半导体参数测试仪4200SCS详细介绍中文

北京美亚先科技有限公司
BEIJING MEIYAXIAN TECHNOLOGY CO. LTD
半导体生物传感器点测系统方案
2011-07-06
Version 1.0
联系人：Peter Guo，Steven Wang
感谢您对北京美亚先科技有限公司经营的半导体点测系统感兴趣，为便于您了解该系统的性能指标、
技术优势与相关应用，我们特为您提供了下面的技术方案。该系统可以对半导体生物传感器进行精确到微
米量级的探针定位，然后进行半导体 IV 特性测试、数据采集与分析，是具有国际先进水平的半导体生物
传感器点测系统，并可进行扩充比如增加 CV/PIV 测量功能、增加高低温控制进行温度相关特性的分析测
试等。
该系统包括二大部分，第一部分是半导体特性分析系统，采用国际知名的美国 Keithley 仪器公司的
4200 半导体特性分析系统，在半导体测试领域长期处于领导地位，尤其在微弱信号相关的测试应用中。第
二部分采用奕叶(EVERBEING)国际的分析探针台，实现对半导体生物传感器进行精确探针定位。奕叶
(EVERBEING)国际经过在亚洲 20 年的技术积累，产品质量已经达到国际水准可与欧美产品并驾齐驱，而价
格却平易近人具有极高的性价比。这样两部分的有机组合，就构成了高性能的半导体生物传感器点测系统。
下面分别就系统的有关内容分三部分进行介绍，包括公司概况、Keithley 4200 半导体特性分析系统

与 EverBeing 探针台的详细介绍。
由于时间较短，及我们的技术水平有限，难免有考虑不周甚至错误的地方，敬请不吝指正。
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一公司概况

二 Keithley 4200 半导体特性分析系统
1. 4200-SCS 系统总体介绍
4200-SCS 型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流和脉冲参数测试，实时绘图与分析，适合
于半导体器件，生物传感器，生物芯片，光电器件，纳米器件，MEMS 等测试，具有高精度和亚 fA 级的分
辨率能力。4200-SCS 型半导体特性分析系统为这些器件和测试结构的直流参数和脉冲测试分析提供了一套
完整的方案,它是完整的直流加脉冲的“交钥匙式解决方案”，包括嵌入式 PC 机，Windows XP 操作系统与
大容量存储器。Windows 风格的点击式操控，使用者极易上手；其自动记录功能，加速并简化了获取数据
的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。4200-SCS 这种先进的设计将前所未有的测量精度和速度
与 Windows XP 和 Keithley 交互测试环境（KITE）完美组合，再与高性价比的 EVERBEING 分析探针台整合，
完成对样品的精确定位，即可构成一套功能强大的半导体特性点测与分析系统。
4200-SCS 采用先进的模块化结构设计，配置非常灵活。系统最多可支持八个源—测量单元（即 SMU），

包括最常使用的中功率 SMU、1A/20W 的大功率 SMU 及可选的前置放大器（简称前放）。前置放大器可置于
离样品较近的地方以有效地减少长距离电缆所带来的噪声，相对于离 4200-SCS 主机的位置，称为远端前
放。更重要的是，前放利用了 Keithley 积累半个多世纪的微弱信号测量技术优势，将中功率 SMU 的分辨
能力由 100fA 拓展到了 0.1fA 的水平，极弱电流的测量准确度达到 1%+10fA 的世界领先水平。
(1). 4200-SCS 前后面板介绍
4200-SCS/F 半导体特性分析系统的前面板如上图所示，具有一个 12 英寸的超清晰分辨率
（1024×768）的液晶显示器，具有可刻录的 DVD 光驱，磁盘驱动器，USB 接口，键盘和鼠标。
4200-SCS/C 的功能与技术性能与 4200-SCS/F 是相同的，只不过 4200-SCS/C 不带内置式液晶显示
器，可选择外接液晶显示器。
主要特点:
 具有工业级，基于 GUI 的 Windows 视窗界面，将系统设置集成时间降低到了最小；
 将工业级控制器和另外的 RAM 集成在一起，确保了高的测试速度，加强了系统的坚固性，稳定性和
安全性；
 具有计算机大容量硬盘，可立即存储测试过程和数据结果；
 可刻录的 DVD 光驱可以进行大容量的数据备份和传输；
 带有 2 个 USB 接口可迅速地与外围设备进行通信。

后面板：
4200-SCS 半导体特性分析系统的后面板是系统的重要组成部分，从左至右看，可分成计算机部分和
仪器测量部分。计算机部分包括标准的 10/100T 以太网接口，RS-232 接口，并行打印机接口（内置 100
多种常用打印机驱动程序），SVGA 显示器接口，USB 接口等；仪器测量部分则包括 9 个基于 PCI 总线
的插槽，可插入 2-8 个 SMU（源-测量单元），可插入 CVU 多频 CV 测量模块，双通道脉冲发生器和示波
器插卡（支持脉冲 I-V 测量），带有远端感应功能的低噪声地单元，GPIB 接口等。
主要特点：
 将仪器测量部分与计算机部分组成了一个完整有机的整体，使得用户在仪器安装和调试的时间降低到
了最小；
 PCI 总线插槽的结构可以使得用户将测量通道的数量从 2 个扩展至 8 个，从直流 I-V 测试扩展到 C-V、
脉冲 I-V 测试；
 每个 SMU 通道都具有独立的 22 位分辨率的 A/D 转换器，保证了测试精度；
 高功率 SMU 可直接接入 4200-SCS 系统的 PCI 总线插槽上，无需额外扩展机箱。
(2). 4200-SCS 系统关键性能综述
4200-SCS 系统的关键技术性能表
技术项目 4200-SCS 系统指标
最大电压源 200V
电压源设定最小分辨率 5μV
最大电流源 100mA（可选 1A）
电流源设定最小分辨率 1.5fA
电流测量范围 0.1fA-100mA（可选 1A）
电流测量最小分辨率 0.1fA
测量单元的 A/D 情况分辨率为 22 位，每个测量单元都有 A/D 转换器
测量单元的测试线是专门为小信号测试设计的三同轴电缆线，所有的测量
单元 SMU 都是完全保护的四线测量结构

