第 42 卷 第 12 期 激光杂志 Vol. 42，No.

12

2021 年 12 月 LASER JOURNAL 2021

December，

·激光物理与器件·
不同衍射计算方法比较及误差分析

刘江涛，李洪儒，邓国亮，周寿桓
四川大学电子信息学院，成都 610000

要： 对多种衍射计算方法进行了比较及误差分析 ，为衍射计算方法的合理选择提供了指导 。 研究表明

摘
衍射距离小于波长的情况下，经典标量衍射或矢量衍射都有较大误差，需要使用电磁场仿真软件进行计算； 波
长量级下矢量衍射模型较为准确 ； 一般距离下，矢量衍射与标量衍射计算结果几乎一致 。 标量衍射模型中积分
法和角谱法计算结果的差距随着衍射距离的增加逐渐增大 。相同物理尺寸下积分法的结果更加准确 。 增加网
格采样点数只能够提高积分法的精度 ，对于角谱法可以通过增加衍射平面的物理尺寸来降低计算误差。 通过
物理实验验证了计算结果的正确性 。
关键词： 衍射计算； 标量衍射； 矢量衍射； 角谱传输
中图分类号： O431. 1 文献标识码： A doi： 10. 14016 / j．cnki．jgzz. 2022. 12. 018

Comparison of different diffraction calculation methods and error analysis

LIU Jiangtao，LI Hongru，DENG Guoliang，ZHOU Shouhuan

Sichuan University，College of Electronics and Information Engineering，Chengdu 610000，China

Abstract： The comparison and error analysis of various diffraction calculation methods are carried out to provide
guidance for the reasonable selection of diffraction calculation methods． It is shown that the classical scalar diffraction
or vector diffraction has a large error when the diffraction distance is smaller than the wavelength，and it is necessary to
use the electromagnetic field simulation software for calculation； the vector diffraction model is more accurate at the
wavelength scale； the calculation results of vector diffraction and scalar diffraction are almost the same at the general
distance． The difference between the calculation results of the integral method and the angular spectrum method in the
scalar diffraction model increases gradually with the increase of the diffraction distance． The results of the integral
method are more accurate for the same physical size． Increasing the number of grid sampling points can only improve
the accuracy of the integration method，and the calculation error can be reduced by increasing the physical size of the
diffraction plane for the angular spectrum method． The correctness of the calculation results is verified by physical ex-
periments．
Key words： optical diffraction； scalar diffraction theory； vector diffraction theory； angular spectrum theory

［5－6］
射又分为基尔霍夫衍射和瑞利 － 索末菲衍射 ，矢
1 引言 量衍射为瑞利 － 索末菲矢量衍射
［7－8］
。 在基尔霍夫衍
［1］
、光场成像［2］、光学元件［3］ 和
在现代光学传输 射中，由于基尔霍夫衍射公式在不同衍射距离下可以
［4］
光学系统设计 等领域，衍射计算是其实现基础。 在 进行近似，因此可以获得近场的菲涅尔衍射和远场的
［5－6］
衍射计算中主要分为标量衍射和矢量衍射 ，而标量衍 夫琅禾费衍射 。索末菲针对基尔霍夫衍射理论中
两个边界条件的不自洽性，提出更加严谨的第一类瑞
利 －索末菲衍射和第二类瑞利 － 索末菲衍射。 在标量
收稿日期： 2021－10－13
基金项目： 四川大学博士后交叉学科创新启动基金项目（ No．BHJC201911） ； 衍射中，由于光学系统和信号系统之间具有相同的基
四川省科技计划资助项目（ No．2021YFG0323） 本性质，因此可以使用信号系统中的频谱分析和傅里
作者简介： 刘江涛（ 1996－） ，硕士研究生，研究方向为计算光学及光学 ［9］
测量。E －mail： 770624879@ qq．com 叶理论来分析光学系统 。 傅里叶光学使用角谱传
通信作者： 李洪儒，助理研究员。E －mail： lihoru99@ scu．edu．cn 输的方法来进行光场的计算，根据标量衍射理论获得
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 刘江涛，等： 不同衍射计算方法比较及误差分析 19

角谱传递函数、菲涅尔传递函数和两类瑞利 － 索末菲 2. 1 标量衍射和矢量衍射的积分法

［9－12］
传递函数 。根据夫琅禾费衍射积分公式，在远场 （ 1） 标量衍射积分法
情况下还可以使用傅里叶变换来直接计算衍射光场 标量衍射理论不考虑光的矢量性，将光束简化为
的图像。已有一些研究者对衍射计算进行了相关讨 标量，其衍射成像图如图 2 所示。 小孔所在平面为
［7］
论： 如任娜等进行了积分法计算标量衍射和矢量衍 Ox 0 y 0 ，O 点为坐标原点，z 轴垂直于小孔平面。 在距
射的对比分析，研究表明计算衍射孔附近的光场时， 孔平面距离 z 处放置观察屏，其坐标轴 x 和 y 分别平
［9，
12］
需要使用矢量衍射理论来进行计算； 李俊昌等 根 行于 x 0 和 y 0 。
据标量波动方程，推导计算出了角谱传递函数、菲涅
尔传递函数、夫琅禾费传递函数和瑞利 － 索末菲传递
函数等，同时证明了角谱法与积分法的等价性； 常山
［13］
等 使用衍射积分计算公式，进行计算机数值模拟
［14－15］
实验，计算研究了衍射的光场分布 。 但这些研
究并没有针对不同衍射计算方法的适用范围 ，积分法
和角谱法之间的误差变化情况，以及影响积分法和角 图2 衍射成像图
谱法计算精度的因素等进行研究。 本文使用积分法 P 0 为小孔平面上的点，P 为观察屏上的点，θ 为
对标量衍射和矢量衍射计算结果之间误差随衍射距 衍射孔径法向量与 P 0 到 P 之间向量的夹角，r 为 P 0
离改变的变化情况，积分法和角谱法之间误差随衍射 到 P 之间的距离。通过惠更斯 －菲涅尔积分公式可以
距离改变的变化情况，以及影响衍射计算精度的因素 计算观察屏上点的复振幅，公式为
［5－6］
：
等方面进行了研究及实验验证，为衍射计算时选择合 1 e jkr

适的计算方式提供参考。 E（ P） =
iλ
E（ P 0 ）
r ∬
K（ θ） dS （ 1）
∑
2 不同衍射计算方法 公式（ 1） 中 E（ P） 为观察屏上的复振幅，E（ P 0 ） 为初始
2π
衍射计算通常分为标量衍射法和矢量衍射法 ，矢 光场复振幅，λ 为光波长，k 为波数其值为 ，K（ θ ） 为
λ
量衍射计算使用积分法，标量衍射计算使用积分法或
倾斜因子，其具体形式由下述得到。
角谱法，本文所有计算方法分类如图 1 所示。 在标量
在均匀介质中传输的光束满足波动方程 ：
衍射计算中，积分法有： 基尔霍夫积分、菲涅尔积分、
2 1 ∂2 E
夫琅禾费积分和两类瑞利 － 索末菲积分； 角谱法使用 ∇ E－ 2 2 = 0 （ 2）
c ∂t
传递函数进行衍射计算，传递函数有角谱传递函数、
基尔霍夫使用格林函数求解标量波动方程 （ 2） ，
菲涅尔传递函数和两类瑞利 －索末菲传递函数。 标量
推导获得标量基尔霍夫衍射积分方程 ：
衍射中傅里叶变换可以直接计算远场夫琅禾费衍射
1 e jkr cos（ n，r） － cos（ n，l）
光场分布。 E（ P） =
iλ
E（ P 0 ）∬ r 2
dσ
∑
（ 3）
公式（ 3） 中 cos（ n，r） 为观察屏上点到小孔的矢量与小
孔面法向量夹角的余弦，cos（ n，l） 为光源上一点到小
孔的矢量与小孔面法向量夹角的余弦 。
依据衍射距离的不同，可以把公式 （ 3） 分别近似
为近场衍射和远场衍射，即称为菲涅尔衍射和夫琅禾
费衍射。当衍射距离 z 满足条件：
2 2 2
k ［（ x －x 0 ） +（ y －y 0 ） ］ max
3 ≪π （ 4）
8 z
此时为菲涅尔近场衍射，E（ x 0 ，y 0 ） 为初始光波复
振幅，衍射光场复振幅 E（ x，y） 为：

E（ x 0 ，y 0 ） e ikz [ 1 + ] dσ （ 5）
2
（ x －x 0） +（ y －y 0） 2
1
E（ x，y） =
λ zi ∬ 2z 2

图1 衍射方法分类图 ∑
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 20 刘江涛，等： 不同衍射计算方法比较及误差分析
［7］
当 z 满足： 光场与传输后光场之间的关系式为 ：

k
( x 0 2 +y 0 2 )
2z
≪π （ 6） A
cosα cosβ
λ
，
λ (= )
此时为夫琅禾费衍射，光波复振幅为：
e ikz ikx22z+y2 xx 0 +yy 0
A0
λ (
cosα cosβ
，
λ )
exp ( ikz ■1 －cos2 α －cos2 β ) （ 11）
E（ x，y） = ∬
E（ x 0 ，y 0 ） e k zi dσ （ 7）
( )
e
λ zi cosα cosβ
∑ 公式（ 11） 中 A ， 为光束传输一定距离后复
λ λ
但是基尔霍夫积分衍射公式是在两个假设的基
础上成立的，分别是： （ 1） 衍射孔屏的存在不影响穿过孔
的光束的光场分布； （ 2） 在衍射孔除去小孔之外的区域不
振幅的角谱，A0
cosα cosβ
λ
，
λ (为初始光波复振幅的角 )
2 2
透光。由于基尔霍夫边界条件的不严谨与不自洽， 索末 谱，exp（ ikz ■1 －cos α －cos β ） 为传递函数。
菲使用了更加严谨的镜像法求解标量波动方程， 获得了 将公式（ 11） 可改写为：
瑞利－索末菲衍射公式，在对复振幅施加边界条件时，为 A（ f x ，f y ） = A0（ f x ，f y ） H（ f x ，f y ） （ 12）
第一类瑞利 －索末菲衍射公式，公式为： A0（ f x ，f y ） 为系统输入频谱，A（ f x ，f y ） 为系统输出
1 e jkr 频谱，那么角谱传递函数为：
∬ U（ P 0 ） cos（ n，r） dσ
U（ P） = （ 8） 1
iλ ∑ r H（ f x ，f y ） = exp（ ikz ■1 －（ λf x ） 2 －（ λf y ） 2 ） ，f x 2 +f y 2 ＜ 2
在对复振幅的导数施加边界条件时，为第二类瑞 λ
利 －索末菲衍射公式，公式为： （ 13）
1 e jkr 通过公式（ 13） 可以将空间传输过程看成在频域
U（ P） =
iλ
U（ P 0 ）
r
dσ ∬ （ 9）
1
∑ 内的滤波过程，滤波器的带宽为 。
λ
两类瑞利 －索末菲积分公式解决了基尔霍夫边界
在满足条件近场菲涅尔近似条件时 ，公式（ 12） 可
条件的不自洽性。
以近似为菲涅尔衍射，菲涅尔衍射传递函数为：
（ 2） 矢量衍射积分法
H（ f x ，f y ） = exp（ ikz） exp［－iπλz（ f x 2 +f y 2 ） ］（ 14）
衍射距离远大于波长的情况下，标量衍射理论的
基尔霍夫传递函数可以根据基尔霍夫积分公式
结果能够与实验所获得的结果很好的符合 ，但是当衍
（ 3） 得到［11］：
射距离与波长可比拟的情况，标量衍射理论就与实际
的衍射存在误差，此时光场就不能再被简化为标量，
需要使用矢量衍射理论来模拟衍射的光场分布。 由
H（ f x ，f y ） = F
{ exp［ik ■d 2 +x 2 +y 2 ］
2 2
2iλ （ d x y ）
+ + 2
（ ■d 2 +x 2 +y 2 +d） }
于索末菲衍射理论更加严谨，可以使用瑞利 － 索末菲 （ 15）
矢量衍射积分公式来进行衍射计算
［9－10］
： 而两类瑞利 索末菲积传递函数可以分别根据公
－

( )
1 1 eikR z 式（ 8） 和（ 9） 可以获得：
Ex（ x， ∬
E x（ x 0 ，
y0 ，

{ }
y，z） = － 0） ik － dx dy
2π R R R 0 0 exp［ik ■d 2 +x 2 +y 2 ］
H（ f x ，f y ） = F d （ 16）
1 eikR
( )
2 2 2
1 z λi（ d +x +y ）
Ey（ x，
y，z） = － ∬
E y（ x 0 ，
y0 ，
0） ik － dx dy

{ }
2π R R R 0 0
exp［ik ■d 2 +x 2 +y 2 ］

) [
H（ f x ，f y ） = F （ 17）
∬(
1 1 e ikR x － x0 2 2 2
E z（ x，y，z） = ik － E x（ x 0 ，y 0 ，
0） + λi（ d +x +y ）
2π R R R
在频域内计算获得传输后的场分布后 ，再转换回
E y（ x 0 ，y 0 ，
0）
y － y0
R
dx 0 dy 0 ] （ 10） 空域内，即可得到衍射后的光场：
E（ x，y） = F －1 ｛ A（ f x ，f y ） ｝ = F －1 ｛ A0（ f x ，f y ） H（ f x ，f y ） ｝
上述公式 （ 10） 中，E x 、E y 和 E z 分别为电场在 x，
（ 18）
y，z 轴上的分量。
由于角谱法中实际运用的是离散傅里叶变换 ，若
2. 2 标量衍射的角谱法 衍射孔平面的宽度为 L0 ，取样点数为 N，傅里叶变换
光波传输过程是一个线性系统，根据傅里叶光学 1
间函数对应关系即为 Δf x = Δf y = ，进行傅里叶的逆
理论，可以将衍射图像看成由许多不同方向的单色波 L0
传输叠加而成，衍射角谱理论是将光波从空域转换到 1
变换后 L = = L 0 ，因此将衍射场进行傅里叶变换与
频域，频域内光波仍然适用标量波动方程。 初始传输 Δf x
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 刘江涛，等： 不同衍射计算方法比较及误差分析 21

逆变换之后衍射孔径屏物理宽度和观察屏物理宽度 使用积分法进行衍射计算，角谱法采用角谱传递函数
［7］
相等 。 进行衍射计算，首先对比波长范围内几种衍射计算方
二次相位指数函数： 法的结果，后使用电磁场仿真软件采用相同模拟参数

f（ x） =
1
■λz
π
exp j x 2
λ z
（ 19） [ ] 进行仿真，对比程序模拟结果与软件仿真之间结果的
差异，之后研究几种衍射方法间均方根误差在波长范
和它的二维等价物 f（ x） ·f（ y） 频繁出现在衍射 围外的变化情况。 最后研究衍射孔和观察屏网格划
问题中，当此函数被置限在有限积分范围内时可以对 分对使用积分法计算结果的影响，以及小孔屏尺寸和
其带宽进行估计，首先此函数的傅里叶变换的解析表 采样点数对角谱法计算结果的影响 。
［16］
示式为 ：
3. 1 波长范围内的衍射对比
1
( ) x2
l /2
F（ f X ） =
■λ z
∫ －l / 2
exp jπ
λz
exp（ － j2πxf X ） dx 在过去的衍射计算研究中，衍射距离一般都是大
于波长的，对于衍射距离在波长范围内的研究却很
（ 20）
少，因此有必要更进一步研究波长范围内的衍射计
结果的模的平方为等价带宽：
∞ 算。对比 1λ 范围内几种衍射方法光场图像如图 3 所
∫ －∞
F（ f X ） 2
df X
示。矢量衍射和标量衍射均采用积分法进行衍射计
BX = F （ 21）
F（ 0） 2
算，角谱法采用基础的角谱传递函数进行衍射计算。
（ l /2） 2
模拟采用波长 λ 为 600 nm 平面光，且偏振方向沿 x
等价带宽为菲涅尔数 N F = 的函数，其中 l
λz 轴振动，小孔平面宽度为 15 μm，网格数为 100 × 100，
为衍射孔宽度。N F 在大于 0. 25 和小于 0. 25 时有不 孔径为正方形且置于正中，其宽度为 10λ，观察屏宽
同的行为，在 N F ＞0. 25 时，等价带宽的渐近线为： 度为 20 μm，网格数为 200 × 200。 需要说明的是由于
l 角谱法计算的衍射光场与初始光场的物理尺寸和分
■λz B X = ■4N F ，B X = z （ 22）
λ
辨率相同，角谱法的计算参数与观察屏相同 。
在 N F ＜0. 25 时，等价带宽的渐近线为：
通过图 3 可以看到，在 0 ～ 0. 1λ 极短的衍射距离
1 1
■λz B X = ，B X = （ 23） 范围内，以上几种方法计算结果具有较大的差异。 为
4N F l
■ 进一步研究方法间衍射结果的区别，选取矢量衍射，
l2
，在两渐近线交点处
两条渐近线的交点为 z = 标量基尔霍夫衍射和标量角谱衍射的光场截面强度
λ
曲线随衍射距离变化的情况进行对比 。 如图 4 所示，
认为等价带宽达到最低，衍射计算的结果较差。
红色虚线为基尔霍夫标量衍射计算结果 ，蓝色实线为
2. 3 标量衍射的傅里叶变换法 矢量衍射计算结果，黑色点线为角谱法计算结果。
夫琅禾费衍射积分公式（ 7） 可以转化为：
根据光场截面光强曲线随衍射距离变化的图像
e ikz ikx22z+y2
E（ x，y） = e F ｛ E（ x 0 ，y 0 ） ｝ f x = x ，f y = y （ 24） 可以知道，随着衍射距离的不断增加，这三种计算方
λzi λz λz
法之间的偏差不断缩小，在衍射距离在 30λ 时，它们
从公式（ 24） 可以看出夫琅禾费衍射的光场复振
的结果基本一致。
幅为相位因子乘初始光场复振幅的傅里叶变换 ，则光
为了进一步探究波长范围内衍射的准确结果 ，使
强为：
用 Lumerical 软件中的 FDTD 电磁仿真模块通过直接
( ) F｛ E（ x ，y ） ｝
2
1 2
I（ x，y） = 0 0 = 迭代求解波动方程来进行计算，其结果应具有较高的
λz

( λ1z) A ( λxz，λyz)
2 2 准确度，后续使用 FDTD 模拟衍射结果与几种衍射方
（ 25）
0
法进行对比分析。
光强公式为一个系数乘以初始复振幅傅里叶变换 使用 FDTD 模拟 1λ 范围内上述衍射模 型 的 图
的平方，
因此在模拟过程中可以使用这个性质将孔径 像，模型如图 5 所示。模拟参数中不透光屏为完美电
图像进行傅里叶变换，
就可以得到衍射光强分布情况。 导体，平面波光源与孔径平面距离为 0. 1λ ，其他参数
与上述程序模拟相同。
3 衍射计算方法比较 分别模拟了观察屏 0. 001λ 、0. 01λ 、0. 1λ 、1λ 距
矢量衍射、基尔霍夫衍射、两类瑞利 － 索末菲衍射 离时的衍射光场，模拟结果如图 6 所示。
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22 刘江涛，等： 不同衍射计算方法比较及误差分析

初始光场 基尔霍夫衍射 第一类瑞利 － 索末菲衍射 第二类瑞利 － 索末菲衍射 角谱法

衍射距离 积分法
（ 矢量理论） （ 积分法） （ 积分法） （ 积分法） （ 角谱传递函数）

0λ 无法计算 无法计算

0. 001λ

0. 01λ

0. 1λ

1λ

图3 1λ 范围内不同衍射方法计算的光斑对比图

图4 0. 001λ、
0. 01λ、 1λ 衍射距离下三种不同衍射计算方法光场截面变化图
0. 1λ、

图 3 的几种衍射方法与 FDTD 方法更为相似，但在更

短衍射距离内它们的衍射图像具有较大的不同 ，因此
图 3 中的模拟方法在极近距离情况下均不能真实准
确地反映衍射现象。 为了探究在较远距离时图 3 中
方法与 FDTD 方法之间的差别，模拟了 30λ 时几种衍
射光场图像，衍射图像如图 7 所示，可以看到，在衍射
距离较远时，几种方法获得的衍射光场图像基本相
同。表 1 为这几种方法运行所需要的时间 。
图5 FDTD 衍射仿真模型图

（ a） 矢量衍射，（ b） 基尔霍夫衍射，（ c） 第一类瑞利 － 索末菲衍

射，（ d） 第二类瑞利 － 索末菲衍射，（ e） FDTD 模拟
图6 0. 001λ、
0. 01λ、 1λ 距离下 FDTD 模拟结果
0. 1λ、
图7 几种方法获得的衍射图
通过比较图 6 和图 3 衍射图像，在 1λ 衍射距离
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表1 几种方法的衍射计算时间表
计算方法 矢量衍射 基尔霍夫衍射 第一类瑞利 － 索末菲衍射 第二类瑞利 － 索末菲衍射 角谱法（ 角谱传递函数） FDTD 模拟
时间 / s 46. 7 3. 6 3. 7 3. 6 0. 2 394. 5

根据模拟结果可以知道，在衍射距离极近的情况 曲线逐渐重合，在之后的距离内误差随距离增加误差
下，常规的几种方法都不能准确地反映衍射图像，这 开始逐渐增大，并且波动的更加严重，由此可以知道
种情况下，需要使用专业的电磁场仿真软件才能够准 角谱法计算的衍射结果需要在合适的区间才能更加
确地反映衍射现象。 但是专业的电磁场仿真软件模 准确的描述衍射现象。
拟时间长，并且需要很大的内存来完成计算，因此在
衍射距离大于波长时，通常使用积分法或角谱法进行
模拟能够更高效地获得衍射结果 。

3. 2 波长范围外的衍射对比
（ 1） 积分法各方法对比
通过上节讨论，虽然在波长范围内，各常规方法
有较大差别，但在较远距离处各方法的结果有趋同的
趋势。在衍射距离较近情况下，矢量衍射相比于标量
衍射的基尔霍夫衍射和两类瑞利 －索末菲衍射这三种
标量衍射更加精确，因此以矢量衍射为基准，研究均
图9 角谱方法之间误差变化曲线图
方根误差随衍射距离增加的变化情况。 这里几种衍
射使用积分法进行计算。 计算 1 ～ 100λ 不同距离的 根据均方根误差曲线图 8 和图 9 可以知道，积分
衍射，结果如图 8 所示。 计算方法在衍射距离远大于波长时 ，矢量衍射与标量
衍射之间的误差很小可以忽略不计 ，但是由于使用积
分的计算方法，矢量理论需要增加计算量，在衍射距
离远大于波长时，可以任选基尔霍夫衍射和两类瑞利
－索末菲衍射更快的获得计算结果； 然而在使用角谱
法进行衍射计算时需要选择合适的衍射距离 ，衍射距
离对衍射结果的准确性具有一定的影响 。
（ 3） 积分法与角谱法对比
为进一步研究积分法与角谱法随衍射距离的变
化情况，计算不同衍射距离时的两种计算方法的衍射
图8 积分方法之间误差变化曲线图
图案，孔径计算参数与上述相同，衍射距离从 10λ 增
观察图 8，在 1 ～ 35λ 这段距离内，基尔霍夫衍射， 加到 200λ ，如图 10 所示。
两类瑞利 －索末菲衍射与矢量衍射之间的误差快速下 根据图 10 可以看到，随着衍射距离的增加，矢量
降，
35λ 之后均方根误差数值变化很小，在这之后可 衍射积分法与角谱传递函数之间计算结果的差异越
以认为矢量衍射与标量衍射的这三种方法计算结果 来越明显，为了定量计算它们之间的差别，计算矢量
相同，其差别可以忽略。 衍射积分法与标量衍射角谱法之间均方根误差随衍
（ 2） 角谱法各方法对比 射距离的变化，变化曲线如图 11 所示。
接下来对比角谱法几种方法之间均方根误差随 通过图 11 可以看到，均方根误差随衍射距离增
距离变化的曲线，由于角谱法中角谱传递函数未进行 大有逐渐增大的趋势，以及图 12，结构相似性随衍射
近似，因此更加精确，以角谱传递函数为基准，计算基 距离的增大逐渐减小，随着衍射距离的增加，角谱法
尔霍夫传递函数和两类瑞利 －索末菲传递函数与角谱 计算结果精度逐渐降低。 角谱法其实也是通过推导
传递函数之间均方根误差随衍射距离变化的曲线 ，如 标量波动方程严格获得的，结合图 8 在远场情况下，
图 9 所示。 矢量衍射与标量衍射计算结果基本一致，所以图 11
观察图 9 可以看到，在 1 ～ 20λ 范围内三种传递 均方根误差逐渐增加的趋势也可以认为是由于标量
函数与角谱传递函数之间的差别快速减小 ，之后三条 积分法与标量角谱法之间的误差导致的。 角谱法计
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24 刘江涛，等： 不同衍射计算方法比较及误差分析

算衍射光场时，小孔平面并不是无限大，因此在进行 l2
在衍射距离 z＞ 情况下，使用角谱法计算更远的衍射
二维离散傅里叶变换时会造成频谱泄露 ，导致衍射计 λ
算结果不精确。 距离，获得结果的精确度会更差，使用角谱法进行衍
将衍射计算结果和误差变化曲线与二次相位函 射计算时，使用该公式来选取合适的计算距离 。
数的分析，可以认为在使用角谱法计算衍射图像时，

衍射距离 10λ 20λ 40λ 60λ 80λ

矢量衍射积分法计算图像

基础角谱传递函数计算图像

衍射距离 100λ 120λ 140λ 160λ 200λ

矢量衍射积分法计算图像

基础角谱传递函数计算图像

图 10 角谱法衍射光斑变化图

图 11 矢量衍射与角谱法之间误差变化
（ a） 基尔霍夫积分法与基尔霍夫角谱法，（ b） 第一类瑞利 － 索末
菲积分法与第一类瑞利 － 索末菲角谱法（ c） 第二类瑞利 － 索末
菲积分与第二类瑞利 － 索末菲角谱法
图 13 0 ～ 200λ 均方根误差变换曲线图

（ 4） 夫琅禾费计算的两种方法
夫琅禾费衍射近似衍射图像，可以使用小孔面图
像经过快速傅里叶变换获得，根据公式 （ 19） 和 （ 20）
夫琅禾费积分公式与快速傅里叶变换方法之间的关
系进行模拟，使用 FFT 计算方法所获的图像像素大小
图 12 矢量衍射与角谱法之间结构相似性变化
1
为 Δf x = Δf y = ，使用积分法与使用快速傅里叶变换
对比角谱传输中，使用不同传递函数进行衍射的 L0
模拟，传输距离从 0 ～ 200λ ，对比积分法与其相应的角 Δx Δy
像素尺寸之间的关系为 f x = ，f y = ，快速傅里叶变
谱传递函数之间的误差变化曲线 ，如图 12 所示。 λz λz
从图 13 可以看出，当衍射距离大于 30λ 时，相同 换前后像素数不变，衍射小孔平面宽度为 L0 ，平面像
衍射核心的积分法与角谱法之间的差别完全一样 ，随 素数为 N ×NN ×N，计算示意图如图 14 所示。
着衍射距离的增加均方根误差不断增大 。 在 30 ～ 90λ 积分法像素尺寸为 1λ ，快速傅里叶算法像素尺
范围内，均方根误差相对平稳，使用角谱法在该范围 1
寸为 ，分辨率都为 200 × 200，为便于观察衍射图
内的衍射计算误差最小。 100λ
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像，使用亮度提高算法处理图像，获得两种方法对比 低光束的光强，光束经两个双凸透镜后传输到光阑位
图如图 15 所示。 置，将光阑孔径调整到穿过的光束刚好照射到选定小
孔的同时不照射其他的小孔，实验过程中调整衍射小
孔的大小，使用 CCD 来采集衍射的图像，衍射距离使
用钢尺进行测量，实验光路图如图 17 所示。

图 14 夫琅禾费衍射两种方法示意图
（ a） 氦氖激光器，（ b） 衰减片，（ c） 15 mm 焦距双凸透镜，（ d）
150 mm 双凸焦距透镜，（ e） 光阑，（ f） 小孔，（ g） CCD 相机
图 17 实验光路图

