第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 ,

年 月 ,

一 一 一
文章编 号

喷 雾 热 分 解 合 成 技 术 及 其 在 材 料研 究 中 的 应 用
,

李 国荣
, ,

徐 志军 初瑞清 殷庆瑞
中 国 科 学 院 上 海 硅 酸 盐 研 究 所 国 家重 点实 验 室 土海
,

摘 要 喷 雾 热 分解 简称 技 术 是 一 种 很 有 发 展 前途 的 材料 制备方 法
, ,

与传 统 的 材料 制 备 技 术 相 比 它 具 有 很 多优越 性 如 生成物颗 粒 可控 成分均 匀 纯 度较 高

, , , ,

工 艺 过 程 温 度低 等 已 在材 料 科学 的 许多 领 域 中得 到 应 用 技术在物 理 和 化 学 方 面 的 灵 活
,

性 为 合 成 先进 的 陶 瓷 粉体 和 薄 膜提供 了更 多 的机 会 本 文 简要 地 综 述 了 技术以及在陶瓷
,

粉 体 合 成 以 及 薄 膜 制备等方 面 的应 用
关 键 词 喷雾热分 解 技术 材 料研 究 应用
中图 分 类 号 文献 标 识 码

引言

为 了提 高 陶 瓷 粉体 的 物理 和 化 学 特性
,

多 种 陶 瓷 粉体 液 相合 成 技术 随 之 发 展 起 来 但
是 许 多 液 相 沉 积 粉 体 技 术 必 须 经 过 一 系 列 的锻 烧 和 球 磨 过 程
,

从 而 掩 盖 了液 相 合 成 的 优越
很 难得 到 预 想 的高性 能 陶 瓷 微 观颗 粒 尺寸和 低 团聚
,

性 喷雾 热 分解 技术是 将配制
一 一

好 的前驱体溶液 经过 雾化 合 成 而 直 接 得 到 陶 瓷 粉体 的方 法
, ,

干燥 合 成 粉 体颗 粒 可 控 分
散性较好
技 术是 在 喷 雾 干 燥 基 础 上 发 展 起
来 的 一 种 合 成超 细 粉 体 及 薄 膜 制 备 等 的
气溶胶 技 术 技术 与 喷雾干 燥 技术
,

有 许 多相似面 但是 与喷雾干燥技 术之
间又 存 在 区别
,

二 者使用 的溶液 不 同
,

雾滴 的 沉 淀和 缩 聚 过 程 不 同
,

最主要的
仙

、
二 是 技术 需 要 在 较 高 的 温 度
下才能完成整个工 艺流程 尤其是在
图 喷雾热分 解 装 置 示 意 图 技 术 中同 时发 生 物 理 和 化 学 反 应 例
,

妙 如热 分解 而 喷 雾 干 燥 技 术 中仅 仅 发 生
物理反应
工 艺 过 程 中 溶 液 雾 化 后 进 入 一 系 列 的反 应 容 器 图
, ,

在 反 应 器 中气 溶 胶 雾 滴 经 历
蒸 发 和 雾 滴 中溶 质 的浓 缩 干燥 然 后 在 高 温 下 沉积 物分解为 具 有微 孔 的颗 粒 微 孔颗 粒
, , ,

经 过 烧 结 后 形 成 为致 密 的颗 粒 图 陶 瓷 粉体 合 成 的 溶 液 气 溶胶 技术 具 有 很 多 优 点
,

而
一 一 一 一
收 稿 日期 收到 修改 稿 日期
,

甚金项 且 国家 科 技 部 计划 中国 博士 后 科 学 基 金
一
一
徐志军
, ,
作 者 简介 男 博士 后
,

© 1994-2009 China Academic Journal Electronic Publishing House. All rights reserved. http://www.cnki.net
 ,