系统扩展性 4200-SCS 半导体特性分析系统在后面板上具有 9 个基
于 PCI 总线的插槽，用于插入核心测量部件—SMU，系统
最多可允许插入 8 个 SMU，在这 8 个 SMU 中，4200-SCS
允许 4 个大功率 SMU，这非常适合于用户将来为复杂的半
导体和纳米器件进行测试。SMU 插槽的设计采用竖型插入
方式，这样可以最大程度地进行系统散热。
电流前置放大器的扩展能力 4200-SCS 半导体特性分析系统为 SMU 提供了前置
放大器选件，可以说极大地扩展了 SMU 的测量能力。使
用这一选件时，SMU 可以分辨到 100aA 的极微弱电流。
前置放大器体积很小，既可以直接安装在 SMU 的输入端，
又可以放置在距离被测器件很近的地方（如探针台等），
它与 SMU 之间使用延伸电缆相连，这样可以保证被测的
微弱信号的无损传输，有效地避免环境噪声的干扰。
脉冲 I-V 的扩展能力 4200-SCS 系统提供了两个插卡用于脉冲 I-V 测试，
一个是双通道脉冲发生器插卡，另一个是双通道数字示波
器插卡，这两个插卡均可插入在 4200-SCS 系统后面板的
插槽中，可以分别使用，也可以共用形成一个完整的“交钥
匙”的直流+脉冲 I-V 测试系统，在 4200-SCS 系统的软件
KITE 可以观察脉冲的波形和测量数据。需要强调的是：该
套脉冲 I-V 扩展无需占用体积，无需搭建，无需编制程序，
它与 4200-SCS 形成了集成化的解决方案。
C-V 测试扩展能力 4200-SCS 系统提供 4200-CVU 的 C-V 测试选项，可
测试半导体的 C-V 技术特性，变频范围：10kHz-10MHz，
除了可测试 C 外，还可分析计算出半导体物理参数，比如
掺杂浓度，氧化层厚度，平带电压、平带电容等。
外控仪器的扩展能力 4200-SCS 半导体特性分析系统具备 GPIB 接口，可控
制任何外加的通过标准 GPIB 程控接口仪器
探针台的配合 4200-SCS 半导体特性分析系统可配合使用手动分析
探针台或驱动其他的自动探针台。
提供纳米技术工具包 4200-SCS 半导体特性分析系统的软件专为纳米技术
应用提供了纳米技术工具包。针对 7 种最常用的纳米器件
结构开发出 16 种测试交互模块，可以加速纳米研究的测
试过程。
可用于器件建模/电路仿真 4200-SCS 半导体特性分析系统具有很大灵活性，可用
于器件建模/电路仿真环境设计工作。技术人员可以应用
Cadence BSIMproPPUs 或 IC-CAP 参数提取软件，通过
系统内置的 GPIB 接口来控制 4200-SCS 系统。并通过仪
器的驱动程序控制 4200-SCS，就象 4200-SCS 的仪器被
联接到建模系统中。4200-SCS 提供一组 GPIB 命令，使
得 4200-SCS 的用户可以充分利用 4200-SCS 的源与测量
能力。
系统计算机配置具备集成化计算机系统，双核 CPU，2G 内存，本地硬盘，

带可刻录的 DVD 光驱，USB 接口，以太网接口，内置或
外接液晶显示器，Windows XP 操作系统。
2. 4200-SCS 系统软件介绍
4200-SCS 半导体特性分析系统运行的是 Keithley 交互式测量环境（KITE），迄今为止已经是第四代

了。自发布以来进行了多次重要的改进，增加了很多功能，该软件版本以后可定期升级。在这个环境下，
用户可轻松自如地设置测试条件，执行测试，获取参数结果及图形显示，在内嵌 Excel 中和图形上对参数
进行分析。KITE 还允许用户编写计算公式，并提供了常数表和科学运算，曲线拟合，数组分析等多种函
数。
(1). 具有项目参数浏览器功能的参数界面
对半导体器件参数的测试
项目浏览器功能
全部为软件点击式操作，Windows GUI 图形化

操作界面，内置强大软件分析功能。
KITE 软件为 Windows GUI 图形化操作界面，对从事半导体和微电子技术研究的用户，都可以在稍加

培训后立即开始测试，从而使的科研人员将主要时间和精力花在项目的研究上而不是如何在使用仪器方
面。
(1). 具有项目浏览器风格的软件界面，可根据器件的类型来安排测试，可以以执行多项测试并提供测
试序列与循环控制功能。
(2). KITE 可以使得用户迅速地了解测试过程。在执行一个测试顺序时，用户可以逐个观察测试项目的

结果和图形。
(3). KITE 的灵活的用户接口使得用户仅需鼠标点击就可以对器件的设置参数进行容易的设置。
(4). 建立在 Windows XP 的工作平台可以容易地进行获取数据，分析图形和打印报告。
(5). 可以将测试数据直接实时地以.xls（电子表格），.bmp（位图），.jpg（图形），.tif 等格式储存。
(6). 可以实现脉冲 SMU 模式：SMU 的脉冲“开”时间可短至 5ms，可用于不是特别快的脉冲 I-V 测试，
时钟等。
(7). 具备双扫描功能：将一个 SMU 进行正向扫描然后再回扫，适合于滞后测试
(8). 具备待机模式：用于防止测试之间时间过长时或者在当电源时产生的松弛现象。
(2). 具有独特的二次开发平台 KULT
KITE 软件中具有一个独特的用户测试模块叫 Keithley 用户库工具（KULT），它提供了一个 C++平台，

用于进行高级和复杂的算法编制。用户开可以调用直流参数测试库中的函数指挥仪器，开关，各种 GPIB
程控仪器，RS-232 端口或探针台的动作。KULT 所建立的库能够直接被 KITE 直接调用。
(3). 具备脉冲 I-V 测试的界面
KITE 软件提供了脉冲的 I-V 测量能力，

与脉冲发生器插卡和双通道数字示波器插卡联用，为 4200-SCS
提供了比台示示波器更多的性能。它可进行支持脉冲波形的时间域测量，以及监视被测器件对那些脉冲的
反应情况。可以在软件上容地设置波形参数和测量参数，选择触发模式，可以选择、触发、测量、计算和
多达 4 个参考波形。

(4). 提供了业内最全面的针对纳米及相关电子器件的纳米测试工具包
4200-SCS 半导体特性分析系统提供的软件 KITE 包括一个独特的纳米技术工具包，它提供了纳米电子

学特性分析的一个强大平台。
这个应用工具包，采用鼠标点击的简单操作，定义有关测量参数并控制 4200-SCS 的源—测量单元。
在操作过程中您还可改变测量参数，收集测量数据，并立即对采集的数据图形化显示和分析处理。采用自
动测试模式，即使对复杂的一系列测试，您也不需要写任何编程代码，只需将 4200-SCS 与纳米尺度的被
测器件直接相连或通过纳米探针台，专用夹具，TEM，SEM 等连接即可。以上这些特性都会帮助您专注
于研究项目，缩短项目研究的时间，从而加快您研究的进程。
工具包内容：支持下列的纳米器件，并带有交互式的测试模块（ITM）：
 碳纳米管
-I-V 特性
 生物芯片/器件
-I-V 特性
 碳纳米管 FET
- +漏极电压与漏极电流
- -漏极电压与漏极电流
- 线性阈值电压扫描
- 栅极电压与漏极电流
- Sub-Threshold 电压扫描
- 阈值电压最大 GM 扫描
- 栅极漏电流与电压扫描
 纳米线
- 低阻纳米线的扫描
- 低阻纳米线导电性扫描
- 高阻纳米线的扫描
- 高阻纳米线导电性扫描
 分子线
- 电流，导电性与电压 I-V 扫描
 分子晶体管

- 漏极电压与漏极电流扫描
 多管脚纳米格（Nanocell）
- 输入/输出特性扫描
(5). 提供了 C-V 测试操作界面
KITE 软件具备全套的 C-V 分析软件库，可测量多种半导体结构的 C-V 特性和半导体物理参数，可测

