南臺科技大學

機械工程系碩士班
碩士學位論文

高精度可攜式手持三次元量測儀之研製
Development of a Portable High Precision Coordinate
Measuring Machine

研 究 生：饒昆書

指導教授： 朱志良

中華民國一一○年六月
 摘要

本研究之目的在於研發出一具低成本高精度之可攜式手持三次元量測儀，其
中包含量測機構、光學量測探頭及量測軟體之開發。

在量測機構部分，採用球座標系統(γ,θ,φ)作為基礎，並另外增設兩組旋轉
軸衍伸成為多自由度之機構，其中包含固定於平面之兩組相互垂直的旋轉運動機
構(𝜃1 , 𝜑1 ,)、一組直線運動機構(γ)以及連接量測探頭之兩組相互垂直的旋轉運動
機構(𝜃2 , 𝜑2 ,)，並採用開放式光學編碼器量測直線位移及旋轉角度，四組旋轉運
動機構軸心與直線運動機構之軸心皆相交，並且編碼器刻度尺與運動軸心同一直
線，藉此消除阿貝誤差及聯軸器變形誤差。整體機構利用 ANSYS 軟體分析驗證
其機構之可靠性，完成此具有多自由度之運動機構設計。

在光學量測探頭部分，選用雷射二極體作為光源，搭配 PSD 位置感測器作為

感測元件使用。當探針接觸工件時，藉由探頭內部彈片變形造成光路變化，並使
用 PSD 感測光路訊號，此設計可有效提高探頭靈敏度及量測精度。探頭量測範圍
能達±1mm,×,±1mm,×,1mm 之量測範圍，不確定度能達到 0.34μm，X、Y 和 Z 之接
觸力最大僅為 0.39N/mm。

將光學量測探頭架設於量測機構之手持機構末端，完成可攜式手持三次元量
測儀整體架構。在量測軟體設計上，採用 Microsoft,Visual,Studio,C#撰寫程式，透
過軸控卡即時擷取編碼器讀值。本量測儀以手持或機械手臂輔助等方式進行量測，
當探針頂部觸碰到待測物件，將編碼器讀值經由齊次轉換矩陣運算後，可得出探
針頂端之空間座標，即可完成待測物件輪廓。本量測儀量測範圍為為
𝜙941~523mm 的半球型空間，量測不確定度為,17.96μm，重量僅 3.6 公斤。,

關鍵詞：可攜式三次元量測儀、光學量測探頭、曲面量測

I
 Abstract

The, objective, of, this, study, is, to, develop, a, low, cost, andhigh, precision, Portable,
Coordinate, Measuring, Machine,, including, the, development, of, its, measurement,
mechanism,,optical,measurement,probes,and,related,measurement,software.

In,the,measurement,mechanism,,a,ball,coordinate,system,(γ,θ,φ),is,used,as,the,base,
and,two,additional,sets,of,rotary,axes,are,derived,as,multi-degree-of-freedom (multi-DOF),
mechanisms,, including, two, sets, of, mutually, perpendicular, rotary, motion, mechanisms,
fixed, in, the, plane, (𝜃1 , 𝜑1 ,),, one, set, of, linear, motion, mechanisms, (γ), and, two, sets, of,
mutually,perpendicular,rotary,motion,mechanisms,connected,to,the,measurement,probe,
(𝜃2 , 𝜑2 ).,(𝜃2 , 𝜑2 ).An,open,optical,encoder,is,utilized,to,measure,the,linear,displacement,
and,rotation,angle,,andthe,axes,of,the,four,rotary,motion,mechanisms,intersect,with,the,
axes,of,the,linear,motion,mechanism,,with,the,encoder,measurement,scale,aligned,with,
the, motion, axis, to, eliminate, Abbe, error, and, deformation, errors, on, the, coupling,
components.,The,whole,mechanism,of,the,device,was,analyzed,through,ANSYS,software,
to, verify, the, reliability, of, the, mechanism, and, to, complete, the, design, of, the, motion,
mechanism,,which,features,multi-DOF.

In,terms,of,the,optical,measurement,probe,,a,laser,diode,is,used,as,the,light,source,
and,a,PSD,position,sensor,is,used,as,the,sensing,component.,When,the,probe,comes,into,
contact, with,the,workpiece,,the,optical,path, is, changed,by,the, changes,in,the,internal,
spring, plate, of, the, probe, and, the, optical, path, signal, is, sensed, by, the, PSD,, which, can,
effectively, enhance, the, sensitivity, and, measurement, precision, of, the, probe., The,
measurement,range,of,the,probe,can,reach,±,1mm,×,±,1mm,×,1mm,and,the,uncertainty,
can, reach, 0.34μm,, whereasthe, contact, force, of, X,,Y, and, Z, is, only, 0.39N/mm, at, the,
maximum.

