0.5 1004.4 4.4 -0.5 1000.0 0.0
-1.0 1008.9 8.9 -1.0 1000.2 0.2
-1.5 1013.4 13.4 -1.5 1000.3 0.3

各个探头同步测量，可无位置偏移地进行测量
使用一个控制器控制各个探头，便可同步测量。无需繁琐的
PLC 编程，即可提高片状的厚度测量精度。

零发热的探头结构设计，可进行高精度测量
传统的激光位移计* 因自身发热而使夹具产生变形、光轴偏移等，容易出现测量误差的问题。
CL 系列是探头内部仅有镜头结构设计。由于没有电子元件，不发热，所以不会产生安装探头的夹具变形。
可实现理想的高精度测量。

■ 传统的激光位移计*（示意图） ■ 通电 10 分钟后的传感器探头（示意图）

探头发热前 探头发热后 传统的激光位移计* CL 系列

+8℃ +0℃
* 与本公司 LK-H 系列产品的比较

13
 可准确测量精细形状
形状测量探头 CL-PT010

光点直径

ø3.5 µm

即使是光泽表面，
形状测量探头， 亦具有角度特性

可通过小光点 ±45°
带角度的
测量小零件 目标物

能准确地追踪带有突角度的
目标物形状。

编码器单元

编码器单元 编码器

产品阵容
可与目标物的移动量同步测量。因为是直接连接控制器的单元型，
所以可简单地进行同步。

14
应用

电子和半导体行业

HDD 的马达摆动、感测头高度测量 真空腔内的晶片高度测量

通过 ø8 小型感测头可同时进行各种测量。通过相同感测头可测量镜面 通过小型的同轴感测头，透过真空腔的观察口也可测量内部晶片的高度
体和金属粗糙面。 位置。

连接器端子的平坦度测量 印刷电路板的抗蚀剂厚度测量

通过抗多重反射能力强的 Quad 处理，不受针脚端部的多重反射的影响 通过 3.5 µ m 的微小光点，可测量最薄 15 µ m 的印刷电路板上的透

即可高精度测量平坦度。 明抗蚀剂的厚度。驱动感测头，还可测量厚度不均。

为适应玻璃面的反射光 为适应镜面的反射光
1 2
镜面与玻璃的组合也可 饱和水平
优化光量控制 优化光量控制

高精度测量 玻璃面 镜面 玻璃面 镜面

优化后的波形 优化后的波形
如右图所示，玻璃面的反射光弱，镜面的反射光强，有反射光量
合成优化为玻璃面、镜面的波形
的差异，但是 CL 系列可优化合成各自的反射光，能够进行高精
合成 1 2
度的测量。 波形
玻璃面 镜面
玻璃面
优化后的波形 镜面

15
 应用

汽车行业

铝翅片的形状测量 制动盘的跳动测量

测量有凹凸的目标物的形状。由于是同轴的测量原理，没有死角的影响， 与通过抽检、以接触式进行测量的方式相比，CL 系列通过不容易受粗

可正确测量。 糙面状态影响的 Quad 处理系统，可进行稳定的全数测量。

管子内径测量 焊接的仿形控制

非接触地测量管子、钢管的内径。使用镜面弯曲夹具，即使是没有安装 可进行焊接时的目标物的错位确认，提高焊接质量。即使表面是粗糙面，
场地的地方，也可进行非接触测量。 也可通过 Quad 处理系统进行稳定的测量。

放心的防水、
防尘性能 IP67 等级
采用高防水性能，即使在加工现场等易产生飞沫的场所，
也能放心使用。
* 如果整个镜头粘附水或油，可能会因光的折射造成测量不稳定。
* CL-PT010 是 IP64 等级。

16
应用

电池、钢板

锂离子电池电极厚度测量 电极端部的形状测量

在湿润状态下测量电极材料涂敷后的厚度。通过横向安装多台，可进行 测量间歇涂胶中涂敷的电极端部形状。因为共焦原理下的角度特性良
更细致的厚度管理。 好，可以正确检测湿润状态的涂敷形状。

