Bakı Dövlət Universiteti

Nanomateriallar n kim
Nanomaterialların kimyəvi
ə i fizikası
fi ikas kafedras
kafedrası

Mühazirəçi: dosent Lalə İslam qızı Vəliyeva

1
 MÜHAZİRƏ - 3

NANOMATERİALLARIN
ALINMA
TEXNOLOGİYALARI
VƏ ÜSULLARI

2
 Real şəraitdə (açıq sistemlərdə) nanoquruluşların əmələ gəlmə prosesi qeyri-
tarazlıq halında gedir. Bu o deməkdir ki, nanoölçülü quruluş əmələ gələn sistemlə
ətraf
t f mühit
ühit arasında
d daim
d i enerji, ji informasiya
i f i mübadiləsi
üb dil i başb veriri ki,
ki məhz
h bub
faktorlar nanoquruluşun forma, ölçü və xassələrinə öz təsirini göstərir. Hətta ən
kiçik faktorlar belə, məsələn, təzyiq, konsentrasiya, temperatur da bir çox xassələrin
formalaşmasında mühüm rol oynayır.
Nanozərrəciyi alan zaman mütləq onun yüksək reaksiya qabiliyyəti, qeyri-
stabilliyi
y nəzərə alınmalıdır. Əgər g bunlar nəzərə alınmazsa, nanozərrəciklər ətraf
mühitlə qarşılıqlı təsirə girərək, bir çox mühüm xassələrini itirirlər və aqreqasiyaya
uğrayırlar.
Bundan başqa, nanoquruluşların bir sıra xassələri və stabilliyi onun alınma
üsulundan da birbaşa asılıdır. Ona görə də nanomaterialları almaq üçün bir neçə
faktorlar nəzərə alınmalıdır:
1 Sistemin qeyri-tarazlılığı.
1. qeyri-tarazlılığı Praktik olaraq bütün nanosistemlər termodinamik
baxımdan qeyri-dayanıqlıdırlar və onların alınması tarazlıq halından uzaq olan
şəraitdə yerinə yetirilir;
2 Nanozərrəciyin
2. N i i bircinsliliyi.
bi i lili i Materialın
M t i l kimyəvi
ki i bitcinsliyi
bit i li i o vaxtt mümkün
ü kü olurl
ki, sintez prosesində komponentlərin bölünməsi baş verməsin.
3. Nanozərrəciklərin monodispersliyi. Nanozərrəciyin xassələri onun ölçülərindən
birbaşa asılıdır. Ona görə də yaxşı funksional xassələrə malik material almaq
üçün ölçülərinə görə az fərqlənən zərrəciklərdən istifadə etmək lazımdır. 3
 Nanoquruluşların hazırlanması 2 konsepsiya üzərində qurulur. Bunlardan
biri «aşağıdan-yuxarıya» (kondensasiya olunma; atom, atom ion,
ion molekulların
birləşməsi), digəri isə «yuxarıdan-aşağıya» (dispergiləşmə; kiçildilmə)
konsepsiyalarıdır.
«Aşağıdan yuxarıya» konsepsiyası fərdi atomların birləşərək nizamlı quruluşun
«Aşağıdan-yuxarıya»
yaradılması deməkdir. Bunu öz-özünə qablaşma və ya katalitik kimyəvi
reaksiyaların bəzi ardıcıllıqla aparılması nəticəsində həyata keçirmək olar. Belə
proseslər
l bioloji
bi l ji sistemlərdə
i l d çox geniş i yayılmış
l və demək
d k olar
l ki,ki canlı
l təbiətin
bi i
yaşaması üçün an-baan baş verən təbii haldır. Məsələn, fermentlər adlanan bioloji
katalizatorlar amin turşularını elə ardıcıllıqla yığırlar ki, bunun nəticəsində canlı
toxuma formalaşır.
«Yuxarıdan-aşağıya» konsepsiyası isə iri makroölçülü obyektin və ya quruluşun
tədricən ölçülərinin
ç azalması ilə nanoquruluşların
q ş yyaradılması deməkdir. Bu cür
həyata keçən və ən geniş yayılmış proseslərdən biri litoqrafiya adlanıır.
Bundan başqa, bütün üsullar şərti olaraq kimyəvi (nanozərrəciklər kimyəvi
reaksiyalar vasitəsilə alınır) və fiziki (fiziki proseslə alınma) üsullara bölünür.
bölünür Lakin
hər hansı bir üsulu fiziki və ya kimyəvi adlandırmaq çox çətindir, çünki əksər
hallarda fiziki proseslər və kimyəvi reaksiyalar eyni vaxtda baş verir.
Nanoquruluşların və nanomaterialların alınma üsullarını aşağıdakı cədvəldə
göstərilən kimi təsnif etmək olar.
4
 Cədvəl. Nanoquruluşların və nanomaterialların alınma üsullarının təsnifatı

