BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO

TRƯỜNG ĐẠI HỌC CẦN THƠ

KHOA CÔNG NGHỆ
------------

BÁO CÁO ĐỒ ÁN CHUYÊN NGÀNH CNHH

TÌM HIỂU VẬT LIỆU NANOPHOTONICS

CÁN BỘ HƯỚNG DẪN NHÓM SINH VIÊN THỰC HIỆN:

TS. Trần Thị Bích Quyên Lê Trường Thịnh B1909729
Đào Đình Khôi B1909791
Huỳnh Quốc Anh B1909648
Ngành: CN Kỹ thuật hóa học-Khóa 45

Tháng 10/2021
 LỜI CẢM ƠN

Nhóm xin được gửi lời cảm ơn đến quý thầy cô trường Đại học Cần Thơ và quý
thầy cô thuộc khoa Công nghệ, đặc biệt là thầy cô thuộc bộ môn Công nghệ kỹ thuật
hóa học trường Đại học Cần Thơ đã tạo điều kiện tốt nhất cho nhóm chúng em được
hoàn thành học phần đồ án chuyên ngành CNHH này.
Đặc biệt nhất nhóm xin gửi lời cảm ơn đến cô Trần Thị Bích Quyên, người đã
trực tiếp hướng dẫn nhóm thực hiện đề tài. Cô luôn quan tâm, giúp đỡ tận tình giúp
chúng em có thể hoàn thành được đồ án chuyên ngành. Cô chính là động lực to lớn
nhất để chúng em có thể hoàn thành được nhiệm vụ của mình!
Trong quá trình thực hiện đề tài, nhóm đã học hỏi được rất nhiều kiến thức lẫn
kinh nghiệm thật quý báu, từ những quý thầy cô, các anh chị khóa trên và cả từ những
bạn bè cùng trang lứa.
Một lần nữa, nhóm xin chân thành cảm ơn!

Cần Thơ, tháng 10 năm 2021

Trang i
 MỤC LỤC

CHƯƠNG 1: ĐẶT VẤN ĐỀ.........................................................................................1

1.1 Lý do chọn đề tài................................................................................................1
1.2 Mục tiêu của đề tài.............................................................................................1
1.3 Ý nghĩa khoa học và ý nghĩa thực tiễn của đề tài.............................................2
1.3.1 Ý nghĩa khoa học............................................................................................2
1.3.2 Ý nghĩa thực tiễn............................................................................................2
CHƯƠNG 2: TỔNG QUAN VỀ VẬT LIỆU NANOPHOTONICS.........................3
2.1 Tổng quan về công nghệ và vật liệu nano.........................................................3
2.1.1 Khái quát về công nghệ nano.........................................................................3
2.1.2 Các phương pháp chế tạo vật liệu nano.........................................................3
2.1.3 Các thiết bị và kỹ thuật trong nghiên cứu cấu trúc nano................................4
2.1.4 Hướng ứng dụng chung..................................................................................5
2.2 Vật liệu nanophotonics.......................................................................................7
2.2.1 Sơ lược về vật liệu nanophotonics..................................................................7
2.2.1.1 Giới thiệu về vật liệu photonics...............................................................7
2.2.1.2 Tìm hiểu vật liệu nanophotonics..............................................................8
2.2.2 Tính chất, cấu trúc của nanophotonics........................................................10
2.2.2.1 Cấu trúc nanophotonics.........................................................................10
2.2.2.2 Tính chất tổng hợp ổn định và chức năng hoạt hóa hạt nano................11
2.2.2.3 Sự đa dạng của các hạt nano như một cách để xây dựng vật liệu mới...12
2.3 Ứng dụng của vật liệu nanophotonics.............................................................13
2.3.1 Ứng dụng trong quang học..........................................................................13
2.3.1.1 Cấu trúc định kỳ chống phản xạ............................................................13
2.3.1.2 Kiểm soát bề mặt gồ ghề với số liệu thống kê........................................14
2.3.1.3 Interconnects..........................................................................................14
2.3.1.4 Chức năng quang học khác....................................................................14
2.3.2 Pin năng lượng mặt trời...............................................................................14
2.3.3 Cảm biến......................................................................................................16
2.3.4 Sản xuất chip với mạng lưới thần kinh nhân tạo quang học.........................17
2.3.5 Y sinh...........................................................................................................18
2.3.6 Các ứng dụng khác......................................................................................21
CHƯƠNG 3: PHƯƠNG PHÁP TỔNG HỢP VẬT LIỆU NANOPHOTONICS. .22
3.1 Phương pháp mẫu...........................................................................................22

Trang ii
 3.1.1 Mẫu cứng.....................................................................................................22
3.1.1.1 Màng khắc theo dõi hạt (PTMs).............................................................22
3.1.1.2 Màng Anodic Aluminum Oxide (AAO)...................................................23
3.1.2 Mẫu mềm......................................................................................................24
3.1.2.1 khối Copolymer làm khuôn mẫu............................................................24
3.1.2.2 Chất hoạt động bề mặt và chất kết tụ dưới dạng mẫu............................25
3.1.2.3 Tinh thể lỏng làm mẫu...........................................................................26
3.1.2.4 Sợi nanopolymer làm mẫu.....................................................................26
3.1.2.5 Các phân tử sinh học làm mẫu...............................................................26
3.2 Phương pháp Electrospining...........................................................................26
3.3 Kỹ thuật Nanolithography...............................................................................27
3.3.1 Quang khắc chùm điện tử (EBL)..................................................................28
3.3.2 Phương pháp in bản đầu dò quét (SPL).......................................................28
3.3.3 In Nanoimprint và kỹ thuật in bản mềm......................................................29
3.3.4 Kỹ thuật in bản giao thoa.............................................................................29
3.4 Kỹ thuật ghi trực tiếp bằng laser (DLW).......................................................29
3.5 Các loại khác của Photonic crystals (PCs)......................................................29
3.5.1 PCs kim loại.................................................................................................30
3.5.2 PCs có thể điều chỉnh được..........................................................................30
CHƯƠNG 4: KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ............................................................31
TÀI LIỆU THAM KHẢO.........................................................................................32

Trang iii
 DANH SÁCH HÌNH

Hình 2-1. Ứng dụng của công nghệ nano trong cuộc sống.
Hình 2-2. Một nguyên mẫu chip quang tử silicon do tập đoàn IBM phát triển.
Hình 2-3. Những mạng lưới thần kinh bằng chip quang tử tận dụng các nền tảng
chip silicon quang tử, để có thể truy cập vào những khả năng mới của
việc xử lý thông tin siêu nhanh cho radio, tín hiệu điều khiển, và các tính
toán khoa học.
Hình 2-4. Laser tinh thể quang tử công suất cao.
Hình 2-5. Đèn LED không có (bên trái) và có (bên phải) sự tăng cường phát xạ vì
có sự tán xạ ánh sáng từ các hạt nano Ag được nhúng.
Hình 2-6. Tấm silicon đen với bề mặt quang học điện môi (bên phải) và (bên trái)
không có bề mặt quang điện môi để tăng cường ghép và bẫy ánh sáng
trong năng lượng mặt trời.
Hình 2-7. Cấu trúc phân tử nanophotonic.
Hình 2-8. Cấu trúc 3D của phân tử nano và định hướng nguyên tố.
Hình 2-9. (a) Độ trong suốt của cánh ve sầu (b) Cấu trúc nano của cánh ve sầu.
Hình 2-10. (a) Ảnh chụp TEM đầu phẳng được cắt ngắn (b) Chi tiết trên đầu phẳng
(c) Bề mặt gồ ghề.
Hình 2-11. a) Sơ đồ khái niệm nanophotonic-ferroelectric cho TNPh, b) Con đường
lắng đọng dẫn đến TNPh, c) Ảnh chụp nguyên mẫu TNPh-pyro.
Hình 2-12. a) Sơ đồ ba chiều của thiết kế nanophotonic cho TNPh, b) Ảnh SEM của
mặt cắt TNPh, c) Bề mặt của TiO2/Cu trung tính, d) Hình ảnh TEM của
SiO2.
Hình 2-13. a) Mẫu nhà có mái che được lắp đặt TNPh (trái) và cửa sổ kính (phải). c)
Hình ảnh hồng ngoại của hai nhà chụp lúc 11:30.
Hình 2-14. Các thành phần cơ bản của một nền tảng cảm biến quang tử tích hợp
được biểu diễn dưới dạng giản đồ. Tín hiệu quang bị ảnh hưởng trong
vùng tương tác bởi cơ chế cảm biến và đầu ra từ giai đoạn này được phân
tích trong một loạt các phổ bằng cách sử dụng quang phổ kế trên chip để
nhận ra các dấu hiệu nhất định do quá trình cảm biến để lại.
Hình 2-15. Bố trí thí nghiệm - với bước sóng ánh sáng 637nm chuẩn trực và phân
cực với điện trường song song với các đường cách tử trước khi đi qua đĩa
Petri có chứa các tế bào HeLa cố định phía trên NEC. Khi đi qua NEC,
ánh sáng được thu bởi vật kính × 20 và được chụp ảnh trên máy ảnh .

Trang iv
Hình 2-16. Ảnh thu được kính hiển vi NEC (a) và hình ảnh kiến hiển vi thông
thường (d), hình ảnh kiến hiển vi huỳnh quang (e).
Hình 3-1. (A-D) Hình ảnh kính hiển vi điện tử của mẫu cứng: (A) Hình ảnh SEM
của màng khắc theo vết hạt (PTM) với đường kính lỗ rỗng 1 μm; (B)
Hình ảnh TEM của bản sao than chì của PTM có lỗ rỗng đường kính 30
nm; (F) Sơ đồ tổng hợp các dây nano và ống nano với sự hỗ trợ của các
mẫu cứng polycarbonate khắc rãnh (PC).
Hình 3-2. (C) Hình ảnh SEM của oxit nhôm anốt (AAO) màng có đường kính lỗ 70
nm và (D) TEM hình ảnh của Màng AAO cắt đoạn với đường kính lỗ 10
nm.
Hình 3-3. (A) Minh họa việc chế tạo khối copolymer mẫu của mảng mật độ siêu
cao của các thanh nano polymer dẫn điện. (B) Hình ảnh SEM của khuôn
mẫu nano xốp và thanh nano PPy: (a) mặt trên và (b) hình ảnh mặt cắt
của màng hỗn hợp polystyrene-block-poly (methyl methacrylate) (PS-b-
PMMA) PS-b-PMMA /Poly(methyl methacrylate) PMMA trên kính
ITO; và (c) trên cùng và (d) hình ảnh mặt cắt ngang của thanh nano PPy
sau khi loại bỏ mẫu.
Hình 3-4. (A) Minh họa quá trình tổng hợp ống nano PPy (2) được hỗ trợ bởi chất
hoạt động bề mặt. (B) (a) Ảnh SEM và (b) TEM của ống nano PPy (2).
Hình 3-5. Mô tả các khối cơ bản của thiết bị quay điện.