期 徐 志军 等 喷 雾热 分 解 合成 技 术及 其 在 材 料 研 究 中 的 应 用

且 目前 已 经 发 展 的 很 成 熟 了
,

但是 技 术 是 唯 一 通 过 溶 液 形 成 雾滴 控 制 颗 粒 大 小 的 这方
・

面 能保证 每一 雾滴具有均 匀 的化学计量 比

,

特 别 是 对 合 成 金 属 氧 化 物 有 明显 的 优 势 另
, 、

如 果 控 制 好 热分 解反 应 的 类 型
,

外 它 也 可能合成非氧化 物 陶瓷 金属 和 复 合物颗粒

图 技术 的 合 成 过 程

喷雾技 术

技 术 中关 键 的 操 作 过 程 是 均 匀 和 细 密雾 滴 的 制 备 和 控 制 雾 滴 热 分 解 过 程 影 响 热 分
,

解 过 程 的 因 素包 括 雾 滴 所 处 位 置 环 境 和 时 间 等
,

般 商 业 上 的 喷 嘴雾 化 制 备 陶 瓷粉 体
,

一
既 不 能得 到 可供再 生 产 的微 米和 亚 微 米尺 寸 雾滴 也 不 能 控 制雾滴尺 寸分布 因此
,

一些新
的或者改进 的 雾 化 技术发 展 起 来 了
超声 喷雾雾化 技术 降

利 用 超 声 喷 雾 器 得 到 了均 匀 分 布 的 微 米 和 亚 微 米 尺 寸 雾 滴
,

一般情况 下 超声 喷雾器
的 操 作频 率 是 超 声 喷 雾器 将前 驱体 溶液 气 化 发 生 器 的超 声 功 率大 约 在 产
, ,

生 的蒸 气 随 载 气 传 输 到 各 个 反 应 器 中进 行 反 应
,

最 后 由收 集装 置 收集 合 成 好 的 粉体 采用
, , ,

这种 技术 前 驱 体 溶 液 被 超 声 波 转 化 为 小雾 滴 雾滴 的尺 寸非 常小 而 且 尺 寸分 布 范 围也
非常窄 另外 产 生 的雾 滴 初 速 度 小 从 而 可 以 随 载 气 一 起 运 动 而 进 行 粉末 合 成 这 种技术
, ,

的 优 点是 气 溶胶 流 动 的 速 率 依 赖 于 载 气 流 动 的 速 率
,

调 节载 气 的 流 量 来控 制 气溶 胶 流 动 的
,

速率 从 而 使 反 应 更 为 完全
改 进 的 喷 雾 热 水解 技 术
技术 要 制 备较 好 的 陶 瓷 粉体和 薄膜 以 下 两个条 件是必 需 的
, , ,

一是雾 滴要 小 另外
是雾滴尺 寸分布要 均 匀 为 了满足条 件 发 展 了一 种新 的 喷雾 和 沉积 反 应 器 它
, ,

”
在 薄膜 制 备 时 可 以 实 现 基 片上 雾 滴 的选 择性 由于 反 应 器 的 几 何 形 状 和 引 力 与 是雾滴
・

系统有 以 下优 点
, ,

的半径 成正 比 较 大 的雾 滴不 能 随 载 气 传输 而 返 回 雾 化反 应 器
雾 滴 尺 寸 的选 择 性 抑 制 雾化 反 应 器 中雾化 气体 的旋 涡 速 率 减 少 沉 积 反 应 器 中热
, ,

气 的对 流
电 晕 放 电喷雾热 分 解技 术 , 〕

制 备 薄膜 时 传 统 的 气 动 喷 雾 热 分 解 技术 沉 积 效 率 较 低 雾滴 有 效 沉 积 在 基 片 上 的 比 率
,

为 沉积效率 最近 用 电 晕 放 电方 法 控 制 气 溶 胶 雾 滴 向 基 片传 输提 高 沉 积 效 率 沉积效率
, ,

可 以达 到 以上
,

利用 频率为
,

这种技术 中 左 右 的超 声 换 能 器 进 行 超 声 雾 化 从

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 无 机 材 料 学 报 卷

而产生 。召 大小 的雾滴 换 能 器 产 生 剧 烈 的超 声 波 从 而 使溶液 形 成尺 寸 分布 较 小 的气

,

气 溶 胶 雾 滴 随 载 气 传 输 到 各 个 反 应 器 中进 行 反 应
,

溶胶 雾滴 最 终得 到 产 品 这种技术 的
优 点是 由 于 雾 滴 带 电 沿 电场 方 向运 动 从 而 可 以 更 好 的控 制 喷 雾 的 应 用
, ,