使用搭建好的光路进行物理实验，与模拟实验进
行对比，验证模拟实验程序的正确性。选取衍射距离
L 为 3 cm，小孔直径 R 为 0. 4 μm 和 0. 3 μm，为了更
好的比较实验与模拟结果，截取图像分辨率为 100 ×
（ a） 积分算法，（ b） 快速傅里叶算法
100，图像物理尺寸为 0. 586 mm × 0. 586 mm。 根据模
图 15 夫琅禾费近似两种方法对比图
拟误差分析可以知道，在衍射距离远大于波长时，几
由图 15 可以看到，根据系数关系，积分法与快速 种积分衍射模拟之间的差别非常小 ，选用积分法的基
傅里叶法计算结果相同，将图像进行快速傅里叶变换 尔霍夫衍射和角谱法的角谱传递函数与仪器实验结
能够快速地得到夫琅禾费衍射图像 ，这种方法计算速 果进行对比，不同衍射孔径结果图分别如图 18 和图
度非常快。 19 所示。
3. 3 实验验证
为验证程序的正确性，搭建光路 进 衍 射 物 理 实
验，使用氦氖激光器作为光源，型号为大恒光电 DH －
HN250，光 波 长 为 632. 8 nm，使 用 大 恒 光 电 GCL －
010215 和 GCL － 010206 双凸透镜，直径分别为 10 mm （ a） 仪器实验衍射图，（ b） 基尔霍夫积分衍射模拟图，（ c） 角谱
和 25. 4 mm，焦距为 150 mm 和 15 mm，两双凸透镜组 传递函数衍射模拟图
合放大准直光束，获得近似平面光，使用 CCD 相机进 图 18 距离 L 为 3 cm 孔径 R 为 0. 4 μm 实验结果对比图
行衍射图样的采集，CCD 为大恒光电黑白相机 MER －
231 － 41GM － P，单位像素尺寸为 5. 86 μm × 5. 86 μm，
光路示意图如图 16 所示。

（ a） 仪器实验衍射图，（ b） 基尔霍夫积分衍射模拟图，（ c） 角谱
传递函数衍射模拟图
图 19 距离 L 为 3 cm 孔径 R 为 0. 3 μm 实验结果对比图

（ a） 氦氖激光器，（ b） 衰减片，（ c） 短焦距双凸透镜，（ d） 长焦距 根据仪器实验和仿真结果可以知道，

模拟程序能够
双凸焦距透镜，（ e） 光阑，（ f） 小孔，（ g） CCD 相机 很好的满足仪器实验所获得的结果。通过实验可以看
图 16 实验装置示意图
到，
使用积分法得到的结果更能符合实验结果，
而角谱法
实验过程中，为防止 CCD 过曝，使用衰减片来降 整体光斑与实验结果其细节与实验差别较大。
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剖面图中央部分波动较多，细节较为丰富，适合用来
3. 4 积分法精度影响因素
研究衍射网格划分对于衍射结果的影响。 因此计算
在研究了衍射误差随衍射距离变化之后 ，接下来
衍射距离为 1λ 时不同网格划分大小下的衍射图样，
探究影响积分法衍射计算精度的因素。 由于积分法
其他参数与之前模拟相同。
本质上为衍射孔到观察屏点对点的求和计算 ，接下来
在保持观察屏分辨率为 100 × 100 的条件下，逐步
分别探讨小孔平面网格划分精度和观察屏网格划分
增加小孔面网格划分的数量，实验使用相比于初始划
精度对衍射结果的影响。
（ 1） 衍射孔网格划分数量对衍射计算的影响 分数量 2 倍，
4 倍，
6 倍，
8 倍和 10 倍进行模拟对比，获
得不同网格划分下的衍射图案，如图 20 所示。
研究衍射孔网格划分精度对于衍射结果的影响
时，考虑到矢量法在模拟衍射距离为 1λ 时衍射光强

衍射孔划分数量 100×100 200×200 400×400 600×600 800×800 1 000×1 000

衍射计算图像

图 20 衍射斑随小孔网格划分变化图

观察图 20 可以看出，逐渐增加小孔面划分精度， 场剖面曲线变化很小，在 10 倍时基本达到稳定状态。

衍射斑变化很小。为了更好的观察变化情况，取光场 网格划分的越细密其计算的精度也越高，以上述 10
正中的行矩阵进行绘图，如图 21 所示。 倍网格（ 分辨率为 1 000 × 1 000） 为基准，绘制 1 ～ 10 倍
从图 21 变化情况可以看出在网格划分精度对于 网格下结果的均方根误差变化曲线 ，并记录其计算时
衍射图像有一定的影响，在几次增加划分精度后，光 间，如图 22 所示。

图 21 光场剖面变化图

点对点的模拟衍射过程中，增加小孔平面网格数能够
提高衍射结果的精确度，但是网格数增加的同时运算
时间同样会随之增加。 综合图 20 和图 21，单纯提高
衍射孔的网格划分能够一定程度增加计算精度 ，但是
提升的效果十分有限。
（ 2） 观察屏网格划分对衍射计算的影响
在保持衍射平面分辨率为 100 × 100，逐步增加观
察屏网格划分数量，实验使用相比于初始划分数量 2

图 22 误差随衍射孔径网格数变化图
倍，
4 倍，
6 倍，
8 倍和 10 倍进行模拟对比，获得不同网
格划分下衍射图案，如图 23 所示。
由变化曲线图 22 可以看出，在使用积分法进行

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观察屏划分数量 100×100 200×200 400×400 600×600 800×800 1 000×1 000