Trang v
 DANH SÁCH TỪ VIẾT TẮT

AAO Anodic Aluminum Oxide

AR Anti-reflection
AFM Atomic Force Microscopy
DIC Differential interference contrast
DNA Deoxyribonucleic Acid
DLW Direct Laser Writing
EBL Electron Beam Lithography
IL Interference Lithography
LCs Liquid Crystals
NMR Nuclear magnetic resonance
NSOM Near-field scanning optical microscopy
NIR Near-infrared radiation
NEC The nanophotonics enhanced coverslip
PTMs Particle Track-Etched Membranes
PC Photonic Crystal
PCs Photonic Crystals
PBG Photonic Band Gap
PCFs Photonic crystal fibres
PTM Particle Track Membrane
PTMs Particle Track Membranes
RNA Ribonucleic Acid
STM Scanning Tunneling Microscope
SEM Scanning Electron Microscopy
SPP Surface plasmon polariton
SPL Scanning Probe Lithography
TEM Transmission Electron Microscopy
TNPh The thermal nanophotonic
TNPh-pyro Thermal Nanophotonic-pyroelectric

Trang vi
 Chương 1: Đặt vấn đề

CHƯƠNG 1: ĐẶT VẤN ĐỀ

1.1 Lý do chọn đề tài
Bước vào thế kỉ XXI, cùng với xu hướng của thế giới thì nước ta cũng đang tiến
một bước nhảy vọt trong cuộc cách mạng khoa học kỹ thuật, ứng dụng trong nhiều
lĩnh vực khác nhau nhằm nâng cao chất lượng cuộc sống cũng như trong sản xuất. Và
nước ta – một nước đang phát triển đang trong quá trình đẩy mạnh phát triển các
ngành công nghiệp mới thì việc nghiên cứu, cải tiến tìm ra các nguồn vật liệu mới
ngày càng được quan tâm và đầu tư hoàn chỉnh hơn nhằm nâng cao năng suất, cải
thiện chất lượng sản phẩm, giảm thiểu chi phí trong sản xuất.
Với những phát triển vượt bậc về khoa học kỹ thuật, thì sự ra đời của công nghệ
nano như một bệ phóng giúp con người có thể giải quyết được nhiều vấn đề khó khăn
mà từ trước đến nay chưa thể giải quyết được. Hiện nay, nhiều kết quả nghiên cứu của
các nhà khoa học trong và ngoài nước cũng đã cho ra đời những sản phẩm nano phục
vụ cho nhiều lĩnh, nhằm nâng cao năng suất, chất lượng sản phẩm, cung cấp vật liệu
mới, có thể nói đến việc ứng dụng công nghệ nano trong nghiên cứu và sản xuất vật
liệu Nanophotonics.
Nanophotonics đã nổi lên như một lĩnh vực mới thú vị liên quan đến sự tương tác
của ánh sáng bằng vật liệu cấu trúc nano. Những nghiên cứu về nguồn vật liệu mới
này rất có tiềm năng trong nhiều lĩnh vực như điện, điện tử, quang học…
“Nanophotonics” được coi là lĩnh vực khoa học nghiên cứu sự tương tác của ánh sáng
với các cấu trúc nano bao gồm các hạt nano điện môi có giá trị chiết suất cao (chỉ số
cao). Với những đặc tính tiêu biểu trên thì nanophotonics là nguồn vật liệu mới đầy
tiềm năng - khắc phục được những hạn chế của các nguồn vật liệu trước đây.
Chính vì những lý do trên, nhằm để tìm hiểu rõ hơn về các phương pháp tổng
hợp, cũng như các quy trình sản xuất và ứng dụng của nanophotonics và khả năng áp
dụng của chúng trong thực tiễn, nhóm đã tiến hành tìm hiểu đề tài: “Tìm hiểu vật liệu
nanophotonics”.
1.2 Mục tiêu của đề tài

 Tìm hiểu về tính chất, cấu trúc vật liệu Nanophotonics.

 Phương pháp tổng hợp vật liệu Nanophotonics.

 Ứng dụng của vật liệu Nanophotonics.

Trang 1
 Chương 1: Đặt vấn đề

1.3 Ý nghĩa khoa học và ý nghĩa thực tiễn của đề tài

1.3.1 Ý nghĩa khoa học
Tổng hợp kiến thức và giới thiệu một cách tổng quát về công nghệ nano và về vật
liệu Nanophotonics cần cho nghiên cứu. Cho thấy tiềm năng phát triển của vật liệu
nanophotonics và sức ảnh hưởng sâu rộng của lĩnh vực nanophotonics liên quan đến
các lĩnh vực vật lý, khoa học vật liệu, kỹ thuật điện quang, kỹ thuật quy trình và trong
kỹ thuật y sinh đang phát triển một cách nhanh chóng từ đó thúc đẩy nghiên cứu
chuyên sâu hơn trong tương lai. Ngoài ra đề tài tìm hiểu về một số phương pháp tạo ra
vật liệu với kích thước nano để ứng dụng cho vật liệu nanophotonics.

1.3.2 Ý nghĩa thực tiễn

Thông qua đề tài của nhóm giúp nắm được một số kiến thức cơ bản về công nghệ
nano và vật liệu Nanophotonics. Ngoài ra biết thêm một số phương pháp sản xuất vật
liệu với kích thước nano. Ngoài ra, nhìn thấy được sự đa dạng về các lĩnh vực của vật
liệu nanophotonics cũng từ đó có được tư liệu để tiến hành tìm hiểu thêm về lĩnh vực
này. Kết quả của đồ án tìm hiểu về vật liệu nanophotonics hy vọng sẽ là cơ sở để giảng
viên và sinh viên tham khảo trong quá trình giảng dạy và học tập.

Trang 2
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

CHƯƠNG 2: TỔNG QUAN VỀ VẬT LIỆU NANOPHOTONICS

2.1 Tổng quan về công nghệ và vật liệu nano

2.1.1 Khái quát về công nghệ nano
Công nghệ nano là việc sử dụng các loại vật chất ở quy mô nguyên tử, phân tử và
siêu phân tử cho các mục đích sử dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau. Thông tin phổ
biến sớm nhất về công nghệ nano đề cập đến mục tiêu công nghệ cụ thể là thao tác
chính xác các nguyên tử và phân tử để chế tạo các sản phẩm có quy mô vĩ mô, ngày
nay còn được gọi là công nghệ nano phân tử. Sau này, các mô tả khái quát hơn về
công nghệ nano đã được thiết lập định nghĩa công nghệ nano là sự điều khiển vật chất
với ít nhất một kích thước có kích thước từ 1 đến 100 nanomet. Định nghĩa này phản
ánh thực tế rằng các hiệu ứng cơ lượng tử rất quan trọng ở quy mô lĩnh vực lượng tử
này, và do đó định nghĩa đã chuyển từ một mục tiêu công nghệ cụ thể sang một hạng
mục nghiên cứu bao gồm tất cả các loại nghiên cứu và công nghệ xử lý các tính chất
đặc biệt của vật chất. dưới ngưỡng kích thước đã cho. "Công nghệ nano" cũng như
"công nghệ kích thước nano" để chỉ phạm vi rộng của các nghiên cứu và ứng dụng có
đặc điểm chung là kích thước .
Công nghệ nano được xác định theo kích thước là rộng lớn một cách tự nhiên,
bao gồm rất nhiều các lĩnh vực khoa học đa dạng như: hóa học hữu cơ, sinh học phân
tử, vật lý bán dẫn, lưu trữ năng lượng, kỹ thuật, chế tạo vi mô, và kỹ thuật phân tử.
Các nghiên cứu và ứng dụng liên quan cũng đa dạng như nhau, từ mở rộng của thiết bị
vật lý thông thường đến các cách tiếp cận hoàn toàn mới dựa trên quá trình tự lắp ráp
phân tử, từ việc phát triển các vật liệu mới với kích thước trên quy mô nano đến điều
khiển trực tiếp vật chất ở quy mô nguyên tử.
Những tác động của công nghệ nano trong tương lai được thể hiện rất rõ ràng.
Công nghệ nano có thể tạo ra nhiều vật liệu và thiết bị mới với rất nhiều ứng dụng,
chẳng hạn như trong y học nano, điện tử nano, sản xuất vật liệu sinh học, năng lượng
và các sản phẩm tiêu dùng .
2.1.2 Các phương pháp chế tạo vật liệu nano

 Phương pháp từ trên xuống

Nguyên lý: phương pháp này dùng kỹ thuật nghiền, các kỹ thuật xử lý cơ học để
làm biến đổi vật liệu ở dạng khối kích thước lớn thành các hạt có kích thước nano.

Trang 3
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

Phương pháp này được đánh giá đơn giản và chi phí thấp nhưng rất hiệu quả, có thể
tiến hành cho nhiều loại vật liệu với kích thước khá lớn (ứng dụng vào vật liệu kết
cấu). Trong phương pháp nghiền, vật liệu ở dạng bột được trộn lẫn với những viên bi
được làm từ các vật liệu rất cứng và đặt trong một cái cối. Máy nghiền có thể là nghiền
lắc, nghiền rung hoặc nghiền quay. Kết quả thu được là các vật liệu nano một chiều
(dây nano) hoặc hai chiều (lớp có chiều dày nm). Ngoài ra, hiện nay người ta thường
dùng các phương pháp quang khắc để tạo ra các cấu trúc nano .