The,optical,measurement,probe,is,mounted,on,the,end,of,the,𝜃2 ,rotary,axis,of,the,
measurement, mechanism, to, complete, the, overall, structure, of, the, portable, coordinate,
measuring,machine.,In,the,design,of,the,measurement,software,,Microsoft,Visual,Studio,
C#,was,utilized,to,write,the,program,and,the,encoder,readings,are,captured,through,the,
axis, control,card,in, real, time.,This, coordinate,measuring,machine,is, operated,through,
hand-held,or,robot-assisted,means,for,measurements.,When,the,tip,of,the,probe,touches,
II
the,object,to,be,measured,,the,encoder,readings,are,converted,to,spatial,coordinates,at,the,
tip,of,the,probe,after,utilizing,the,homogeneous,transformation,matrix,,with,which,the,
contour,of,the,object,can,be,precisely,measured.,The,measurement,range,of,this,device,is,
𝜙941~523mm,,while,the,measurement,uncertainty,is,less,than,17.96μm,and,weighs,only,
3.6kg,

Key words:, Portable, coordinate, measuring, machine,, optical, measurement, probe,,

surface,measurement

III
 致謝

光陰似箭，轉眼間研究所的學業即將告一段落，在碩士的生涯中讓我了解時
間分配的重要，也讓我增加了許多專業知識與實作經驗，如今終也苦盡甘來，順
利完成碩士的學業。

首先感謝指導教授朱志良博士的諄諄教誨與悉心指導，除提供了良好的研究
環境及學習資源外，更補助了各種助學金，並在研究中提供大量的研究經費，使
我能得以順利完成本論文，碩士兩年來朱教授除引領我進入學術研究殿堂外，更
使我在學業及待人處事上獲益匪淺，於此謹獻上最真摯的謝意。同時也感謝劉建
聖教授與何昭慶教授於論文口試時的細心教導與建議，使得本論文更加完善。

其次要感謝泓錡、承政學長以及同窗好友友維、育盛、鈞逵、煌龍、隆斌、
與學弟建嘉等人，提供專業技能、知識與生活上的分享，於實驗室中體驗的點點
滴滴，實非筆墨所能盡致，僅拙作論文一本獻給所有一路上陪伴我走過的人，感
謝你們的幫助與支持。

最後，特別感謝父親與母親多年來的悉心培育及弟弟、妹妹給予的支持，使
我能心無旁顧的完成碩士學位。在此謹以本文獻給我最敬愛的父親與母親，關懷
鼓勵我的家人、師長及朋友們。