包覆材料的厚度测量 机械手的停止位置、残留振动测量

非接触地测量包覆材料的厚度。即使是有纹路的目标物，也可通过 机械手也要求实现高速化。可测量停止位置、停止时的残留振动。
Quad 处理系统进行稳定的厚度测量。 由于 CL 系列高速、高精度，可进行稳定的测量。

新功能
配备高灵敏度模式
扩大动态范围，从而使测量黑色倾斜面、反射光量小的涂层
面的能力增强了。

17
 简单设定／数据收集
专用 PC 软件 CL-NavigatorN

简单设定
只需根据目的从设定菜单中选择。
下拉和图标选择等操作也很简单，无需专门培训即可进行设定。

程序切换
有 8 个程序可以切换。各程序间
的设定复制及初始化都非常简单。

OUT 切换
可设定 8 个 OUT。无需繁琐的
设定，测量模式，平均次数，公
差换算等，只需非常简单的设定
就能正确地测量。

测量模式 多种运算功能
通过直觉操作实现想进行的测量。无需特别的编程技 瞬间便能计算出多个探头间的测量值。无需通过 PLC 或计算机进行复
能，只需单击图标就可以设置。 杂运算，在控制器内就能简单处理。

翘度测量 平坦度测量
计算基准点和各测量点之差。 在测量点中计算最大值和最小值之差。
位移

位移（透明对象）

厚度（透明对象）
测量值 1= B-（A+C）/2 … 测量值 1= MAX（A,B,C…）- MIN（A,B,C…）…

相对段差测量 平均高度测量
厚度（２感测头）
计算各测量点值之差。 在指定的测量点计算面的平均高度。

高度差（２感测头）

运算

测量值 1= A-B、测量值 2= B-C、测量值 3= A-C… 测量值 1= Ave（A,B,C…）…

18
趋势图
用全采样实时地显示测量值的波动。对现场初期的起动有所帮助。
不仅是波形显示，也可以根据缩放等测量范围来选择易观察的适合设置。

数据存储
控制器内可存储最大 160 万点的测量值数据，通过 USB 通信可以在 PC 上取得数据。可随意设定采样速度、数据点数、通过外部信
号收集数据等。

■ CL-NavigatorN 上的解析 ■ Excel 上的解析

可显示波形。除缩放和重合功能外，还配有光标的数值读取等各种 通过 CL-NavigatorN 收集的数据，以 CSV 形式保存，可读取 Excel 数据。
功能。

19
 构成设备一览

感测头部分 Quad型

ø8 小型 超高精度型 高精度型 中量程型

[mm] CL-L007 CL-L015 CL-L030 CL-L070
100

80

测量范围
60 70±10
测量范围 mm
30±3.7
40
mm
测量范围
15±1.3
测量范围 mm 60 mm
7±1.5
20 mm
26.3 mm
70 mm
5.5 mm 13.7 mm
0 30 mm
7 mm 15 mm
80 mm
8.5 mm 16.3 mm 33.7 mm

直线性（标准） ±2.1 µm ±0.49 µm ±0.94 µm ±2.2 µm

直线性（高精度） ±0.91 µm ±0.41 µm ±0.72 µm ±2.0 µm

通过 Quad 处理系统排除目标物表面微
CL-L007 CL-L015 CL-L030 CL-L070
小凹凸的影响。可稳定地测量。
光点直径 ø750 µm ø300 µm ø500 µm ø600 µm

位置 厚度 高度 摆动 点规格

感测头部分 聚焦光点型

ø8 小型 超高精度型 高精度型 中量程型 形状测量型

[mm] CL-P007 CL-P015 CL-P030 CL-P070 CL-PT010
100

80

测量范围
测量范围
60 70±10
测量范围 mm 10±0.3
mm
30±3.7
40
mm
测量范围
15±1.3
测量范围 mm 60 mm
7±1.5
20 mm
26.3 mm
70 mm 9.7 mm
5.5 mm 13.7 mm
0 30 mm 10 mm
7 mm 15 mm
80 mm 10.3 mm
8.5 mm 16.3 mm 33.7 mm