 Phương pháp từ dưới lên

Nguyên lý: hình thành vật liệu nano từ các nguyên tử ion. Phần lớn các vật liệu
nano mà chúng ta dùng hiện nay được chế tạo từ phương pháp này. Phương pháp từ
dưới lên có thể là phương pháp vật lý, phương pháp hóa học hoặc kết hợp cả hai.
Phương pháp vật lý: là phương pháp tạo vật liệu nano từ nguyên tử hoặc chuyển
pha. Nguyên tử để hình thành vật liệu nano được tạo ra từ phương pháp vật lý: bốc bay
nhiệt (đốt, phún xạ, phóng điện hồ quang). Phương pháp chuyển pha: vật liệu được
nung nóng rồi cho nguội với tốc độ nhanh để thu được trạng thái vô định hình, xử lý
nhiệt để xảy ra chuyển pha vô định hình - tinh thể (kết tinh) (phương pháp nguội
nhanh). Phương pháp vật lý thường được dùng để tạo các hạt nano, màng nano, ví dụ:
ổ cứng máy tính.
Phương pháp hóa học: là phương pháp tạo vật liệu nano từ các ion. Phương pháp
hóa học có đặc điểm là rất đa dạng vì tùy thuộc vào vật liệu cụ thể mà người ta phải
thay đổi kỹ thuật chế tạo cho phù hợp. Tuy nhiên, chúng ta vẫn có thể phân loại các
phương pháp hóa học thành hai loại: hình thành vật liệu nano từ pha lỏng (phương
pháp kết tủa, sol-gel...) và từ pha khí (nhiệt phân...). Phương pháp này có thể tạo các
hạt nano, dây nano, ống nano, màng nano, bột nano...
Phương pháp kết hợp: là phương pháp tạo vật liệu nano dựa trên các nguyên tắc
vật lý và hóa học như: điện phân, ngưng tụ từ pha khí... Phương pháp này có thể tạo
các hạt nano, dây nano, ống nano, màng nano, bột nano... [3]
2.1.3 Các thiết bị và kỹ thuật trong nghiên cứu cấu trúc nano
Kính hiển vi quét xuyên hầm (Scanning Tunneling Microscope – STM). Thiết bị
này giúp máy tính có thể thể xây dựng và phóng đại những hình ảnh của nguyên tử và
phân tử từ vật chất .
Kính hiển vi điện tử tinh thể bằng tia X (Electron microscope X-ray
crystallography). Độ tương phản và khả năng xuyên thấu được tạo ra từ tia X khi

Trang 4
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

chúng tương tác các dạng vật chất cần nghiên cứu có kích thước 1-2 micromet. Có thể
áp dụng trong việc chụp ảnh tổng thể các tế bào nhỏ hoặc cấu trúc dưới tế bào trong
các tế bào sinh học .
Quang phổ cộng hưởng từ hạt nhân (Nuclear magnetic resonance - NMR). Thiết
bị này giúp điều khiển máy tính của máy quang phổ làm cho các thí nghiệm có thể
thực hiện được chẳng hạn như phổ NMR có hai chu kỳ, và đơn giản hóa các thí
nghiệm khác. Ngày nay máy quang phổ từ hạt nhân là công cụ sử dụng nhiều trong
nghiên cứu phân tích các loại hóa chất và có mặt trong các phòng thí nghiệm .
Kính hiển vi lực nguyên tử (Atomic Force Microscopy - AFM). Quang phổ lực
nguyên tử là phép đo lực so với khoảng cách khi sử dụng AFM. Kính hiển vi lực
nguyên tử (AFM) đã đóng một vai trò quan trọng trong khoa học và công nghệ nghiên
cứu các kích thước nano cũng như công nghệ sinh học .
Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscopy - SEM). là một trong
những dụng cụ linh hoạt nhất dễ dàng để kiểm tra và phân tích hình thái cấu trúc vi mô
và đặc điểm thành phần hóa học. Thiết bị này đã và đang tiếp tục có tầm quan trọng
lớn đối với nghiên cứu khoa học cũng như ứng dụng rất phổ biến trong đời sống hiện
nay .
Kính hiển vi truyền qua điện tử. Kỹ thuật TEM đã được áp dụng để phân tích và
nghiên cứu các cấu trúc mịn hay làm rõ các nguyên tố của nguồn mẫu vật. Nó cung
cấp độ phân giải siêu cao so với kính hiển vi ánh sáng .
Những kỹ thuật lắp ráp các vi cấu trúc thành những kiểu mẫu cấu trúc được thấy
nhiều nhất trong lĩnh vực vi điện tử. Những kỹ thuật phổ biến bao gồm quang khắc
(photolithography), phương pháp in thạch bản tia X (X-ray lithography), quang khắc
chùm điện tử (electron beam lithography), soft lithography, chùm ion hội tụ (focused
ion beam), sol – gel [4].
2.1.4 Hướng ứng dụng chung
Sự phát triển của công nghệ nano và quang tử nano đã đem đến sự đa dạng các
ứng dụng của nó trong các lĩnh vực khác nhau, có thể nói công nghệ nano đang tràn
qua mọi lĩnh vực của cuộc sống. Công nghệ nano còn có thể tìm thấy rất nhiều trong
tự nhiên từ các sợi lông siêu nhỏ trên chân của tắc kè đến những sợi lông với kích
thước nanomet trên bề mặt lá sen. Với những khám phá trong tự nhiên các nhà khoa
học đã mô phỏng để ứng dụng vào trong đời sống của con người như tạo ra vải có các
sợi lông siêu nhỏ giúp chống thấm nước và bụi bẩn. Từ đây có thể thấy sự rộng lớn
của công nghệ nano ứng dụng trong tự nhiên và trong cuộc sống.

Trang 5
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

Một trong những đặc tính quan trọng của hạt nano là tỷ lệ bề mặt trên thể tích
của chúng cao. Sử dụng đặc tính này, có thể tạo ra các chất xúc tác mạnh với kích
thước nano. Chất xúc tác nano này làm tăng đáng kể hiệu quả của các phản ứng hóa
học và ngăn chặn việc sản xuất các vật liệu phế thải. Việc sử dụng các hạt nano để sản
xuất vật liệu có thể tăng sức bền vật liệu, giảm trọng lượng vật liệu và nâng cao tính
chất nhiệt hóa vật liệu.
Khi kích thước hạt có xu hướng theo kích thước nanomet, một trong những đặc
tính bị ảnh hưởng bởi sự co rút này là phản ứng của chúng với ánh sáng và sóng điện
từ. Hiểu được phát hiện này đã dẫn đến việc sản xuất các thanh nano với ứng dụng
trong quang điện tử và toàn bộ ngành công nghiệp điện tử. Sự xuất hiện của các hạt
nano trong sơn hoặc vật liệu xây dựng làm giảm trọng lượng của các cấu trúc với hiệu
quả như giảm tiêu thụ nhiên liệu trong máy bay. Các ứng dụng của vật liệu nano trong
y học bao gồm theo dõi chức năng của tim con người đến sản xuất kem chống bức xạ
tia cực tím bằng cách sử dụng hạt nano titan.
Công nghệ nano được sử dụng để sản xuất kính tự làm sạch bằng cách sử dụng
ánh sáng mặt trời để loại bỏ ô nhiễm. Ngày nay, nhiều công ty sản xuất hạt nano trong
dạng bột. Ví dụ được sử dụng trong ngành công nghiệp ô tô, sản xuất vợt tennis, kính
chống cận, kính chống thấm, cửa sổ tự làm sạch, tấm năng lượng mặt trời và thiết bị
của máy bay [10].
Ngoài những công dụng đã được đề cập, công nghệ nano còn có nhiều các ứng
dụng khác trong ngành dược phẩm và hệ thống phân phối thuốc. Các ứng dụng của nó
trong công nghệ thông tin và kỹ thuật dân dụng bao gồm các chất phụ gia kích thước
nano, để sản xuất các chất xúc tác nano trong dầu, khí đốt và hóa dầu các ngành công
nghiệp, để sản xuất lớp phủ nano có khả năng chống nhiệt, ăn mòn, mài mòn và ma
sát, làm chất bôi trơn nano, để tăng cường hiệu quả, trong việc sản xuất cảm biến nano
và cảm biến sinh học nano, để giảm chất ô nhiễm, và phát triển công nghệ xanh.

Trang 6
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

Hình 2-1. Ứng dụng của công nghệ nano trong cuộc sống [11]

2.2 Vật liệu nanophotonics

2.2.1 Sơ lược về vật liệu nanophotonics
2.2.1.1 Giới thiệu về vật liệu photonics
Việc nghiên cứu ánh sáng ở quy mô nano đã trở thành một lĩnh vực nghiên cứu
sôi nổi, khi các nhà nghiên cứu bây giờ đã có thể làm chủ ánh sáng ở các thang đo thấp
hơn nhiều sao với bước sóng quang học, phần lớn vượt qua các giới hạn do nhiễu xạ
ánh sáng áp đặt mà ở các thiết bị truyền thống cổ điển không thể làm được. Sử dụng
kim loại và điện môi cấu trúc nano được mô phỏng một cách chính xác thành kiến trúc
nano hai chiều 2D và 3D, ánh sáng có thể bị phân tán, khúc xạ, hạn chế, lọc và xử lý
theo kiểu mới hấp dẫn hơn những cách không thể đạt được với vật liệu tự nhiên và
hình học thông thường.
Việc kiểm soát ánh sáng ở quy mô nano không chỉ tiết lộ rất nhiều hiện tượng
mới mà còn dẫn đến nhiều ứng dụng có liên quan, bao gồm cả các địa điểm mới để
tích hợp công nghệ vi mạch, điện toán quang học, năng lượng mặt trời và lĩnh vực y tế,
đặt ra kỳ vọng cao cho nhiều khám phá mới lạ trong những năm tới [12].
Nanophotonics hay quang học nano là lĩnh vực nghiên cứu về hành vi của ánh
sáng trên quy mô nanomet và về sự tương tác của các vật thể quy mô nanomet với ánh

Trang 7
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

sáng. Nó là một nhánh của quang học, kỹ thuật quang học, kỹ thuật điện và công nghệ
nano.
Nó thường liên quan đến các cấu trúc điện môi như nanoantenna, hoặc các thành
phần kim loại, có thể vận chuyển và tập trung ánh sáng thông qua các phân cực
plasmon bề mặt.
2.2.1.2 Tìm hiểu vật liệu nanophotonics
Nanophptonics (quang âm nano) hay nano quang học là nghiên cứu về các đặc
điểm về kích thước của ánh sáng trên quy mô nanomet và về sự tương tác của các vật
thể quy mô nanomet với ánh sáng. Nó là một nhánh của quang học, kỹ thuật quang
học, kỹ thuật điện và công nghệ nano. Nó thường liên quan đến các cấu trúc điện môi
như nanoanten, hoặc các thành phần kim loại, có thể vận chuyển và tập trung ánh sáng
thông qua các phân cực plasmon bề mặt [13].
Do những giới hạn của các thiết bị quang học truyền thống như kính hiển vi
quang học quét trường gần (NSOM), kính hiển vi xuyên hầm được kích thích quang
(photoassisted scanning tunnelling microscopy), và quang học Plasmon bề mặt. Kính
hiển vi truyền thống sử dụng những thành phần phát sinh nhiễu xạ để tăng độ phân
giải. Nhưng do giới hạn nhiễu xạ (thường gọi là tiêu chuẩn Rayleigh), ánh sáng chỉ có
thể hội tụ lại thành một vết với đường kính khoảng ½ bước sóng ánh sáng. Nên hiện
nay nhiều công bố nghiên cứu đã và đang quan tâm đến đặc tính của những vật liệu và
hiện tượng ở kích thước vài nanomet, vì vậy cần phải sử dụng những kỹ thuật khác với
kỹ thuật truyền thống. Thật vậy trong thời gian gần đây ngành nanophotonics được
thúc đẩy phát triển.
Phạm vi nghiên cứu của nanophotonics bao gồm hai chủ đề chính:

 Nghiên cứu tính chất kỳ lạ của ánh sáng ở kích thước nano

 Chế tạo ra những thiết bị có hiệu suất cao cho các ứng dụng trong kĩ thuật.
Những nghiên cứu này đã tạo ra tiềm năng to lớn để cách mạng hóa ngành viễn
thông qua việc cung cấp những thiết bị không có hiệu ứng giao thoa, vận tốc cao, tiêu
tốn năng lượng thấp chẳng hạn như các công tắc điện quang hoặc công tắc quang học
trên chip. Đây được xem là một trong những lĩnh vực thuộc công nghệ nano mới và có
tiềm năng phát triển trong tương lai [14].