Mühit Fiziki
Fi iki proseslər
l Kimyəvii proseslər
Ki l
üsul nanoquruluş üsul nanoquruluş
1 2 3 4 5
Plazma Alçaq Tozlar, örtüklər, Plazmokimyə Tozlar, örtüklər,
temperaturlu plazma nanoborular vi sintez füllerenlər,
nanoborular

Molekulyar dəstələr Örtüklər, Mexanokim- Tozlar,

Qaz heteroquruluş- yəvi sintez suspenziyalar
lar, tozlar
Aerozol üsulu Tozlar, borular Partlayışlı Tozlar
İon bombardmanı Klasterlər sintez
sintez,
Vakuum Tozlar Termoliz
buxarlanması
Katod tozlandırılması Örtüklər

Mexaniki kiçildilmə Tozlar

Elektropartlayış Tozlar
5
 Cədvəlin ardı

1 2 3 4 5
Elektropartlayış Suspenziyalr Elektro-erozit üsulu Tozlar
Maye Dispergilənmə Tozlar, Məhluldan Tozlar
(mexaniki
(mexaniki, suspenziyalar çökdürülmə (düz
(düz,
ultrasəs) tərs)
Kriogen üsul Tozlar, məsaməli Ərintidən Tozlar,
zərrəciklər çökdürülmə materiallar
Zol-gel üsul Materiallar,
örtüklər,, tozlar
Termoliz Tozlar
Elektro-kimyəvi Tozlar, millər
çökdürülmə
Templant üsul Materiallar,
məsaməli
cisimlər,
i i l tozlarl
Nanoreaktorlarda Tozlar, örtüklər,
sintez materiallar
DNT-qablanma Quruluş
6
 Cədvəlin ardı

