C6 C4-C5

5.10 Ha
(170x300)
12.63 Ha
YOKOHAMA (421x300)

域区门开
主设备操作台

料上

L I G Q N
A
F
F
B B
磷源柜
（可根据场地情 B
况摆放到别处） 料下
B B B B HH B B
E
域区门开
运转花篮小车

2000
运转花篮小车

域区门开
E B B B B B B
HH
磷源柜 料下
（可根据场地情 B
况摆放到别处） B B
F
L I G Q N
F
A

料上

主设备操作台
域区门开

磷扩右手机：高4.3米--6管
域区门开
主设备操作台

料上

L I G Q N
A
F
F
B B
磷源柜
（可根据场地情 B
况摆放到别处） 料下
B B B B HH B B
E
域区门开
运转花篮小车

2000
运转花篮小车

域区门开
E B B B B B B
HH
磷源柜 料下
（可根据场地情 B
况摆放到别处） B B
F
L I G Q N
F
A

料上

主设备操作台
域区门开
运转花篮小车

磷扩右手机：高4.3米--6管
域区门开
主设备操作台

料上

L I G Q N
A
F
F
B B
磷源柜
（可根据场地情 B
况摆放到别处） 料下
B B B B HH B B
E
域区门开
运转花篮小车

2000
运转花篮小车

域区门开
E B B B B B B
HH
磷源柜 料下
（可根据场地情 B
况摆放到别处） B B
F
L I G Q N
F
A

料上

主设备操作台
域区门开

运转花篮小车 运转花篮小车 运转花篮小车 运转花篮小车

运转花篮小车

域区门开
E B B B B B B
HH
料下
B

B B
F
L I G Q N F
A

料上

主设备操作台
域区门开
运转花篮小车

域区门开
主设备操作台

料上

L I G Q N
A
F
F
B B

B
料下
B B B B HH B B
E
域区门开
运转花篮小车

2000
运转花篮小车

域区门开
E B B B B B B
HH
料下
B

B B
F
L I G Q N
F
A

料上

主设备操作台
域区门开
运转花篮小车

域区门开
主设备操作台

料上

L I G Q N
A
F
F
B B

B
料下
B B B B HH B B
E
域区门开
运转花篮小车

2000
运转花篮小车

域区门开
E B B B B B B
HH
料下
B

B B
F
L I G Q N
F
A

料上

主设备操作台
域区门开
运转花篮小车

域区门开
主设备操作台

料上

L I G Q N
A
F
F
B B

B
料下
B B B B HH B B
E
域区门开
运转花篮小车

2000
运转花篮小车

域区门开
E B B B B B B
HH
料下
B

B B
F
L I G Q N F
A

料上

主设备操作台
域区门开

运转花篮小车 运转花篮小车 运转花篮小车 运转花篮小车 运转花篮小车 运转花篮小车 运转花篮小车

运转花篮小车 运转花篮小车 运转花篮小车

1040
开门区域 开门区域
主设备操作台 主设备操作台

上料 上料

J
L X T G I
A A
F F
F F
B B

B
下料 下料
B B B B HH B B HH B B B B
开门区域 开门区域
2000
2000

开门区域 开门区域

B B B B HH B B HH B B B B
下料 下料
B

B B
F F
L I G T X
F F
J A A

上料 上料

主设备操作台 主设备操作台
开门区域 开门区域
1040
1040
开门区域 开门区域
主设备操作台 主设备操作台

上料 上料

J
L X T G I
A A
F F
F F
B B

B
下料 下料
B B B B HH B B HH B B B B
开门区域 开门区域

运转花篮小车 车小篮花转运
2000
2000

开门区域 开门区域
B B B B HH B B HH B B B B
下料 下料
B

B B
F F
F F
J
L X T G I
A A

上料 上料

主设备操作台 主设备操作台
开门区域 开门区域
LPCVD右手机：高4.3米--6管 LPCVD右手机：高4.3米--6管
开门区域 开门区域
主设备操作台 主设备操作台

上料 上料

L I G T X
J A A
F F
F F
B B

B 下料 下料

B B B B HH B B HH B B B B
开门区域 开门区域
2000
2000

开门区域 开门区域

B B B B HH B B HH B B B B
下料 下料
B

B B
F F
L I G T X
F F
J A A

上料 上料

主设备操作台 主设备操作台
开门区域 开门区域
1040

1040 1040
开门区域 开门区域
主设备操作台 主设备操作台

上料 上料

J J
L X T G I I G T X L
A A
F F
F F
198

B B

B B
下料 下料
B B B B HH B B HH B B B B
开门区域 开门区域
465

开门区域 开门区域

B B B B HH B B HH B B B B
下料 下料
B B

B B
F F
L I G T X
F F X T G I L
J A A J

上料 上料

主设备操作台 主设备操作台
开门区域 开门区域
1040 1040