直线性（标准） ±0.96 µm ±0.49 µm ±0.94 µm ±2.2 µm ±0.22 µm

直线性（高精度） ±0.55 µm ±0.41 µm ±0.72 µm ±2.0 µm ±0.2 µm

通过最小 ø3.5 µm 的极小光点正确检

CL-P007 CL-P015 CL-P030 CL-P070 CL-PT010
测微小目标物。非常适合形状测量。
光点直径 ø50 µm ø25 µm ø38 µm ø50 µm ø3.5 µm

形状 段差 翘度 微小 点规格

20
构成设备一览

■ 探头部分

ø8 小型 超高精度型 高精度型 中量程型 形状测量型

CL-L(P)007 CL-L(P)015 CL-L(P)030 CL-L(P)070 CL-PT010

■ 控制器部分

控制器 增设单元 增设单元 中继单元 编码器单元 EtherCAT®

CL-3000 CL-H100 （带模拟输出）
CL-H200 CL-E100 单元
CL-H150 CL-EC100

■ 单元部分 ■ 缆线部分

光学单元 探头延长电缆 增设电缆 显示面板电缆 PC 连接用 RS-232C 线

CL-L(P)007N USB 数据线
CL-L(P)015N CL-C5（5 m） CL-AC1（1 m） OP-88281（3 m） OP-51580 OP-96368
CL-L(P)030N CL-C10（10 m） CL-AC2（2 m） OP-88282（10 m） Ethernet 电缆 Dsub 9 针
CL-L(P)070N CL-C30（30 m） 式连接器
CL-PT010N OP-66843 OP-26401

■ 显示部分 ■ 选配件

固定夹具 厚度测量用调整夹具
显示面板
CL-D500 CL-L(P)015/030/070 用 ：OP-88283 CL-L(P)015/030/070 用 ：
CL-L(P)007 用 ：OP-88353/OP-88354/OP-88355 OP-88284/OP-88285/
CL-PT010 用 ：OP-88289 OP-88286

多种 I/O 通信
标准配置以 USB 为代表的 7 种 I/O。进而使用扩展单元，
周边设备
也可支持编码器、数据记录器。利用符合场景的 I/O，
USB / Ethernet
扩大控制的范围。 计算机

RS-232C / 模拟 / I/O
PLC 等
EtherNet/IPTM、PROFINET、
PLC 链路、EtherCAT®

PC 记录仪
模拟 （NR 系列）等

EtherCAT® 增设单元
显示面板 单元 编码器单元 控制器 （带模拟输出）
CL-D500 CL-EC100 * CL-E100 * CL-3000 CL-H150 编码器

* 不能同时连接 CL-E100 与 CL-EC100。

传感器及其他

EtherCAT® 是注册商标和专利技术，由德国倍福自动化有限公司授权。

21
 系统构成

传感器探头连接 ：2 台时

PC PC记录仪

Ethernet、USB 模拟

I/O、 EtherCAT® 增设单元 光学单元 光学单元

EtherNet/IPTM、 单元 编码器单元 控制器 （带模拟输出） CL-L(P)xxxN CL-L(P)xxxN
PROFINET、 *
CL-EC100 CL-E100 *
CL-3000 CL-H150
PLC 链接、
Ethernet
RS-232C
PLC
传感器探头

EtherCAT®

编码器

传感器及其他
显示面板
CL-D500
传感器探头延长电缆（5、10、30 m）（MAX30 m）
显示面板电缆（3 m、10 m）

* 不能同时连接 CL-E100 与 CL-EC100。

传感器探头连接 ：6 台时

PC记录仪 传感器探头延长电缆
光学单元 光学单元 （5、10、30 m）
中继单元 CL-L(P)xxxN CL-L(P)xxxN （MAX30 m）
模拟
CL-H200

增设电缆
CL-AC1/
PC CL-AC2 传感器探头

Ethernet、USB

PLC
光学单元 光学单元
中继单元 CL-L(P)xxxN CL-L(P)xxxN
CL-H200
I/O、EtherNet/IPTM、
PROFINET、PLC 链接、
Ethernet、RS-232C
传感器探头
EtherCAT®