量并分析出氧化层厚度、栅面积、串联电阻、平带电容，电压、开启电压、体搀杂、有效氧化层电荷密度、
可动电荷、金属-半导体功函数、德拜长度、体电势、平均搀杂、少数载流子等参数。
这里需要特别指出的是，C-V 的关键不只是进行电容测量，重要的是提取评价半导体工艺的参数，在
KITE 软件中，已经内置了所有的 C-V 参数的分析库，并且允许用户根据自己研究的器件进行修改，定制
测试流程，上述集成在内的测试库，来自于标准教科书和 Keithley 公司多年的技术服务经验，有助于极大
地帮助客户使用软件进行相关参数提取。
(6). 具有专门针对太阳能电池测试的解决方案
KITE 软件新增加了 9 个针对太阳能电池的测试库，包括短路电流 Isc，开路电压 Voc，最大功率输出

Pmax，倾角时测量的峰值功率时的电压（Vmp），充填因子，分流电阻(RSHUNT)，串联电阻（RSERIES），
电阻率，驱动电平。这些测试库针对下列最常用的太阳能电池技术，非常实用：
 单晶硅（Mono-crystalline）；
 多晶硅（Poly-crystalline）；
 不规则（Amorphous）；
 铜铟镓硒技术（Copper indium gallium selenide）CIGS

 碲化镉（Cadmium telluride）
 有机聚合物（Polymer organic）
3. 硬件可扩展性特点及将来扩展性能指标
说明：该部分描述的是 4200-SCS/F 半导体特性分析仪主机的扩展性，描述了可扩展的硬件性能和技

术指标，客户根据需要可选择这一部分所描述的硬件，但不是必须的。
(1). SMU 的扩展能力
4200-SCS/F 半导体特性分析仪主机在后面板上具有 9 个基于 PCI 总线的插槽，用于插入核心测量部

件—SMU，系统最多可允许插入 8 个 SMU，在这 8 个 SMU 中，4200-SCS/F 允许 4 个大功率 SMU，这
非常适合于用户将来为复杂的半导体和纳米器件进行测试。SMU 插槽的设计采用竖型插入方式，这样可
以最大程度将进行系统散热。每个 SMU 都具备一个 A/D 转换器，所有的 SMU 都是完全独立的，所有的
SMU 都是完全保护的四线测量结构。
(2). 脉冲 I-V 测试的扩展能力
随着纳米技术的不断发展，出现了新型材料（高 K，SOI 等），越来越小的器件尺寸和越来越快的工

作速度，这些高新技术的结合使得对纳米结构的特性分析变得越来越富于挑战性。传统的 DC I-V 技术可
能会导致器件的一些自热效应，从而会影响器件的性能。为了减少自热效应的影响，4200-SCS 半导体特
性分析系统提供了脉冲 I-V 测试的扩展能力，它可以与 DC 测试结合，从而能得出更为精准的测试结果。
4200-SCS/F 系统提供了两个插卡用于脉冲 I-V 测试，一个是双通道脉冲发生器插卡，另一个是双通
道数字示波器插卡，这两个插卡均可插入在 4200-SCS 系统后面板的插槽中，组成了一个完整的“交钥匙”
的直流+脉冲 I-V 测试系统，在 4200-SCS 系统的软件中已经含有脉冲 I-V 测试的全套软件，用户如果将来
需要做脉冲 I-V 测试，则只需要添加订购脉冲 I-V 测试的硬件即可。
双通道脉冲发生器的技术指标：
脉冲发生器指标
频率范围： 1Hz—50MHz
脉冲宽度：最小 10ns
通道数：两个独立的通道
脉冲幅度： 50Ω 时，高达 40V p-p
1MΩ 时，高达 80V p-p
可调参数：脉冲宽度，占空比，上升时间，下降时间，幅度，漂移
双通道数字示波器的技术指标：

数字示波器指标
频率范围： DC—750MHz
通道数：两个独立的通道
最大采样速度：每通道每秒 1.25G/s
在线内存量：每通道高达 1M
可以在 4200-SCS 的软件系统中设置脉冲 I-V 测试和观察测试结果：
(3). C-V 测试的扩展能力
4200-CVU 是 KEITHLEY 公司最新研制的 C-V 测试解决技术方案，它集成在 4200-SCS 半导体特性

分析系统中，实现电容等参数的测量。4200-SCS 系统的软件 KITE 的图形化用户接口可以使得用户方便
地进行参数的设定和测量。同时该软件内置了大量的 C-V 测试与分析库，可以实现多种半导体物理参数的
分析与提取。
C-V 的关键不只是进行电容测量，重要的是提取评价半导体工艺的参数，比如掺杂浓度，氧化层特性
等。4200-CVU 内置的 C-V 测试库有：
 标准 C-V 扫描：普通 MOSFET，二极管和电容器；
 MOScap：测量 MOS 电容器上的 C-V，提取参数包括氧化层电容，氧化层厚度，掺杂浓度，耗尽深
度，德拜长度，平带电容，平带电压，体电势，阈值电压，金属半导体功函数，有效氧化层电荷；
 MOSFET：对一个 MOSFET 器件进行一个 C-V 扫描。提取参数包括：氧化层厚度，氧化层电容，平
带电容，平带电压，阈值电压，掺杂浓度与耗尽深度的函数关系；
 寿命：确定产生速度并进行寿命测试（Zerbst 图）；
 可动离子：使用 BTS 方法确定并提取平带电压参数确定可动电荷。包括对 Hot Chuck 热吸盘的控制。
在室温下测试样品，然后加热后测试，然后再恢复至室温下以确定平带漂移电压，从而确定可动电荷；
 电容：在金属-绝缘-金属（MIM）电容器上进行 C-V 扫描和 C-f 扫描，并计算出标准偏差；
 PN 结：测量 P-N 结或肖特及二极管的电容与其尖端片置电压的函数关系；
 光伏电池：测量一个发光太阳电池的正向和反向 DC 特性，提取参数，最大功率，最大电流，最大电
压，短路电流，开路电压，效率。同时执行 C-V 和 C-f 扫描特性；
 BJT：在端-端之间测量电容（OV 偏置情况下），Cbe，Cbc，Cec；
 接线电容：测量晶圆上小的互相接线之间的电容；
 纳米线：在两端的纳米线器件上进行 C-V 扫描；
 闪存：在一个典型的栅极悬浮闪存器件上进行 C-V 测量。
Keithley C-V/I-V 分析和提取程序工作在一个界面友好的环境上，允许用户容易地进行修改，定制测试
流程。上述集成在内的测试库，来自于标准教科书和 Keithley 公司多年的技术服务经验，有助于极大地缩
短程序开发时间。
(4). 其他扩展能力
4200-SCS 不但能够出色完成 I-V、C-V，PIV 特性的分析，还支持多种扩展功能：