饒昆書僅致於,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,

南臺科大光電量測實驗室

2021/08/10

IV
 目次

摘要 i

英文摘要 ii

誌謝 iv

目次 v

圖目錄 viii

表目錄 xiv

第一章,,緒論 1

1.1,研究動機 1

1.2,相關文獻回顧 3

1.3 研究方法 15

1.4 論文概要 16

第二章,,可攜式手持三次元量測儀之結構設計與分析 18

2.1,整體機構設計 18

2.2,旋轉運動機構之設計與分析 23

2.2.1,,旋轉運動機構設計準則 23

2.2.2,,𝜑1 軸與𝜃1 軸旋轉運動機構之設計 24

2.2.3,,𝜑2 軸與𝜃2 軸旋轉運動機構之設計 34

2.3,旋轉運動機構之分析 36

V
 2.4,線性運動軸之設計 40

2.5,手持機構之設計 41

第三章,,光學量測探頭之設計與分析 44

3.1,光學量測探頭之結構設計與分析 44

3.1.1,,XY 軸機構之設計 46

3.1.2,,Z 軸機構之設計 47

3.1.3,,有限元素分析 48

3.1.4,,探頭機構加工與組裝 53

3.2,感測器選用 56

3.2.1,,雷射二極體 56

3.2.2,,PSD 位置感測器 56

3.3,光路設計 58

第四章,,可攜式手持三次元量測儀之自由度與運動學分析 60

4.1 可攜式手持三次元量測儀之自由度分析 60

4.1.1,,量測系統自由度之分析 60

4.1.2,手持自由度之分析 62

4.2 可攜式手持三次元量測儀之運動學 63

4.2.1,,運動學 63

4.2.2,,量測儀姿態模擬與運動學驗證 68

4.3 量測範圍 70
VI
第五章,,系統架構設計 71

5.1 機台系統架構 71

5.1.1,,DMC-B140-M 72

5.1.2,,DAQ-6009 73

5.2 系統軟體架構 74

5.2.1,,三次元量測軟體要求與特點 74

5.2.2,,程式的架構與規劃 75

第六章,,實驗架設與測試結果 77

6.1,光學量測探頭之實驗架設與測試結果 77

6.1.1,,量測範圍測試 77

6.1.2,,單方向重複性 80

6.1.3,,接觸作用力 81

6.2 三次元量測儀實驗架設與測試結果 84

第七章,,結論與未來展望 87

7.1,結論 87

7.2,未來展望 88

參考文獻 90

VII
 圖目錄

圖 1.1,,,2017~2030 全球工業 4.0 與智慧製造應用市場統計與預估 2

圖 1.2,,,High-Precision,CMM,示意圖 3

圖 1.3,,,Ultra,Precision,CMM 示意圖及實體圖 4

圖 1.4,,,NMM,機台示意圖與實體圖 4

圖 1.5,,,Sub-Atomic,Measuring,Machine 示意圖 5

圖 1.6,,,Spherical,Coordinate,Automatic,Measurement 示意圖 6

圖 1.7,,,FaroArm®三次元量測儀示意圖 6

圖 1.8,,,Trimos,C-Line 便攜式坐標測量儀 7

圖 1.9,,,AACMM 示意圖 8

圖 1.10,,,SolidWorks 關節分析及 CETOL,6σ分析流程 8

圖 1.11,,座標量測儀示意圖 9

圖 1.12,,3D 球版與 AACMM 之不確定度校準方式 9

圖 1.13,,球桿儀示意圖 10

圖 1.14,,等間距排列的球桿與 Inverse,kinematic,coupling,probe 示意圖 10

圖 1.15,,個像限的球杆位置及位置 P6 示意圖 10

圖 1.16,,於使用四元數的操作運動學模型 11

圖 1.17,,探頭配置與光路設計示意圖 12

圖 1.18,,彈性機構實體圖 12

VIII
圖 1.19,,3D,laser,trapping,探頭示意圖 13

圖 1.20,,PZT 感測器感測器與撓性結構示意圖 13

圖 1.21,,SP25M 示意圖 14

圖 1.22,,撓性結構與反色鏡位置示意圖 14

圖 2.1,,,,球座標系統示意圖 19

圖 2.2(a)機台主體示意圖 19

圖 2.2(b)機台主體實體圖 20

圖 2.3(a)機構軸心線交點示意圖 20

圖 2.3(b)機構軸心線交點示意圖 21

圖 2.4,,,,三次元量測儀模組化示意圖 22

圖 2.5,,,,旋轉運動機構(𝜃1 , 𝜑1 )與線性運動軸(γ)的連接示意圖 23

圖 2.6,,,,旋轉運動機構(𝜃2 , 𝜑2 )與線性運動軸(γ)的連接示意圖 23

圖 2.7,,,,FaroArm®系列 AACMM 之關節設計 24

圖 2.8,,,,單組軸承自由度限制示意圖 25

圖 2.9,,,,三組軸承自由度限制示意圖 25

圖 2.10,,𝜑1 軸旋轉運動機構軸承與盤形彈簧配置示意圖 26

圖 2.11,,𝜃1 軸旋轉運動機構軸承與盤形彈簧配置示意圖 27

圖 2.12(a)撓性鉸鍊設計示意圖 28

圖 2.12(b)撓性鉸鍊固定示意圖 28

圖 2.13(a)緊配合固定設計示意圖 29
IX
圖 2.13(b)緊配合固定示意圖 29

圖 2.14(a)軸承座固定設計示意圖 30

圖 2.14(b)軸承座固定示意圖 30

圖 2.15(a)𝜑1 軸旋轉運動機構開放式光學旋轉編碼器安裝示意圖 31

圖 2.15(b)𝜃1 軸旋轉運動機構開放式光學旋轉編碼器安裝示意圖 31

