MỞ ĐẦU

1. Tính cấp thiết của đề tài

Môi trường không khí có vai trò rất quan trọng đối với sức khởe và tuổi thọ
của con người. Tuy nhiên, ô nhiễm không khí là một vấn đề rất nóng hiện nay, ô
nhiễm không khí là do khí thải từ công nhiệp, khí thải từ phương tiện giao thông,
khí thải từ dân sinh vì vậy trong không khí có các loại khí như CO, CO2, NOx, H2S,
hidrocacbon,... Các khí này gây nên hiệu ứng nhà kính, hiện tượng axit hóa đại
dương, đó chính là vấn mang tính toàn cầu được cả thế giới quan tâm. Trong đó H2S,
SO2 là khí rất độc, gây ảnh hưởng rất lớn đến sức khỏe con người. Chính vì vậy, việc
phát hiện, đo đạc nồng độ khí H2S, SO2 là rất quan trọng. Thực tế đã có nhiều thiết
bị cảm biến phát hiện khí độc, trong đó cảm biến khí trên cơ sở oxit kim loại thu hút
được quan tâm của nhiều nhà khoa học bởi ưu điểm độ nhạy cao, độ bền cao, có thể
hoạt động ở môi trường nhiệt độ cao. Điển hình là vật liệu nano SnO2 và nano CuO
có độ nhạy khí cao, thời gian hồi đáp nhanh. Ngoài ra, vật liệu oxít SnO2, CuO với
nhiều tính năng ưu việt về khả năng bền hóa, bền nhiệt nên đã được nghiên cứu và
ứng dụng rộng rãi trong cuộc sống. Bên cạnh đó, nhiều yếu tố ảnh hưởng đến đặc
tính của vật liệu cảm biến như kích thước, tạp chất, hình thái của vật liệu… Bằng
nhiều phương pháp hóa lý khác nhau các hình thái của vật liệu cảm biến khí kích
thước nano đã được chế tạo, trong đó hình thái dạng dây nano là một hình thái mới
đã và đang được các nhóm nghiên cứu quan tâm. Với nhiều đặc tính quý báu và khả
năng ứng dụng rộng rãi đó, vấn đề nghiên cứu “Chế tạo cấu trúc một chiều trên lá
đồng (Cu foil) ứng dụng trong cảm biến khí” có tính mới, có ý nghĩa rất lớn cho
khoa học và thực tiễn.
2. Mục đích, nhiệm vụ nghiên cứu
• Mục đích nghiên cứu
Tổng hợp vật liệu bán dẫn SnO2 và CuO có cấu trúc nano trên lá đồng
bằng phương pháp lắng đọng hóa học pha hơi ( Chemical Vapor Deposition-
CVD). Sử dụng vật liệu SnO2 và CuO để chế tạo thiết bị cảm biến khí.
• Nhiệm vụ nghiên cứu
- Nghiên cứu đặc trưng nhạy khí của vật liệu bán dẫn.
- Nghiên cứu tổng hợp vật liệu SnO2, CuO có cấu trúc nano
- Phân tích cấu trúc hình thái bề mặt vật liệu đã chế tạo.
- Xây dựng hệ đo khí.
- Khảo sát đặc trưng nhạy khí của vật liệu đã chế tạo dưới các điều kiện
khác nhau.
- Chế tạo thiết bị cảm biến khí sử dụng vật liệu nano SnO2 và CuO.
3. Đối tượng nghiên cứu
• Đối tượng nghiên cứu
Vật liệu nano SnO2 và CuO ứng dụng trong cảm biến khí, những yếu tố ảnh
hưởng đến đặc trưng nhạy khí của vật liệu.
4. Phương pháp nghiên cứu
- Phương pháp nghiên cứu tài liệu:
Tra cứu, tìm hiểu, tham khảo các tài liệu trên thư viện, các bài báo,
tạp chí khoa học trong nước và nước ngoài. Tổng hợp các thông tin thu
thập được thành hệ thống kiến thức về các loại vật liệu cảm biến khí, ứng
dụng của vật liệu trong khoa học và thực tiễn.
- Phương pháp thực nghiệm:
• Phương pháp tổng hợp vật liệu SnO2 trên lá đồng
+ Sử dụng một lá đồng (kích thước 1 cm × 2 cm) được rửa sạch bằng
ethanol và được sấy khô bằng khí nitơ.
+ Bột SnO được đưa vào tâm của ống thạch anh trên một chiếc thuyền
alumina, phía trên đặt một lá đồng kích thước 1 cm × 2 cm.
+ Nâng nhiệt độ của lò nung từ nhiệt độ phòng lên đến 750oC tốc độ
gia nhiệt là 5 oC/phút. Khi nhiệt độ đạt khoảng 600oC thì mở khóa van khí,
đưa không khí khô vào ống. Áp suất trong ống thạch anh ở mức 5×10-3 torr.
+ Duy trì nhiệt độ 750oC trong các khoảng thời gian 10, 20, 40, 60
phút.
• Phương pháp tổng hợp vật liệu CuO trên lá đồng
+ Thí nghiệm được thực hiện trên lá đồng có kích thước 1 cm × 1 cm,
độ dày 0,2mm, đã được rửa bằng ethanol và sấy khô bằng khí nitơ.
+ Dây nano CuO được tổng hợp trên lá Cu bằng quá trình oxy hóa
nhiệt trong không khí ở nhiệt độ 350oC(thời gian 20 phút, 30 phút, 40phút,
60 phút, 1giờ, 2 giờ).