编码器 传感器及其他

增设单元
光学单元 光学单元
EtherCAT® CL-H100*2
CL-L(P)xxxN CL-L(P)xxxN
单元 编码器单元 控制器 CL-H150
CL-EC100*1 CL-E100*1 CL-3000 （带模拟输出）

传感器探头
显示面板
CL-D500

增设电缆
显示面板电缆（3 m、10 m） CL-AC1/CL-AC2

*1 不能同时连接 CL-E100 与 CL-EC100。

　*2 CL-H100 不能进行模拟输出。

22
规格

■ 传感器探头、光学单元
Quad 式
探头 CL-L007 CL-L015 CL-L030 CL-L070
型号 *1
光学单元 CL-L007N CL-L015N CL-L030N CL-L070N
基准距离 7 mm 15 mm 30 mm 70 mm
测量范围 ±1.5 mm ±1.3 mm ±3.7 mm ±10 mm
标准设定范围
直线性 *2*3 ±2.1 µm（±1.95 µm） ±0.49 µm（±0.36 µm） ±0.94 µm（±0.81 µm） ±2.2 µm（±2.0 µm）
高精度 测量范围 ±0.5 mm ±0.5 mm ±1.0 mm ±3.0 mm
测量范围 直线性 *2*3 ±0.91 µm（±0.78 µm） ±0.41 µm（±0.28 µm） ±0.72 µm（±0.59 µm） ±2.0 µm（±1.9 µm）
分辨率 *3 *4 0.25 µm（0.015 µm） 0.25 µm（0.003 µm） 0.25 µm（0.015 µm） 0.25 µm（0.025 µm）
光点直径 ø750 µm ø300 µm ø500 µm ø600 µm
激光级别 光学单元 Class 1
采样周期 100/200/500/1000 µs（4 段可调）
保护结构 探头 IP67（IEC60529）
环境光照 物体面照度 30000 lux（白炽灯）
环境温度 0 至 50℃
耐环境性 使用环境湿度 20 至 85%RH（无结露）
探头 10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时
耐振动性
光学单元 10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时
耐冲击性 15G 6 ms
探头 0.005% of F.S. /℃
温度特性
光学单元 0.015% of F.S. /℃
探头 SUS 前部 ：SUS 后部 ：铝合金
材质
光学单元 聚碳酸酯
探头 约 140 g 约 180 g 约 200 g 约 280 g
重量
光学单元 约 1600 g
*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。 *2 通过位移模式测量本公司标准工件（镜面体）的值。
*3（ ）内为适用于出口管制的数值。型号的末尾变为（G）。 *4 按平均次数 16384 次测量本公司标准工件（镜面体）的值。

