・

第7 卷 第2 期 光 电子 激光 V
. .

o l7 N o 2
,

19 9 6 年4 月 A Pr
.

199 6
・

L A SE R
,

O p T R O N IC S

0 3# m
.

激 光 尘 埃 粒 子 计 数 器 传感 器 设 计
杨淑连 荣玮
(山 东工程学 院 2 5 50 12 )
,

淄博

, 、

摘要 本文详 细 地 分析 了激光 尘 埃粒 子 计 数 器传 感 器 的 工 作 原理 设 计 了结 构 简 单 实
.

0 3 拜m
。

用的 激 光粒 子 计 数器 的 传感 器 讨 论 了 影响 该 传感 器 的 主 要 因 素 该 传感 器 经 实
,

验证 明 完全符合 设计 要求

esi o f T r an sd u c er o f L aser A ir b o P a r tic le C o u n 0 3 拜m

.

T he D gn rn e te r o
f r

Y an g S h u lia n R o n g W e i
an n
(S h do g n
I s titu te
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Zl Z JJ O 1 2 )
, ,

’
s t T h is P a P e r d e a ls w it h th e
Ab t
r ae P r in e iP le o
f th e le s e r a ir b o r n e P a r tic le eo u n te r,

d e s ig ns t he tr a n s d u e e r o f t h e la s e r a ir b o r n e P a r tie le e o u n te r
o
f r
0 3 拜m an a
lyz e s th e
.
,

b r ie f f e to r s a
e
f g t h e Pe r f
m
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e tin a n ce f t h e tr a n s d u T h e t r a n sd u e er 15 s im P le in
a o o e er
.

s tr u e tu r e an Pr ae ee 5 n aeo o r e es
ti It 1 i d w ith th d ig n
in g st a n d a rd by P e r im en t
.

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e o r s g
K y w L ig h t se a tt e r
in la s e r a ir b o rn e P a r tie le t r a n sd u ee r
.

d
,

1 引言
以 光散 射 原理 为基 础而 制造 的光学 粒子 计数器 已 广 泛 应 用 于 超 净 间空 气 洁净 级 别
,

仪 器 的最 小探测粒径 已从 当初 的 0 5 拜m 0 1 召m
。 . .

的检 测 〔’〕 〔’〕 延 伸至 以下 采 样流量 由

,

每分 钟 数 百 毫 升 提高 到 2 38 升 以上
.
。

本文 对 作为 激光 粒 子 计数 器 的心 脏 传感 器 进
行 了 深 入研究
。
—
2 传 感器 的 设 计 原理
。

直 接 就 具体 的 粒 子进 行 计算 是相 当 困 难 的
但对 于 大 量尘 埃 粒子 的 统 计 特性 而 言
,

可将 大 量粒 子 等效为许 多粒 子半 径不 同的 各 向同性 的小球 而 这 一规 定 与 洁净 级 别标 准

,

。
“ ”
中关 于 当量粒 子粒 径 的概 念 一 致 因此 光散射理 论提供 了一 种 准确 实 用 的 悬 浮微 粒
,

测量 工 具
、 、
n
设 有 一 单 色 平面 波 入射到一 各向同性 半径 为 a 折射率为 小球 处在 折
,
的小 球
l
。 。

射率 为 的均 匀介质中 如图 所示 l

此 问题 是 M u 方程 组 在边 界的 解问题
。

~
限于 篇幅 此 处直接给 出求解结果 闭
, ,

求
即 入射 场和散射场 关系的矩 阵形式为

1 9 9 5 年8 月 2 4 一 月 12
,
日收到 日录用
 .

0 3 月m 199 6
杨淑连等 : 激 光尘 埃粒子 计 数器传感器 设 计 年

…1 共 r )「门
E2,Z
.

一
Π2
一 5 口 “:
."

