Professional Documents
Culture Documents
עבודה
עבודה
1. Auger Transitions
A.
MNN – Regular Auger transition.
MMN - Coster-Korning
NNN – Super Coster-Korning
B.
MNN<MMN<NNN
C.
The faster transition the wider peak we have acc to the uncertainty principle eq:
Γ = h/τ = 4.1x10-15/τ eV
Where τ is the transition time. The peak will be wider as the transition is faster and the
uncertainty is bigger.
2. AES concentration calculation Ag MNN and C KLL signals were measured as presented in the next
page. Notice the given intensities of certain points in the derivative of the two spectra. SC = 0.076
and SAg = 0.634
b. Write the equation and calculate the atomic concentration of C and Ag.
2a Solution:
As seen from the 2 Spectra above In Derivative Graph of the c/s Vs Kinetic Energy. For both of the
samples only Points b & c are Peaks (Minimum OR Maximum).
𝐼 9,244
𝑆 0.076
𝐶 (𝑎𝑡, %) = 100% ∗ = 100% ∗ = 71.12%
𝐼 𝐼 31,206 9,244
+
𝑆 +𝑆 0.634 0.076
𝐼 31,206
𝑆 0.634
𝐶 (𝑎𝑡, %) = 1 − 𝐶 (𝑎𝑡, %) = 100% ∗ = 100 ∗ = 28.08%
𝐼 𝐼 31,206 9,244
+
𝑆 +𝑆 0.634 0.076
3.
b.
The interface between the 2 layers on the chart above is where we see the trend up of the Si (green)
while the O and SixOy (blue & pink) concentrations are trending down
4. changing the x-ray photon energy Two systems are measuring the kinetic energy of
photoelectrons and Auger electrons.
a. When measuring the kinetic energy which peaks will be measured in the same intensity? Explain
b. Using the two systems, an XPS spectra were collected for SiO2 9nm on Si and Al2O3 5nm on Al.
Use a database and indicate which peaks will we see in the spectra (Si and Al 2p) in which binding
energies? (Include doublets)
c. In what range of tilting angles will we see only the film? Assume similar IMFP for all materials, use
the universal curve. Assume ~100% of the signal is from 3.2𝜆.
4a Solution:
The Kinetic energy for the Auger electrons will remain the same regardless of the Photon source.
The Kinetic energy for the Auger electron is Dependent Electronic Shell transition from the electronic
shell to the vacuum Level. Once Auger electron receives its energy from the electron move to hole in
the Inner Shell (Transition State), the Auger electron is Indifferent to the X-Ray Beam (hv).
On the other hand, the Picks that signify the Binding Energies will move in the Spectrum IMG of the
Counts Vs Kinetic Energy Graph due to the changing of the Photon Source.
4b Solution:
לא ישתנו במעבר בין מקורותEb- ולכן ערכי ה,X-RAY( לא תלויים במקור הEb) Binding Energy-ערכי ה
.פוטונים שונים
)פיק לא סימטרי שמכיל שניSiO2 שקשור לחמצן בSi וגם עבור הSi נצפית עבור הSPLITTING*נציין כי תופעת ה
.(P3/2,P1/2) פיקים של
בנוסף סימון ייחוס הפיקים )מצע למול באלק( וזיהוי.[1]ערכים בקירוב נלקחו מהגרף שנלקח מהספרות למטה
. נוספו לתמונהDublets-הפיקים וה
𝐸 (𝑆𝑖𝑂2, 2𝑃 / ) ≈ 103.86[𝑒𝑉]
𝐸 (𝑆𝑖𝑂2, 2𝑃 / ) ≈ 104.4[𝑒𝑉]
𝐸 (𝑆𝑖(𝐵𝑢𝑙𝑘), 2𝑃 / ) ≈ 99.7[𝑒𝑉]
𝐸 (𝑆𝑖(𝐵𝑢𝑙𝑘), 2𝑃 / ) ≈ 100.3[𝑒𝑉]
נבחן את מערכת Al2O3/Alעם מקור :Al ka
Al2O3 5nm
מאחר ועומק החדירה של XPSהינו מסדר גודל של ].1-10[nm
)Al (Substrate נניח כי הסיגנל במהלך בדיקת ה XPSיהיה משולב תחמוצת Al2O3ומצע ה.Al
ערכי ה (Eb) Binding Energy-לא תלויים במקור ה ,X-RAYולכן ערכי ה Eb-לא ישתנו במעבר בין מקורות
פוטונים שונים.
*נציין כי תופעת ה SPLITTINGנצפית עבור ה Alהמתכתי )פיק לא סימטרי שמכיל שני פיקים של ),(P3/2,P1/2
אך עבור הקריאה מה Alבתחמוצת יש פיק סימטרי ,ולכן התופעה של ה SPLITהיא זניחה.