圖 2.16,使用聯軸器所產生之誤差示意圖 32

圖 2.17,角接觸球軸承未受壓之示意圖 33

圖 2.18,角接觸球軸承受壓後之示意圖 33

圖 2.19,𝜃2 軸旋轉運動機構剖面示意圖 34

圖 2.20,𝜑2 軸旋轉運動機構剖面示意圖 35

圖 2.21,𝜑2 軸旋轉運動機構之軸承固定結構示意圖 35

圖 2.22(a)𝜑1 軸旋轉運動機構位移變形圖 37

圖 2.22(b)𝜃1 軸旋轉運動機構位移變形圖 38

圖 2.23(a)𝜑1 軸旋轉運動機構應力分析圖 38

圖 2.23(b)𝜃1 軸旋轉運動機構應力分析圖 38

圖 2.24,撓性鉸鍊固定結構分析圖 39

圖 2.25,軸承座固定結構分析圖 39

圖 2.26,線性驅動軸示意圖 40

圖 2.27,編碼器刻度尺與線性軸軸心之位置示意圖 40

圖 2.28,固定模組示意圖 41
X
圖 2.29,手持機構示意圖 42

圖 2.30,手持機構與𝜃2 軸旋轉運動機構連接示意圖 42

圖 2.31,探頭磁吸座連接設計之示意圖 43

圖 3.1,,,懸吊機構示意圖 44

圖 3.2,,,懸吊機構與探針的自由體圖 45

圖 3.3,,,具有三自由度特色之高精度量測探頭機構 45

圖 3.4,,,XY 軸系統之設計 46

圖 3.5,,,懸吊機構與探針的自由體圖 46

圖 3.6,,,Z,軸系統之設計 48

圖 3.7,,,Z,軸系統位移示意圖 48

圖 3.8,,,探頭整體設計流程圖 49

圖 3.9,,,X 軸位移之分析 50

圖 3.10,,Y 軸位移之分析 50

圖 3.11,,Z 軸位移之分析 51

圖 3.12,,模態測試探頭機構第一自然頻率 52

圖 3.13,,模態測試探頭機構第二自然頻率 53

圖 3.14,,XY 軸系統實體 54

圖 3.15,,探針機構實體 54

圖 3.16,,Z 軸系統實體 55

圖 3.17,,XY 軸系統與 Z 軸系統結合實體 55

XI
圖 3.18,雷射二極體實體 56

圖 3.19,一維 PSD 實體圖 57

圖 3.20,二維 PSD 實體圖 58

圖 3.21,感測器配置圖 59

圖 3.22,光路設計置圖 59

圖 4.1,,,三次元量測儀自由體圖 61

圖 4.2,,,可攜式手持三次元量測儀之桿件數 61

圖 4.3,,,三次元量測儀之手持機構自由體圖 63

圖 4.4,,,正逆向運動學關係示意圖 64

圖 4.5,,,座標系平移 65

圖 4.6,,,座標系旋轉 66

圖 4.7,,,右手定則 66

圖 4.8,,,第 1 組 3D 圖形姿態與位置 69

圖 4.9,,,可攜式手持三次元量測儀之量測範圍示意圖 70

圖 5.1,,,可攜式手持三次元量測儀實體圖 72

圖 5.2,,,三次元量測儀整體架構圖 72

圖 5.3,,,Galil,DMC-B140-M 運動控制卡 73

圖 5.4,,,DAQ-6009 資料擷取卡 74

圖 5.5,,,程式流程圖 75

圖 5.6,,,量測介面 76
XII
圖 6.1,,接觸式量測探頭之實驗架設示意圖 78

圖 6.2,,探針前端圓球往 X 軸向移動，感測裝置的輸出訊號 78

圖 6.3,,探針前端圓球往 Y 軸向移動，感測裝置的輸出訊號 79

圖 6.4,,探針前端圓球往 Z 軸向移動，感測裝置的輸出訊號 79

圖 6.5,,,接觸作用力的實驗架設示意圖 82

圖 6.6,,,X 軸向接觸力 82

圖 6.7,,,Y 軸向接觸力 83

圖 6.8,,,Z 軸向接觸力 83

圖 6.9,,,球板實體圖 84

圖 6.10,球板 8 點間距示意圖 85

圖 6.11,實驗測試球板擺放方位示意圖 86

圖 6.12,可攜式手持三次元量測儀之定位精度 86

XIII
 表目錄

表 2.1,開放式旋轉編碼器規格表 32

表 2.2,6061-T6,Aluminum,材料性質 36

表 2.3,SUP10,Tool,Steel,材料性質 36

表 2.4,SUJ2,Tool,Steel,材料性質 36

表 3.1,SK-2,Tool,Steel 材料性質 49

表 3.2,最大位移與應力分析之結果 51

表 3.3,自然頻率分析結果 53

表 3.4,PSD 特性規格表 57

表 4.1,各運動機構運行範圍限制與參數對照表 67

表 4.2,各運動機構預設參數 69

表 4.3,各運動機構預設參數 70

表 6.1 單方向重複性 81

表 6.2,球板 8 點間距實際量測值 85

XIV
 第一章 緒論

1.1 研究動機

隨著科技的進步，汽車產業、造船產業、航天航空器製造產業、機械工業

等方面，皆朝精密化的方向前進。因此產品量測的品質與效率要求也隨之提高，

快速發展及擴展中的製造工業也催生出高品質、高效率及多功能的量測系統，

三次元量測儀便是其中之一，也因此被廣泛地在工業中使用。

而雲端運算、物聯網(Internet, of,Things;, IoT)、大數據、人工智能等的運用

愈加頻繁，製造工業也開始朝向智慧製造(Intelligent, Manufacturing;IM,, Smart,

Manufacturing)發展，進而帶動傳統製造上的創新。根據 IoT,Analytics（2018-

2023 年）的工業 4.0 與智慧製造應用市場統計顯示[1]，如圖 1.1 所示，2017 年

約有 470 億美元，到了 2018 年全球智能工廠市場價值 640 億美元，預計到 2023