Trang 8
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

Một số hình ảnh về hệ thống nanophotonic:

Hình 2-2. Một nguyên mẫu chip quang tử silicon do tập đoàn IBM phát triển [15]

Hình 2-3. Những mạng lưới thần kinh bằng chip quang tử tận dụng các nền tảng chip silicon
quang tử, để có thể truy cập vào những khả năng mới của việc xử lý thông tin siêu nhanh cho
radio, tín hiệu điều khiển, và các tính toán khoa học [15]

Hình 2-4. Laser tinh thể quang tử công suất cao [16]

Trang 9
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

Hình 2-5. Đèn LED không có (bên trái) và có (bên phải) sự tăng cường phát xạ vì có sự tán xạ
ánh sáng từ các hạt nano Ag được nhúng [16]

Hình 2-6. Tấm silicon đen với bề mặt quang học điện môi (bên phải) và (bên trái) không có bề
mặt quang điện môi để tăng cường ghép và bẫy ánh sáng trong năng lượng mặt trời [16]

2.2.2 Tính chất, cấu trúc của nanophotonics

2.2.2.1 Cấu trúc nanophotonics
Một số cấu trúc có nanophotonic như các vật liệu tinh thể quang tử (Photonic
crystals - PC) hoặc vùng cấm quang tử (photonic band gap - PBG) là những cấu trúc
có cấu hình hằng số điện môi thay đổi định kỳ trên thang khoảng cách xấp xỉ bằng một
bước sóng ánh sáng cụ thể là 𝜆. Các PC có thể được chế tạo với các cấu trúc không
gian một chiều (1D), hai chiều (2D) hoặc ba chiều (3D). Hiệu ứng khi ánh sáng truyền
qua môi trường của PC khác hoàn toàn hiệu ứng khi ánh sáng truyền qua một môi
trường đồng chất khác nhau ở đây là do giao thoa triệt tiêu thông qua tán xạ Bragg của
cấu trúc tuần hoàn tối đa hóa sự phản xạ tổng thể của ánh sáng ở bề mặt PC với không
khí vì thế tinh thể quang tử được xem là vật liệu dùng để điều khiển áng sáng [17].
Một cấu trúc khác nữa là cấu trúc nano lai. Cấu trúc nano lai là một hệ thống của
các hạt nano có bản chất khác nhau (chất keo kim loại hạt nano, chấm lượng tử bán
dẫn, oxit hoặc các hạt nano polymer, v.v.) và các phân tử chức năng (photochromic,
photoluminescent, electroluminescent, hoạt động từ tính, v.v.) (Hình 2-1). Cấu trúc
nano lai cũng có thể bao gồm các chất phụ trợ (chất đệm). Tác động lẫn nhau của các
Trang 10
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

đối tượng nano phụ thuộc nhiều vào khoảng cách giữa chúng và khoảng cách này có
thể thay đổi bằng cách miếng đệm với các kích thước tuyến tính khác nhau. Do đó,
một miếng đệm với một hình dạng xác định có thể xác định các thông số hóa lý của
cấu trúc lai. Vật liệu có đặc tính được điều khiển động có thể được tạo ra bằng cách sử
dụng quang, điện, nhiệt, và các chất nhạy cảm với pH làm chất đệm. Ví dụ, các phân
tử quang sắc có khả năng thay đổi các kích thước tuyến tính dưới sự chiếu xạ ánh sáng
đã được đề xuất như chất đệm [18].

Hình 2-7. Cấu trúc phân tử nanophotonic [19]

Các cấu trúc nano lai có thể tạo thành 3D theo thứ tự hoặc hệ thống fractal (cấu
trúc nano Х chiều có cấu trúc nhiều lớp) với thuộc tính điều khiển động (Hình 2-7).

Hình 2-8. Cấu trúc 3D của phân tử nano và định hướng nguyên tố [20]

2.2.2.2 Tính chất tổng hợp ổn định và chức năng hoạt hóa hạt nano
Đặc điểm cấu trúc miếng đệm: Đối với một hợp chất để làm việc như một bộ
đệm, nó phải bao gồm ít nhất hai nhóm thế để liên kết nó với cả bề mặt của các hạt
nano và với phân tử chức năng. Liên kết có thể là do tương tác Van der Waals, hydro
liên kết, tương tác ion và affine, cộng hóa trị liên kết, và sự hình thành phức tạp; hơn
nữa, một số cơ chế ràng buộc có thể được tham gia. Các hợp chất phân tử thấp được
liên kết tốt nhất với bề mặt của một vật liệu vô cơ bởi các nhóm thay thế dễ bị tương
tác cộng hóa trị, affine, tĩnh điện hoặc ion. Các chất thay thế có bản chất khác nhau có

Trang 11
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

thể cung cấp liên kết có chọn lọc: ví dụ như nếu một trong số chúng tương tác với các
hạt nano và hạt khác, với phân tử chức năng. Một cách tiếp cận như vậy hình thành cơ
sở của sự tự tổ chức của các cấu trúc.
Trong tổng hợp phân tử có thể cung cấp liên kết với bề mặt hạt nano. Sự thay thế
dựa trên các đặc điểm hóa lý của bề mặt hạt nano. Ví dụ, nếu bề mặt hạt nano được
chức năng hóa bởi nhóm cacboxyl, nhóm thay thế được lựa chọn trong chức năng
phân tử có thể là các nhóm amin. Đôi khi chức năng phân tử đã chứa các nhóm có khả
năng liên kết với bề mặt hạt nano. Các phân tử như vậy thường liên kết chéo với các
hạt nano theo cơ chế trao đổi: Một hoặc một số phân tử chất ổn định được thay thế
bằng một tử chức hữu cơ.
Liên kết các phân tử trên bề mặt nano: Tùy thuộc vào bản chất của các hạt nano,
các yêu cầu khác nhau được đặt cho các chất thay thế chịu trách nhiệm liên kết.
Tính ổn định của một cấu trúc nano lai và duy trì các chức năng của nó phụ thuộc
vào một số yếu tố, trong đó sức mạnh liên kết của các thành phần hữu cơ và vô cơ.
Phương pháp bảo vệ cấu trúc nano lai khỏi tiếp xúc với các hợp chất phân tử thấp đã
được phát triển, ví dụ, đóng gói và liên kết. Sự đóng gói bao gồm lớp phủ của hỗn hợp
cấu trúc bằng vật liệu silicat: polymer, polypeptit, photpholipit, polysaccharid…[21,
22]
2.2.2.3 Sự đa dạng của các hạt nano như một cách để xây dựng vật liệu mới.
Khoảng cách giữa hạt nano và chức năng phân tử trong cấu trúc lai là một yếu tố
quan trọng chịu trách nhiệm về các tính chất của cấu trúc lai. Đồng thời, có tầm quan
trọng không nhỏ đối với thuộc tính của toàn bộ vật liệu là sự hỗ trợ sắp xếp của các
cấu trúc nano trong vật liệu. Chúng có thể xác định vị trí ở những khoảng cách tùy ý từ
nhau và cũng tự tổng hợp để tạo thành các đa phân, cụm, và cấu trúc nhiều lớp.
Loại tập hợp phụ thuộc vào nhiều yếu tố, bao gồm nồng độ, hình dạng và kích
thước của các hạt nano, bản chất của bề mặt được chức năng hóa (chiều dài của đệm
và cấu trúc thép của chúng và sự hiện diện của nhóm hoạt động), hoặc môi trường
phân tử. Ví dụ, các hạt nano vàng hình que có sự phân bố điện tích không đồng đều
trên bề mặt và do đó, chúng có khả năng hình thành cấu trúc giống như sợi chỉ với sự
hiện diện của bộ đệm ổn định sinh học (1-phenyl-1,2-etandithiol hoặc 1,2-etandithiol)
[23].
Cấu trúc hình cầu đặc trưng dạng 3D, cấu trúc đuôi gai hoặc tổ ong. Đã thu được
bằng chứng rằng loại tập hợp và khoảng cách giữa các cấu trúc nano trong các vật liệu

Trang 12
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

đó xác định tính chất quang phổ của vật liệu. Phạm vi hấp thụ của chúng liên quan trực
tiếp đến khoảng cách cấu trúc nano, được đặt trước bởi miếng đệm lót.
Cấu trúc nano lai cho vật liệu có kiểm soát tính chất quang phổ: Ảnh hưởng của
các đối tượng nano đến thời gian tồn tại của các trạng thái kích thích của chức năng
các phân tử hiện diện trên bề mặt của vật thể nano, điều này có thể dẫn đến các đặc
điểm quang phổ của cấu trúc nano lai khá khác với đặc điểm quang phổ của các thành
phần riêng lẻ của chúng [24].
2.3 Ứng dụng của vật liệu nanophotonics
2.3.1 Ứng dụng trong quang học
2.3.1.1 Cấu trúc định kỳ chống phản xạ
Lấy cảm hứng từ các đặc tính AR của mắt bướm đêm, các cấu trúc bề mặt đã
được nghiên cứu để giảm phản xạ trên dải bước sóng lớn. Như một cấu trúc nano cũng
có thể được tìm thấy trên cánh ve sầu làm cho chúng rất trong suốt (Hình 2.12). Cấu
trúc không chỉ giúp ve sầu lẩn trốn những kẻ săn mồi mà còn thể hiện đặc tính ưa
nước, kháng khuẩn và tự làm sạch. Bề mặt nanophotonics có hệ số phản xạ khoảng
30% trong hồng ngoại gần và trung bình. Lớp phủ có thể được lắng đọng để giảm sự
phản xạ này, nhưng hiệu quả được giới hạn ở một mức độ nhỏ dải quang phổ. Một cấu
trúc nhân tạo được tạo thành từ một dãy các kim tự tháp nano có kích thước 1 μm tính
lưỡng tính đã được nghiên cứu, bởi vì nó khá dễ dàng để có được bằng cách thông
thường ăn mòn hóa học [25].