静 电喷 雾 热 分 解 技 术 回
制 备 具 有尖 晶 石 结构 的薄 膜 时
,

采 用 多 孔 平 板 结 构 的 水 平 静 电喷 雾 热 分 解 系 统 这种
系统 中 不 锈 钢 圆盘选 做 基 片和 多 孔平 板 利用 一 个 加 热 装 置 控 制基 片的 温 度 喷嘴上 加
,

上 土 的 高 电压 前 驱 体溶液在外力 作用 下通过 喷 嘴 从而 产 生 喷 雾 在 静 电力 的作
, ,

用下 喷 嘴和 基 片之 间保 持 比较 小 的距
, ,

喷 雾 雾 滴 移 向热 的 基 片 并 在 基 片 附近 发 生 分 解
户
,

薄 膜 层 的结构
,

离 大 约是 这 种 技 术 的 优 点是 致 密 的 或 者是 多 孔 结 构 都 可 以 通 过 调
节 沉 积 时 间来控 制
微 型 喷雾 热 分 解 技 术
等设 计 了 一 种基 于 微 处 理
器 的低 成 本 和 高 效 率 的 电 子 控 制 系 统
,

这
个 系统可 以调 节 喷雾 喷嘴处 谐 波 的波 长 到
任意 想 要 的长 度 这 种装置 特别适 应 于 大
面 积 薄膜 的均 匀 沉 积
‘
改 进 的超声 喷 雾热 分 解 技 术 】
图 超 声 喷雾热分 解 系 统 示 意 图
等制 造 了一 种新 的 超 声 喷雾 热分
装置 主 要 包 括 四 部 分 图
,

解装置 超声
发 生器
, ,

雾化室 热分解 室 和 旋 转 装 置 此
盯 装 置 的特 点 是 制 备 薄 膜 时
,

基 片放 在 旋 转
装 置 上 可 以 随旋 转装 置 旋 转和 前后 运 动
,

喷 雾 热 分 解 合 成 步骤

前驱 体
真溶液 胶 态 分散 体 乳 化 液 和 溶 胶 等都 可 以 作 为 气 溶 胶 的前 驱 体 但是和 技术 有
, , ,

关 联 的前 驱 体 主 要 是 真 溶 液 水 溶 液 由于 成 本 低 安 全
, ,

容 易 操 作和 水 溶 性 金 属 盐 的应 用 范
围 比较 宽 而 得 到 广 泛 的 应 用 为 了 提 高 粉末 的 产 量
,

前 驱 体溶 质必 须 有大 的溶解 度 近 年 来
,

为 了 合 成 非 氧 化 物 陶 瓷 粉体 研 究 醇 类 和 有 机 溶 液 作为 技 术前 驱 体 的 报 道 越 来 越 多
喷雾
、

前 面 介 绍 了 多 种 喷雾 技术
,

这 些 技 术 的 不 同 之 处 在 于 形 成 雾滴 的 尺 寸 喷雾效率和 雾
离 开 雾 化 器 时 雾滴 的 速 率 是 非 常 重 要 的
,

滴 的初速 度不 同 这是 因 为 它 决 定 着 加 热 的速 率
和 工 艺 中雾 滴 停 留 的 时 间 气 动或压 力 喷 嘴作 为 喷雾发 生 器 时 通 过 喷 嘴 压 力越 大
, ,

现 存 的 这 两 种 喷雾技 术 、
, ,

产 生 的 雾滴 尺 寸就 越 小 喷 雾 时 雾滴 的速 率 从 ,
流 量很
户
,

相 反 地 超 声 喷 嘴能耗很 小 能 量 充 分 偶 合 得 到 喷 雾 雾
, ,

大 但 是 雾 滴 的最 小 尺 寸仅 为
”
滴 超 声 喷 雾 可 很 容 易 达 到 尺 寸 为 、 “ 的雾 滴 但 是 流 量 很 小
器 以
,

而 且 地
对 于 一 个 特 定 的 喷雾 器 雾 滴 的 特性 与溶 液 浓 度 粘 滞 度 和 表 面 张 力 等 因 素有 关 有机
, ,

金 属 和 有 机 酸 前 驱 体 由 于 它 的 化 学 性 质 而 有 一 定 幅度 的 粘 滞度 一般 情况 下
,

有
机 系统 的 表 面 张 力 远 小 于 水溶 液 的表 面 张 力 这 些 因 素 影 响 喷 雾 过 程 中雾 滴 的 尺

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 徐志军 等 喷 雾 热分 解 合成 技 术 及 其 在 材 料 研 究 中的 应 用
,

期
,

寸 更 为 重 要 的 是 初 始 雾 滴尺 寸 分 布决 定 了 沉 积 后 颗 粒 的尺 寸
蒸发
随着 工 艺 的持 续 发 生 以 下 的物理 现 象 雾滴表 面 液相 的蒸发 雾 滴 中气 相 的 扩
, ,

雾 滴 温 度 的 变 化 以 及 液 相 向雾 滴 中 心 的 扩 散 图
,

雾滴的收缩
,

散
干燥
‘“
雾 滴 的 干 燥 阶段 不 同 于 蒸 发 阶段 它包 含 于盐类 的沉淀 和 得 到 了如
,

下 关 于 雾 滴 表 面 上 溶 剂 质 量 迁 移率 公 式
开
一 今阅
节 』,
初
马
乒
刀

。
占是 外 壳 的 厚 度
, , ,

是通过 沉积 层 蒸气 的扩散率
,

公式 中 是 沉 积 时雾 滴 的半径
和
,

是 溶剂 蒸气 的质量浓 度 下 标 分 别 代 表 蒸 气 的表 面 和 内部 在沉积层 中 蒸 气是 通
过孔扩散的 因 此 沉 积 层 中 的 蒸 气 扩 散 率 小 于 空 气 中溶 剂 蒸 气 的 扩 散 率 质 量 迁 移率 的 阻
, ,

。
力 随之增 大 而 挥 发 速 率 明 显 降低 和 处 理 时认为 壳层 的 扩 散率是 常数
, ,

不
受雾滴大 小 尺 寸分布 形 状 和 孔 的体 积 等 因 素 的影 响
, ,

当溶质开始沉积 时
,

挥 发 速率 明 显 降低 而 且 雾 滴 的 温 度 显 著 升 高 一 直 升 到 环 境 温 度
, ,

。 ‘
为止 和 又推 出了 式 用 来 计 算 雾 滴 表 面 出现 凝 固 体 时 热 传 导 的 变 化
,

。
二 一
瓦
、

几
十 人 一丁 , 刀乙
奇 龚
轰 万
—
这里 是壳层 的热 导 率
控制 工 艺 干 燥 阶 段 两 个 重 要 因 素是 溶 液 达 到 沸 腾 时 的 时 间和 环 境 温 度 这主要是 由
于 以下原 因
,

一 个 是 在 雾 滴表 面 上 出现 的凝 固体又 成 为 溶 液 蒸 气 质量 迁 移 附 加 的 阻 力
,

但
,

对 于 热 传导 的阻力是非 常小 的
,

这 将导 致 雾 滴 温度 的 升高
,

溶 液 挥发 的速 率 却很低 如果
溶 质 的溶 解度 与温 度是正 系数关 系 那 么 溶 质 将再次 溶解 另 一 个 是 如 果 沉 积 壳 层 的渗 透
,