年將達到 3100 億美元，預測期內復合年增長率為,37%。市場的快速發展對產品

的檢測需求日益擴大，且在品質控制部門，為了達到工件的尺寸、幾何、輪廓

的精確的量測，三次元量測儀更是一個不可或缺的工具。

傳統的中小型三次元量測儀大多採用移動橋式做為主要結構，本身具有載

物台，因此承載能力較大、受地基影響相對較小、開放性好、精度高。但移動

橋式設計須將待測物件放置於量測儀的載物台才能進行量測，其量測物件的大

小受到量測儀移動橋的限制，且此種三次元量測儀為使移動橋有較佳的定位精

度，須將儀器固定並校正其載台及移動橋的水平定位，在移動橋的部分須將結

構設計更加粗壯，此設計並不適合產線或製程中品管點的增設，使的傳統三次

1
元量測儀對於產線製程中零組件的量測成為一個難題，目前現況並不利於三次

元量測儀在智慧工廠大規模運用，因此我們便要提升量測儀器的效率和量測方

式的靈活性，傳統的三次元量測儀已不敷使用，且此類相關之三次元量測儀器

皆依賴進口，而須承擔國外大廠壟斷價位的威脅。

因此本研究使用自行研製量測機構搭配光學量測探頭，研發出一具低成本、

高精度之可攜式手持三次元量測儀，能於製程中檢測已生產製造完成的產品，

三次元量測儀多處採用模組化設計，更加貼合產業需求，並使之掌握三次元量

測儀設計、製造、測試及量測軟體開發等一系列自主性技術，藉以提升國內儀

器製造產業的自主研發之能力，使得製造工業更加精密化，提升產品品質及良

率。

圖 1.1 2017~2030 全球工業 4.0 與智慧製造應用市場統計與預估[1]

2
1.2 相關文獻回顧

關於傳統三次元量測儀的發展、設計分析、體積

誤差補償、量測路徑規劃…等的文獻資料相當豐富，然而隨著 3D,量測精度

需求提高與傳統三次元量測儀不敷使用下，這幾年來漸漸地有相關研究單位與

學者投入三次元量測儀研究。茲將這幾年來各國投入三次元的文獻資料整理如

下：

荷蘭 Eindhoven 大學[2]利用 Abbe 和 Bryan 原理製作出一長 x 寬 x 高為 0.6mm,

×,0.6mm,×,1.4mm、量測範圍為 100mm,×,100mm,×,100,mm，如圖 1.2 所示，量測

不確定度小於 0.1,μm,的高精密三次元量測機台。該機台採空氣軸承與線性馬達

驅動，由於機台滿足 Abbe 和 Bryan 原理，因此可消除 Abbe 誤差與轉動誤差，

而減少軟體上的精度補償設計。

圖 1.2 High-Precision CMM 示意圖[2]

荷蘭 Delft, University, of, Technology, 大學與 Philips, 公司合作開發的 Ultra,

Precision,CMM,[3]，如圖 1.3 所示，該機台採用雙軸雷射干涉儀來補償移動平台

的微小角度誤差，在結構設計上，X、Y、Z 三軸的量測軸皆相交於一點上，符

合 Abbe, 與 Bryan, 原理之設計。該機台具有 100mm, ×, 100mm, ×, 40mm, 的量測範

圍，體積誤差的不確定度為 50,nm。
3
 圖 1.3 Ultra Precision CMM 示意圖及實體圖[3]

德 國 Ilmenau 工 業 大 學 Jager 團 隊 所 研 發 的 Nanopositioning, and,

Nanomeasuring, Machine, [4,5]，如圖 1.4 所示，採用膨脹係數較低的 Zerodur、

Invar, 及鋁合金作為機台結構的主要材料，為了避免平台在運動時產生小角度的

偏差而導致量測誤差，於平台內設置了四顆音圈馬達，藉以調整平台的微小角

度與 Z 軸的高度，使量測時的起始點與終點都維持於相同的角度；該機台使用

雙軸雷射干涉儀作為平台移動和角度的感測，且量測軸皆相交於一點上，符合

了 Abbe 原理的設計準則，其行程為 25mm,×,25mm,×,5mm，解析度可達 1.24,nm。

圖 1.4 NMM 機台示意圖與實體圖[4]

美國北卡州立大學與麻省理工學院合作所開發的次原子量測儀(Sub-Atomic,

Measuring,Machine),[6]，如圖 1.5 所示，該機台利用四顆線性馬達來達成移動平

4
台的六自由度運動，並採用三個雷射干涉儀及三個電容感測器來量測平台的移

動距離與角度變化量，並將放置量測物的區塊設計與量測軸相接近，以減少阿

貝誤差(Abbe,Error)。該機台的量測範圍為 25mm,×,25mm,×,0.1mm，其定位解析

度三軸分別可達 0.12nm,×,0.082nm,×,1.45nm。

圖 1.5 Sub-Atomic Measuring Machine 示意圖[6]

除上述三次元量測儀的外，更有致力於非傳統之小型化或可攜帶的三次元

量測儀及校正儀的研究文獻資料，茲簡要分述如下：

美國 National,Institute,of,Standards,and,Technology,[7]利用球座標系統為主體，

使用線性編碼器和兩個角度光學編碼器，研發出一用於針對機器人的定位精度

和重現性進行評估的 Spherical, Coordinate,Automatic,Measurement(SCAM)，如圖

1.6 所示。機台採用兩組線形軸承限制直線運動的自由度限制，使用複數軸承固

定旋轉主軸，能夠使測量精度為 34,μm，重複性為 32,μm，並具有超過一米球

形之量測範圍體積。

5
 圖 1.6 Spherical Coordinate Automatic Measurement 示意圖[7]

美國 Faro,Technologies 公司[8]開發出一種基於多關節串聯式的 Articulated,

Arm,Coordinate,Measuring,Machines,(AACMM)，如圖 1.7 所示，其儀器設計與機

械手臂類似，使用多組旋轉關節最多能達到 8 軸量測儀，每個關節之旋轉角度

使用編碼器進行感測，利用自身所附帶的量測系統即時擷取量測數值並顯示於

自帶的屏幕上，FaroArm®系列有多種型號之量測儀，量測精度由 32,μm 至 108

μm 不等，儀器重量由 8.5,kg 至 9.3,kg，8 軸量測儀之重量達到 100,kg。

圖 1.7 FaroArm® 三次元量測儀示意圖[8]

英國 Trimos, 公司[9]推出便攜式坐標測量儀 Trimos, C-Line，如圖 1.8 所示，

由高度規演變而來，使用圓柱座標系統為基礎進行量測，自帶屏幕 並內建

6
ControlCAT 量測軟體軟件，可執行各種測量，包括：距離、圓、平面、線和點。

測量儀由電池供電並支持藍牙連接，分為 C3 與 C4 兩種型號，其中 C3 型號為手

動測量，而 C4 則完全由 CNC 操作。坐標測量儀僅重 13.5, kg，X 和 Y 軸的量測

範圍為 700,mm 和 Z 軸的量測範圍為 250,mm。,

圖 1.8 Trimos C-Line 便攜式坐標測量儀[9]

中 國 哈 爾 濱 大 學[10]提 出 一 評 估 AACMM 的 誤 差 分 析 的 方 法 ， 使 用

SolidWorks 軟件來分析每個關節的結構，並提出軸承的誤差產生位置，如圖

1.10 所示，經由 CETOL, 6σ分析軟件計算各關節軸承間隙，此方式能快速分析

AACMM 之誤差，並應用於 AACMM 的研發，如圖 1.9 所示。

7
 圖 1.9 AACMM 示意圖[10]

圖 1.10 SolidWorks 關節分析及 CETOL 6σ分析流程[10]

中國天津大學[11]使用兩個平行的旋轉軸水平移動之座標量測儀，如圖 1.11

所示，改進並建立新 D-H 模型，可用於補償 AACMM 的平行度誤差、臂長和零

位，並且消除旋轉臂因重力引起的扭轉變形。測量儀的測量範圍為（𝜑,200- 𝜑,

1000mm）×250, mm，補償前不確定度為 150μm，誤差補償後其不確定度小於

10μm。

8
 圖 1.11 座標量測儀示意圖[11]

日本 Tokyo,Denki,[12]大學提出一 AACMM 不確定度之測試方法，使用由 9

個球桿依不同高度排列 3, ×, 3 的 3D 球版，如圖 1.12 所示，配合 3 顆直徑相等正

三角形排列所製作的球桿儀，如圖 1.13 所示，並放置於 AACMM 週圍五個方向

得到 45 份數據，確定在每個球桿置和方向，然後計算均方根種組合，得出

AACMM 之不確定度校準結果。

圖 1.12 3D 球版與 AACMM 之不確定度校準方式[12]

9
 圖 1.13 球桿儀示意圖[12]

西班牙 Zaragoza 大學[13]，提出了一種新式校準 AACMM 用以獲得運動學

模 型 參數，其使用 3 顆直徑相等正三角形排列所製作的 Inverse, kinematic,

coupling, probe 配合等間距排列的球桿依不同象限位置進行校正，如圖 1.14、

1.15 所示，儀器評估和誤差測量校正方法使用基於傅立葉多項式的重複性誤差

模型中導出。實驗顯示此方法更加精準的得到 AACMM 之精度和可重複性性能

並進行校準。

圖 1.14 等間距排列的球桿與 Inverse kinematic coupling probe 示意圖[13]

圖 1.15 各個像限的球杆位置及位置 P6 示意圖[13]

10
 義大利 Trento 大學[14], 描述了基於使用四元數的操作運動學模型表示旋轉

的連接數，如圖 1.16 所示。用它解析方程式的線性化和控制定義的應變量。該

模型也可以用來描述機械臂的運動鏈，其能高效的建構,AACMM 的模型和算法。

圖 1.16 基於使用四元數的操作運動學模型[14]

除上述具完整系統的機台外，更有致力於三維量測探頭的研究文獻資料，

茲簡要分述如下：

中國合肥大學[15]提出一種創新的探頭，如圖 1.17 與圖 1.18 所示，採用兩

種彈性機構進行量測，其結構將水平和垂直之間的干擾降到最低，並分別使用

兩組 QPD 感測器量測彈性機構的變化量。水平的探針尖端的運動只能由下彈性

機構及其傳感器檢測到，該探頭具有 20, nm 的重複性，分辨率為 5, nm，模擬測

量範圍大於±10μm。

11
 圖 1.17 探頭配置與光路設計示意圖[15]