1 2 3 4 5
İntensiv plastic Materiallar Özü yayılan yüksək Bişirilmiş
Bərk deformasiya temperaturlu sintez materiallar, tozlar
cisim
ii İon Nanolay Kristallaşma Materiallar,
implantasiysı məsaməli cisimlər
Heterofazalı sintez Tozlar,, örtüklər
Termoiz Tozlar
Celektiv zəhərləmə Məsaməli
materiallar
Bərpaetmə Materiallar, tozlar
Birləşmələrin Tozlar, materiallar
nizamlanması
Yüksək enerjili Materiallar,
şşüalanma məsaməli cisimlər
Litoqrafik üsullar Quruluş layları
İfrat Paro- və Tozlar, qeyri-
kritik hidrotermal üzvi borular
borular,
mühit sintez seolitlər
7
Cədvəldən aydın
y olur ki,, tədqiqatçılar
qq ç alınma üsullarını 5 qrupa
q p bölürlr:
1. Yüksək enerjili üsullar: bunlarda aqreqasiya prosesi və əmələgələn
zərrəciklərin böyüməsi baş vermir. Çünki bu üsullar buxarın tez
kondensasiyalanması şəraitində gedir.
gedir
2. Mexano-kimyəvi üsullar: planetar dəyirmanlarda bir-biri ilə qarışmayan
komponentlərin birgə üyüdülməsi nəticəsində, və ya bərk məhlulların
mexaniki gərginlik altında parçalanması ilə yeni fazaların əmələ gəlməsi
nəticəsində nanokompozitlərin alınması baş verir.
3. Fəza-məhdudiyyətli sistemlərdən – nanoreaktorlardan istifadə edilməsi
( i ll l
(misellalar, d
damcılar,l t b l )
təbəqələr). Mi ll l d
Misellalardan, L
Lenqmür-Blojet
ü Bl j t
təbəqələrində və adsorbsiya olunmuş laylardan sintez. Bu üsullar bir-biri ilə
qarşılıqlı təsirdə olan nanodispers nanozərrəciklərin birbaşa kompozitdə
alınmasına imkan yaradır. Bura həmçinin, biotəlqid və bioloji üsulları da aid
etmək olar ki, burada nanoreaktor rolunu biomolekullar oynayır.
4. Məhlullarda ultramikrodispers p kolloid zərrəciklərin formalaşması.
ş
5. Yüksək məsaməlik dərəcəli və kiçik dispers quruluşların kimyəvi
üsullarla alınması. Bu üsullara kristallaşma və ion implantasiyası üsullarını
da aid etmək olar.
8
 LITOQRAFIYA

Hal-hazırda litoqrafiya üsulu elektronikada

nanoquruluşların alınmasında geniş istifadə
olunan üsul hesab olunur.
Litoqrafiya – şüalanmaya həssas olan
nümunənin şüalanması, sonra şüalanan
qatın oradan təcrid edilməsi və müxtəlif
kimyəvi emal nəticəsində nanoquruluşun
formalaşması deməkdir.
Lit
Litoqrafiya
fi sözü
ö ü yunan sözləri
ö l i “litos”-
“lit ”
daş, “qrafo”-yazıram deməkdir, yəni “daş
üzərində yazıram” mənasını verir.
Litoqrafiya üsulu ilə alınmış
quruluş. Litoqrafiya bərk cisimlər üzərində
nanoquruluşlar yaratmağa imkan verir.

9
Sadə
S d halda
h ld litoqrafia
lit fi bir
bi neçə mərhələdə
h l d aparılır:
l
1-ci mərhələdə bərk cismin səthinə fotorezistis layı çəkilir.
Fotorezistis – şüalanmanın təsiri altında çəkidiyi səthin quruluşunu
dəyişə bilən işığa həssas maddədir.
2-ci mərhələdə səth üzərinə nə çəkmək istəyiriksə, ilk öncə onun
şablonu çəkiir.
3-cü mərhələ eksponiləşmə (yəni lazım olan şəklin alınması)
mərhələsi
h l i adlanır.
dl B zaman səth
Bu th lampa
l və ya lazerlə
l l optik
tik
şüalanmaya məruz qalır. Fotorezistisin təsiri nəticəsində şablondan
keçən şüa səthin dəyişməsinə səbəb olur.
olur Səthi aşılamaqla səhtin
müəyyən hissəsini çıxarmaq mümkündür.

Litoqrafiya mikrosxemlərin yaradılmasında istifadə olunan ən

əsas üsullardan hesab edilir.