点式
探头 CL-P007 CL-P015 CL-P030 CL-P070 CL-PT010
型号 *1
光学单元 CL-P007N CL-P015N CL-P030N CL-P070N CL-PT010N
基准距离 7 mm 15 mm 30 mm 70 mm 10 mm
测量范围 ±1.5 mm ±1.3 mm ±3.7 mm ±10 mm ±0.3 mm
标准设定范围
直线性 *2*3 ±0.96 µm（±0.83 µm） ±0.49 µm（±0.36 µm） ±0.94 µm（±0.81 µm） ±2.2 µm（±2.0 µm） ±0.22 µm（±0.11 µm）
高精度 测量范围 ±0.5 mm ±0.5 mm ±1.0 mm ±3.0 mm ±0.15 mm
测量范围 直线性 *2*3 ±0.55 µm（±0.43 µm） ±0.41 µm（±0.28 µm） ±0.72 µm（±0.59 µm） ±2.0 µm（±1.9 µm） ±0.2 µm（±0.09 µm）
分辨率 *3 *4 0.25 µm（0.015 µm） 0.25 µm（0.003 µm） 0.25 µm（0.015 µm） 0.25 µm（0.025 µm） 0.25 µm（0.001 µm）
光点直径 ø50 µm ø25 µm ø38 µm ø50 µm ø3.5 µm
激光级别 光学单元 Class 1
采样周期 100/200/500/1000 µs（4 段可调）
保护结构 探头 IP67（IEC60529） IP64（IEC60529）
环境光照 物体面照度 30000 lux（白炽灯）
环境温度 0 至 50℃
使用环境湿度 20 至 85%RH（无结露）
耐环境性
10 至 57 Hz 多幅振幅 0.45 mm
探头 10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时
耐振动性 X、Y、Z 方向各 2 小时
光学单元 10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时
耐冲击性 15G 6 ms
探头 0.005% of F.S. /℃ 0.1% of F.S. /℃
温度特性
光学单元 0.015% of F.S. /℃ 0.015% of F.S. /℃
探头 SUS 前部 ：SUS 后部 ：铝合金
材质
光学单元 聚碳酸酯
探头 约 140 g 约 180 g 约 200 g 约 280 g 约 1100 g
重量
光学单元 约 1600 g
*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。 *2 通过位移模式测量本公司标准工件（镜面体）的值。
*3（ ）内为适用于出口管制的数值。型号的末尾变为（G）。
*4 按平均次数 16384 次测量本公司标准工件（镜面体）的值。（仅限 CL-PT010/CL-PT010G 平均次数 4096 次测量的值。）

■ 增设电缆 ■ 探头延长线

型号 CL-AC1 CL-AC2 型号 CL-C5 CL-C10 CL-C30

长度 1m 2m 长度 5m 10 m 30 m
重量 200 g 400 g 重量 450 g 850 g 2500 g

23
 ■ 控制器

型号 CL-3000*1
光学单元连接台数 控制器单体 ：2 台 使用增设单元 / 中继单元 ：6 台
支持循环通信、消息通信 RPI ：1 ～ 10000ms（0.5ms 单位）
EtherNet/IPTM
最多联机数 8 一致性测试符合 Version.CT14 标准 与 PROFINET、PLC 链路、EtherCAT® 排他使用
PROFINET 符合 Conformance Class A 与 EtherNet/IPTM、PLC 链路、EtherCAT® 排他使用
支持三菱电机公司生产的 MELSEC iQ-R 系列、iQ-F 系列、Q 系列、L 系列、FX 系列
PLC 链接
与 EtherNet/IPTM、PROFINET、EtherCAT® 排他使用

采用与 PC、PLC 的无协议指令通信，可进行测量数据输出及控制的输入输出

接口 Ethernet *3
可与 CL-NavigatorN 通信 100Base-TX
USB *3 可与 CL-NavigatorN 通信 依据 USB 2.0 HighSpeed
采用与 PC、PLC 的无协议指令通信，可进行测量数据输出及控制的输入输出
RS-232C
波特率 ：9600 ～ 115200 bps 数据长度 ：8 bit 停止位 ：1 bit 奇偶性 ：无／偶数／奇数
端子（IN） 13 点（可根据软件切换功能）
端子（OUT） 11 点 *2（可根据软件切换功能）
电源电压 24 VDC±10%
额定
最大消耗电流 连接 1 台光学单元时 ：0.86 A ；连接 4 台光学单元时 ：3.3 A ；连接 6 台光学单元时 ：4.5 A
环境温度 0 至 50℃
耐环境性 使用环境湿度 20 至 85%RH（无结露）
耐振动性 10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时
显示器 / 设定支持软件 CL-NavigatorN*1
重量 约 600 g
*1 适用于出口管制产品的型号为 CL-3050、CL-NavigatorG。 *2 支持 NPN 输入设备的正极公共连接和支持 PNP 输入设备的负极公共连接两者皆可。
*3 备有 DLL、LabVIEW 的样本程序。详情请咨询就近的办事处。

■ 增设单元、中继单元

增设单元 增设单元（带模拟输出） 中继单元

型号
CL-H100 CL-H150 CL-H200
光学单元连接台数 可增设 2 台 CL-H200 可连接 2 台光学单元
端子台 模拟电压输出 无 ±10 V ×4个输出 输出阻抗 100 Ω 无
环境温度 0 至 50℃
耐环境性
使用环境湿度 20 至 85%RH（无结露）
重量 约 300 g