Hình 2-9. (a) Độ trong suốt của cánh ve sầu (b) Cấu trúc nano của cánh ve sầu [26]

AR ảnh hưởng của cấu trúc được giới hạn trong dải hồng ngoại II, trong khoảng
từ 3 đến 5 μm. Trong bản chất, như quan sát được trong mắt bướm đêm, các bề mặt
chống phản xạ thể hiện hai mức độ kết cấu. Một cấu trúc được tạo ra từ mẫu tuần hoàn
lục giác bước sóng ngắn và sắp xếp ngẫu nhiên "bán tinh thể" của mẫu lục giác. Tính
toán cho thấy rằng, trong trường hợp, hiệu ứng AR được mở rộng dưới 3 μm, xuống
mức có thể nhìn thấy. Từ quan điểm thực nghiệm, các kết quả tuyệt vời thu được với

Trang 13
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

cấu trúc hình nón phẳng và phẳng trên cùng được tạo ra bằng phương pháp in thạch
bản cực tím sâu và khắc plasma trên silicon (Hình 2-9 a và b). Thay vì tạo mẫu trên
đỉnh của hình nón bằng cấu trúc tuần hoàn, bề mặt có thể được làm thô (Hình 2-9 c).

Hình 2-10. (a) Ảnh chụp TEM đầu phẳng được cắt ngắn (b) Chi tiết trên đầu phẳng (c) Bề mặt
gồ ghề [27]

2.3.1.2 Kiểm soát bề mặt gồ ghề với số liệu thống kê

Trong các hệ thống quang học, độ nhám bề mặt tạo ra sự tán xạ ánh sáng nói
chung giảm hiệu suất của hệ thống, khi kiểm soát độ nhám bề mặt, các hàm quang học
thống kê có thể thu được. Các bề mặt quang học thô ngẫu nhiên cũng đã được sử dụng
để nâng cao độ sâu tiêu điểm của hệ thống hình ảnh, cho thấy tính khả thi của việc chế
tạo các bề mặt gồ ghề với các số liệu thống kê xác định có thể kiểm soát sự phân bố
ánh sáng phân tán dựa tên tính chất vật liệu nanophotonics [28].
2.3.1.3 Interconnects
Chủ yếu ứng dụng trong truyền thông quang học, đặc biệt trong mạng trục viễn
thông và mạng lưới tàu điện ngầm. Có tiềm năng về chip thu phát công suất thấp và
chi phí thấp đã mở ra các ứng dụng kết nối tầm ngắn hơn trong tính toán hiệu năng cao
và trung tâm dữ liệu. Ứng dụng hiệu quả trong hệ thống cảm biến và quang phổ.
2.3.1.4 Chức năng quang học khác
Các chức năng phổ biến nhất liên quan đến vận chuyển ánh sáng, lọc bước sóng
và ghép nối với off-chip các phần tử và sợi. Chúng được gọi là các chức năng thụ
động, vì ánh sáng thường không bị thay đổi trong quá trình. Các chức năng hoạt động
liên quan đến các yếu tố quang điện như nguồn sáng, bộ điều chế tín hiệu và bộ tách
sóng quang.
Các thiết bị nanophotonics phổ biến liên quan vận chuyển ánh sáng: Ống dẫn
truyền và định tuyến, lọc bước sóng, khớp nối với các sợi quang, chuyển đổi quang
điện và quang điện tử, Lasers... [29]
2.3.2 Pin năng lượng mặt trời

Trang 14
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

Việc sử dụng năng lượng mặt trời hiện nay có nhiều hạn chế khác nhau đối với
việc thu nhiệt thải xung quanh bao gồm việc thiếu vật liệu có hiệu quả về mặt kinh tế
và các tính năng thiết kế sáng tạo có thể thu hồi hiệu quả nhiệt cấp thấp để chuyển đổi
thành năng lượng hữu ích. Một sơ đồ nhiệt điện nanophotonic (TNPh-pyro) bao gồm
một siêu vật liệu nhiều lớp và vật liệu pyroelectric đã được nghiên cứu và chế tạo để
thực hiện đồng thời việc loại bỏ nhiệt thải và chuyển đổi quang nhiệt thành điện năng.
Không giống với bất kỳ cấu hình nhiệt điện nào khác, khái niệm thiết kế này khác với
thông thường bằng cách cố ý sử dụng bức xạ cận hồng ngoại (NIR) phản xạ ngược để
cho phép tái sử dụng và thu hồi nhiệt thải để tăng cường sản xuất nhiệt điện, tránh hấp
thụ nhiệt mặt trời quá mức và cũng giữ được độ trong suốt trực quan của thiết bị. Khả
năng làm mát phản xạ năng lượng mặt trời lên đến 4,1 oC đã được chứng minh trong
nghiên cứu này. Trong khi đó, hiệu suất nhiệt điện tử tận dụng từ hiệu ứng phản xạ
ngược cho thấy mức tăng điện áp mạch hở (VOC) và dòng điện ngắn mạch (ISC) lần lượt
là 152 % và 146 %. Ngoài ra, thành phần quang hoạt được thiết kế (TiO 2/Cu) bên
trong siêu vật liệu nhiều lớp cung cấp cho hệ thống TNPh-pyro chức năng phân hủy
quang chất ô nhiễm không khí hiệu quả [30].

Hình 2-11. a) Sơ đồ khái niệm nanophotonic-ferroelectric cho TNPh, b) Con đường lắng đọng
dẫn đến TNPh, c) Ảnh chụp nguyên mẫu TNPh-pyro [31]

Trang 15
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

Hình 2-12. a) Sơ đồ ba chiều của thiết kế nanophotonic cho TNPh, b) Ảnh SEM của mặt cắt
TNPh, c) Bề mặt của TiO2/Cu trung tính, d) Hình ảnh TEM của SiO2 [32]

Hình 2-13. a) Mẫu nhà có mái che được lắp đặt TNPh (trái) và cửa sổ kính (phải). c) Hình ảnh
hồng ngoại của hai nhà chụp lúc 11:30 [33]

2.3.3 Cảm biến

Trong lịch sử, quang học được coi là một trong những cách nhạy cảm nhất và ít
xáo trộn nhất để cảm nhận môi trường xung quanh. Các đặc tính này đã được chuyển
sang các thiết bị và các hệ thống cảm biến hiện đại ngày nay với trọng tâm là độ nhạy.
Nhu cầu gần đây đòi hỏi các các thiết bị cảm biến có độ nhạy cao và sự nhiễu loạn tối
thiểu đối với hệ thống cảm biến được đòi hỏi phải phát triển các nền tảng và hệ thống
mới vượt xa hiệu suất của các loại cảm biến hiện nay. Đặc biệt, đối với các ứng dụng
như cảm biến môi trường phân tán, phát hiện nguy cơ hóa chất và độc tố cũng như các
cảm biến sinh học để chẩn đoán và theo dõi sức khỏe đòi hỏi hệ thống cảm biến có chi
phí thấp, tiêu thụ điện năng thấp nhỏ gọn và đa mục đích. Những yêu cầu này là động
lực thúc đẩy cho sự phát triển các phương pháp cảm biến tích hợp nhỏ gọn. Từ độ

Trang 16
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

nhạy cảm của các giải pháp quang học, tính nhỏ gọn và hiệu quả của các giải pháp tích
hợp đã mang lại một nền tảng quang học tích hợp là nền tảng được lựa chọn để triển
khai các thiết bị và hệ thống cảm biến hiện đại [34].
Những tiềm năng của nền tảng nanophotonic bao gồm tính nhỏ gọn, khả năng
tiêu thụ điện năng thấp, khả năng tích hợp với các chức năng khác nhau và độ nhạy
cao khiến chúng trở thành một ứng cử viên thích hợp cho các ứng dụng cảm biến. Việc
tương tác vật chất ánh sáng mạnh mẽ trong một nền tảng như vậy cho phép nó thực
hiện nhiều cơ chế cảm nhận khác nhau bao gồm thay đổi chiết suất, phát xạ huỳnh
quang và tán xạ Raman.

Hình 2-14. Các thành phần cơ bản của một nền tảng cảm biến quang tử tích hợp được biểu diễn
dưới dạng giản đồ. Tín hiệu quang bị ảnh hưởng trong vùng tương tác bởi cơ chế cảm biến và
đầu ra từ giai đoạn này được phân tích trong một loạt các phổ bằng cách sử dụng quang phổ kế
trên chip để nhận ra các dấu hiệu nhất định do quá trình cảm biến để lại [35]

2.3.4 Sản xuất chip với mạng lưới thần kinh nhân tạo quang học
Mạng lưới thần kinh nhân tạo
Mạng lưới thần kinh nhân tạo đang là cơn bão cuốn theo cả thế giới điện toán.
Các nhà nghiên cứu đã sử dụng chúng để tạo ra những máy tính có khả năng học được
vô số những kỹ năng, vốn trước đây chỉ dành riêng cho con người – như nhận diện đối
tượng, khuôn mặt, xử lý ngôn ngữ tự nhiên, máy dịch. Tất cả các kỹ năng này, và
nhiều hơn nữa giờ đang trở thành công việc của máy móc. Do vậy, người ta đang rất
quan tâm đến việc tạo ra các mạng lưới thần kinh với sức mạnh lớn hơn, để có thể đẩy
những giới hạn về trí tuệ nhân tạo đi xa hơn. Trọng tâm của việc này là tạo ra các

Trang 17
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

mạch điện hoạt động giống như các tế bào thần kinh, vì vậy nó còn được gọi là các
chip neuromorphic (chip mô phỏng não người) [36].
Alexander Tait và các đồng nghiệp tại Đại học Princeton ở New Jersey, Mỹ. đã
tạo ra một con chip neuromorphic tích hợp quang tử silicon (integrated silicon
photonic neuromorphic chip), và cho thấy tốc độ tính toán của nó siêu nhanh.
Mạng lưới thần kinh đang mở ra một cơ hội mới cho các chip quang tử này.
“Những mạng lưới thần kinh bằng chip quang tử tận dụng các nền tảng chip silicon
quang tử, để có thể truy cập vào những khả năng mới của việc xử lý thông tin siêu
nhanh cho radio, tín hiệu điều khiển, và các tính toán khoa học”.
Điện toán quang học từ lâu đã là một giấc mơ vĩ đại của khoa học máy tính. Các
lượng tử ánh sáng có băng thông nhiều hơn đáng kể so với các electron (các điện tử) vì
vậy nó có thể xử lý nhiều dữ liệu hơn và nhanh hơn. Nhưng những ưu điểm của các hệ
thống xử lý dữ liệu quang học chưa bao giờ đủ bù đắp những chi phí tăng thêm khi
làm ra chúng, vì vậy chúng chưa bao giờ được chấp nhận rộng rãi. Tuy nhiên, điều này
đã bắt đầu thay đổi trong một vài lĩnh vực của điện toán, ví dụ xử lý tín hiệu analog,
vốn luôn đòi hỏi tốc độ xử lý đặc biệt nhanh mà chỉ có các chip quang tử mới đáp ứng
được. Không những vậy, giờ các mạng lưới thần kinh đang mở ra một cơ hội mới cho
các chip quang tử này. “Những mạng lưới thần kinh bằng chip quang tử tận dụng các
nền tảng chip silicon quang tử, để có thể truy cập vào những khả năng mới của việc xử
lý thông tin siêu nhanh cho radio, tín hiệu điều khiển, và các tính toán khoa học.” Tait
và đồng nghiệp cho biết.
Điện toán quang học từ lâu đã là một giấc mơ vĩ đại của khoa học máy tính. Các
lượng tử ánh sáng có băng thông nhiều hơn đáng kể so với các electron (các điện tử) vì
vậy nó có thể xử lý nhiều dữ liệu hơn và nhanh hơn. Ví dụ: xử lý tín hiệu analog, vốn
luôn đòi hỏi tốc độ xử lý đặc biệt nhanh mà chỉ có các chip quang tử mới đáp ứng
được [36].
2.3.5 Y sinh
Lớp phủ nâng cao Nanophotonics cho hình ảnh pha trong sinh học. Khả năng
hình dung các vật thể trong suốt như tế bào sinh học có tầm quan trọng cơ bản trong
sinh học và chẩn đoán y tế. Các phương pháp tiếp cận thông thường để đạt được điều
này bao gồm kính hiển vi tương phản pha và các kỹ thuật dựa trên phương pháp
nhuộm hóa học các tế bào sinh học [37]. Tuy nhiên, các kỹ thuật này dựa vào các
thành phần quang học đắt tiền và cồng kềnh và trong một số trường hợp, làm hỏng tế
bào bằng cách đưa vào các chất tương phản hóa học. Những tiến bộ đáng kể gần đây