+ Trong thí nghiệm, tốc độ gia nhiệt là 5oC / phút.
+ Sau khi bị oxy hóa, mẫu được làm nguội tự nhiên đến nhiệt độ
phòng.
• Phương pháp chế tạo màng nhúng phủ
Nhúng phủ là một phương pháp tạo màng mỏng hiệu quả. Quá trình
tạo màng bằng phương pháp này được mô tả như sau: Mẫu cần phủ màng có
một đầu được gắn cố định với một mô tơ. Mô tơ có thể được quay ở các tốc
độ quay khác nhau. Mẫu được nhúng vào trong dung dịch cần tạo màng ,
cho mô tơ quay và kéo từ từ mẫu lên với tốc độ thấp . Khi mẫu ra khỏi dung
dịch trên bề mặt mẫu có một lớp mỏng vật liệu bám dính. Độ nhớt của dung
dịch tạo màng và tốc độ kéo đế được điều chỉnh để tạo màng mỏng mong
muốn.
• Phương pháp nghiên cứu vật liệu SnO2
+ Phương pháp nhiễu xạ tia X
Nhiễu xạ tia X là một trong các phương pháp giúp xác định cấu trúc
vật liệu. Khi chiếu chùm tia X vào mẫu, do tính tuần hoàn của mạng tinh thể
xây dựng lên các mặt song song và cách đều nhau nên các tia X bị tán xạ
 trên các mặt mạng sẽ cho các cực đại giao thoa theo phương thoả mãn điều
kiện phản xạ Bragg.
+ Phương pháp chụp ảnh hiển vi quét phát xạ trường (FESEM)
Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường cho hình ảnh phân giải cao
thông tin về bề mặt và cấu trúc vật liệu. Người ta thường kết hợp chụp ảnh
hiển vi điện tử với phổ tán xạ năng lượng tia X (EDS, EDX) để phân tích
định lượng các nguyên tố có mặt tại một vị trí trên bề mặt mẫu. Cả hai
phương pháp FESEM và EDS đều sử dụng chùm điện tử hội tụ có năng lượng
từ vài trăm eV đến 40 keV chiếu lên bề mặt mẫu, các thông tin thu được như
điện tử thứ cấp, điện tử tán xạ ngược và tia X đặc trưng sẽ cung cấp hình ảnh
bề mặt cũng như cho biết thành phần các nguyên tố có mặt trong vật liệu.
Khả năng phân giải của ảnh FESEM có thể đạt 5 nm. Phương pháp này đòi
hỏi làm việc trong chân không cao (~10-3 Pa).
+ Phương pháp chụp ảnh hiển vi điện tử truyền qua (TEM)
Về nguyên tắc thì phương pháp chụp TEM giống với chụp SEM, chỉ
khác là tín hiệu thu được từ TEM là các điện tử truyền qua màng vật liệu mà
không phải điện tử phát xạ bề mặt. Chính từ đặc điểm trên, khâu chuẩn bị
mẫu cũng khác nhiều so với mẫu chụp SEM. Đối với ảnh SEM thì mẫu chuẩn
bị có thể ở dạng màng dày, màng mỏng, mẫu khối, mẫu bột còn với TEM,
mẫu bắt buộc phải là màng mỏng có chiều dày dưới 100 nm. Màng vật liệu
được phủ lên một lưới kim loại có kích thước mắt lưới khác nhau, trên lưới
được bốc bay tạo một màng carbon cực mỏng (vài nanomet). Hệ TEM chuẩn
thường làm việc ở chân không cao 10-4 Pa. Tuy nhiên, một số hệ TEM làm
việc ở chân không siêu cao 10-7 đến 10-9 Pa để thu được chất lượng ảnh tốt
hơn.
• Khảo sát đặc trưng nhạy khí
Khảo sát theo nồng độ: Khảo sát giá trị điện trở mẫu theo nồng độ khí thử,
từ đó suy ra sự phụ thuộc độ nhạy theo nồng độ khí. Đây là bước quan trọng
để thiết kế mạch điện tử sau này cho cảm biến.
Khảo sát theo nhiệt độ: Khảo sát theo nồng độ tại từng điểm nhiệt độ cố
định, thông thường trong quãng từ 200 - 400oC. Bước này giúp xác định
nhiệt độ làm việc tối ưu đối của từng cảm biến với từng loại chất khí.
Việc khảo sát điện trở cảm biến theo nồng độ và nhiệt độ cho ta các thông
số cần thiết để chế tạo một cảm biến hoàn chỉnh.
5. Ý nghĩa của đề tài
- Chế tạo được vật liệu có ứng dụng cao trong lĩnh vực cảm biến khí.
- Đánh giá được các ưu, nhược điểm của vật liệu để xây dựng các hướng
phát tiển tiếp theo.
- Góp phần nâng cao hiệu quả và ứng dụng của vật liệu nano.
6. Kết cấu của đề tài
Đề tài có kết cấu gồm: Mở đầu, nội dung ( 3 chương), kết luận và danh mục tài
liệu tham khảo
 NỘI DUNG
CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ VẬT LIỆU BÁN DẪN SnO2 VÀ CuO
CHƯƠNG 2: THỰC HÀNH CHẾ TẠO VẬT LIỆU SnO2 VÀ CuO
CHƯƠNG 3: KẾT QUẢ VÀ PHÂN TÍCH HÌNH THÁI CẤU TRÚC VẬT LIỆU