■ 编码器单元

型号 CL-E100
编码器轴数 增量式（A/B/Z 相）
编码器最小输入时间 100 ns 至 20 µs
最大消耗电流 0.18 A
额外电源 5 VDC±10% 可供给最大电流 200 mA
输入端子 适用于 NPN/PNP 集电极开路输出（5 V/12 V/24 V） 适用于线性电路驱动输出
环境温度 0 至 50℃
耐环境性
使用环境湿度 20 至 85%RH（无结露）
重量 约 300 g

■ EtherCAT®单元 ■ CL-NavigatorN 操作系统环境

型号 CL-EC100
项目 所需环境
符合规格 IEEE802.3u（100BASE-TX）
支持 OS Windows 10*1 / Windows 7*2
通信速度 100 Mbps（100BASE-TX）
CPU Celeron Dualcore 1.7 GHz 以上
通信周期 最短125 µs
存储容量 4 GB 以上
连接电缆 5e类以上的STP电缆
硬盘可用空间 1 GB 以上
节点间距离 100 m
显示器分辨率 XGA（1024×768 像素）以上
EtherCAT® 通信端口 RJ45×2
*1 对应 Home、Pro、Enterprise 的各版本。
通信规格* 过程数据对象（PDO）通信 *2 对应 Home Premium、Professional、Ultimate 的各版本。
（周期通信：过程数据通信） ● Windows、Excel 为美国 Microsoft Corporation 在美国及其它国家的注册商标或商标。
服务数据对象（SDO）通信 ● 适用于出口管制产品的型号为 CL-NavigatorG。
支持功能 （非周期通信：邮箱通信）
CoE
Distributed Clock ■ 显示面板
Explicit Device Identification
使用环境温度 0 至 50℃ 型号 CL-D500
环境抗耐性
使用环境湿度 20 至 85%RH（无凝结） 最小显示单位 0.001 µm
重量 约 330 g 显示范围 ±999.999 µm 至 ±9999.99 mm
显示周期 约 10 次／秒
* 与 EtherNet/IP 、PROFINET、PLC 链路排他使用。
TM

● 不能与编码器单元同时使用。 环境温度 0 至 50℃

耐环境性
使用环境湿度 20 至 85%RH（无结露）
重量 约 100 g

24
尺寸规格 单位 ：mm

■ 探头部分
7±0.15 48.7 1750±30
19.2
13.5
7.5
ø8 小型 A
3

CL-L007/P007 ø7.94±0.03

ø7
ø7.96±0.03 82.5 85±5 40

14.9
ø14.8
ø0.1 A

探头固定夹具 A 探头固定夹具 B 6.5 探头固定夹具 C

12 12 安装孔 10.5 安装孔
OP-88353 R6.5
◎ ø0.025 A
OP-88354 R8
4-C2 OP-88355 9.8 M4×0.7
32 ø4.4
ø8 +0.1 （0.2）
ø10 +0.005 12.1 ø8 8.5
ø10 ø4.2 23.4 8.5 +0.200
ø8 +0.005
C1.5 6.3 11.1
6 16.3 16.3 11
7.8 45°
±1°
t = 5 mm 以上
5 R3.8 15 3.5 13.9 12
6
0.5 至 1.0* A M4×0.7
5.5 至 11.3*
*加工精度：±0.05 材质：SUS303
ø8