程控开关—实现多路或多器件测试，当被测结构含多个器件时，您可以使用从程控开关进行自动切换；
探针台—支持手动分析探针台，推荐使用高性价比的 EVENBEING 的分析探针台系列；以及国际知
名品牌的全自动和半自动探针台。
纳米相关--在纳米研究领域中，可能需要设备诸如扫描电镜，纳米操纵平台等。它们与 4200-SCS 半
导体特性分析系统可以组成完整的纳米表征平台，对诸如碳纳米管（SWNT）这样的下一代纳米级电子器
件和材料进行综合物理特性分析。纳米操纵平台是专为纳米技术研制的高技术产品。对传统的很多探针台
来说它们要求被测器件的尺寸要大，而对那些带有光学显微镜的手动探针台来说又不具备精准的特征。随
着栅极尺寸小于 90nm 和不断缩小的尺寸空间，需要高分辨率的纳米探针操纵系统。
4200-SCS 半导体特性分析系统可以与诸如美国 Zyvex 公司、德国 Kliendiek 公司等国际知名品牌的
纳米探针操纵系统联合使用，它们具有小于 5nm 的移动精度，纳米探针的直径小于 20nm，电流测量的能
力高于 1pA 的能力。借助于扫描电境，Keithley 4200 系统可以与这些先进的纳米操纵平台进行可进行电
学性能测量和沉淀，剥离，操纵和纳米力学性能等综合测量。
4. 4200-SCS 系统技术优势综述
(1). 4200-SCS 开创了半导体测试的新纪元
4200-SCS 于 2000 年年底在全球正式推向市场，其产品的稳定性，可操作性，可升级性，精度在业

界带来了不小的轰动，多项技术处于公认的领先地位，开创了半导体测试的新纪元，当然也带来了别的厂
家的效仿。

Keithley 仪器公司作为全球领先的半导体领域的测试公司，始终不断与客户建立更加紧密地合作关系，
愿意与客户探讨并帮助客户解决测试中遇到的问题，不断根据客户和市场对软件和硬件进行升级和扩充，
使得客户的投资保持在一个较高的回报率，这也是我们在该市场取得领先的重要原因。比如：Keithley 于
2005 年与国际 IEEE 协会合作制订了国际纳米电子器件的测试规范 IEEE Standard 1650TM-2005，为科
学研究和产业给予纳米科技界一个统一的关于测试和数据报告过程的标准规范。又如 Keithley 最近推向市
场的超快脉冲 I-V 模块 4225-PMU 是另一个例子，将脉冲 IV 测试扩展到了 60ns-DC，10ns 步进的新水平，
适合于瞬态 IV 测试、FLASH、PCRAM、高 K 材料、NBTI/PBTI 可靠性测试等。
(2). 关于微弱电流测试的技术优势介绍
在纳米电子器件测试中，小电流的测试是至关重要的。美国 Keithley 公司成立 60 多年来，一直致力

于微弱电流测试的技术研发，取得了业界公认的技术领先优势。
4200-SCS 系统采用了 2 个技术优势来保证电流的测试：
(a). 测试电缆采用三同轴电缆即 Triax 技术，采用特殊 Guard 保护电路，从而保证了小电流的测试；
(b). 在实际的微弱信号测试中，要考虑到往往被测器件距离参数测试系统会有一段距离，如果不在前
端就将前级微弱电流放大，就会导致前端噪声传送到 SMU 单元中，这样一来，如果将 SMU 本底精度做
的过高，就意义不大了；因此一定要考虑在前端放大微弱电流信号，这里又要提及测试小电流的基本原理，
就是在测试小电流时，一定要将电路的等效阻抗越大越好，因为电流的噪声是和电路的等效阻抗成反比关
系，参见下图：
因此，需要特别指出的是，配置了 4200-PA 前置放大器单元，其输入等效阻抗可达 1016Ω，因此就大

大降低了电路的噪声。而且，电流前置放大器可以放置在器件前端（探针台前端），从而在前级就将电流
信号放大，然后再极低损耗地传送到主机中，这样可以提高噪声抑制能力。

附图 1：2010 年 11 月 10 日于北京大学用 4200-SCS 与 EverBeing 探针台连接时的电流实测图
4200-SCS 给出的最佳本底电流保守指标为小于 10fA，接上 EverBeing 探针台时测试数据如下图。
在 200 多个实测数据中，最大值 120fA，最小值-10fA，漏电流估算为优于±65fA。（该数据为真实

的未经优化处理的数据，在其他的场合可能会有不同。）
5. 近 3 年来中国主要市场的销售情况
4200-SCS 一经问世，受到全球主要科研单位和生产单位的喜爱，在中国，该产品迄今已经销售了 250
多台，尤其是近 3 年来，随着中国政府对科学研究、教育事业的不断投入，以及半导体市场的高速增长，
已经成为绝大多数的中国半导体业界、微电子业界、纳米电子、生物芯片、新型半导体材料和器件研究单
位和生产单位公认的领先的测试平台，其产品稳定性、先进性及产品软硬件的不断更新与完善得到广大用
户的认可。近 3 年来，4200-SCS 产品在中国主要科学和教育单位的销售情况简要介绍如下：
(1). 4200 在中国半导体工厂和企业分布情况：
客户名称装机数量应用背景
上海 SMIC（中芯国际） 6 台晶圆测试（WAT），质量控制（QA），失效分析（FA）
上海 GSMC（宏力） 4 台质量控制（QA）
苏州和舰 1 台晶圆级可靠性测试（WLR）
上海 ASMC（先进） 3 台晶圆测试（WAT），失效分析（FA）
上海贝岭 1 台质量控制（QA）
上海力通微电子 1 台晶圆测试
无锡 CSMC（上华） 3 台晶圆测试（WAT），失效分析（FA），晶圆可靠性（WLR）
无锡华润 1 台质量控制（QA）
无锡英飞凌科技 1 台电子元器件
宁波中纬 2 台晶圆测试（WAT），质量控制（QA）
西安西岳 1 台晶圆测试（WAT）
南京瑞福达微电子 1 台 TFT 测试
上海交大泰阳绿色能源公司 1 台半导体材料
深圳方正微电子 1 台晶圆测试（WAT）
深圳伟创力电子 1 台晶圆测试（WAT）


(2). 4200 在中国主要大学分布情况：
清华大学 8 台微电子、半导体教学、纳米、有机半导体、光电子等
北京大学 11 台半导体、有机半导体、纳米器件、单电子器件、薄膜器件等
吉林大学 1 台半导体材料和器件、光电器件等
哈尔滨工业大学 2 台半导体
哈尔滨理工大学 1 台半导体
牡丹江师范大学 1 台半导体材料和器件
天津工业大学 1 台半导体
北京工业大学 2 台半导体、光电器件
北方工业大学 1 台半导体
北京科技大学 2 台纳米器件（带 Zyvex S100 纳米探针台）、太阳能电池
北京交通大学 1 台 TFT 器件测试
山东大学 3 台半导体、有机半导体、薄膜器件等
青岛科技大学 1 台纳米器件
河南大学 1 台半导体器件
武汉大学 1 台半导体
华中科技大学 1 台半导体
武汉理工大学 1 台半导体材料和器件
中国科技大学 2 台纳米器件、半导体器件
合肥工业大学 2 台半导体、MEMS 器件
西安交通大学 2 台半导体器件及设计
西北工业大学 1 台 MEMS
西安邮电大学 1 台半导体
兰州大学 1 台半导体
复旦大学 6 台微电子薄膜器件、先进 TFT 器件、微纳器件分析、存贮器件
上海交通大学 1 台纳米器件
上海大学 3 台半导体器件、集成电路测试、纳米器件
华东师范大学 1 台集成电路测试
上海东华大学 1 台纳米器件
浙江大学 2 台半导体材料和器件、微电子器件设计
同济大学 1 台纳米器件
浙江理工大学 1 台纳米器件
温州大学 2 台纳米器件、MEMS 测试
南京大学 4 台纳米器件、有机半导体、生物切片、闪存
东南大学 4 台纳米单电子器件、集成电路测试、MEMS 测试
苏州大学 1 台纳米器件
苏州科技学院 1 台太阳能电池器件测试
四川大学 1 台有机半导体
电子科技大学 2 台半导体、纳米器件

