Hướng dẫn tính toán xác định câu hỏi cần làm-Trieu Quang Tu(48)

(Lấy số thứ tự trong danh sách chia 5 lấy phần dư) + 1  Nhóm tương ứng của câu 1
(Lấy 3 số cuối mã sinh viên chia 6 lấy phần dư) + 1  Nhóm tương ứng của câu 2
Ví dụ:
14. Tạ Hồng Hải 1814103463
Câu 1: (14 chia 5 dư 4)+1 = 5  Câu 1 nhóm 5
Câu 2: (463 chia 6 dư 1)+1 = 2  Câu 2 nhóm 2
Đề bài
Câu 1
Nhóm Câu hỏi
1 Người ta cần lớp oxide cho cực Gate của một transistor FET có độ dày là
1000Å. Quá trình oxi hóa được tiến hành ở 1000 oC trong O2 KHÔ. Nếu
không có lớp oxide ban đầu thì cần phải tiến hành oxi hóa trong bao lâu ?
Chế độ oxi hóa là tuyến tính, parabol hay hỗn hợp giữa các chế độ ?
2 Thực hiện cấy ion B với năng lượng 30keV vào đế Si, liều cấy là 1012cm-2.
- Tính chiều sâu tại đó nồng độ B là cực đại
- Tính nồng độ cực đại
- Tính nồng độ B tại chiều sâu 3000 Å
3 Người ta cần lớp oxide cho cực Gate của một transistor FET có độ dày là
1000Å. Quá trình oxi hóa được tiến hành ở 1000 oC trong O2 ƯỚT. Nếu
không có lớp oxide ban đầu thì cần phải tiến hành oxi hóa trong bao lâu ?
Chế độ oxi hóa là tuyến tính, parabol hay hỗn hợp giữa các chế độ ?
4 Để chế tạo một linh kiện Silic, người ta cần cấy Bo với nồng độ cực đại là
1017 cm-3 tại chiều sâu 3000 Å. Hãy xác định năng lượng ion và liều cấy
cần thiết. Tìm chiều sâu của chuyển tiếp ngay sau khji cấy nếu đế là Si loại
n có nồng độ pha tạp là 1015 cm-3
5 Cần phải nuôi một lớp oxide có độ dày 1μm để làm cách điện trong công
nghệ lưỡng cực. Oxi hóa được tiến hành ở 1100 oC. Nếu quá trình xảy ra
trong môi trường ướt và áp suất khí quyển. Hãy tính thời gian oxi hóa cần
thiết

Câu 2
Trên đế Silic nguyên chất, hãy mô tả các công đoạn để chế tạo một linh kiện điện tử có
cấu trúc như hình vẽ. Yêu cầu:
- Hãy tự lựa chọn và sắp xếp thứ tự các công đoạn chế tạo sao cho phù hợp
 - Với mỗi lớp vật liệu cần lựa chọn kỹ thuật tương ứng (làm mặt nạ, quang khắc,
cấy ion hoặc khuếch tán). Với công đoạn oxi hóa, cần chọn loại oxi hóa khô/ướt
và tính toán điều kiện nhiệt độ, thời gian tương ứng. Với công đoạn khuếch tán
cần chọn loại tạp chất khuếch tán tương ứng, tính toán thời gian, liều khuếch tán.
Với công đoạn cấy ion, cần chọn loại tạp chất, tính toán liều, năng lượng ion, thời
gian cấy sao cho phù hợp.
- Khuyến khích sinh viên có phần mô phỏng một/nhiều công đoạn trong quá trình
chế tạo linh kiện
Nhó Cấu trúc linh kiện
m
1

2
3

Lưu ý:
- Các thông số khác không cho trong bài sinh viên có thể tự chọn tùy ý sao cho phù
hợp