而 环 境 温 度 又 高 出 溶 液 沸 点很 多
, ,

这 时溶质可 能 蒸发 形 成 气 泡
,

率很 低 从 而 引起 雾滴 的
,

膨胀 最 终 导 致 雾 滴 的破 裂 如果气孔 很 小而 干燥速 度又很快 那 么 凝 固体 与液 体 之 间 的

,

一
毛 细 管 作 用 力 将 引起 足 够 大 的应 力 导 致颗 粒 破 裂 这个过程 与溶 胶 凝胶过程类似
,

雾滴凝聚
前 面关 于
, ,

工 艺 过 程 的分 析 都是 针对 单 个 雾 滴 的 但是 在 工艺过程 中 液相雾滴
要发生凝聚
,

即两 个 或 更 多个 雾 滴相互 碰 撞 结合 成 一个 大 的雾 滴 只要 有液相存 在
,

雾滴
凝 聚 是 不 可避 免 的 ’ 分析 了 雾滴 或颗 粒 团聚 的 动 力 学 颗 粒 数 的衰 减
与雾滴 平均 尺 寸增 加 之 间 的关 系 可 以 用 式来描 述

一 一
青
这里 是 雾滴初 始 数 是在 时 间的雾滴数 几 二 口 是 凝 聚 的时 间常数 口是 凝
, , ,

聚 速 率 常数
“
等 】计 算 了 雾 滴凝 聚 需 要 的 时 间 他 们得 出凝 聚 时 间 与 温 度 之 间 的
关 系 并 不 敏 感 而 是 与 雾 滴 初 始 的数 密度 有 着 紧 密 的 关 系 初 始 数 密 度 越 大
, ,

凝 聚 的越 快

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很 明显 可 以 采 用 降 低 初 始 时 雾滴 的 数 密
,

雾 滴 的 凝 聚 对 于 合 成 超 细 粉体 是 有 害 的 因此
,

度 的方 法 来 减 少 雾 滴 的 凝 聚
热分 解和 合成 烧 结
,

热 分 解 形 成 的颗 粒 活 性 大
,

工艺中 因此 原位 进 行合成 是 工 艺 的优 势 至今 为
止 已经 设 计 了很 多 分 解 与合 成 交 迭 的 反 应 器 设 计 中蒸发
,

分 解 和 合 成 都 独 自在 一 个 反
,

应 器 中进 行 这 是 为 了 尽 量 控 制 每 一 反 应 过 程 中温 度 与 时 间 之 间 的 关 系 例如 热分解一
, ,

般情 况 下发 生 在 之间
,

而 合成需要 更 高 的温 度
和 】过 程 用 原 位 放 热 反 应 分 解 干 燥 后 的 颗 粒 过程 利用硝酸盐和
、

甘氨 酸 或 糖 之 间的放 热 反 应 反 应提供 的热 量足 以 使颗 粒 形 成 高 温 陶 瓷相 在 这个
,
尿素
,

由 于 形 成 的 气 体 快 速 挥发
, ,

并且 团聚
,

反应中 因而 形 成 的颗 粒 密度 低 因此 合 成 的 粉体经
球 磨 处 理 来达 到 陶瓷制备 的要 求 过 程也是采 用硝 酸盐和 有机物原 位 产 生热量
,

与
过 程类似
,
在 气溶胶 反 应器 中 热 分 解 后 带 有 纳 米 孔 的 颗 粒 不 能 合 成 为致 密 的 粉 体 而分解后 的
、

颗 粒具有小 孔 纯 度 高 以及 小 晶粒 等特征 这些 特征 与 陶 瓷低 温烧 结 的特 征相 同 包含
,

有 纳 米 微 晶 的 颗 粒 在 高 温 时很 容 易 致 密 化 【川 等 将合 成 时 间缩 短 到 内
,

丫 合成了
具有 明显 粗 晶 和 多孔 的 陶瓷 粉体
工 艺 中 的 烧 结 不 经 历 常规 烧 结 中 的 颗 粒 致 密 化 过 程 这 是 由 于 表 面 扩 散 时 颗 粒 碰 撞
,