Trang 18
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

trong công nghệ chế tạo nano cho phép cấu trúc vật liệu ở quy mô nano với độ chính
xác chưa từng có. Điều này đã làm nảy sinh lĩnh vực siêu quang học mang tính cách
mạng nhằm mục đích phát triển các thành phần quang học siêu nhỏ gọn thay thế các
bộ phận quang học số lượng lớn của chúng, chẳng hạn như thấu kính và bộ lọc quang
học. Những thiết bị siêu quang như vậy thể hiện những đặc tính khác thường mà gần
đây chúng đã thu hút được sự quan tâm của giới khoa học như một nền tảng mới cho
các ứng dụng hình ảnh.
Trong một bài báo được xuất bản trên Light Science & Applications, một nhóm
nhà khoa học thuộc trung tâm Australian Research Council Center of Excellence, đã
phát triển một kính hiển vi siêu nhỏ gọn, có cấu trúc nano bìa mềm cho phép hình
dung các tế bào sinh học chưa nhuộm màu. Thiết bị này được gọi là tấm che phủ nâng
cao quang âm nano (NEC) vì nó bổ sung khả năng chụp ảnh theo pha cho tấm che
kính hiển vi thông thường. Trong nghiên cứu của mình, các nhà nghiên cứu đã chứng
minh rằng chỉ cần đặt các tế bào sinh học lên trên NEC, các hình ảnh 3D giả có độ
tương phản cao của các tế bào không nhìn thấy được sẽ thu được. Các nhà khoa học đã
sử dụng ví dụ về tế bào ung thư ở người (tế bào HeLa) để chứng minh tiềm năng của
phương pháp hình ảnh giai đoạn mới này. Phương pháp này không chỉ cho phép hình
dung hình dạng chung của tế bào ung thư mà còn giúp hiển thị chi tiết của nhân tế bào.
Ví dụ trên tế bào ung thư ở người (tế bào Hela) [37].
Tấm che phủ tăng cường quang âm nano (NEC) bổ sung khả năng chụp ảnh theo
pha cho tấm che kính hiển vi thông thường, do đó thu nhỏ các phương pháp tạo ảnh
theo pha cồng kềnh xuống kích thước của một con chip. Thiết kế dày dưới 200 nm bao
gồm khoảng cách bước sóng dưới bước sóng trên cùng của một màng mỏng quang
học, được hỗ trợ bởi chất nền thủy tinh.
Ví dụ về hình ảnh pha của tế bào ung thư ở người (tế bào HeLa) bằng NEC.
Bằng cách đặt đĩa Petri có chứa tế bào nuôi cấy trực tiếp lên trên NEC, hình ảnh 3D
giả của các tế bào sẽ được tạo ra. Hình ảnh thu được tương tự như hình ảnh thu được
bằng kỹ thuật tạo ảnh pha thông thường của kính hiển vi cản quang giao thoa vi sai
(DIC). Trong hình ảnh tham chiếu, được ghi lại mà không có NEC, các ô hầu như
không nhìn thấy [37].
Việc sử dụng thiết bị NEC không chỉ cho phép hình dung hình dạng chung của tế
bào mà còn cả các đặc điểm bên trong nhân tế bào. Điều này đã được xác nhận thông
qua so sánh với hình ảnh thu được qua kính hiển vi DIC thông thường và kính hiển vi
huỳnh quang.

Trang 19
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

Hình 2-15. Bố trí thí nghiệm - với bước sóng ánh sáng 637 nm chuẩn trực và phân cực với điện
trường song song với các đường cách tử trước khi đi qua đĩa Petri có chứa các tế bào HeLa cố
định phía trên NEC. Khi đi qua NEC, ánh sáng được thu bởi vật kính × 20 và được chụp ảnh
trên máy ảnh [38]

Hình 2-16. ảnh thu được kính hiển vi NEC (a) và hình ảnh kiến hiển vi thông thường (d), hình
ảnh kiến hiển vi huỳnh quang (e) [38]

Đây là một bước đột phá trong lĩnh vực chụp ảnh theo pha vì không cần phải
nhuộm hóa học, các thành phần quang học số lượng lớn hoặc xử lý sau bằng máy tính
như trường hợp của các phương pháp thông thường. Nghiên cứu này đã chứng minh
một phương pháp hình ảnh theo giai đoạn hoàn toàn mới có tiềm năng đáng kể để trở

Trang 20
 Chương 2: Tổng quan về vật liệu nanophotonics

thành một phần của các hệ thống hình ảnh sinh học và công cụ chẩn đoán y tế di động
trong tương lai [37].
2.3.6 Các ứng dụng khác
Từ chức năng quang học về điện tử đến hình ảnh cho sinh học, từ quan sát nâng
cao bằng đèn huỳnh quang kỹ thuật bẫy ánh sáng cho pin mặt trời và từ tàng hình
quang học đến quang học bộ lọc, quang học nano đã là một công nghệ then chốt ứng
dụng trong rất nhiều lĩnh vực. Hiện nay, rất nhiều nghiên cứu vẫn đang được thực hiện
dựa trên lĩnh vực này và được bổ sung những điểm mới, điểm sáng tạo, tiến bộ liên tục
của công nghệ nano. Ví dụ, làm chủ việc lắp ráp các hạt nano trong các vật thể nano
phức tạp hơn sẽ mở đường cho việc kiểm soát hầu hết các thuộc tính của vật chất. Nếu
sự ủng hộ của nghiên cứu càng cao, thì điều này sẽ dẫn đến những tiến bộ to lớn trong
y tế, viễn thông, năng lượng sạch, an toàn môi trường… [24]

Trang 21
 Chương 3: Phương pháp tổng hợp vật liệu nanophotonics

CHƯƠNG 3: PHƯƠNG PHÁP TỔNG HỢP VẬT LIỆU

NANOPHOTONICS
Hiện nay, có rất nhiều phương pháp tổng hợp các vật liệu nano hiện nay như tổng
hợp vật lý, hóa học, kết hợp hay phương pháp electrospinning,… Đối với vật liệu mới
như nanophotonics thì cũng được tổng hợp dựa trên các phương pháp phổ biến trên.
Ngoài ra vật liệu nanophotonic cũng được tổng hợp từ nhiều phương pháp khác như
phương pháp mẫu, kỹ thuật nanolithography, kỹ thuật ghi trực tiếp bằng laser (DLW)
hay tổng hợp PC bằng phương pháp kim loại và tunable.
3.1 Phương pháp mẫu
3.1.1 Mẫu cứng
Việc sử dụng các mẫu cứng đại diện cho một cách tiếp cận linh hoạt trong việc
tổng hợp các vật liệu nano 1D, bao gồm thanh nano, dây nano và ống nano. Có thể
kiểm soát tốt độ dài đường kính với các mẫu cứng vì hình dạng và hình thái của các
vật liệu nano tạo thành trên cơ sở mẫu đó. Hơn thế, việc kiểm soát mật độ lỗ trên
khuôn mẫu cho phép sản xuất các mảng dây nano (thanh nano, ống nano) sẽ được căn
chỉnh với mật độ và năng suất mong muốn. Trong một tổng hợp mẫu cứng điển hình,
các lỗ rỗng được lấp đầy bằng dung dịch đơn chất hoặc tiền chất và tiếp theo là quá
trình điện trùng hợp (hoặc lắng đọng điện) trong các kênh nano của mẫu sẽ tạo ra các
cấu trúc nano polymer mô phỏng kích thước các lỗ rỗng. Sau đó, khuôn mẫu được loại
bỏ bằng acid hoặc base để giải phóng các cấu trúc nano tự do. Đề tài này sẽ tập chung
vào màng khắc theo dõi hạt (PTMs), Màng Anodic Aluminum (AAO) [39].
3.1.1.1 Màng khắc theo dõi hạt (PTMs)
Màng polymer xốp, đặc biệt là màng polycarbonate, thường được sử dụng làm
khuôn mẫu cứng cho sự tổng hợp các dây nano. Những màng xốp này, được gọi là
màng khắc theo vết hạt (PTMs), được thương mại hóa có sẵn ở nhiều kích cỡ lỗ chân
không khác nhau. (hình A, B cho thấy ảnh hiển vi electron của PTMs; đường kính lỗ
của mẫu A và B lần lượt là 1μm và 30nm. PTMs đã được sử dụng rộng rãi trong quá
trình tổng hợp sợi nano và ống nano. Hình 3-1 F cho thấy sơ đồ quy trình của các quá
trình tổng hợp sợi nano và ống nano bằng mẫu polycarbonate khắc theo dõi [39].

