三次元 2.

5次元+探針

型號 GAGE DCC NEX-M3020-Z

(S/N.1104-8244)
全機尺寸(L*W*H) 600x800x600 300x200x200
解析度， 精度 (ISO-10360-2)
E=2.3+3.3L/1000 μm- P=2.5 1µm，
線性精度(X,Y軸) 光學尺(3.0+L/200)
μm
重覆性 3um
量測尺寸(L*W*H)
形狀公差
(沒有基準面) -
無法量測幾何公 方向公差 - -
差
位置公差 - -
輪廓公差

A0x0 - 平面度(翹曲)
LAVA(591-000407-01) - 位置度
備註 1J68 DIM C12 平面度
LAVA(506-000218/219-01) - 球標18寬
二次元

ZNC 300

300x200x200
1µm，
光學尺(3.0+L/
200)

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