圖 1.18 彈性機構實體圖[15]

日本 Osaka 大學[16,17], 提出利用單光束壓力梯度去捕捉微小顆粒（single-

beam,gradient-force,optical,traps,of,small,particals）的方式開發一接觸式量測探頭

（laser,trapping,probe），如圖 1.19 所示，再使用微分干涉相差顯微鏡觀察探頭前

端的圓球在碰觸到物體時偏位所產生的干涉條紋，計算干涉條紋進而得到圓球

的碰觸位置。此接觸式量測探頭的位置量測準確度為 30,nm。

12
 圖 1.19 3D laser trapping 探頭示意圖[16]

英國 National, Physical, Laboratory[18]開發一種新型的無矽,Triskelion,MEMS,

撓性結構，如圖 1.20 所示，其安裝有球形尖端的微型探針，採用 PZT 感測器感

測撓性結構的變形情況。實驗測試證明此探頭的量測解析度為 40,nm，接觸力為

15,N/m。

圖 1.20 PZT 感測器感測器與撓性結構示意圖[18]

英國 Renishaw 公司[19,20]開發出一型號為 SP25M 的量測探頭，使用了兩組

彈性機構來固定探針位置，使探針僅具三個自由度，在彈性結構的上方設置 2
個 QPD 光學感測器以及 2 個雷射二極體，並在彈片上方放置反射鏡將光點反射
至 QPD 上，當探針產生位移時，於 2 個 QPD 上的光點會有所偏移，藉此量測探
針的位移量，此探頭量測範圍為±0.5 mm、解析度為 0.1μm、量測力則隨著探
針長度變化，從 0.2N~0.6 N/mm。如圖 1.20 所示。

13
 圖 1.21 SP25M 示意圖[19]

中國合肥大學[21]提出了一種高精度、低功耗的長行程接觸式掃描探頭，

如圖 1.21，量測範圍±,20μm,×,,±,20μm,×,,20μm，探針由四組彈性結構固定並

於反面安裝四面反射鏡，當探針偏移時使用雷射干涉儀檢測反射鏡的垂直位移，

並利用準直儀的二維角度感測器檢測平面的傾斜，此探頭量測不確定度小於 30,

nm 接觸力僅為 0.5mN/μm。

圖 1.22 撓性結構與反色鏡位置示意圖[21]

14
1.3 研究方法

整理上述的文獻可以知道傳統三次元量測儀採用 Abbe 原理，使量測儀的移

動軸與量測系統的量測軸設計於同一直線上，提高量測儀的量測精度減少誤差

的產生，甚至能免除軟體上的精度補償設計，採用 Abbe 原理的設計原則將會成

為本研究的重要指標。同時，設計三次元量測儀時，若只單純將傳統的三次元

量測儀尺寸縮小，實無法符合實際所需的量測空間，且不容易達到可攜帶的目

的，因此便要使用其他不同於傳統式的三次元量測儀之設計，本研究之可攜式

手持三次元量測儀選擇球座標系統(γ,θ,φ)作為基礎，並另外增設兩組旋轉軸

衍伸成為多自由度之機構，相較於圓柱座標系統(𝜌,,φ,z)與直角座標系統(x,y,z)