的 时 间 太 短 而 不 能 形 成 颈 项 以 及 微 米 尺 寸 颗 粒 间粘 结 系 数 小 等 原 因 造 成 的
等说 明 了 颗 粒 由最 初 微 晶 颗 粒 到 单 晶颗 粒 发 生 的颗 粒 内 晶粒 生 长 过 程

应用

技术越 来越 受到 重视
,
近 年来 在材 料 科 学 的各个 邻 域得 到 了 广 泛 地 应 用
致密颗粒合
、 、

制备 先 进 的 陶 瓷 材 料 要 求 粉 体 具 有 以 下 特 点 化 学 纯 度 和 均 匀 性 高 颗 粒 直 径 户
、
俘 一
致 密颗 粒 颗 粒 形 状 一 致 以 及 颗 粒 分 散 性 好 利 用 技术 制 备 的 粉 体 具 有 这 些 特 点
,

但是 技 术 合 成 的 粉体也 容 易 形 成 空 心 和 外 层 破 裂 的颗 粒
和 等 】研 究 了 溶 质 相 对 饱 和 与 形 成 致 密颗 粒 的 关 系 与 其 它 的 研 究报
道 【川 相 似
,

相 对 饱 和 度越 低 越 容 易 形 成 致 密 的颗 粒
,

而 相 对饱 和 度越 高得 到 空 心 或 外层 破
裂颗 粒 的几 率越大
,

研 究 温 度 对 形 成 致 密颗 粒 的 影 响
等 他 们研 究 发
, , , ,

现 调 节炉 温 进 热 区 有 一 的 度 梯度 容 易得 到 致 密 的颗 粒 使用超
,

使雾滴 入 加 定 温
户
,

声 喷雾方法 硝 酸 盐 为前 驱 体 得 到 了平均 直 径 为 的致 密 球 形 颗 粒
为 了得 到 致 密的颗 粒 温 度 低 于 溶 剂 沸 点 时较 慢 挥 发 这 对 于 防 止 雾滴 在 沉 淀 时浓 度
, ,

出现 较 大 梯 度 是 必 要 的
,

导 致 溶 质 沉 淀在 表 面 上
,

如果 挥发速 度较快 易 出 现 空 心 或外
层破裂 的颗 粒
,

超 声 喷 雾 容 易 制 备 致 密 的颗 粒 这 是 因 为 雾滴 的速 率 很 慢 挥发 期 间可 以
,

调 节 载 气 使 挥 发 停 留时 间在 从 而 为得 到 致 密颗 粒 提 供 了条 件 脚
川 总 结 了 其 他 人 的研 究 后 认 为
,

等 从 金 属 盐 溶 液 中利 用 喷 雾 热 分 解 法
得 到致密颗粒 以下几个 条 件是必要 的
,

前 驱 体 溶 质 的 临 界 饱 和 溶 液 与平 衡 饱 和 溶 液 之 间 必 须有 较 大 的 差 别 才 能得 到 致 密
,

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 ,

期 徐 志军 等 喷 雾 热 分 解合 成 技 术 及 其 在 材 料研 究 中 的 应 用

的颗 粒
溶 质 具 有 高 的 溶 解度 和 正 的 溶 解 度 温 度 系 数 才 可 以 得 到 满 意 的渗 透 标 准
沉积 的实体在 工 艺 热 分 解 阶段 不 是 热 塑 性 的 而 且 不 溶 解
、

工 艺 的挥发 阶 段
,

在 利 用 超 声 喷雾 器 可 以 生 产 雾 滴 小 速 率 低 满 足 要 求 的气 溶
胶
空心或多孔粉末合成
,

容 易 形 成 空 心 或 多 孔 的颗 粒 这 些 对 于 陶 瓷是 不 利 的
,

技术合成粉体 时 但是对 于
隔热和 催化 剂 载 体来说 却是有利 的
多孔材料不 必保持密实 的表面 可 以 用 制 备 致 密 颗 粒 相 反 的条 件制 备 多 孔 颗 粒
,