E
t卜
Is

(l)
一 r
K L :
J
‘
」 0 5 .
E
,

」L
为 与原 来 光 波 行 进 方 向夹 角 为 0 方 向上
, t:
E
,
其中 散射光 波电场 的 两 正 交 分
E l .,,
K
。
E E 川 E
、 、
;
,
‘
分 别 为 入 射 光 波 电场 的两 正 交 分 量 在 图示平 面 内
,
,
量
s 5 2
。 、
:
/ 又 为观察 点到 散射 中心 的 距 离 又 为入 射光 波波长
,
兀
分 别为对应
,
二

0
、
」:
_

, , :
E E 的散 射矩 阵 的振 幅 它和 散射 角 其大 小为
, ,
于 有关
y 二

图 l 单色平面 波被一 均 匀小球散射

S , 一 ・ 川 ・。
【 (
。。 8
。 。二 ・,
(。。 8 。)〕
二 卜
斋专七
5 2 一 :
・ 二 ・,
(一 。卜 。 二 ( 一。)l
,
艺
念铸 T ,
(2 )

(e o s o ) ( e o s a) 为缔和 L e g e n d re
、

其 中 m 为小球 的分波 序 数
, 二, 。
函数
dp (e o s o )
。

; c o s
o =
, 。

( ) CO S S
d
eo s
s d: ( e o s s) 一 S i n s 血 ( e o s s)
・ ・

c o s
二,
( o ) = (3 )
JC O S S
a
R ie a t i 一 B e
_

_
b l 函数式 的复合式
、
习 难芍 吐卜 通国 占八 sse
.
,

其中 / 丫 刁乙 刀丈 』医 口 切

n n x n x
沙 ( ) 沙 (x ) 气 (x )价 ( )
‘,
, , 一

n n x
)乙 ( ) x
C ( )沙 ( x n x
)
‘,
少 (
二 ‘, 。
一

n
沙 (
, n x
) 沙, ( x ) 一 n
沙 (
。 n x
) 少, (x )
n n x (4 )
n x
) 心 (x ) 沙 ( ) 心, (x )
‘.
少 (
‘。
。 一

阶第 一 二 类 B
e =
a / 又为小球 的尺 寸参 数
, 。, 、 。

价 分别为 s el x 27
r
,
阴 函数
在。方 向上 散 射光 的 两正 交分 量 的 强度 为
,

I IE
! . ,, ’
一 一

一 E 一}
l )
(s
,
气
上 述 结论 即 为 M i e 光散射 理 论
。

e
根据 上述 M i 光 散 射理 论 笔 者用 F O R T R AN 语 言编 写 了计 算 散射 光强 的 程 序
, ,

并 以 此计 算 结果 绘 制 了不 同粒 径 的小球 在平 行光 中 的散射 光 强 的 角分 布 图 如图 2 所
,

。 。

示 它是 散射 光 接 收 系统 的 结构 选择 的理 论 依 据
 2 杨淑 连等: 0 3 拜m
.

期 激光尘 埃粒 子 计 数器 传感器设 计

、 、
、
.

一 ~
、
、
l
自.
、
侧

1
.
Ž
、

t.

/
才
1
d . 如m
.

d 0 3 产m
.

二 d .
. 5 剧m
0

(b )
图2 不 同直径 的 小球的 散射光 角 分 布

传 感器 的结构 及特 点
结构
图 3 是 本 文设计 的 0 3 拜m
.
。

激光 尘埃粒子 计数器 传感器 结构 图

表: 实验数 据
粒 径 第一 次 第二 次 ! 弟 二 仄 } 第 四 次 第五 次 第六 次

伽m ) 粒子数 粒 子数 粒 子数 粒 子 数 粒 子数 粒 子 数
0 30 3 0 0 16 8 2 0 5 9 9 6 l 0 0 0
.

4
T ,w
e
l
e
s 0 50
.

2 0 34 9 8 13 5 9 0 3 l 0 0 0
一
日
日 0 70 16857 1 18 8 0 0 0 0 0
.

1 0 40
4 9 2 50 6 0 0
.

0 0

2 00 226 3 13 4 5 0 0
.

0 0

5 00 65 0
4
6
.

0 0 0

7 00 l9
9 0 0 0 0
.

10 0 0 6 0 0 0 0
. .