10
 EPİTAKSİYA

“Aşağıdan-yuxarıya”
“A ğd ” texnologiyası
t l i i k verir
imkan i ki,
ki ayrı-ayrı atom
t və
molekullardan nanoölçülü obyektlər yığılsın. Çox vaxt bu texnologiyada
kondensasiya hadisəsindən istifadə edirlər.
Kondensasiya (yunanca “condenso”-sıxlaşdırıram, qatılaşdırıram)
maddənin soyudularaq və ya sıxılaraq qaz halından maye və ya bərk
halına keçməsi deməkdir.
Yağış, qar, şeh və s. təbiət hadisələri kondensasiya nəticəsində baş verir.
Məlumdur ki, kondensasiya və ona əks olan proses - buxarlanma maddənin
faza dəyişmələri
yş nəticəsində başş verir.
Faza keçidləri müəyyən zaman ərzində baş verir və prosesin ilkin
mərhələsində nanozərrəciklər əmələ gəlir ki, bunlar da sonra mikroskopik
obyektlərə çevrilirlər.
çevrilirlər Məhz ilkin mərhələdə faza keçidlərini “dondurmaqla”
dondurmaqla
nanozərrəciklər almaq mümkündür.
Kondensasiya hadisəsi nəticəsində füllerenlər, karbon nanoborular,
nanoklasterlər almaq olur.
olur
Bu cür texnologiya epitaksiya adlanır.
Epitaksiya (yunanca “epi”-üzərində və “taxis”-yerləşmək, ardıcıllıq)
bi k
bir kristal
i t l üzərində
ü i d di digər k
kristalın
i t l iistiqamətlənmiş
ti tl i ((nizamlanmış)
i l ) ardıcıl
d l
olaraq yığılması, çökdürülməsi deməkdir.
11
Epitaksiya prosesini həyata keçirən ən müasir üsul molekulyar-şüa epitaksiyası
hesab olunur. Bu üsulda hazırlanmış və təmizlənmiş altlıq üzərinə ayrı-ayrı atomlar
seli
li yönəldilir.
ö ldili Müxtəlif
Mü t lif atomlar
t l selinin
li i sürəti
ü ti bir-birindən
bi bi i d asılı
l olmadan
l d tənzimlənir.
t i l i
Altlığın səthinə çatan atomlar müxtəlif cür müəyyən qayda ilə düzülərək
(nizamlanaraq), bizə lazım olan quruluşlar yaradırlar.

Legillәşmiş
g ş ş üçlüç birlәşmәlәri
ş almaqq Sәthin artırılması prosesi
üçün molekulyar-şüa epitaksiyası
qurğusunun sxemi
Lazım olan atomların epitaksiyasını həm maye, həm də qaz fazasında
yerinə yetirmək olar. Epitaksiya prosesi əsasən ayrı-ayrı kristalların bir-birinə
birləşməsi və sonda bütöv səthin əmələ gəlməsi ilə baş verir. Müasir epitaksiya
metodları bir neçə
ç ((hətta bir!)) atom q
qalınlığında
ğ laylar
y almağa
ğ imkan verir.
Epitaksiya üsulundan mikroelektronikada, kvant elektronikasında və
hesablama texnikasında geniş istifadə edirlər. 12
 Kristalların epitaksiyası: a) kristalin özü;
b) elektron mikroskopu ilə kristalın görünüşü

13
 Məhz müəyyən qanunauyğunluqla sadədən mürəkkəb quruluşun yaranma prosesi
öz-özünə qablanma və ya yığılma adlanır. Bu termini elmə ilk olaraq alman alimi
H
Herman H k gətirmiş
Hakan ti i və ona belə
b l tərif
t if vermişdir:
i di
Öz-özünə qablanma açıq sistemlərdə çoxlu sayda müxtəlif elementlərin öz
aralarında qarşılıqlı uyğunlaşması nəticəsində nizamlanması prosesinə deyilir.
Öz-özünə qablanma ilkin quruluşdan daha mürəkkəb quruluşun formalaşması ilə
bağlı olan prosesdir. Fizika və kimyada öz-özünə qablanma atom və molekulların
qeyri-nizamlı hərəkətindən nizamlı quruluşa keçidini göstərir.
Öz-özünə qablanma sistemlərindən bəhs edən elm isə sinerqetika adlanır.
Yunanca sinergetike – birgə təsir, birgə hərəkət mənasını verir. Sinerqetikanın əsas
ideyası
y nizamsızlıq q və xaosdan öz-özünə q qablanma nəticəsində nizamlılığın ğ
mümkünlüyü deməkdir.
Öz-özünə qablanma təbiətdə ən geniş yayılmış prosesdir.
Heyvanlar aləmində buna ən gözəl misal olaraq arılar tərə
tərə-
findən altıbucaqlı özəklərin tikilməsini, qarışqaların kollek-
tiv hərəkətini və s., canlı sistemlərdə isə DNT molekulunu
göstərmək olar.
olar