ערכים בקירוב נלקחו מהגרף שנלקח מהספרות למטה] .[2בנוסף ייחוס הפיקים )מצע למול באלק( וזיהוי
הפיקים וה Dublets-הנראים בתמונה.
סיגנל100% בשאלה שלנו נתון.FILM של סיגנל אופטימאלי מה95% המשוואה הנ"ל טובה עבור קירוב של
.3.2λ-ב
:לכן נרשום את המשוואה
𝒅
𝒅 = 𝟑. 𝟐𝛌 ∗ 𝐒𝒊𝒏𝜶 → 𝜶 = 𝑨𝒓𝒄𝒔𝒊𝒏( )
𝟑. 𝟐𝛌
ואז לקבל את זווית,(5nm Al2O3 ,9nm SiO2) d מכאן טריוויאלי להציב במשוואה את עובי התחמוצות
. האופטימאלית עבור כל מקור ודגםEMISSIONה
5.
a. Near the elastic peak since there are back scattered electrons which have higher energy.
b. – you can find this info on the background, after each pick the background steps up, see below
chart:
Due to the Lower MFP in Auger, it will be more surface sensitive using Loss spectrum.
6. Similar peak positions in XPS Te3d and Cr2p have nearly the same binding energy:
We have to decide which element is present in a certain system and the XPS spectrum is the only
information that we have.
a. What information in the spectrum will help you decide which element it is?
b. Show that information with explanation for the two optional elements.
6a Solution:
:( של החומרים כדי להבדיל ביניהםSpin Orbit Splitting) SOS אנחנו יכולים להשתמש ביחסי
. וכך נוכל להבדיל בין החומרים,נתאים את היחסים מהטבלה אל השטח מתחת לפיק שלנו
רקע לא נכוןXPS סימן שנבחר עבור ה.XPS*נציין כי המידה והיחסים בטבלה לא תואמים לגרף המתקבל ב
.(שמסווה חלק מהסיגנל )או שההנחה שהאלמנט שמחפשים קיים בדגם איננה נכונה
6b Solution:
בגרף מעל מתקיים היחס של 2:3 בגרף מעל מתקיים יחס שטחים של 1:2
בפיקים המייצגים את: בפיקים המייצגים את:
3d5/2, d3/2 2p3/2, 2p1/2
a. Which Zn peak will you choose to get the most surface sensitive information? Which will you
?choose to get the most bulk information
7a Solution:
נצפה שה Znלא יישאר יציב בתנאים רגילים ,ולכן תיווצר תחמוצת ZnOבפני השטח של הדגם.
במצב הנ"ל נצפה כי קריאה מהבאלק יהיה הכי טוב לבחון עם הפיק המתקבל מ .Zn(Metal), 2P3/2-בגלל
הימצאות שכבת ZnOבחינת פני השטח תהיה טובה ע"י הסיגנל מפיק חמצן .O1s
*בנוסף שילוב של החזרות אוז'ה עם המדידה גם יתרום מידע משלים על פני השטח:
Ek=hv-Eb
d=3 λ
d=3*3=9 [nm]
d=3*1=3 [nm]
8. In the next page there are two spectra for Al2s of a Al sample with a very thin
(1~2 nm) thick native alumina layer. One of them was collected at a take-off
angle of 8° and the other at 75°.
a. Mark the two peaks with the phases they represent.
b. Mark which is spectrum corresponds to each angle. Explain.
8a Solution:
Al
Al2O3 Al
8b Solution:
Side a corresponded to low angle because it goes less deep comparing to the perpendicular angle.
Therefor you can see much more of the upper layer, alumina, and we can see both picks. Al and
Al2O3.
Side b corresponded to high angle because it goes deeper in a perpendicular direction inside the
sample comparing to the lower angle. Therefore, you are more sensitive to the bulk Al (Metal) Peak.
Also, the Al (Oxide) Peak is hidden inside the background.
9.
The XPS spectra for the following compound was collected and shown in the
next page: [Co(NH2CH2CH2NH2)2]NO3
To the surprise of the researcher, there were 3 peaks instead of 2. She
thought that it is possible that some of the NH2 groups were oxidized during
processing.
a. Using the given information state which N is possible for each peak,
Including the possible ‘surprise’ peak.
b. Using the peak ratios estimate how many N atoms were oxidized in each
empirical formula.
9a Solution:
NH2
Oxidized NH2
NO3
9b Solution:
according to the chemical empiric formula we expect peak ratio of 4:1 (NH2 vs NO3), Using the peak
ratio data, 3:1:1, we see that 1 NH2 (out of 4) oxidized and then we have 3:1:1 ratio.
Bibliography: