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RTP快速生长与制备高质量石墨烯
RTP快速生长与制备高质量石墨烯
RTP快速生长与制备高质量石墨烯
高质量石墨烯
武汉嘉仪通科技有限公司
湖北省薄膜技术工程实验室
王愿兵 博士
专注 创新 成长 勤勉
RTP产品:
常用制备石墨烯技术优劣势对比
非晶碳热退火转变石墨烯,取决于退火工艺控制,本质依赖退火炉装备技术发展水平!
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RTP生长高质量石墨烯
n 基于本项目研发出的生长石墨烯工艺参数
n 复合薄膜参数:ta-C厚度—2 nm;Ni催化层厚度—40~80 nm,薄膜制备
方式分别为磁过滤阴极电弧技术和直流磁控溅射技术
n RTP退火工艺:升温速率:100~150 ℃/min;保温温度:700~800 ℃;保
温时间:10~60 min;降温速率:50 ℃/min;真空度:<2.0×10-3 Pa
相比于传统管式炉,RTP优势是升温速率快,降温速率可控,精确控制石墨
JouleYacht公司的RTP快速退火炉 烯生长过程
n 石墨烯生长质量表征
拉 透
曼 射
表 表
征 征
ID/IG表征质量、I2D/IG表征层数 进一步辅助验证石墨烯层数
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RTP和普通管式炉生长石墨烯性能对比
JouleYacht公司RTP快速退火炉结果 普通管式炉退火结果
800 ℃
n 石墨烯ID/IG~0.13,I2D/IG~1.1 n 石墨烯ID/IG:0.47~0.53,I2D/IG~4.5~5.0
表明所制备石墨烯缺陷少,层数为两层 表明所制备石墨烯缺陷多,为多层石墨片,石
墨烯有一定程度氧化
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RTP生长石墨烯性能
n 可直接在基体表面生长石墨烯,
无需化学转移过程;
n 石墨烯呈现典型折皱状结构;
n 层数为2-3层,与拉曼结果验
证一致;
n 所测石墨烯透过率超93%,
在透光功能薄膜领域展现出良
好应用前景。
石墨烯微观结构特征与透光性能
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