14
Nanoquruluşların alınmasında qrup şəklundə istifadə
edilən üsullar

1. Kiçik intensivlikli molekulyar dəstələr üsulu.

2. Böyük
y intensivlikli klaster dəstələri üsulu.
3. Qazofaz sintez üsulu.
4. İonla bombardıman edilmə üsulu.
5. Vakuum buxarlanması üsulu.
6. Katod tozlandırılması üsulu.
7. Kiçiktemperaturlu plazma üsulu.
8 Plazma-kimyəvi
8. Plazma kimyəvi sintez üsulu
üsulu.
9. Dispergiləşmə üsulu ilə nanozərrəciklərin alınması.
10. Sonokimyəvi dispergiləşmə üsulu.
11 M
11. Mexano-kimyəvi
ki i sintez
i üsulu.
ü l
12. Partlayışlı sintez üsulu.
13. Yarımkeçiricilərin elektrik partlayışı üsulu.
14. Maye fazadan çökdürülmə üsulu.
15. Kristallaşma və mikrolikvasiya üsulu.
16. Zol-gel
Zol gel üsulu.

İndi isə bu üsullardan bir neçəsi haqqında qısa məlumat verək 15

Kiçik intensivlikli molekulyar dəstələr üsulu

Bu üsulun əsasında vakuumda (10-3÷10-4 Pa) yüksək dərəcəə qızdırılmış

kompakt mənbədən buraxılan atomların (molekulların, və ya klasterlərin) altlıq
üzərində kondensasiya etməsi) durur. Əksər hallarda mnbələr xüsusi deşiyi olan
qızdırıcı kmeralara yerləşdirilir. Buraxılan zərrəciklər həmin deşiklərdən keçərək
vakuuma düşürlər
ş və orada molekulyary dəstələr yyaradırlar.
Nanoquruluşların ölçüləri. Bu üsulla qalınlığı 5-100 nm olan metal
monolayları almaq mümkündür.
Üsulun üstünlüyü.
üstünlüyü Bu üsulla çoxlaylı epitaksial örtüklər və səth üzərində
müxtəlif şəkillər almaq olur. Üsulun əsas xarakterik xüsusiyyəti alınma anında
quruluşun və tərkibin yüksək tənzimlənməsindən ibarətdir.
Çatışmamazlığı Yüksək vakuum yaradılması məcburiyyəti və çox az sayda
Çatışmamazlığı..
nanoquruluşların alınması.
Tətbiqi. Bu üsuldan sənayedə optiki və keçirici örtüklərin, mikroelektronikada
h
heteroquruluşların
l l alınması
l ü ü ,və həmçinin,
üçün h i i müəyyən
ü seçilmiş
il i yerlərdə
l d lokal
l k l
kristallaşmanın yaradılması üçün istifadə edirlər.

16
 Şəkil. Vakuumda molekuyar
dəstələrin alınma sxemi:
1 – buxarlanan cisim;; 2 –
diafraqmalı qızdırıcı kamera; 3 –
qızdırıcı;
4 – altlıq; 5 – qadın nasosla
çəkilməsi.