Trang 22
 Chương 3: Phương pháp tổng hợp vật liệu nanophotonics

Hình 3-1. (A-D) Hình ảnh kính hiển vi điện tử của mẫu cứng: (A) Hình ảnh SEM của màng khắc
theo vết hạt (PTM) với đường kính lỗ rỗng 1 μm; (B) Hình ảnh TEM của bản sao than chì của
PTM có lỗ rỗng đường kính 30 nm; (F) Sơ đồ tổng hợp các dây nano và ống nano với sự hỗ trợ
của các mẫu cứng polycarbonate khắc rãnh (PC) [40]

Sự trùng hợp của một monome diễn ra trong màng lỗ chân không và do đó,
đường kính của cấu trúc nano 1D được tạo ra phụ thuộc vào kích thước của lỗ tiêu
bản. Tuy nhiên, các mẫu PTMs này thường được tạo ra một cách ngẫu nhiên bắn phá
các ion, và do đó cấu trúc xốp không được kiểm soát và tổ chức tốt.
3.1.1.2 Màng Anodic Aluminum Oxide (AAO)
Mẫu AAO với các lỗ rỗng hình trụ có đường kính từ 5 đến 270 nm được sản xuất
theo quy trình anode hóa gồm hai bước. Trước hết một tấm nhôm được đánh bóng
bằng điện để loại bỏ oxide và sau đó được trải qua quá trình anode hóa trong dung
dịch điện phân có tính acid. Sau đó bất kỳ oxide nào được tạo ra đều được loại bỏ
trong dung dịch chromate và quá trình anode hóa thứ hai được thực hiện để tạo ra cấu
trúc tổ ong trong alumina. Ngoài ra kích thước lỗ chân lông có thể được kiểm soát
bằng cách điều chỉnh thành phần, nồng độ và nhiệt độ của dung dịch điện phân có tính
acid và điện áp đặt vào, ngược lại chiều dài của lỗ hình trụ có thể được điều chỉnh theo
thời gian anode hóa. Hình 4C, D cho thấy hình ảnh SEM và TEM của mẫu AAO có lỗ
chân lông 70 và 10 nm. "Các lỗ chân lông có hoa văn hình lục giác, được căn chỉnh tốt
với đường kính đồng nhất có thể thu được ở mật độ lỗ chân lông cao (tăng 1×1011/
cm2). Vật liệu hữu cơ có thể xâm nhập vào lỗ hình trụ của AAO mẫu và được đông
đặc từ pha hơi, dung dịch, hoặc trạng thái chất lỏng tiền thân để tạo ra dây nano hoặc
ống nano. Sau khi tổng hợp, mẫu AAO bị loại bỏ bởi nhúng và hòa tan mẫu trong
dung dịch NaOH [39].

Trang 23
 Chương 3: Phương pháp tổng hợp vật liệu nanophotonics

Hình 3-2. (C) Hình ảnh SEM của oxit nhôm anốt (AAO) màng có đường kính lỗ 70 nm và (D)
TEM hình ảnh của Màng AAO cắt đoạn với đường kính lỗ 10 nm [40]

3.1.2 Mẫu mềm

3.1.2.1 khối Copolymer làm khuôn mẫu
Copolymer khối thích hợp làm mẫu để tổng hợp các vật liệu nano khác nhau do
khả năng nội tại của chúng để lắp ráp các phân tử thành các cấu trúc có trật tự với các
miền phân cách pha ở kích thước nano. Bằng cách điều chỉnh thành phần khối, hình
thái kích thước nano của các tổ hợp đồng trùng hợp khi đó khối có thể được điều chỉnh
từ hình cầu, hình trụ, lamellae, đến kim cương đôi có thứ tự hai lần liên tục. Ngoài ra,
để tổng hợp vật liệu nano 1D, các copolymer khối sẽ tạo thành một dạng hình trụ. Sử
dụng cách khắc ion phản ứng, chiếu xạ UV và xử lý base nhẹ thì có thể loại bỏ một
cách có chọn lọc một khối cụ thể của copolymer khối. Như vậy với cách ưu tiên loại
bỏ các miền hình trụ nên các vật liệu nano hoặc kênh nano rỗng được tạo ra như thế có
thể thấy màng copolymer khối có thể đóng vai trò như một khuôn mẫu [39].

Trang 24
 Chương 3: Phương pháp tổng hợp vật liệu nanophotonics

Hình 3-3. (A) Minh họa việc chế tạo khối copolymer mẫu của mảng mật độ siêu cao của các
thanh nano polymer dẫn điện. (B) Hình ảnh SEM của khuôn mẫu nano xốp và thanh nano PPy:
(a) mặt trên và (b) hình ảnh mặt cắt của màng hỗn hợp polystyrene-block-poly (methyl
methacrylate) (PS-b-PMMA) PS-b-PMMA / Poly(methyl methacrylate) PMMA trên kính ITO;
và (c) trên cùng và (d) hình ảnh mặt cắt ngang của thanh nano PPy sau khi loại bỏ mẫu [41]

3.1.2.2 Chất hoạt động bề mặt và chất kết tụ dưới dạng mẫu
Chất hoạt động bề mặt là các phân tử lưỡng tính có thể tự tập hợp trong dung
dịch tạo thành các cấu trúc nano khác nhau như các micelle (hoặc các micelle nghịch
đảo) có nhiều hình dạng khác nhau, khi nồng độ của chất hoạt động bề mặt cao hơn
nồng độ tới hạn của micelle (CMC). Và các micelle có thể cung cấp một môi trường vi
mô cho quá trình trùng hợp khi đó kích thước và hình thái của cấu trúc nano polymer
tạo thành nó sẽ bổ sung cho cấu trúc của tổ hợp chất hoạt động bề mặt. Ví dụ trùng
hợp hóa học Polypyrrole (Ppy) trong dung dịch sodium bis(2-ethylhexyl)
sulfosuccinate (AOT) sẽ tạo ra các sợi dây nano và ống nano với đường kính từ 40 đến
300 nm [39].

Trang 25
 Chương 3: Phương pháp tổng hợp vật liệu nanophotonics

Hình 3-4. (A) Minh họa quá trình tổng hợp ống nano PPy (2) được hỗ trợ bởi chất hoạt động bề
mặt. (B) (a) Ảnh SEM và (b) TEM của ống nano PPy (2) [42]

3.1.2.3 Tinh thể lỏng làm mẫu

Sử dụng chất lỏng tinh thể (LC) làm khuôn mẫu mềm để tạo ra vật liệu nano hữu
cơ 1D đã được chứng minh từ nhiều năm. Tinh thể lỏng nematic, có trật tự định
hướng, có thể chỉ đạo sự tự lắp ráp của các phân tử nhỏ và polymer trong quá trình
tổng hợp cấu trúc nano [39].
3.1.2.4 Sợi nanopolymer làm mẫu
Electrospun sợi nano của polyme cách điện đã được chứng minh là hoạt động
làm khuôn mẫu mềm để tổng hợp sợi nano và ống nano bằng nhiều vật liệu khác nhau.
Một số yêu cầu chính cần được đáp ứng để phù hợp với phương pháp này là hình thái
và kích thước của sợi lõi quan trọng trong việc xác định hình thái ống nano và kích
thước. Để chế tạo ống nano, vật liệu sợi lõi phải có thể quay điện thành sợi nano siêu
mịn [39].
3.1.2.5 Các phân tử sinh học làm mẫu
Các phân tử sinh học, chẳng hạn như dưới dạng DNA, protein và các túi lipid, và
vi sinh vật, nấm đã được khám phá như một mẫu mềm để tổng hợp các cấu trúc nano
hữu cơ và vô cơ. Trong số những mẫu đó, ADN là một trong những mẫu đầu tiên và
thường được nghiên cứu. Ví dụ về các mẫu phân tử sinh học được sử dụng để sản xuất
dây nano hữu cơ dẫn và bán dẫn. DNA tương đối ổn định, nó có thể lập trình được độ
dài và dễ dàng về các chức năng hóa học. Phương pháp tổng hợp sử dụng các tương
tác không cộng hóa trị giữa DNA và các phân tử khác (monome và oligome), dẫn đến
việc hình thành nên các vật liệu lai [39].
3.2 Phương pháp Electrospining

Trang 26
 Chương 3: Phương pháp tổng hợp vật liệu nanophotonics

Phương pháp electrospinning là một trong những phương pháp đang rất phổ biến
trong việc chế tạo sợi nano. Phương pháp electrospinning là kỹ thuật sử dụng lực điện
để kéo ra những sợi rất mảnh từ một chất lỏng nhớt. Khi đặt điện áp cao vào đầu phun
và khối thu sợi (được nối đất) để tạo một điện trường lớn. Một dòng điện rất nhỏ tạo
ra, làm đầu phun bị nhiễm điện. Sau đó, dung dịch đi qua đầu phun này cũng bị nhiễm
điện và các hạt mang điện được gia tốc bởi điện trường, kéo dung dịch chuyển động
theo chiều của điện trường. Kết quả là dung dịch được tăng tốc đều và hình thành sợi
mỏng với bán kính nhỏ từ micromet đến nanomet [43].

Hình 3-5. Mô tả các khối cơ bản của thiết bị quay điện [44]

Bằng cách thay đổi nồng độ dung dịch, độ nhớt, dung môi, cường độ điện trường,
chúng ta sẽ kiểm soát được hình dạng, kích thước của sợi. Vì không sử dụng nhiệt độ
cao nên phương pháp này phù hợp để dùng với các loại phân tử kém bền nhiệt. Sự tạo
thành từng giọt tại đầu kim phun với ảnh hưởng của sức căng bề mặt và điện áp thích
hợp đã tạo ra được các sợi nano khác nhau để phù hợp với từng ứng dụng khác nhau.
Điện áp cao gây ra một lực lớn làm phá vỡ sức căng mặt ngoài của giọt chất lỏng, khi
đó sợi kéo ra dài liên tục (chuỗi liên tục). Do vậy, với phương pháp này cho phép dễ
dàng điều khiển được đường kính và chiều dài của các sợi [45].
Có thể chế tạo được vật liệu cấu trúc nano dạng sợi có hình thái khác nhau. Sản
phẩm sợi phụ thuộc vào các thông số của dung dịch và lực tĩnh điện. Các thông số đó
bao gồm: độ nhớt, sức căng bề mặt, nồng độ dung dịch, lưu lượng dung dịch và điện
áp...
3.3 Kỹ thuật Nanolithography
Một trong những phương pháp phổ biến nhất để chế tạo tấm tinh thể quang tử
phẳng 2D Là phương pháp in thạch bản chùm điện tử trong đó một chùm điện tử hội tụ