3 ,‘ 传 感 器 结构
”
图
,,

特点
( l ) l 为 单模 e 一
N
。
H 。
激光 器
(2 )
。
2
,
为扩 束 部分 本系统采 用棱镜 扩 束 通 过扩 束 可 以 满 足光 敏 区 的 的大 小及
,

光 强 均匀 性 的 要 求
(3 )
。
7
。

为 光 陷 阱 在本结构中 光 陷 阱采 用平 面全 反 射镜 一 方 面 消去 了入 射 光
, ,

另 一 方 面 充分 利 用了前 向散射光
(4 ) 5 2
, ,

为散 射光 收 集 可 以看 到 当待测 粒子 的 粒 径 较小 时 散 射 光 几乎
,
根据 图
分 布在粒 子 周 围 的 整个 空 间 为 了更 好地 接 收 散射 光 本系 统 采用 了 旋 转椭 球 面 反 射镜
, ,

作 为 散射 光 收集 腔
(5 )
,
。
3 4 6 8 其作 用是 保证 光敏 区 的 大 小及拦 掉 杂 散光
, , ,

均为 光栏
,

(6 ) 9
。 ,

为光 电 倍增管 本系 统 采 用光 电倍 增 管 作 为 光 电接 收器 以 提 高探 测 灵 敏
 :
.

m
杨 淑 连等 0 t
l
3 激 光 尘 埃粒 子 计 数器 传感器设计 19 9 6
年
。

度
4
、

传感器 的 工作过程
H e一
N e ,

来自 激 光 器 的单 模 激 光 束 经 棱 镜 扩 束 系 统 扩 束后 由光 栏 截 取 光 束 最
,

最 均 匀 的 部分 到 达 光 敏 区 光 敏 区 设在椭球散射腔 的一 焦 点上 待 测 粒 子 垂 直于 激
, ,
强
光束 的方 向上 流经 光 敏 区 和入 射光 相 交 从而 产生 光散 射 散射 光经 椭 球散射 腔 集 光
, , ,

后到 达其 另 一 焦点 的光 电倍 增管 上 光 电倍增管 将光 信号 转换成 电信 号 最 后 由 电子 部
, ,

分 输出测 量结 果
5
、

实 验结 果
一 ,

下 面 是 本 传感 器 系 统 在 苏 州 净化 设 备厂 进 行抽 大气 清 零时 的实 验 数据 从实 验 结
,

, 。

果看 完全 符 合 设计 要 求
6 影 响传 感 器 的 主 要 因 素
6 1
.

光噪声
0 3# m
.

在 激 光 尘 埃粒 子 计 数 器 中 由于 其 传 感 器结 构 的 特殊 性 其 光 噪 声 主 要 为
, ,

光 栏 衍射 引起 的 噪声 为在说 明噪声 强度 分布时 有一 个 量 的概 念 直接利 用 圆孔 衍射

, , ,

的 近 轴公 式 t
j
4 光 敏 区 剖 面 光强分 布
了; 一 rZ J ,
(x ) / x z, (6 )

一 k d 。,
衍 射 角近 似 用 K 一 2二 / 又 又 为照 明波 长 J :
(x) 为 一阶 Bes e
l
, ,

其中二 “ ,

代替
函数 运用 Be
s s
e l 函 数 在 自变 量很大 时 的 渐近 式 即 :
, ,

in x
(
:
/ 4)
.

){ 一
’

(x ) 二 (三
,
J
(7 )
,

兀X

6 ) 式可 写 为
(
s in ’ x
I
8 即 ( 一 二
/ 4)
IF (8 )
X

kd I;
, ,
已知 是 一 个 很 大 的数 因此 只 要 有 限小 的变化 即完 成 多 个 振 荡
, ,
二 ,
。
中
对 8( ) 式在 一 个 小 的 区 间积 分 可 得单位 角度 。 方 向的衍射 噪 声为
,

厂; 一 c 厂, / x ,
(9 )

z ‘厂 一 e 厂 / a
(10 )
。
’
或
= 1
4 41 闷 / ka
其中 C
; , 。 / 二,
C 。 = 几

(1 0
) 式 表明
,

照 明 衍射 噪声 以 衍射 角的三 次 方 衰减 该结 论对 于 消杂光 栏 孔径 及 位
,

置 参 数 的 选择有 着 重 要 的意义
6 2
.

光 敏 区 照 射光 强 的不 均匀性
。

光敏 区 的 特 性 是 激光粒 子 计数 器传感 器设 计 的 关键 因 素 理 想 的光 敏 区 应该 具 有 均
。 ,

匀 的照 明强 度 如 果 测量 空 间 的 强度不 均匀 散 射光 强度 将和 粒 子 经 过 的 路 径 有 关 即
,

来 自大粒 子 和 测 量 空 间 边缘 的 光相 交产生 的 信 号 可 能 与小粒 子 和 测量空 间的 中心 的光

,

相交 产生 的 信号 相 混 淆 致使激光 尘埃粒 子 计数 器 产生 误差
,

在 用激 光作 光 源时 由于 在 光敏 区 内激光 强度 呈 高斯 分 布 需 要对 光敏 区 的
, ,
因此
(下 转 118 页)
 118 胡响明 等: 八 型三 能级 系统 中 R a m on
过 程诱导的无 反 转激光 199 6 年

G > 一 G
氛 二 (2 1 )

系 统呈 现 任 意态 无 反 转 激光 任意 态无 反 转激 光的 增益 完全 起 源于 缀饰 态 原
, ,

时 可见
。

子相 干
.

5 结论
本 文 建议 了在 封 闭 的 八 型三 能 级 系统 中采 用双 色泵 浦场 的 R a m a
n 过程 产生缀 饰 态
原子 相 干 来建 立 任意 态无 反 转激光 的方 式 与 采 用单 光 子 过 程来 建立 原 子 相 干 的情 形 l .sJ
。
’

相 比较 本 文 的 方 式 对原子 的衰 减速率 没 有特殊要 求 只 需根 据衰 减速率来调 整非 相 干

, ,

泵 浦 速率 即 可

参考 文 献
【l 〕A Im am o g lu J E Fie ld a n d S E H a r r is R e v L e rt 6 6 , 1 1 5 4 (1 9 9 1)
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h 声
P
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【2 】Y Z hu Phy
s A钻 R 6 1 4 9 (19 9 2 )
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R e v
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【3 ] 2 F Lu o Z Z X u P hy
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【4 』罗振 飞 42, 2 3 1 (1 99 3 )
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徐 至展 张文 琦
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47
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n
u
.

! 7 ] G B P ra s a d a n d G S A gar
w
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l OP
t 8 6 4 0 9 (19 9 1)
O
C
. . . . .
, ,
用m

【8 〕N Lu 砂y
s R ev, A 4 5 5 0 11 (1 9 9 2 )
. .
, ,

(上 接 8 8 页)
。

光 强 进行 均 匀化
6. 3散射腔 焦点 误差
在 本 传 感 器 中 散射 光 收集 腔 采 用 了椭球 面 反 射 镜
, ,

如 果椭球 散射腔 加 工精度 不

, ,
即焦 点 不 完全 是 一个点 而 是 一个 较大 的光斑 这样会使非焦点 散射光也会聚 到椭
,

够
“ ”
球散射 腔 的 另 一 焦点 的光 电倍增管上 从 而 使粒 子 计数器 出现 延迟 现象 故应 该 提 高
, ,

椭球 散 射 腔 的 加工 精 度
7
.

结语
0 3 拜m 的 粒 子 的 计数 效率 大 于 80 %
.

标 定 实验 结 果 表 明 该 传感 器 对粒 径 采 样流
, ,

:
83 升 / 分
。 、
2
.

是为 完全 符 合 设 计要 求 该 传 感器 的 特 点是 体积 小 结 构简 单 安装
, ,

调试 方便 测 试精 度高 成 本低
, ,

参考 文献
【 l 】D s
a
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a le A L u n d gr en et a l 月e r o s o l m e uren , en r U n iv e r s it y P re s s o f F L o r id a 1 5 8 (1 9 7 9 )
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G
.

g J
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c , ,

【 3 」C F B o hr en a n d D R H u fm a n A bs o a n d Sc a rre r i, , 9
f L ih g r b 夕 S ll P a r lic es
l
. . . . ,
, ,
r 尸t io n o n ,a

W ile y Pr e s s 1 6 8 (1 9 8 3 )
,

. .

lv e D 1
1 』H o a :
记 S e lf S A r l 0 1) 18 1 6 3 2 ( 19 7 9 )
,

4 刁l
)
. . .