НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ УКРАЇНИ

«КИЇВСЬКИЙ ПОЛІТЕХНІЧНИЙ ІНСТИТУТ ІМЕНІ ІГОРЯ

СІКОРСЬКОГО»
Інститут матеріалознавства та зварювання ім. Є.О. Патона
Кафедра високотемпературних матеріалів та порошкової металургії

ЛАБОРАТОРНА РОБОТА №5
“БУДОВА І РОБОТА ВАКУУМНИХ УСТАНОВОК З РЕЗИСТИВНИМ
НАГРІВОМ”
з курсу: «Технології нанесення покриттів та їх властивості»

Виконав:
студент гр. ФН-91
Михаліченко В. В.
Перевірив:
доц. Білик І. І.

Київ 2023
 БУДОВА І РОБОТА ВАКУУМНИХ УСТАНОВОК З РЕЗИСТИВНИМ
НАГРІВОМ

Мета роботи – вивчити принцип роботи і будову установок вакуумного

напилення покриттів з використанням резистивного нагріву.

ТЕОРЕТИЧНІ ВІДОМОСТІ

Принцип роботи установок з резистивним нагрівом полягає в тому, що

джерелом теплоти служить нагрівач, через який пропускається струм.
Розпилюємий матеріал нагрівається джоулевою теплотою. Передача теплоти
відбувається безпосередньо від нагрівача матеріалу. По конструктивним
ознакам резистивні нагрівачі розподіляються на: дротові, стрічкові, човникові
та тигельні.

Перевагою таких нагрівачів виявляється їх конструкційна простота,

зручність при регулюванні режимів роботи розпилювачів.

До недоліків вказаних випаровувачів слід віднести низьку питому

потужність, взаємодію матеріалу нагрівача і напилюємого матеріалу. Вказані
недоліки роблять ці способи малопродуктивними і накладають обмеження на
температуру плавлення напилених матеріалів, щоб виключити активну
взаємодію напилюємого матеріалу з нагрівачем. Максимальна температура
випаровування 1500ºС.

Установки резистивного нагріву типу ВУП знаходять застосування для

лабораторних досліджень. Вони складаються із скляного ковпака, вакуумної
системи та блоку живлення. Під ковпаком знаходяться струмопідводи, до яких
під’єднуються нагрівачі. Нагрівачі можуть бути в вигляді циліндричної або
конічної пружини, а також в вигляді стрічки. В установці ВУП-4К
передбачений також підігрів напилюємого зразка.
 ПОРЯДОК ВИКОНАННЯ РОБОТИ

1. Ознайомитись з основними вузлами і принципом роботи установки ВУП.

2. Порядок включення установки:

- подати на установку живлення включенням кнопки "Сіть", відкрити кран

подачі води на дифузійний насос.

- натиснути кнопку "ФН" (включається форвакуумний насос), включити

кнопку "ВВ" і кнопку "ДН" при цьому форвакуумний насос відкачує повітря з
дифузійного насосу. При положенні рукоятки високовакуумного клапану
"Закрито", відкривають ковпак, встановлюють зразки для напилення на столик і
підключають нагрівачі з напиляємим матеріалом до струмопідводів.

- закрити ковпак і натиснути кнопку "ПВ", при цьому форвакуумний насос

переключається на відкачку повітря з камери напилення.

- після досягнення в камері тиску 6,6 Па включають кнопку "ВВ" і ставлять

високовакуумний клапан в положення "Відкрито".

- при досягненні в камері тиску 2.10-2 Па включити кнопку "випар" і

регулятором напруги встановити необхідну температуру на нагрівачі, при якій
іде інтенсивне випаровування матеріалу.

- після закінчення процесу випаровування і утворення покриття,

відключають кнопкою "Випар" живлення нагрівача, високовакуумний клапан
ставлять в положення "Закрито" і напускають повітря в камеру напилення. При
підвищенні тиску в камері до атмосферного , відкривають камеру і знімають
зразки з столика установки.
 ВИКОНАННЯ ЛАБОРАТОРНОЇ РОБОТИ

1. Принцип резистивного нагріву матеріалів при напиленні.

Суть процесу нанесення тонких плівок полягає у нагріванні речовини у

вакуумі до температури, при якій кінетична енергія атомів і молекул речовини
збільшується настільки, що вони відриваються від поверхні і поширюються в
навколишньому просторі. Це стає можливим при температурі, при якій тиск
власних парів речовини перевищує тиск залишкових газів на кілька порядків.
Атоми та молекули, що випаровуються, рухаються прямолінійно і при зіткненні
з поверхнею конденсуються на ній.

Процес випаровування здійснюється за звичайною схемою: тверда фаза -

рідка фаза - газоподібний стан. Деякі речовини (магній, кадмій, цинк та ін)
переходять в газоподібний стан, минаючи рідку фазу. Такий процес називається
сублімацією.

Для виконання операції вакуумного напилення необхідно виконати

декілька кроків. Спочатку в верхньому положенні необхідно зняти оброблені
підкладки та встановити нові на підложкотримач. Після цього ковпак можна
опускати і включати систему вакуумних насосів. Для швидшої десорбції
повітря з внутрішніх поверхонь та скорочення часу відкачки, до трубопроводу
підводять гарячу проточну воду. Коли досягнуто внутрішнього тиску в камері
на рівні близько 10-2 Па, вмикаються нагрівачі випарника та підкладок. Після
досягнення необхідної температури, заслінку відводять вбік, що дозволяє паром
речовини досягти підкладок, де відбувається їх конденсація та зростання тонкої
плівки.
 1 - вакуумний ковпак з нержавіючої сталі; 2 - заслонка; 3 - трубопровід для
водяного підігріву чи охолодження ковпака; 4 - голчастий натікач для подачі
атмосферного повітря в камеру; 5 - нагрівач підкладки; 6 - підложкотримач з
підкладкою; 7 - герметизируюча прокладка з вакуумної гуми; 8 - випарник з
розміщеним в ньому речовиною і нагрівачем.