Böyük intensivlikli klaster dəstələri üsulu

Birinci üsuldan fərqli olaraq, burada böyük intensivlikli dəstələrdən istifadə olunur.
M b d yaranan sıx isti
Mənbədə i ti buxar
b t
tormozlanma
l k
kamerasında
d termostatlaşır
t t tl və
müəyyən diametrli ucluqdan keçərək vakuuma düşür. Formalaşan dəstə altlığa
istiqamətlənərək, genişlənir ki, bu da onun soyumasına səbəb olur. Soyuma
nəticəsində qaz, daxilində klasterlərin özəkləri olan, doymuş buxara çevrilir.
17
Nanoquruluşların ölçüləri. Bu üsulla qalınlığı 2-106 atomdan ibarət metal
klasterlər, nanoquruluşlu örtüklər alınır.
Ü l üstünlüyü.
Üsulun ü tü lü ü Bu B üsulla
ü ll az sayda d zərrəciklərdən
ikl d ibarət
ib t klasterlər
kl t l alınır.
l
Çatışmamazlığı.. Qurğu çox bahalıdır.
Tətbiqi. Bu üsuldan plyonkaların (layların) tozlandırılması, səthlərin təmizlənməsi,
silazan tozlarının sintezi üçün istifadə edirlər.

1 – tormozlanma kamerası; 2 – qızdırıcı; 3 – ucluq;

4 – isti q
qaz və y
ya buxar dəstəsi;; 5 – altlıq.
q

18
Qazofaz sintez üsulu

Bu üsulla izolə olunmuş nanozərrəciklər almaq üçün metalı, ərintini, və ya

yarımkeçiricini buxarlandırırlar. Bunun üçün atmosferdə alçaq təzyiqli təsirsiz qazın
müəyyən temperaturda soyuq səth üzərində kondensə edilməsindən istifadə edirlər.
edirlər
Şəkildə buxarlandırıcının sxemi verilmişdir. Alınan tozcuqları yıömaq üçün xüsusi
filtrlərdən istifadə olunur.

1 – buxarlanan nümunə; 2 – qızdırıcı;

3 – termostatlaşan korpus;
4 – elektron mikroskopu üçün
skanedilmiş zonadan seçilmiş
nümunə; 5 – maye azot; 6 – qaz-
qarışdırıcının
d d
daxilil edildiyi
dildi i və
çıxardıldığı hissə.

19
Nanoquruluşların ölçüləri. Bu üsulla 2 ÷ x⋅100 nm tərtibli sferik metallik, oksid,
karbid, nitrid zərrəciklər alınır.
Ü l
Üsulun ü tü lü ü Bu
üstünlüyü. B üsul
ü l nanokristal
k i t l tozcuqların
t l alınmasında
l d istifadə
i tif d olunan
l ən
sadə üsuldur.
Çatışmamazlığı. - zərrəciklərin ölçülərinin geniş intervalda olmasıdır.
Tətbiqi. Bu üsuldan tərkibinə görə fərqlənən qazlarda müxtəlif kimyəvi qarşılıqlı
təsirlər və çökdürülmə ilə nanokristal tozlarının alınmasında istifadə edirlər.

İonla bombardıman edilmə üsulu

Bu üsulda metalın buxarlanması üçün yüksək enerjili (∼ 10 kəV) ionlar selindən

istifadə olunur. Bunun üçün ionlar əvvəlcədən lazım olan enerjiyə qədər
sürətləndirilir, sonra sürətlərə görə onları xüsusi ion selektorunda bir-birindən
ayırırlar Metalın səthinin ionlarla bombardman edilməsi vakuumda baş verir.
ayırırlar. verir
Nəticədə ikinci ion emissiyasına görə metal səthindən klaster ionları buraxılır.
Çökdürülmə altlıq üzərində yerinə yetirilir.
N
Nanoquruluşların
l l öl ül i Bu
ölçüləri. ü ll 2 ÷ 100 atomdan
B üsulla d ibarət
ib metall klasterlər
kl l
alınır.
Çatışmamazlığı. – qurğunun mürəkkəbliyi ilə bağlıdır.
Tətbiqi. Bu üsuldan müxtəlif materiallar üçün funksional örtüklərin
hazırlanmasında istifadə edirlər. 20
Katod tozlandırılması üsulu