例
已经
,

具有热塑 性 或低溶点的金属 盐 一般情况 下

,

很 多硝 酸盐 在 达 到 分 解 温 度 时
,

如
・ ・ ・

开始溶化 一 【
, , ,

’ 如 果 溶剂挥发完 之 前硝 酸 盐 已经 开 始 溶解 那 么 融 盐 将和 溶 剂 混 合
,

, ,

这就 是 为 什 么 使 用 硝 酸钾 容 易得 到 多空 或 不规 则 颗粒 的原 因之 一 ,
、
“ 】
傅希 贤等 【 利 用 喷 雾 热 分 解 法 制 备 了 中孔 球 型 此 法制备 的 纯度高
比表 面 积 大
,

具 有 一 定 的光 催化 活 性
超细 和 纳 米 颗 粒 合 成
, 、 、

由 技术直接 合 成 粉体 要 控 制 雾 滴 的形 成 凝结 挥发和 分解过 程 合成后

,
氧化
”
物颗粒尺寸 近似为
。。
户 、‘
上产 少
一

—
。
式中 是 初 始 溶液 雾 滴 的直径 是 溶液 初 始 浓度 内 是前驱体 的理 论 密度
, , ,

。 ,

是 氧 化 物 的 理 论 密度 是 前 驱 体 转 化 为 氧 化 物 的 转 化 率 超 声 和 静 电喷 雾 器 可 以 产
,

雾 滴 的 尺 寸 可 以 由超 声 的 频 率 和 溶 液 的 表 面 张 力 控 制
,

生 小的雾滴 当用 超 声 喷雾器 时
具体关 系为 ・

’
“一 ‘ ‘

舞
” 一 ’
川
,

是溶液 的密度 是频率 和 详 细 的 论 述 了超 声 喷 雾技

术 中雾 滴 大 小 的 问 题
等利 用 的 超 声 喷雾 热 分 解 法 得 到 了 、 的丫 和 、
‘
的 颗粒 等 利用 的超 声 喷 雾 热 分 解 法 得 到 了 的
一

等 利用 的超 声 喷雾热 分 解 法 制 备 了 及
, ,

颗粒 肠 和
颗粒 和 罗 利 用 静 电喷雾法 合 成 拼 的 丫 颗粒
等【 以 乙 酸锌 二 水化 合 物 为前 驱 体 、
,

利 用 喷 雾热 分 解 法 合 成 了 的 颗粒
非 氧化 物和 金属颗 粒合成
一

和 叫 利用 超 声 喷 雾分 解 法 制 备 了 非 氧化 物
,

颗粒 并 且 得 出 喷雾 热
分 解 制 备 非 氧 化 物 颗 粒 时 前 驱 体 应 使 用 低 蒸 气 压 和 可 溶解 的 非氧 化 物 溶 质 以 及 非 氧 化 物
,

溶剂 等 【 以 聚 合 氨 为前 驱 体 利 用 技术在 无 水和 非氧化条 件下制备 了

,

粉体
等【
,

制 备 了金 属 和 合 金 的超 细 粉体
,

以 为喷雾媒 质 并且尺寸分
布 比较 窄
,

在 这 个 技术 中 颗 粒 尺 寸 主 要 是 由喷雾 媒 质 颗 粒 的状 态 决 定 的

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复合 物颗粒合 成
由于 颗 粒 均 匀 混 合 和 分 散 的 困 难 阻 碍 了 超 细 复合 物 和 纳米 复 合 物 的 发 展 州 技术
,

