МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ

УНІВЕРСИТЕТ УКРАЇНИ
«КИЇВСЬКИЙ ПОЛІТЕХНІЧНИЙ ІНСТИТУТ імені ІГОРЯ СІКОРСЬКОГО»
Кафедра прикладної радіоелектроніки

ЗВІТ
про виконання лабораторної роботи № 1
«ВИЗНАЧЕННЯ ПАРАМЕТРІВ ТА ХАРАКТЕРИСТИК П’ЄЗОРЕЗИСТИВНОГО
ДАВАЧА ТИСКУ»

Зараховано Виконав студент групи

РЕ-11:
Доцент
Посада

Перегудов С. М. Сокотун О. С.
П.І.Б. Підпис П.І.Б.
П
ідпис

21.09.2023 р. 21.09.2023 р.

Тема роботи: Визначення параметрів та характеристик п’єзорезистивного давача тиску

Мета роботи: Вивчення принципу дії та дослідження характеристик п’єзорезистивного
давача тиску МРХ2050D.
• Опис лабораторної установки
Структурна схема лабораторної установки (рис. 1) складається з макету, який
забезпечує подачу живлення на давач тиску МРХ2050D, підвід підвищеного тиску
регульованої величини до чутливого елементу давача та можливість
вимірювання вихідної напруги МРХ2050D за допомогою вольтметра В7-22А. макету з
давачем тиску, на чутливий елементу якого діє підвищений тиск, що створюється
циліндром з поршнем.

Рисунок 1 — Блок схема лабораторного стенду для дослідження характеристик

п’єзорезистивного давача тиску
Загальний вигляд макету приведено на рис. 2. За допомогою прозорого циліндра з
поршнем створюється підвищений тиск і через герметичну

силіконову трубку подається на чутливий елемент п’єзорезистивного давача (рис. 2б).

На зовнішній поверхні циліндра нанесені поділки від 0 до 100 мм. Враховуючи, що
максимальному значенню відповідає тиск в 1 тм.(приблизно 100 кПа), можна
користуючись відомим законом Бойля – Маріотта
розрахувати тиск для будь-якого положення поршня, вважаючи що:

де li – поточне положення поршня в циліндрі, а площа поперечного перерізу

залишається незмінною.

Рисунок 2 — Загальний вигляд лабораторного макету (а) та джерело підвищеного тиску

(б) лабораторної установкиі

• Ескіз конструкції та пояснення принципу дії п’єзорезистивного давача тиску

МРХ2050D (або MPX100)
До складу давачів тиску обов’язково входять два компоненти: пластина
(мембрана) відомої площі і детектор, вихідний сигнал якого пропорційний

прикладеної силі до мембрани силі (тиску). Обидва елементи можуть бути виготовлені
з кремнію. Давач тиску з кремнієвою діафрагмою містить власне діафрагму та
вбудовані в неї дифузійним методом п’єзорезистивні еретворювачі у вигляді
резисторів. Оскільки монокристалічний кремній має дуже хороші характеристики
пружності, в такому пристрої відсутня повзучість і гістерезис навіть при високому
тиску. Коефіцієнт тензочутливості кремнію значно перевищує аналогічний коефіцієнт
тонкого металевого провідника. Зазвичай тензорезистори включаються за схемою
моста Уітстона.
Кремнієві давачі тиску можуть бути двох видів: диференціальні та абсо- лютні, їхні
базові корпуси ідентичні. На рис. 3 приведені чутливі елементи давача, розробленого
Motorola, Inc.

Рисунок 3 — Поперечні перерізи базових корпусів чутливих елементів давачів

диференціального (відносного) та абсолютного тиску

Їх відміна полягає у тому, що на мембрану чутливого елемента диференціального

давача діє два зовнішні тиски, а в абсолютному — тільки один.
Максимальна вихідна напруга п’єзорезистивних давачів складає кілька

сотень мілівольт. Проте, слід зазначити, що кремнієві резистори мають досить сильну
температурну чутливість, тому в конструкції давачів на їх основі необхідно
передбачати кола температурної компенсації.
Конструкція базового корпусу досліджуваного диференціального давача тиску
МРХ2050D показана на рис. 4.
Рисунок 4 — Переріз базового корпусу давача тиску МРХ2050D На рис. 5 приведена
структурна схема диференціального давача тиску
МРХ2050, що виробляється NXP Semiconductors, та його вихідна характерис- тика.
Рисунок 5 — Структурна схема диференціального давача тиску МРХ2050 (а) та його
вихідна характеристика (б)

• Виконання роботи
Провівши вимірювання вихідної напруги давача для трьох значень напруги живлення
(10, 13 і 16 В) і положень поршня від 10,5 см до
мінімально можливого з кроком 0,5 см, ми отримали наступні результати вимірювань,
що занесені до таблиці 1.

Напруга Положення поршня, см

живлення,
10.5 10 9.5 9 8.5 8 7.5 7 6.5 6
B
10 0 5 7 11 15 19 23 27 31 35 Вихідна
13 0 6 10 14 19 23 28 33 38 44 напруга,
мВ
16 2 9 13 19 24 29 33 41 46 53
Таблиця 1 – Результати вимірювань
Проведемо відповідні вимірювання і розрахунки задля знаходження загального об’єму
досліджуваного резервуару і об’єму поділки шприца (рис. 6):

Рисунок 6 – розрахунки задля знаходження загального об’єму досліджуваного

резервуару і об’єму поділки шприца

Знайдемо тиск на давач зі сторони шприца за законом Бойля-Маріотта та розрахуємо

різницю тиску з двох сторін давача (табл. 2).

Таблиця 2 – Розрахунок різниці тиску з двох сторін давача

Отримавши необхідні дані побудуємо графіки залежності для давача МРХ2050D для
трьох значень напруги живлення: 10, 13 і 16 В (рис. 7).
Рисунок 7 – графіки залежності для давача МРХ2050D для трьох значень напруги
живлення: 10, 13 і 16 В (лінії тренду позначені пунктиром).

Визначимо коефіцієнт нелінійності Kн отриманих залежностей.

де U – експериментальне значення напруги для певного значення тиску p; UL –

значення напруги, що відповідає лінії тренду для того ж тиску p;
Umax і Umin – максимальне та мінімальне значення напруги для лінії тренда.

• Висновки
Виконавши роботу можна дійти до наступних висновків:
Нам вдалося вивчити принцип дії та дослідити характеристики п’єзорезистивного
давача тиску МРХ2050D.
Вигляд отриманих графіків збігся з очікуваними, проте бачимо що графіки з
документації до давача зростають менш різко в порівнянні з отриманими
експериментально. Отриману похибку можна пояснити неточністю вимірювання
об’єму резервуара, похибкою самого давача,
похибкою джерела напруги та мілівольтметра, можливо застарілістю давача.