Рисунок 1 - Основні елементи установки вакуумного напилення.

2. Недоліки і переваги резистивного нагріву.

Методи вакуумного напилення з резистивним нагріванням

розпилюваного матеріалу мають перевагу у простоті конструкції випаровувача
та джерела електроживлення, а також у зручності контролю та регулювання
режиму роботи випаровування.

До матеріалів, які використовуються для виготовлення резисторів

ставиться ряд вимог: тиск пари матеріалу випаровувача при температурі
процесу повинен бути зневажливо малий; матеріал випаровувача повинен
добре змочуватися матеріалом, що розпиляється для забезпечення між ними
доброго теплового контакту і розпилюваний матеріал не повинен утворювати з
матеріалом резистора або тигля різного роду з'єднань, які спричиняють до
забруднення покриття та руйнування випаровувача.

Основний недолік випаровувачів з резистивним нагріванням полягає в

обмеженні максимальної температури випаровування до 1500 °С. Крім того,
способи резистивного нагрівання при напиленні енергомісткі і мають порівняно
низьку питому потужність і малу продуктивність.

3. Форми нагрівачів в установках резистивного нагріву.

За конструктивними ознаками резистивні нагрівники можна

класифікувати на: дротяні; стрічкові та тигельні.

Рисунок 2 – Способи резистивного нагрівання розпилюваного матеріалу:

а – дротяний; б – стрічковий; в – човниковий; г – тигельний
 Дротові випарники, основна перевага яких полягає в простоті пристрою і
високій економічності, виготовляються з дроту тугоплавких металів W, Mo, Ta
і випускаються найрізноманітніших форм (у вигляді петлі, циліндричної
спіралі, конічної спіралі, V - подібної форми тощо). Застосовуються для
випаровування речовин, які змочують матеріал нагрівача. При цьому
розплавлена речовина силами поверхневого натягу утримується у вигляді
краплі на дротовому нагрівачі. Застосовуваний дріт повинен мати по всій
довжині однаковий перетин, інакше через місцевий перегрівів буде порушена
рівномірність одержуваного шару і, крім того, дріт швидко перегорить.

Стрічкові випарники виготовляються з тонких листів тугоплавких

металів і мають спеціальні поглиблення у вигляді жолобів, човників, чашок або
коробочок, в яких розміщується випаровуваний матеріал. Вони застосовуються
для випаровування порошкових матеріалів і неорганічних сполук. Ці
випарники, так само як і дротяні прості по конструкції, але в порівнянні з
останніми споживають велику потужність внаслідок значних втрат на теплове
випромінювання.

Тигельні випарники можуть застосовуватися для випаровування

матеріалів, що не вступають у реакцію з матеріалом тигля і не утворюють з ним
сплавів. Вони виготовляються з тугоплавких металів (W, Mo, Ta) з оксидів
металів (Al2O3, BeO, ZrO2, ThO2 тощо) і графіту. Для осадження матеріалів з
низькою температурою випаровування можна також використовувати тиглі з
тугоплавкого скла і кварцу.

Тиглі з оксиду алюмінію використовуються для металів, температура

випаровування яких нижче 16000С (Cu, Mn, Fe, Sn) ; тиглі з оксиду берилію
можуть бути використані до температури 17500С, оксиду торію - до 22000С.
При випаровуванні матеріалів при температурах порядку 25000С
застосовуються тиглі з графіту. З графітових випарників ефективно
випаровуються Be, Ag, Sr. Багато оксидів активно відновлюються вуглецем, що
дає можливість очищати метали за допомогою графітних тиглів.
 Основна перевага тигельних випарників полягає в тому, що з їх
допомогою можна здійснювати випаровування великої кількості речовин. У
порівнянні з дротяними і стрічковими випарниками вони є більш інерційними,
так як мала теплопровідність матеріалів не дозволяє забезпечити швидке
нагрівання матеріалу, який випаровується. Крім того, тиглі з оксидів не
допускають швидкого нагрівання зважаючи на небезпеку їх руйнування
тепловим ударом. До недоліків тигельних випарників слід також віднести і те,
що з їх допомогою може бути отриманий тільки вузький пучок випаровування
речовини.
 ВИСНОВКИ

Під час виконання лабораторної роботи було вивчено принцип роботи і

будову установок вакуумного напилення покриттів з використанням
резистивного нагріву.

Проаналізувавши отриману теоретичну інформацію можна дійти

висновку, що вакуумна технологія напилення покриттів з використанням
резистивного нагріву має ряд переваг і недоліків.

До переваг методу вакуумного напилення з резистивним нагріванням

розпилюваного матеріалу слід віднести простоту конструкції випаровувача та
джерела електроживлення, а також у зручність контролю та регулювання
режиму роботи випаровування.

До недоліків методу вакуумного напилення з резистивним нагріванням

розпилюваного матеріалу слід віднести обмеження максимальної температури
випаровування до 1500 °С. Також способи резистивного нагрівання при
напиленні енергомісткі і мають порівняно низьку питому потужність і малу
продуктивність.