15±0.13 83.3 1750±30

54
31
20
6.5
超高精度型 探头固定夹具
CL-L015/P015 OP-88283
ø7

82.5 85±5 40
ø8

14.9
ø14.8
ø15 -0.05
ø26 -0.05

0
0

30±0.3 96.3 1750±30

67
43.8
24.2 22.5 +0.05
8 15 0
2×M4
高精度型 有效螺丝
深度：6
CL-L030/P030
ø7
ø8

82.5 85±5 40
14.9
ø15 -0.05

ø14.8
0
ø29 -0.05

2×ø4.5
0

20
ø8 沉孔 30
深度：4 12

70±0.5 137 1750±30 37

107.7 25
84.5
53.5
48.5
36.7 8 17
30.9 22
26.6
10.5

中量程型
-0.05
0

CL-L070/P070
ø46

ø7
ø8

82.5 85±5 40
14.9
ø14.8
ø15 -0.05
0
ø28.95
ø45
ø46

10±0.05 178.4 1750±30

148.7
128.6
102.5
52.8
51.8
25
6
2.5

形状测量型
ø43.3
ø53.8

CL-PT010
ø7
ø12

14.9

82.5 85±5 40
ø14.8
ø36
ø58
-0.05
0
ø61

2×ø5.5
探头固定夹具
OP-88289 27.5

70
4 7.5
C25
C25

78
72.5
39

+0.05
ø61.05 0
78 15
40

25
 ■ 单元部分 ■ 控制器部分
光学单元 142
15
137.9 控制器
CL-L(P)007N/ CL-3000 65
13.1
115.4
L(P)015N/
L(P)030N/ DIN 导轨 DIN 导轨
L(P)070N/ 安装部分 安装部分

PT010N 143
36.1
124
36.1

62.2 62.2

6 6

■ 控制器部分
26.3 26.3
85 115 85 115
13.6
增设单元 增设单元
CL-H100 DIN 导轨
安装部分
（带模拟输出） DIN 导轨
安装部分
CL-H150
124 124
36.1 36.1

62.2 62.2

6 6

26.3 26.3 14.2

90 115 115.3

中继单元 编码器单元
DIN 导轨
CL-H200 安装部分 CL-E100 DIN 导轨
安装部分

124 124
36.1 36.1

62.2 62.2

6 6

26.3 62 面板厚度
115 0.5 至 5 13
46 面板安装环
EtherCAT® 单元 显示面板
DIN 导轨
CL-EC100 安装部分 CL-D500
91 80 74.5
124
36.1

62.2
8.5
25
6
最小 62

面板切割尺寸
+0.6
75 0

最小 100
+0.6
45 0

26
■ 选配件 ■ 缆线部分
28×ø4.5
98
70
厚度测量用 探头延长电缆
调整夹具 10×6＝60 CL-C5/C10/C30
OP-88284 80
10 * X=5m or 10m or 30m
CL-L(P)015 用
110±10 X 250±50
5 70 70 5
90

(32)
ø8
ø10.5

25
30
14
光源单元侧 传感器探头侧
32

73

13 8
100 （79） 100

28×ø4.5 98
70
厚度测量用 增设电缆
调整夹具 10×6=60 CL-AC1/AC2
OP-88285 80
10
11.5
CL-L(P)030 用
5 70 70 5 ø7.2
90 电缆长度（CL-AC1：1 m、CL-AC2：2 m）
ø12.5

29.6

60 41 32
42

73

13 8

100 （134） 100

28×ø4.5 98
70

厚度测量用
调整夹具 10×6=60
80
OP-88286 10

CL-L(P)070 用 5 70 70 5
90

140
73

13 8

100 （296） 100

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27
 ®
EtherCAT 是注册商标和专利技术，由德国倍福自动化有限公司授权。

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青　岛 电话 : 0532-6677-7110 传真 : 0532-8571-8182 武　汉 电话 : 027-8771-7558 传真 : 027-8771-7557
南　京 电话 : 025-8322-9577 传真 : 025-8322-6277 重　庆 电话 : 023-6558-1990 传真 : 023-6558-1991
无　锡 电话 : 0510-6662-8800 传真 : 0510-6605-6890 成　都　电话 : 028-8665-9168 传真 : 028-8669-2921
苏　州 电话 : 0512-8588-3900 传真 : 0512-8588-3901 广　州 电话 : 020-3878-1155 传真 : 020-3878-0199
昆　山 电话 : 0512-5527-8711 传真 : 0512-5527-8712 东　莞 电话 : 0769-2290-6690 传真 : 0769-2290-3390
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