衍射计算图像

图 23 衍射斑随观察屏网格划分变化图

从图 23 可以看到，随着观察屏划分精度的不断 根据图 24 可以看到，图像只有细微的变化，如光

提高，衍射图案基本不变，为了更好的观察变化情况， 场中心的波动，观察屏网格划分数量对于衍射图案影
取光场正中的行矩阵进行绘图，如图 24 所示。 响较小。

图 24 光场剖面变化图

绘制衍射计算时间随观察屏分辨率增加的变化 （ 1） 小孔平面尺寸对衍射计算的影响
曲线，如图 25 所示。 衍射距离 设 置 为 100λ ，小 孔 平 面 尺 寸 为 50λ ×
50λ ，像素数为 100 × 100，小孔像素数为 20 × 20。 小孔
尺寸及像素数不变，不断扩大小孔平面尺寸，变化示
意图以 2 倍变化图为例，如图 26 所示。

图 25 运行时间随观察屏变化图

由于观察屏分辨率不同，若插值到相同分辨率进
行对比将影响结果的客观性，故不再讨论均方根误差 图 26 尺寸变化示意图
随网格划分的变化。 综上所述孔径平面的网格划分
截取图像正中间 50λ × 50λ 区域获得衍射斑的变
和观察平面的网格划分对计算结果的精度均具有一
化情况，如图 27 所示。
定影响，可以适当提高孔径平面和观察平网格划分数
观察图 27 可以发现不断增加衍射尺寸，衍射图
量来提高精度要求。
案有细微改变，绘制光场剖面图进一步观察变化情
3. 5 角谱法精度影响因素 况，如图 28 所示。
角谱法衍射计算时，使用角谱传递函数进行衍射 观察图 28 可以知道，在达到 10 倍尺寸时图像已
的计算，角谱法前后图像尺寸和分辨率都不改变，接下 经达到稳定状态，以 10 倍尺寸为标准，计算均方根误
来讨论小孔平面尺寸和采样点数对于衍射计算的影响。 差随小孔平面尺寸增大的变化情况 ，如图 29 所示。
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28 刘江涛，等： 不同衍射计算方法比较及误差分析

小孔平面尺寸 50λ×50λ 100λ×100λ（ 2 倍） 200λ×200λ（ 4 倍） 300λ×300λ（ 6 倍） 400λ×400λ（ 8 倍） 500λ×500λ（ 10 倍）

衍射图像

图 27 衍射斑随小孔屏尺寸变化图

图 28 光场剖面变化图

观察图 29 可以知道，随着小孔平面尺寸的不断
增大，计算结果的精度不断提高，在增加到足够大时
计算结果达到稳定状态，光场的变化很小。 因此，增
大小孔平面的计算尺寸能够有效提高计算精度 。
（ 2） 采样点数对衍射计算的影响
接下来研究采样点数对于衍射结果的影响 ，计算
参数与上述相同，改变采样点数，获得衍射光场图像，
如图 30 所示。
图 29 均方根误差随小孔面尺寸变化图

小孔平面采样点数 100×100 200×200 400×400 600×600 800×800 1 000×1 000

衍射图像

图 30 衍射图案随采样点增加变化图

观察图 30，增加采样点数，衍射图像变化不明显，
绘制光场剖面变化曲线进一步研究变化情况 ，如图 31
4 结论
所示。 衍射计算在极近距离下，计算结果准确性较低，
增加角谱法模拟过程中采样点的数量 ，通过光场 对于这种情况的衍射需要使用专业的电磁场仿真软
剖面光强变化图 31 可以看到，随着采样点数的增加 件来进行模拟。 在衍射距离与波长可以相比拟的情
光强曲线变化很小，因此在使用角谱法模拟时，采样 况，不能简单的将光束简化为标量，需要使用矢量衍
点数对模拟结果的影响很小。 因为小孔平面分辨率 射理论来进行模拟，随着衍射距离不断增加，矢量积
不同，基于相同的原因不再讨论均方根误差 。 分衍射，基尔霍夫积分衍射和两类瑞利 － 索末菲积分
在角谱法进行衍射计算时，只能通过增加孔平面 衍射之间的误差逐渐减小，在衍射距离远大于波长
的尺寸来提高计算精度，单纯的增加采样点数对于计 时，几种方法之间的计算结果基本相同。角谱法与几
算影响不大。 种积分法相比，衍射图案会随着衍射距离的增加而被

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 刘江涛，等： 不同衍射计算方法比较及误差分析 29

不断扩展，误差也会不断地增大。使用积分法进行模 衍射图像较差地情况下可以增加小孔平面的尺寸 ，增
拟过程中，小孔面和观察屏网格划分数量会影响衍射 加小孔平面尺寸能够有效的改善衍射图像 ，单纯的增
结果，可以增加划分数量来改善衍射图案。 角谱法只 加采样点数对于计算影响不大。
有在一定距离内才能计算出较为准确的衍射图样 ，在

图 31 光场剖面变化图

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