重庆大学 2 台半导体、纳米器件
厦门大学 2 台纳米器件、MEMS
福建师范大学 1 台有机半导体
中南大学 1 台半导体器件
湘潭大学 1 台有机半导体
长沙国防科技大学 1 台 MEMS
华南师范大学 1 台半导体材料和器件
深圳职业技术学院 1 台半导体
哈工大深圳研究院 1 台先进半导体器件
香港大学 1 台半导体
中山大学 1 台半导体材料器件
香港城市大学 2 台半导体、纳米器件
香港中文大学 1 台纳米器件

(3). 4200 在中国研究所分布情况：

中科院半导体所 1 台半导体器件
中科院微电子中心 2 台半导体器件，纳米器件
中科院国家纳米中心 2 台纳米器件
中科院北京物理所 6 台纳米器件，单电子器件等
中科院北京化学所 5 台有机半导体，纳米器件
中科院合肥固体物理所 1 台 MEMS
北京有色金属研究院 1 台半导体器件
中科院合肥智能所 1 台纳米材料器件测试
中科院上海技术物理所 3 台半导体，红外器件
中科院上海微系统所 1 台 MEMS
中科院上海硅酸盐所 1 台存储器件
中科院上海有机化学所 1 台纳米器件
中科院苏州纳米技术所 1 台纳米电子器件
中科院宁波材料所 1 台半导体存储器件
中国电子科技集团第 24 所 1 台半导体
中国电子科技集团第 44 所 2 台光电器件
中国电子科技集团第 55 所 3 台双极电路，微波射频 GaAs 晶圆测试
中国电子科技集团第 13 所 1 台半导体，微波射频 GaAs 晶圆测试
中国电子科技集团第 47 所 1 台半导体
中国电子科技集团第 11 所 1 台红外器件
中国兵器集团第 214 所 2 台半导体
中国兵器集团物理所 1 台红外器件
中国航天科技集团第 511 所 1 台半导体器件失效分析

中国航空科技第 014 所 2 台红外器件
中国航空科技第 618 所 1 台半导体光电器件

从 2000 年 11 月至今，还有其他一些客户也订购了 4200 系统，迄今为止，不完全统计的 4200 在中国
的装机总数不低于 250 台。同样 4200‐SCS 系统在国外也取得了主要的市场份额和良好的市场口碑，成为国
际先进水平的半导体测量系统的佼佼者。

6. 半导体生物传感器点测系统中 4200 部分的配置清单
项目型号描述单价(美金) 数量合计（美金）
Semiconductor Characterization System with 2
1 $37,822.00 1 $37,822.00
4200‐SCS/F ea. MPSMU with Flat Panel Display
Medium Power Source‐Measure Unit for
2 $6,120.00 2 $12,240.00
4200‐SMU 4200‐SCS. 100mA to 100fA, 200V to 1µV, 2 Watt
Remote PreAmp Option for 4200‐SMU and
3 $2,357.00 1 $2,357.00
4200‐PA 4210‐SMU, extends SMU to 0.1fA resolution
4 4200‐Cable Low Noise Triax Cable Kit $250.00 4 $1,000.00
5 4200‐TRX‐BAR 3‐Lug Triax Female to Female (barrel) Adapter $125.00 4 $500.00
小计 $ 53,919.00
运保费 $ 1,617.57
总计 $ 55,536.57
交货期: 8周
选项： 4210‐CVU：1KHz‐10MHz Capacitance Voltage Measurement Unit，$16000
4225‐PMU：Dual Channel Ultra‐Fast IV Unit for 4200‐SCS，$30000

三 EverBeing 高性能分析探针台
奕叶(EVERBEING)国际有限公司，从 1991 年起即专注于半导体及电子产业的应用开发，是宝岛台湾历

史最悠久的探针台及相关配件制造商，已成为该领域专业技术之先驱，在台湾市场占有率约为 80%，是无
可争议的第一，近几年在国内应用也已非常普及。奕叶探针台系列产品质量可与欧美产品并驾齐驱，甚至
可为客户量身定制特殊的分析探针台，而价格却平易近人具有极高的性价比，并得到了半导体相关的科研
与产业界客户的认可，成为亚洲先进的手动分析探针台的典范，形成了“国际质量,合理售价,永续服务,
创新应用”的经营理念。
探针台即 Probe Station，广泛应用于半导体相关的科研与产业界，包括电子/微电子，机电/微机电

/MEMs，物理，化学，材料，光电，纳米，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及 IC 设计/制造/测
试/封装、LED、LCD/OLED/AMLCD/AMOLED、LD/PD、PCB、FPC 等生产制造领域。
奕叶(EVERBEING)专注于手动分析类探针台，是将先进的精密机械加工、电子测试、显微成像、温度
控制（高低温控制）、噪声抑制、甚至微弱信号测试、射频微波测试等技术综合的高技术产品。我们以晶
圆探针台为例，介绍一下探针台的主要组成部分。如图所示：
 工作平台 -- 上面放置手动调节的探针座(可选常用的移动精度为几微米的探针座，也可选采
用瑞士螺纹技术精度达 0.35 微米的高灵敏度探针座，而且弈叶是亚洲最早采用这项技术的公司)，
有固定平台和可上下升降平台两种；
 载物台 Chuck -- 一般为圆形，根据样品尺寸选择载物台尺寸如 4"、6"、8"、12"，在上面可
放置被测晶圆、器件等样品。利用在载物台内部设计好的抽气孔，外接一台真空泵即可将样品吸附
在载物台上实现样品的固定；载物台可以在 X/Y 方向移动，也可上下升降，以实现对样品灵活与精
确的定位；
 显微成像装置 -- 主要由显微镜与可选的 CCD 成像或激光修复仪等组成。放大倍数要求不高，