能 克 服 这 些 困 难 而 直 接 生 产 出 所 需 相 结 构 和 分 布 较 好 的 复 合物 颗 粒 等 【, 将
, ,

一 一

的硝 酸 盐 溶 液 混 合 用 技术制备 了纳米 复合物颗 粒 等呻】

,
与 丫
・

也 以 硝 酸 盐 为 前 驱 体 超 声 喷物 热 分 解 方 法 制 备 了 金 属 陶 瓷纳 米 多 孔 和 纳 米 复 合 物 粉 体
一

和 氯 化 氧错 的 乙 醇 溶 液 为前 驱 体
,

等 使用 利用 技术制备 了
复合物颗 粒
纤维 合 成
,

表 面 张力 和 溶液 的浓 度
,

调节前驱体 的粘滞度 用 技术可制备 出不连续 的纤维

・

‘, ‘
和 利用
,

以 乙 酸错 为前驱体
,

等 技术 制备 了 纤维 古宏
晨等 呻 以 醋 酸氧 错 为前驱 体
,

制备 了
,
纤维 研 究 了前 驱体 溶液 性 质 对 制 备纤 维 的影
, 、

响 通 过 控 制前驱 体 溶 液 的浓 度 流 量及 加热速率制备实 心 或空 心 的 纤维
薄膜制 备
、 、 、

技 术也 适 合 于 制 备 化 学 计量 均 匀
,

面积大 低成 本 非平 面 质量高 的薄膜 ,

真 空 沉 积 制备 的表 面光 滑 薄 膜适 合于 微 波方 面 的应 用 而 由
, ,

技术 制 备 的颗 粒 薄 膜 适
合 于 很 多方 面 的 应 用 诸 如 光 检 波 器 哪 等
,

技 术制 备薄 膜 具 有操 作简单 经 济 实用 等优
、 、

点 越 来 越 多地 应 用 到 氧 化 物 【 、 月 硫 化 物 州 硒 半 导 体 时 薄膜 制 备 上 薄 膜 的 厚 度
, ,

在 拼 之间
“
技 术 在 超 导 体方 面 也 得 到 了 广 泛 的 应 用 【“ 一
词 等 在 基 片上 制
, ,

备了
,

薄膜 得到 了 为 的超 导 体 等用 两步 法 在 基 片上 制
一

备 了超 导 体 薄膜
,
等 制 备 了厚 为 拼 的
‘
的薄膜 】利 用 他 们 自己 改进 的 喷雾热 分解 装 置 制 备 了 长 短 可控
,

达到 等
的 带
从 中可 以 看 出
, ,

对 于 工 业 应 用上 的薄膜制 备
,

技 术 制备 薄 膜 的文 献 较 多 技术
是 一 个 很 有 吸 引力 的方 法
其它方面 应 用
, 一

技术得 到 了更 为广泛 的应 用
,

近年来 等 呻 利用溶胶 凝胶与喷

、 、

雾 相 结 合 的 方 法 制 备 压 电薄 膜 他 们在 弯 曲的钢 板 平 的钢 板 氧化铝 以及钢棒 上制备 了

・

、 拼 的薄膜

结论
、

对 于 陶 瓷材 料制 备 来说 是 一 个 通 用 的技 术 它 可 以 控制 陶 瓷 材 料 的 成分 颗粒尺
, ,

、 、 、

寸和 形 态 工 艺 可 以 通 过 调 节 雾化 凝聚 挥发 热 分解 和 合 成过 程 的参 数控 制 陶瓷 粉
、 、

使用
, ,

体 薄膜 纤 维等 材 料 的性 质 技术 时 要 清 楚 前 驱 体 及 其 溶 液 的性 质 因为溶液
的 粘 滞 度 等 性 质 影 响最 终 产物 的 形 态 和 颗 粒 尺 寸 技 术也 面 临着很 多 困难 前驱体及
,

其 溶 液 的性 质 也 是 限 制 技 术 使用 的 一 个 主 要 原 因
,

尽管使 用 技术有很 多 限制条 件 但是 技术 也 为制备新性 能 材 料 提 供 了更 多 的 机

会

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 徐 志军
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期 等 喷 雾 热分解 合 成 技术 及 其 在 材 料研 究 中 的 应 用

参 考 文献
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 无 机 材 料 学 报 卷

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