Qaz buxarlanması zamanı müsbət ionlarla bombardman edilmiş katodun

“dağılması” katod materialından ibarət zərrəciklər selinin yaranmasına gətirir. Bu
sell anoda
d doğru
d ğ hərəkət
h k t edir.di Alovsuz
Al b l
boşalma zamanı mövcud
ö d olanl qığılcım
ğl
0,5-5 kV potensiallar fərqində və 10-0,1 Pa təzyiqli təsirsiz qazda anod və katod
adasındakı məsafənin 2-4 sm qiymətlərində alışır. Katoddan buxarlanan metal
atomlarının çökdürülməsi üçün anodda altlıq yerləşdirilir.

1 – katod; 2 – anod; 3 – altlıq;

4 – plazma; 5 – qazın
qızdırılması

21
Nanoquruluşların ölçüləri. Bu üsulla 20 nm-dən böyük ölçülü metal zərrəciklər və
onlar əsasında fraktal aqreqatlar alınır.
Ü l
Üsulun ü tü lü ü Bu
üstünlüyü. B üsulun
ü l kondensasiya
k d i əmsalı l vahidə
hid bərabərdir,
b b di yənii bütün
bütü
atomlar hədəfə düşür. Bundan başqa bu üsul idarə olunma baxımından çox asandır.
Çatışmamazlığı. – qurğunun mürəkkəbliyi və aşağı istehsal ilə bağlıdır.
Tətbiqi. Bu üsuldan şüşəyə müxtəlif funksional nanoölçülü (günəş, qoruyucu,
keçirici, üzəri çirk götürməyən, fotokatalitik və s.) örtüklərin çəkilməsində istifadə
edirlər.

Kiçik temperaturlu plazma üsulu

Bu üsulla nanozərrəciklərin alınması üçün istifadə edilən ən sadə qurğu, təsirsiz

qazda və ya hidrogen qarşılıqlı atmosfer qövsünün yaranmasına əsaslanır. Buxar
əmələ gətirən material plazmaya həm xaricdən daxil edilə bilər, həm də katod rolunu
yerinə yetirə bilər. Elektrik qövsündəki dirəkdə buxar şırnağının temperaturu 7000 K-
ə qqədər arta bilər. Dirəkdən kənarda isə temperatur
p 104 K⁄mm tərtibli q
qradiyent
y ilə
düşür. Bu isə yüksək dərəcədə doymaya və nanozərrəciklərin sonrakı
kondensasiyasına səbəb olur. Temperaturun kəskin azalması əmələ gələn
nanozərrəciklərin möhkəmlənməsinə gətirirdi.
gətirirdi
22
 1–e elektrod;
e t od; 2 – p
plazma
a a
əmələ gətirən qazın girişi;
3 – qövsün dirəyi;
4 – elektromaqnitlərin
q
sarğacı; 5 – plazma seli;
6 – reagentlərin girişi;
7 – soyuq qazın girişi;
8 – kondensatın tutulması.

Nanoquruluşların ölçüləri. Bu üsulla kristallik özəkli və amorf üst laya malik orta
diametrli ∼ 5÷100 nm olan sferik zərrəciklər alınır.
diametrli, alınır
Üsulun üstünlüyü – miniatürləşmənin (kiçildilmənin) mümkünlüyü, idarəetmənin
asanlığı ilə bağlıdır.
Ç t
Çatışmamazlığı.l ğ Katod
K t d materialının
t i l i tif d edilməsi
istifadə dil i ilə
il bağlı
b ğl dövrülük
dö ülük və az
mənfəət bu üsulun çatışmamazlığıdır.
Tətbiqi. Bu üsuldan elektrik qövsündə geniş miqyasda karbon nanoborularının
tozlarının alınmasında istifadə edirlər.
23