选择简便的体视显微镜，价格也便宜；更多的情况建议选择灵活方便的金相显微镜，如图所示由镜

体、目镜、物镜及调节装置构成，放大倍数在几倍-上千倍可调节；位置可在 X/Y/Z 方向上精细调节；
为便于观察样品及摄录样品的图像，越来越多的系统选配 CCD 成像装置；
 探针杆 -- 根据需要选好探针座的型号与数量后，在探针座上如何固定探针，并连接到测量仪
器，需要探针杆。一端固定与连接探针，另一端与半导体特性分析仪/网络分析仪等接口，如常见的
Triax/BNC /SMA 等连接头。考虑到微弱信号测试如 nA 甚至 fA 级极弱电流检测和射频微波信号测量，
需要使用特殊设计的探针杆与探针；
 探针 -- 主要分为 DC(直流)探针与高频探针。高频探针详见美国 GGB 产品介绍。DC 探针主要
根据样品 Pad 的材料尺寸等来选择，针尖直径(0.2um-200um)、探针形状(直针、弯针)与材料(金属
钨或铍铜合金等)均是考虑因素。最常用的 DC 探针型号为 T20-10/T20-50，是 1um/5um 的钨材直
针。
 其他附件 -- 除了上面提到的探针台附件，常见的有高低温卡盘--调节样品的温度；屏蔽箱--
隔离电磁波与光干扰；防震桌；探针卡；转接头；射频/微波探针。。。。
。。
奕叶的探针台具有非常丰富的产品线，主要包括：
1. 晶圆探针台
2. 平板显示（LCD/OLED 大尺寸）探针台
3. LED/LD/PD 探针台
4. PCB/FPC 探针台
5. 低温探针台
6. 高温探针台
7. 霍尔效应/Hall 探针台
8. RF 探针台
9. 表面电阻率/4 探针测试台
10. 显微镜
11. 防震桌、防震垫
12. 屏蔽箱
13. 激光修复仪
14. 探针座、探针杆、探针
15. 丰富的配件如射频/微波探针、探针卡、电缆、接头及真空泵等
16. 其他特殊定制的探针台，如 PIV（脉冲 IV）、可弯曲式显示幕等特殊探针台
配置介绍
在半导体生物传感器点测系统中，我们选用弈叶 EVERBEING 的高性能分析探针台 BD-6，一个稳固的对

晶圆或生物传感器样品进行观察、点测、剖析的高性能分析探针台：高精密度的机械定位，手动操纵探针
对微米量级大小的 pad 进行点测，显微镜要用方便调节的金相显微镜，并配 CCD 成像系统以便摄录图像，
操作简便、功能容易扩充。该系统可与半导体特性分析仪直接连接，进行 IV/CV 等器件特性的分析测试，
并适用于不断出现的新的半导体测试的新需求。具体组成系统的配置包括：
1. 探针台台体—采用高性能的 BD-6 型，6 英寸载物台，工作平台可以上下移动，符合人体工学设计

2. 金相显微镜—配置顶级的 Mitutoyo FS-70Z 半导体检测用显微镜，正像光学系统，放大倍数 20
到 400 倍（可扩）；可以外加 CCD，在 PC 上同步观察样品或控制 CCD 进行样品的图像采集和录像。
3. 探针座--使探针等实现精确的步进和三维移动。
4. 探针杆--保证探针的稳定性，实现和仪表的完美连接。
5. 探针--低配和射频微波探针两种
6. 屏蔽箱--选件，可以屏蔽外在的光学和电磁方面的杂散信号干扰。
7. 防震桌--选件，保证整个测试平台的稳定性。
8. 其他附件
下面分项介绍性能与配置特点
1 探针台台体产地：台湾
总体规格特点:
 重量：70kg（含显微镜）。
 尺寸：780mm宽*660mm长*700mm高（含显微镜）。
 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。
显微镜操控规格:
 在探针台右侧有大摇杆，提起90度后，可以使显微镜快速倾仰抬起，方便在测试时更换物镜镜头。
 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围1"X1"，精度1μm。
 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，
移动精度1μm。
台面规格:
 探针台台面平整度：5μm。
 探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择。
 探针台右上方有转轮摇杆，摇动时可使台面线性上下升降，升降范围25mm，精度1μm。在探针台加装探针卡点测wafer
时方便对die的复位。
卡盘（载物台，即图中的chuck）规格:
 6" 卡盘，卡盘平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径250μm-1mm（可根据客户需求定制
孔径大小），最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为6"X6"。
 卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动精度为1μm，为方便点测的稳定性，带
有锁住功能。如果点测6"wafer的时候，可以保证6"wafer的每一点都能够点测到。

2 长工作距离金相显微镜 Mitutoyo FS-70Z 产地：日本
FS-70系列金相显微镜为顶级的半导体检测用显微镜，是目前最畅销的长工作距离金相显微镜。适用于半导体晶圆与器
件的测量与检视，也适用于诸如纳米器件、MEMS、LCD、AMOLED等前沿科技产品的检测。配合长工作距离物镜，适用
于几倍到上千倍的放大倍率，功能丰富且升级空间巨大，如选配CCD或加装激光修复仪(进行激光切割与焊接)来扩充气功能。
规格：
 目镜倍率: 10X, 15X, 20X; 一般选10X
 物镜倍率有: 2X 5X 10X 20X 50X 100X等
 变焦倍率: 1X-2X连续
 根据被测对象的大小, 来选择适当的总放大倍数。典型配置为目镜10X, 物镜选2X 10X 20X三组, 配合2X变焦, 总倍数
达400X; 如需更高倍数, 再加配50X或100X的物镜, 即可达到总倍数1000X或2000X。
 带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦，细旋钮方便精确调焦。
 显微镜Z轴方向的移动范围: 50mm
 显微镜X-Y轴的移动范围为: 1’’×1’’
 可选C-MOUNT接口即与CCD成像系统的连接端口。与CCD连接后, 通过PC显示器同步观察样品，并可用PC控制CCD
进行样品的图像采集和录像。
 亮视场，微分干涉对比(DIC)和偏振观测。
 极易操作的设计：采用正像光学系统 (视场中的像与样品方向相同)
 150W的光源, 光纤导入
日本Mitutoyo显微镜由于十分紧缺，市场上标准配置显微镜的货期大概要4-6个月左右，由于奕叶公司经营
探针台行业多年，对市场了解以及货物有储备，奕叶公司可以非常快捷地随探针台一同交货，不耽误客户的宝
贵时间。
尺寸图：

3 探针座 EB系列产地：台湾
探针座有如图所示，EB005、EB050、EB700、EB900四大系列。
EB005规格
 尺寸 90mmW x 130mmD x 90mmH

 重量 1000克
 牙距 100/200牙/英寸可选
 精度 0.7/0.35μm每度
 X-Y-Z线性移动范围 12mmX12mmX12mm
 特点：精度最高，可靠性非常好
EB050规格

 重量 550克
 牙距 80/100牙/英寸可选
 精度 0.8/0.7μm每度
 特点：大部分情况下均可使用此款，可靠性非常好
EB700规格

 重量 200克
 牙距 40牙/英寸
 精度 1.7μm每度
 特点：成本低，可靠性好
特点:
 真空吸附型，需配一台小型真空泵，能够方便地吸附在平台表面进行固定和精确定位，操控灵活无磁场干扰。
 EB系列探针座是线性移动，有些仿制的探针座，在探针移动的时候，走的是蛇行的路线，给精确点针造成困难。
 奕叶探针座是台湾地区唯一一家采用瑞士螺纹的探针座，也是亚洲最早采用该技术的厂商。
 EB-005探针座完全可以达到0.7μm的线性移动精度，理论精度是0.5μm，厂商给出的保守数据是0.7μm。
 EB-005探针座可以选择牙距为200牙/英寸的高配置，达到0.35μm的极高精度。
 EB-005探针座是目前半导体业内精准度最高的探针座之一。由于芯片点测的最终细调都是由探针座来完成，一般探针
平台精度不是太差的情况下，选用精度高的探针座，可以达到提升探针台整体系统性能的重要作用，与其他同类的进口产品
相比性能价格比极高。
 具有长达20年的制造经验，足以保证精密调节的稳定性，以保证客户进行高精度的实验。

