BỘ GIAO THÔNG VẬN TẢI ĐỀ THI HỌC PHẦN

TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ GTVT CÔNG NGHỆ VI CƠ ĐIỆN TỬ (DC3CN22)
TRÌNH ĐỘ ĐẠI HỌC
ĐỀ THI SỐ 8 Hình thức thi: VIẾT – Thời gian: 60 phút

PHẦN I: TRẮC NGHIỆM (5.0 ĐIỂM)

Câu 1: Phiến Silic dùng trong công nghệ vi cơ điện tử được tạo ra từ kỹ thuật
A. Nuôi đơn tinh thể. B. Nấu chảy từ cát và đúc từ khuôn.
C. Điện phân. D. Không đáp án nào đúng.
Câu 2: Trong kỹ thuật khắc (ăn mòn) ướt silic đẳng hướng. Dung dịch hóa học thường được
sử dụng là hỗn hợp dung dịch axit có tên là HNA. HNA là hỗn hợp của những dung dịch nào?
A. HF – HNO3 axit – Axetic axit. B. HCl – HNO3 axit – Axetic axit.
C. H2SO4 – HNO3 axit – Axetic axit. D. HF – HCl axit – Axetic axit.
Câu 3: Mặt nạ quang là công cụ cần thiết được sử dụng trong phương pháp quang khắc. Mặt
nạ quang có cấu trúc bao gồm tấm phẳng bằng vật liệu trong suốt và các vùng chắn sáng bằng
kim loại được phủ lên bề mặt của tấm đó. Kim loại được dùng để phủ lớp chắn sáng này
thường là
A. Đồng (Cu). B. Crôm (Cr). C. Bạc (Ag). D. Vàng (Au).
Câu 4: Kỹ thuật phún xạ DC có thể chế tạo được màng mỏng với bia là vật liệu:
A. Không dẫn điện B. Dẫn điện
C. Bia dẫn điện và không dẫn điện D. Bia là chất lỏng.
Câu 5: Để tăng hiệu suất phún xạ, người ta sử dụng thêm các nam châm gắn bên dưới bề mặt
bia (tạo thành phương pháp phún xạ Magnetron) nhằm mục đích
A. hướng các dòng ion dương chuyển vận ra xa bề mặt bia.
B. hướng các dòng ion dương chuyển vận tới va đập vào bề mặt bia.
C. hướng các dòng ion âm chuyển vận ra xa bề mặt bia.
D. hướng các dòng ion âm chuyển vận tới va đập vào bề mặt bia.
Câu 6: Trong lĩnh vực vi cơ điện tử (MEMS), các linh kiện như vi cảm biến, vi chấp hành
thường có kích thước nhỏ cỡ từ:
A. Hàng trăm nanomet đến vài milimet. B. Vài nanomet đến hàng trăm nanomet.
C. Vài milimet đến vài centimet. D. Vài centimet đến vài mét.
Câu 7: Vật liệu nào thường được sử dụng trong công nghệ MEMS
A. Niken B. Đồng C. Silic D. Thủy tinh
Câu 8: Chất cảm quang được phân thành 2 loại là cảm quang dương và cảm quang âm. Sau
khi chiếu sáng bằng ánh sáng UV, chất cảm quang sẽ bị tan mạnh trong dung dịch hiện hình
(developer) là loại
A. Cảm quang dương
B. Cảm quang âm
C. Cả 2 loại đều tan mạnh.
D. Tùy thuộc vào bước sóng ánh sáng chiếu vào mà loại nào sẽ tan nhiều hơn.
Câu 9: Nguyên lý hoạt động của kỹ thuật phún xạ là
A. Dưới tác dụng của môi trường plasma tạo ra trong buồng chân không, các nguyên tử
được tách ra khỏi vật liệu nguồn (bia) trên cơ sở các ion âm đến phản ứng hóa học với các
nguyên tử trên bề mặt bia, sau đó nguyên tử lắng đọng lên trên đế (phiến Si/SiO2).

DC3CN22- Đề thi số 8- Trang 1/2

 B. Dưới tác dụng của môi trường plasma tạo ra trong buồng chân không, các nguyên tử
được tách ra khỏi vật liệu nguồn (bia) trên cơ sở cơ chế va đập của các ion âm lên bề mặt bia,
sau đó nguyên tử lắng đọng lên trên đế (phiến Si/SiO2).
C. Dưới tác dụng của môi trường plasma tạo ra trong buồng chân không, các nguyên tử
được tách ra khỏi vật liệu nguồn (bia) trên cơ sở các ion dương đến phản ứng hóa học với các
nguyên tử trên bề mặt bia, sau đó nguyên tử lắng đọng lên trên đế (phiến Si/SiO2).
D. Dưới tác dụng của môi trường plasma tạo ra trong buồng chân không, các nguyên tử
được tách ra khỏi vật liệu nguồn (bia) trên cơ sở cơ chế va đập của các ion dương lên bề mặt
bia, sau đó nguyên tử lắng đọng lên trên đế (phiến Si/SiO2).
Câu 10: Đây là hình ảnh của một cấu trúc sử dụng dung dịch HNA để ăn mòn. Cho biết đây
là dạng ăn mòn nào?

A. Ăn mòn ướt đẳng hướng. B. Ăn mòn ướt dị hướng.

C. Ăn mòn khô đẳng hướng D. Ăn mòn khô dị hướng.

PHẦN II: BÀI TẬP (5.0 ĐIỂM)

Bằng hiểu biết của mình. Em hãy trình bày quy trình công nghệ chế tạo một cấu
trúc điện cực kim loại Platium (hình B) từ đế Silic (hình A) như hình vẽ ? Nêu rõ các
quá trình công nghệ trong quá trình thực hiện các bước chế tạo.

CÁN BỘ RA ĐỀ CÁN BỘ PHẢN BIỆN TRƯỞNG BỘ MÔN

Võ Thanh Được Dương Quang Khánh Dương Quang Khánh

DC3CN22- Đề thi số 8- Trang 2/2