Trang 27
 Chương 3: Phương pháp tổng hợp vật liệu nanophotonics

được quét xuyên qua một chất nền kháng để tạo ra một khuôn mẫu. Độ phân giải của
các lỗ trống được tạo ra (10–20 nm) về cơ bản bị giới hạn bởi sự tán xạ của điện tử bên
trong và từ điện trở của chất nền. Sau đó, các mẫu được chuyển lên chất bán dẫn bằng
cách khắc khô (ion phản ứng) khắc. Khắc khô có thể được xem là có cơ sở vật lý và
hóa học; cái trước liên quan đến sự bắn phá của các ion trong khi cái sau liên quan đến
các phản ứng hóa học giữa chất bán dẫn được khắc và các ion. Ngoài ra, hạn chế chính
của kỹ thuật in thạch bản chùm điện tử là một quá trình nối tiếp nên nó hạn chế cho
việc sản xuất khối lượng lớn [17].
Kỹ thuật Nanolithography là quy trình in tạo ra được nhiều bản sao từ một bản
gốc với các tính ở quy mô nanomet. Các phương pháp khác nhau đã được phát triển để
thực hiện phép in thạch bản ở quy mô kích thước nano. Ví dụ về kỹ thuật
nanolithographic đã được áp dụng để tổng hợp các dây nano hữu cơ bán dẫn bao gồm
in thạch bản chùm điện tử (EBL), in thạch bản đầu dò quét (SPL), in thạch bản mềm,
và những phương pháp khác. Ngoài ra, không giống như các chiến lược khác cho việc
tổng hợp các dây nano, phương pháp tiếp cận nanolithographic có thể tạo ra các mẫu
1D và 2D trên một màng mỏng bán dẫn hữu cơ với việc hướng, kích thước, tỷ lệ co và
chu kỳ được kiểm soát một cách chính xác. Các mẫu có thể hoặc không thể trở thành
các dây nano riêng biệt vào cuối tiến trình. Nói chung, các cấu trúc nano hữu cơ được
chế tạo ra bằng phương pháp in nanolithographic có xu hướng vô định hình ngoài trừ
một số trường hợp mà sự tự láp ráp của các phân tử được định hướng [39].
3.3.1 Quang khắc chùm điện tử (EBL)
Phương pháp in khắc chùm tia điện tử (EBL) là một phương pháp tạo mẫu có cấu
trúc nano mà không có mặt nạ mà các kỹ thuật quang khắc thông thường không thể
tiếp cận được bởi vì giới hạn nhiễu xạ của ánh sáng. EBL quét chùm tia điện tử để tạo
ra một đã được thiết kế lên một màng mỏng. Đặc biệt hơn EBL có thể tạo các mẫu có
độ phân giải cao với kích thước nhỏ hơn hơn 100 nm [39].
3.3.2 Phương pháp in bản đầu dò quét (SPL)
Kỹ thuật in thạch bản đầu dò quét (SPL) là một kỹ thuật rất mạnh mẽ nó có thể
xử lí các vị trí có độ phân giải không gian nhỏ hơn 10 nm. Quét quang khắc trường
gần, quét phân tán nano hóa nhiệt, quét kỹ thuật in thạch bản điện hóa và kỹ thuật in
nano bút nhúng là những ví dụ về kỹ thuật SPL đã được được sử dụng để tổng hợp các
dây nano bán dẫn hữu cơ. Vì kính hiển vi thăm dò quét (SPM) có nhiều biến thể tùy
thuộc vào cơ chế tác động lẫn nhau nên đã dẫn đến kỹ thuật phân tích nano dựa trên
PSL đã phát triển theo nhiều hướng [39].

Trang 28
 Chương 3: Phương pháp tổng hợp vật liệu nanophotonics

3.3.3 In Nanoimprint và kỹ thuật in bản mềm

Kỹ thuật in thạch bản mềm là một kỹ thuật không phổ biến trong đó một con tem
đàn hồi được sử dụng để tạo cấu trúc bên trong vật liệu có kích thước bên trong vật
liệu từ ∼30 nm đến 500 μm. Con tem được thực hiện bằng cách đúc một tiền chất đàn
hồi lên mặt một bản gốc có hoa văn được chế tạo bằng phương pháp in thạch bản
quang học, quang khắc điện tử hay vi gia công [17].
In Nanoimprint còn được gọi là in nổi là phương pháp được nghiên cứu rộng rãi
nhất trong số các phương pháp in mềm. là một phương pháp chế tạo các mẫu quy mô
nanomet. Đây là một quy trình in Nanolithography đơn giản với chi phí thấp, thông
lượng cao và độ phân giải cao. Nó tạo ra các mẫu bằng cách biến dạng cơ học của điện
trở in và các quá trình tiếp theo [43].
Kỹ thuật in nanoimprint và in thạch bản mềm thường được coi là các phương
pháp hứa hẹn nhất có thể thay thế các phương pháp quang khắc thông thường nhờ sự
kết hợp của độ phân giải cao, hiệu quả về chi phí có thông lượng cao và khả năng tạo
mẫu diện tích lớn [39].
3.3.4 Kỹ thuật in bản giao thoa
Kỹ thuật in thạch bản giao thoa không có mặt nạ (IL) hoặc in thạch bản ba chiều
là một phương pháp tạo ra các mẫu trong một bộ quang học khi các đường đi tối ưu
của hai hoặc nhiều sóng điện từ xếp chồng lên nhau trong không gian. Mô hình giao
thoa 3D cũng có thể được thực hiện bằng cách sử dụng một phần tử nhiễu xạ duy nhất
thay vì bộ tách chùm. Giống như tinh thể keo, các cấu trúc 2D và 3D có thể được sử
dụng làm mẫu có thể kết hợp các vật liệu tương phản có chỉ số khúc xạ cao hơn cho
các ứng dụng PC. Ngoài ra, IL có thể được sử dụng để chế tạo trực tiếp PC 3D từ chất
cảm quang kính chalcogenide chỉ số cảm quang cao [17].
3.4 Kỹ thuật ghi trực tiếp bằng laser (DLW)
Sự sẵn có của laser cực nhanh đã cho phép chế tạo các mẫu PC bằng cách ghi
laser trực tiếp (DLW). Tại đây, đầu ra của một tia laser cực nhanh được tập trung bên
trong chất cản quang hoặc nhựa lỏng để bắt đầu hấp thụ phi tuyến hai photon hoặc cao
hơn tại một vị trí không gian cụ thể. Sự hấp thụ có thể gây ra hư hỏng quang học hoặc
phản ứng quang phân tử. Chất cản quang được chọn để trong suốt đối với bước sóng
laser ở mức một photon nhưng quang hoạt khi hấp thụ phi tuyến. Điều này đảm bảo
rằng sửa đổi cảm ứng quang học xảy ra ở mặt phẳng tiêu điểm đã chọn [17].
3.5 Các loại khác của Photonic crystals (PCs)

Trang 29
 Chương 3: Phương pháp tổng hợp vật liệu nanophotonics

3.5.1 PCs kim loại

Hầu hết các Photonic crystal (PC) được làm bằng vật liệu điện môi nhưng vẫn có
một số ưu điểm trong việc xây dựng các cấu trúc tuần hoàn khi sử dụng vật liệu kim
loại để chế tạo PC. Đặc biệt là những PC như vậy được cho là tương đối rẻ hơn so với
các cụm điện môi và còn có cân nặng nhẹ hơn [17].
3.5.2 PCs có thể điều chỉnh được
Hiện nay nhiều người quan tâm đến việc chế tạo Photonic crystal (PC) có các đặc
tính có thể thay đổi để thích ứng với các kích thích bên ngoài vì vậy chúng có tiềm
năng trong ứng dụng của chuyển mạch quang học và cảm biến. PCs có thể điều chỉnh
thể hiện các bước sóng hoặc cường độ nhiễu xạ khác nhau khi tiếp xúc với kích thích
vật lý hoặc kích thích hóa học. Một cách để tiếp cận được đề cập ở đây là chế tạo cấu
trúc quang tử bằng cách sử dụng các khối xây dựng tự đáp ứng và cách tiếp cận thứ
hai là giới thiệu một tài liệu đáp ứng vào các khoảng trống của PC để tạo ra một cấu
trúc tổng hợp. Các vật liệu được sử dụng trong hoặc cho PC sẽ quyết định phần lớn
đến sự phù hợp nhất với các kích thích bên ngoài [17].
Kích thích vật lý: Sự thay đổi nhiệt độ là một kích thích phổ biến có thể được áp
dụng bằng cách đốt nóng hoặc bằng cách chiếu tia laser.
Kích thích hóa học: Một trong những cách tiếp cận hóa học đơn giản nhất để điều
chỉnh được các đặc tính của PC là xâm nhập vào các cấu trúc xốp với dung môi và hơi
dẫn đến sự thay đổi trong chỉ số khúc xạ của tổ hợp. Các PCs làm bằng hydrogel và
được chức năng hóa bằng hợp chất crown ethers để liên kết có chọn lọc Pb 2+, Ba2+ và
K+ vao mạng lưới gel được phát hiện là sưng lên do sự gia tăng áp suất thẩm thấu là
kết quả của thế Donnan phát sinh từ các ion ngược chiều tương tác với các cation [17].

Trang 30
 Chương 4: Kết luận và kiến nghị

CHƯƠNG 4: KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ

Thông qua đồ án lần này giúp đưa ra một cái nhìn tổng quát hơn về vật liệu
nanophotonic và có cái nhìn sơ lượt về công nghệ nano. Ngoài ra việc tìm hiểu sâu
hơn về nanophotonic đã cho thấy các ứng dụng đa dạng của nanophotonic trong nhiều
lĩnh vực khác nhau trong đời sống đã được đề cập trong đồ án này như y sinh, năng
lượng, điện tử,... Cùng với đó là một số phương pháp chế tạo vật liệu có kích thước
nano cho ứng dụng về nanophotonics và với rất nhiều công trình nghiên cứu về vật
liệu nanophotonic như trên đã chứng minh được tiềm năng của vật liệu nanophotonic
và tính ứng dụng đa dạng của nó trong nhiều lĩnh vực. Một vật liệu phát triển từ
nanophotonic là tinh thể quang tử (photonic crystal) là một loại vật liệu nguyên cứu về
hành vi của ánh sáng trên quy mô nanomet nó là một vật liệu quang học hấp dẫn để
kiểm soát và điều khiển luồng ánh sáng. Việc nghiên cứu vật liệu nanophotonic đem
đến khả năng thu nhỏ kích thước của thiết bị và đông thời nâng cao hiệu quả của thiết
bị đem đến một bước đột phá mới trong công nghệ.
Thế kỷ XXI được gọi nhiều là thế kỷ của công nghệ nano và là bình minh của
nanophotonic. Một lĩnh vực của quang tử được nghiên cứu rộng rãi trên thế giới tuy
nhiên Việt Nam chưa có nhiều nghiên cứu về lĩnh vực nanophotonic này ở trong nước
mặc dù nanophotonic có tiềm năng lớn ứng dụng cho các thiết bị hiện đại hơn. Công
nghệ Việt Nam đang ngày càng hiện đại hơn rất mong sẽ có nhiều nghiên cứu hơn về
nanophotonic ở đất nước ta với mục đích khai phá các ứng dụng của nó và sẽ có những
công trình nghiên cứu được thế giới ghi nhận.
Hy vọng đề tài này sẽ giúp thầy cô và các bạn có một cái nhìn tổng quan về công
nghệ nano và nanophotonic, các ứng dụng của nó và tiềm năng phát triển của
nanophotonic. Nhóm thực hiện hy vọng có thể nhận được một số đóng góp ý kiến để
đồ án được hoàn thiện hơn do trong quá trình tìm hiểu về đề tài có những mặt hạn chế
nhất định là về vật liệu nanophotonic chưa được nghiên cứu rộng rãi ở Việt Nam và
các khó khăn khi nghiên cứu đề tài này khi dịch bệnh Covid-19 đang bùng phát.

Trang 31
TÀI LIỆU THAM KHẢO

Trang 32