4 探针
探针主要由直流(DC)探针，RF与微波探针等组成。DC探针的外形如图所示：
DC探针型号规格如下表
型号描述根/盒
0.2micron dia. Cat-Whisker
T20-2 5
0.4 mil dia. Welded to 20 mil Nickel shank 2.2 " long
0.7 micron dia. Cat-Whisker
T20-7 10
5 mil 5 mil dia. Welded to 20 mil Nickel shank 1.26 " long
1 micron dia. Solid Tungsten
T20-10 10
20 mil shank 1.26 " long
T20-50 10
T20-100 10
T20-150 10
15 micron dia. Solid BeCu
C20-150 10
T20-200 10
T20-1000 10
T20-2000 10
1.Internal Circuit---0.3u,0.4u,0.7u,1u
2.I/O Pad---5u,10u,15u,20u,25u
针尖直径
3.LD/PD/LED---10u,15u,20u,25u
4.Power---50u,100u
1. Straight--- For most application
2. 135 Bent---Tip probing end with 135 degree bending for tubular holder
探针形状
3. Z-shaped---low profile for screw-locked & spring-locked holder
4. LD Z-shapede Ultra low profile for LD test with minimum clearance

探针选项：
 135 degree -shaped
 Z-shaped
 Ultra-Low Profile Shape for LED/LD
 Customer requested shape
 Customer requested length
 Customer requested dia.
 Customer requested plating
探针介绍：
 一般低频测试探针分两种，硬针和软针，针尖直径在1μm以上称为硬针，在1μm以下称为软针，硬针用来点pad和扎穿
pass,软针用来点metal和FIB的mini pad
 Cat-Whisker 探针针尖为须丝状称为猫须针，针尖为钨丝加工而成，固定于探针针管内，针管材料为镍或铜，一般为
软针。
 Solid Tungsten 探针针尖材质为钨，针杆材质为镍，具有较小的接触电阻，钨材质较软，能与芯片表面形成良好接触
的同时不致损伤芯片。
 BeCu探针一般应用于探针卡和低接触电阻情况。
微波探针推荐使用美国GGB公司出品的有源或无源高频探针Picoprobe系列，DC-325GHz范围内均可。
5 探针杆
 管状屏蔽探针杆如上图，配备于探针座上，一头用于固定探针，另外一头为同轴（Coaxial）或三轴（Triaxial）接口以
连接测试设备。管状屏蔽探针杆适用于测量微弱电流，同时可接高压，漏电流低于100fA（需要配合屏蔽箱），高压可
耐1000V。
 另有弹簧式探针杆与螺钉锁紧式探针杆可供选择。
6 屏蔽箱产地：台湾
为了屏蔽电磁干扰、光线干扰，保证半导体特性测试的准确与稳定，经常需要配置如下图所示的屏蔽箱。

参数和特点：
 型号SB-68
 尺寸：910mm 宽x1010mm 长x1140mm高
 屏蔽光线和电磁干扰
 匹配探针台和防震桌设计
 与三轴（Triaxial）屏蔽探针杆配合可将漏电流降低到100fA，可抗1000V高压。
 屏蔽箱上根据测试需要可选配转接头，便于在关闭屏蔽箱时电信号在箱内外能良好连接。
 可根据客户要求定制
7 防震桌 VFT系列
特点：
 气压式防震桌，需配低噪声空气压缩机
 坚固的金属框架结构
 通过流动气压悬浮装置自动调节四角的稳定和平衡
 不锈钢桌面，防止眩光
 金属框架结构，黑色设计，庄重大方
 前后都有防护围挡防止手直接触碰浮动平台
 可选择的净负荷有 200kg、400kg 和 800kg
 桌子的四个角都配有水平支脚
 可根据顾客要求定制
以型号VFT-3636防震桌为例进行介绍（本系统采用是专门
为FPD探针台量身定做的防震桌）
尺寸：36”宽X36”长（90cm宽X90cm长）承重：200kg
结构如下图所示：

防震效果
最小承重 @ 20 psi 最大承重 @ 80 psi
垂直本征频率 1.9Hz 垂直本征频率 1.5Hz
防震效率@ 5Hz 70% 防震效率@ 5Hz 85%
水平本振频率 2.2Hz 水平本振频率 1.2Hz
VFT系列防震桌，包括下列型号：
 VFT-3027 尺寸（mm）760*680*780 净负荷200kg
 VFT-3636 尺寸（mm）910*910*780 净负荷200kg
 VFT-4836 尺寸（mm）1210*910*780 净负荷200kg
 VFT-6036 尺寸（mm）1520*910*780 净负荷400kg
 VFT-7236 尺寸（mm）1820*910*780 净负荷800kg
VFT系列防震桌是专门为探针台量身定做的产品，防震效果远超一般光学显微镜用防震桌。例如实验室位于楼上，楼体震动
较大的情况下，配备VFT系列防震桌，可以达到这样的防震性能：当配置100倍物镜，同时Zoom扭至2x时，将图像通过CCD
在17英寸显示器上显示，这时换算放大倍率可达4000倍（含显示器的面积放大）以上。此时，探针台放置在正常工作中的
防震桌上后，无抖动！假如这时软探针点在FIB制作的mini pad上，经过1个小时后，探针无明显移位。
8 其他附件
 连接线缆与转接头
低频线缆射频线缆
线缆为探针和测试仪器提供连接，低频线缆有同轴单屏蔽（Coaxial）和三轴双屏蔽（Coaxial）两种，双屏蔽线
缆，漏电极低仅为fA级别，线缆接头有同轴(Coaxial)、三轴(Triaxial)、香蕉头(Banana)等。

射频转接头三轴同轴转接头
如上图的转接头可以加装在屏蔽箱上，高机械精度和极低的fA级的漏电，为精密测试提供良好的桥接。当然也可
用于其它的应用场合，如转接和延长接线。接头有：同轴(Coaxial)、三轴(Triaxial)、香蕉头(Banana)等, 还可根
据客户需要定制。
 真空泵
规格
 电压：AC220V
 流量：7L/min
 真空度：-60kPa
 质量：0.7kg
功能
 提供真空动力源。
 配合卡盘（CHUCK）上的真空吸附孔来固定晶圆或器件样品。
 配合真空吸附型探针座，将探针座固定在平台上。
特点
 无油静音，特别适合实验室和洁净室使用。
 7L/min的流量，可24小时无间断运转。
 图像采集系统产地：台湾
 CCD：JVC K-C921EC
 数字采集卡：LEADTEK VC100XP
 （选配）19"液晶显示器

9，半导体生物传感器点测系统中探针台部分的配置清单
项目型号描述单价(美金) 数量合计（美金）
Probe Station 6"

*Huge-Knob Chuck Stage X-Y 6"-6"
BD-6 *Quick-Y Stage For Wafer Easy Loading
1 *Backlash Free Movement $14,000.00 1 $14,000.00
探针台台体
*Platen Linear Quick Up/Down 6mm
*Platen Linear Fine Up/Down 25mm
*Microscope Stage X-Y 1”-1”
Mitutoyo Microscope
*E.P.10X
*Zoom 1X~2X
FS-70Z *Objective 2X,10X & 20X
2 *Total Mag. 20X~400X $17,260.00 1 $17,260.00
显微镜
*Focus Travel 50 mm
*Fiber Lite Source
*Power Supply 150W
*CCD Adapter
Micropositioner, Vacuum Base

