RTP（红外快速退火炉）生长

高质量石墨烯

武汉嘉仪通科技有限公司
湖北省薄膜技术工程实验室
王愿兵 博士
专注 创新 成长 勤勉
RTP产品：

RTP-3S01 RTP-3S04/06 RTP-3S06/08 RTP-3S12

快速退火炉（RTP，Rapid Thermal Processing）系列产品，采用红外辐射加热及

冷壁技术，可实现对实验材料的快速升温和降温，同时搭配超高精度的温度控制系统，
可达到极佳的温场均匀性。
嘉仪通(JouleYacht)快速退火炉系列可处理1-12寸样本，对材料的快速热处理、快
速退火、快速热氧化、快速热氮化及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。
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石墨烯制备方法介绍
n 与现行制备方法不同，非晶碳热退火转变石墨烯具有高产量、石墨烯层数可控、大面积、
无需多步化学转移、成本适中等优势，非常适用于半导体、光学、散热等器件应用

常用制备石墨烯技术优劣势对比

非晶碳热退火转变石墨烯，取决于退火工艺控制，本质依赖退火炉装备技术发展水平！
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RTP生长高质量石墨烯
n 基于本项目研发出的生长石墨烯工艺参数
n 复合薄膜参数：ta-C厚度—2 nm；Ni催化层厚度—40~80 nm，薄膜制备
方式分别为磁过滤阴极电弧技术和直流磁控溅射技术
n RTP退火工艺：升温速率：100~150 ℃/min；保温温度：700~800 ℃；保
温时间：10~60 min；降温速率：50 ℃/min；真空度：＜2.0×10-3 Pa
相比于传统管式炉，RTP优势是升温速率快，降温速率可控，精确控制石墨
JouleYacht公司的RTP快速退火炉 烯生长过程

n 石墨烯生长质量表征

拉 透
曼 射
表 表
征 征
ID/IG表征质量、I2D/IG表征层数 进一步辅助验证石墨烯层数
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RTP和普通管式炉生长石墨烯性能对比

JouleYacht公司RTP快速退火炉结果 普通管式炉退火结果

800 ℃

n 石墨烯ID/IG~0.13，I2D/IG~1.1 n 石墨烯ID/IG：0.47~0.53，I2D/IG~4.5~5.0
表明所制备石墨烯缺陷少，层数为两层 表明所制备石墨烯缺陷多，为多层石墨片，石
墨烯有一定程度氧化
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RTP生长石墨烯性能

n 可直接在基体表面生长石墨烯，
无需化学转移过程；
n 石墨烯呈现典型折皱状结构；
n 层数为2-3层，与拉曼结果验
证一致；
n 所测石墨烯透过率超93%，
在透光功能薄膜领域展现出良
好应用前景。

石墨烯微观结构特征与透光性能
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