TARAMALI ELEKTRON MİKROSKOPU (SEM)

İnsan gözünün çok ince ayrıntıları görebilme olanağı sınırlıdır. Bu nedenle görüntü
iletimini sağlayan ışık yollarının merceklerle değiştirilerek, daha küçük ayrıntıların
görülebilmesine olanak sağlayan optik cihazlar geliştirilmiştir. Ancak bu cihazlar, gerek
büyütme miktarlarının sınırlı oluşu gerekse elde edilen görüntü üzerinde işlem yapma
imkânının olmayışı nedeniyle araştırmacıları bu temel üzerinde yeni sistemler geliştirmeye
itmiştir. Elektronik ve optik sistemlerin birlikte kullanımı ile yüksek büyütmelerde, üzerinde
işlem ve analizler yapılabilen görüntülerin elde edildiği cihazlar geliştirilmiştir. Elektrooptik
prensipler çerçevesinde tasarlanmış taramalı elektron mikroskobu (Scanning Electron
Microscope-SEM), bu amaca hizmet eden cihazlardan birisidir. Taramalı Elektron
Mikroskobu, birçok dalda araştırma-geliştirme çalışmalarında kullanımı yanında, mikro
elektronikte yonga üretiminde, sanayinin değişik kollarında hata analizlerinde, biyolojik
bilimlerde, tıp ve kriminal uygulamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır. İlk ticari taramalı
elektron mikroskobu 1965'de kullanılmaya başlanmış, bundan sonra teknik gelişmeler
birbirini izlemiştir. Taramalı Elektron Mikroskobunda (SEM) görüntü, yüksek voltaj ile
hızlandırılmış elektronların numune üzerine odaklanması, bu elektron demetinin numune
yüzeyinde taratılması sırasında elektron ve numune atomları arasında oluşan çeşitli girişimler
sonucunda meydana gelen etkilerin uygun algılayıcılarda toplanması ve sinyal
güçlendiricilerinden geçirildikten sonra bir katot ışınları tüpünün ekranına aktarılmasıyla elde
edilir. Modern sistemlerde bu algılayıcılardan gelen sinyaller dijital sinyallere çevrilip
bilgisayar monitörüne verilmektedir. Gerek ayırım gücü (resolution), gerek odak derinliği
(depth of focus) gerekse görüntü ve analizi birleştirebilme özelliği, taramalı elektron
mikroskobunun kullanım alanını genişletmektedir. Örneğin 1000X büyütmede optik
mikroskobun odak derinliği yalnızca 0.1 μm iken taramalı elektron mikroskobunun odak
derinliği 30 μm. dir. Çizelge 3’de ışık mikroskobu ile elektron mikroskobu özellikleri
bakımından karşılaştırılmıştır.