EB-050-V *X-Y-Z 12mm-12mm-12mm
3 *Linear Motion $850.00 4 $3,400.00
探针座
*80 TPI Thread/Inch
*Resolution 0.8um
TTH-Tubular Triaxial Tip Holder Tubular
4 $550.00 4 $2,200.00
探针夹具 Probing Inclination
SB-6 Shielding Box For BD-6
5 $1,500.00 1 $1,500.00
屏蔽箱 900mmW*900mmD*1140mmH
Vibration Free Table
VFT-3636
6 36”W x 36”D x 31”H $3,200.00 1 $3,200.00
防震桌
Net load 200kg
LN-Air-C
7 Low Noise Compressor $1,300.00 1 $1,300.00
空气压缩机
CCD CCD JVC TK-C9211EC 430000Pix

8 $2,000.00 1 $2,000.00
采集系统 Video Card LEADTEK VC100XP
VP-7
9 Vacuum Pump 7 liter/min $400.00 2 $800.00
低静音真空泵
TriF-TriF
10 Triaxial female/Triaxial female $70.00 4 $280.00
转接头
10 micron dia.
T20-100
11 Solid Tungsten $60.00 5 $300.00
探针
20 mil shank 1.26 “ long
5 micron dia. Solid
T20-50
12 Tungsten $60.00 5 $300.00
探针
20 mil shank 1.26 “ long
小计 $46,540.00
运输保险费 $1,200.00
总计 CIP Wuhan $47,740.00
选项： EB-005-200V 200TPI 探针座，0.35μm 的极高精度，$1950

探针台实物图片，可能与实际订货不完全一致，仅供参考
屏蔽箱
CCD 图像采集
探针杆/夹具
金相显微镜
卡盘/Chuck
探针座
探针台台体
灯源箱
温控装置
空压机
冷却水箱
综上所述，半导体生物传感器点测系统，包括了国际知名的美国 Keithley 仪器公司的 4200 半导体特

性分析系统，与奕叶(EVERBEING)国际的 BD-6 型分析探针台，可实现对半导体生物传感器精确探针定位与
IV 特性分析，是具有国际领先水平的高性能半导体生物传感器点测系统。加上美亚先科技有限公司的优质
技术服务，再加上 Keithley 与 EverBeing 公司的作为生产厂家的技术支持，使我们的客户可以集中精力
高效率地做好新技术新产品的研究开发，获得丰硕的科研成果。
由于时间较短，及我们的技术水平有限，难免有考虑不周甚至错误的地方，敬请指正。
Beijing Meiyaxian Technology Co. Ltd.
8610-82251642, 82251760
Peter 郭煜楠 15018781655
Steven 王中武 13321182045

半导体参数测试仪4200SCS详细介绍 中文

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半导体参数测试仪4200SCS详细介绍 中文

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北京美亚先科技有限公司

BEIJING MEIYAXIAN TECHNOLOGY CO. LTD

下面分别就系统的有关内容分三部分进行介绍，包括公司概况、Keithley 4200 半导体特性分析系统

北京美亚先科技有限公司  北京市朝阳区裕民路 12 号元辰鑫大厦 E1 座 321 室（100029） 8610-82251642  Fax 8610-82251760  www.apsmyx.com

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二 Keithley 4200 半导体特性分析系统

4200-SCS 采用先进的模块化结构设计，配置非常灵活。系统最多可支持八个源—测量单元（即 SMU），

(1). 4200-SCS 前后面板介绍

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(2). 4200-SCS 系统关键性能综述

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4200-SCS 半导体特性分析系统运行的是 Keithley 交互式测量环境（KITE），迄今为止已经是第四代

全部为软件点击式操作，Windows GUI 图形化

KITE 软件为 Windows GUI 图形化操作界面，对从事半导体和微电子技术研究的用户，都可以在稍加

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(2). 具有独特的二次开发平台 KULT

KITE 软件中具有一个独特的用户测试模块叫 Keithley 用户库工具（KULT），它提供了一个 C++平台，

(3). 具备脉冲 I-V 测试的界面

KITE 软件提供了脉冲的 I-V 测量能力，

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4200-SCS 半导体特性分析系统提供的软件 KITE 包括一个独特的纳米技术工具包，它提供了纳米电子

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(5). 提供了 C-V 测试操作界面

KITE 软件具备全套的 C-V 分析软件库，可测量多种半导体结构的 C-V 特性和半导体物理参数，可测

KITE 软件新增加了 9 个针对太阳能电池的测试库，包括短路电流 Isc，开路电压 Voc，最大功率输出

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说明：该部分描述的是 4200-SCS/F 半导体特性分析仪主机的扩展性，描述了可扩展的硬件性能和技

(1). SMU 的扩展能力

4200-SCS/F 半导体特性分析仪主机在后面板上具有 9 个基于 PCI 总线的插槽，用于插入核心测量部

(2). 脉冲 I-V 测试的扩展能力

随着纳米技术的不断发展，出现了新型材料（高 K，SOI 等），越来越小的器件尺寸和越来越快的工

脉冲幅度： 50Ω 时，高达 40V p-p

1MΩ 时，高达 80V p-p

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最大采样速度： 每通道每秒 1.25G/s

可以在 4200-SCS 的软件系统中设置脉冲 I-V 测试和观察测试结果：

(3). C-V 测试的扩展能力

4200-CVU 是 KEITHLEY 公司最新研制的 C-V 测试解决技术方案，它集成在 4200-SCS 半导体特性

4200-SCS 不但能够出色完成 I-V、C-V，PIV 特性的分析，还支持多种扩展功能：

(1). 4200-SCS 开创了半导体测试的新纪元

4200-SCS 于 2000 年年底在全球正式推向市场，其产品的稳定性，可操作性，可升级性，精度在业

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在纳米电子器件测试中，小电流的测试是至关重要的。美国 Keithley 公司成立 60 多年来，一直致力

因此，需要特别指出的是，配置了 4200-PA 前置放大器单元，其输入等效阻抗可达 1016Ω，因此就大

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4200-SCS 给出的最佳本底电流保守指标为小于 10fA，接上 EverBeing 探针台时测试数据如下图。

在 200 多个实测数据中，最大值 120fA，最小值-10fA，漏电流估算为优于±65fA。（该数据为真实

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6. 半导体生物传感器点测系统中 4200 部分的配置清单

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奕叶(EVERBEING)国际有限公司，从 1991 年起即专注于半导体及电子产业的应用开发，是宝岛台湾历

探针台即 Probe Station，广泛应用于半导体相关的科研与产业界，包括电子/微电子，机电/微机电

 显微成像装置 -- 主要由显微镜与可选的 CCD 成像或激光修复仪等组成。放大倍数要求不高，

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在半导体生物传感器点测系统中，我们选用弈叶 EVERBEING 的高性能分析探针台 BD-6，一个稳固的对

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最大采样速度：每通道每秒 1.25G/s