於相同體積下具有較好的量測空間，並將低了 AACMM 多關節臂受重力所導致

的變形誤差。每個旋轉關節中需針對軸承的使用與分析軸承安裝間隙的解決方

案，以提高可攜式手持三次元量測儀的量測精度，並針對量測儀的可攜式功能

提出模組化設計，簡化量測儀的架設難度。

在量測探頭部分，以接觸式觸發探頭為設計主軸，將採用彈性結構與光感

測設計，並將探頭的 XY 軸向運動及 Z 軸向運動分離，感測器使用 2D-PSD 與

1D-PSD 分別感測 XY 軸向與 Z 軸向運動，將高精度與低接觸力定為設計目標。

結合上述三次元量測儀與量測探頭自行研發出一具低成本、高精度、可攜式手

持量測的三次元量測儀，勢將提供一高靈活度及便利性的量測解決方案。

15
1.4 論文概要

本研究架構主要是開發一台三次元量測儀，其具備低成本、高精度的特點，

並具有可攜帶之功能以手持的方式使用，配有光學量測探頭能量測物件表面輪

廓，此量測儀於量測時使用編碼器對各運動機構的變化進行感測，能即時計算

自身運動後的姿態，在量測機構末端配合一量測探頭的定位，便可以手持量測

的方式完成一種可攜式手持三次元量測儀。

六大章節，內容如下：

第一章 緒論

說明研究動機、相關文獻回顧、研究方法與規劃。

第二章,量測儀之結構設計

介紹本研究的可攜式手持三次元量測儀設計，其中包含旋轉運動機構、線

性運動機構以及手持機構。

第三章,光學量測探頭之設計與分析

介紹三次元量測儀中的光學量測探頭，其中包含計構設計與分析、感測器

選用與光路設計。

第四章,可攜式手持三次元量測儀之自由度與運動學分析

分析三次元量測儀的自由度以及運動轉換公式並驗證，以及分析三次元量

測儀的量測空間。

16
第五章,系統架構設計

介紹本研究所使用的機電設備與儀器系統整合以及程式設計。

第六章,實驗架設與量測結果

針對三次元量測儀進行精度測試，並對研究成果進行實驗結果與討論。

第七章,結論與未來展望

本文總結，並提出未來研究方向與建議。

17
 第二章
可攜式手持三次元量測儀之結構設計與分析

本章節將介紹可攜式手持三次元量測儀的整體機構，其中包含轉運動軸

(𝜃1 , 𝜑1 , 𝜃2 , 𝜑2 )、線性運動軸(γ)以及手持機構，在設計上必須將可能影響精度

的因素提出並加以分析，減少機構所產生的誤差，以可攜帶功能與架設方便性

來設計整體機，研製出一可攜式手持三次元量測儀；而光學量測探頭設計與分

析、量測探頭的整合等將於後面各章節加以介紹。

2.1 整體機構設計

目前市售商用三次元量測儀大多採用直角坐標系統為基礎，內含 X、Y、Z

之線性位移軸，其量測範圍直接與線性位移軸的行程有關，若單純將此類三次

元量測儀尺寸縮小，並不能符合本研究針對量測範圍的設計要求，因此本研究

採用以球座標系統(γ,θ,φ)作為設計基礎，如圖 2.1 所示，其兩組旋轉軸組合成一

萬向機構，搭配一線性位移軸便可表示空間中任意一點，於相同體積之下球座

標系統較直角坐標系統有更大的量測範圍。

18
 圖 2.1 球座標系統示意圖

本研究所開發之高精度可攜式手持三次元量測儀，如圖 2.2 所示，儀器整體

機構總共設有四組旋轉運動機構和一組直線運動機構，旋轉運動機構倆倆相互

垂直組合，其中兩組旋轉運動機構(𝜃1 , 𝜑1 )固定於平面，而另外兩組旋轉運動機

構(𝜃2 , 𝜑2 )則與光學量測探頭組合，兩者之間使用線性運動軸(γ)連接。,

圖 2.2 (a)機台主體示意圖
19
 圖 2.2(b) 機台主體實體圖

兩組旋轉機構的軸心相互垂直並且相交於一點，於此旋轉軸的交點上方安

裝一組直線運動軸稱為γ軸直線運動機構，如圖 2.3 所示，。

圖 2.3(a) 機構軸心線交點示意圖

20
 圖 2.3(b) 機構軸心線交點示意圖

在設計三次元量測儀的可攜帶功能時，會因線性運動軸(γ)的行程設計而

限制攜帶的方便性，因此將三次元量測儀的整體設計為 3 個模組，如圖 2.4 所

示，由上兩組旋轉運動機構(𝜃2 , 𝜑2 ,)、下兩組旋轉運動機構(𝜃1 , 𝜑1 ,)與線性運動

機構(γ)組成，僅需卸下 4 個定位螺絲即將各模組分離完成，達成快速架設與方

便攜帶之特色。

21
 圖 2.4 三次元量測儀模組化示意圖

在下兩組旋轉運動機構(𝜃1 , 𝜑1 )與線性運動軸(γ)的連接部分，使用 3 個定

位點並使用螺絲連接，如圖 2.5 所示，在上兩組旋轉運動機構(𝜃2 , 𝜑2 )與線性運

動軸(γ)的連接部分，設計一個與線性滑軌連接的固定座，固定座與線性滑軌

之間使用 1 個螺絲固定，如圖 2.6 所示，配合螺絲的設計達到錯誤校對的功能。

22
 圖 2.5 旋轉運動機構(𝜃1 , 𝜑1 )與線性運動軸(γ)的連接示意圖

圖 2.6 旋轉運動機構(𝜃2 , 𝜑2 )與線性運動軸(γ)的連接示意圖

2.2 旋轉運動機構之設計與分析

2.2.1 旋轉運動機構設計準則

23
 旋轉運動機構為本研究之三次元量測儀占比最大之部分，若當整個旋轉運

動機構其本身的穩定性及偏轉性不佳時，會導致量測儀產生不可預期的誤差，

因此將對每個旋轉運動運動的間隙進行分析，並使用彈性元件來填補間隙，確

保旋轉運動軸運行時的穩定性及偏轉性，每個旋轉運動機構將提供 180 ﾟ至 360

ﾟ不等的旋轉範圍，且同時承受軸向與徑向負載。

2.2.2 𝝋𝟏 軸與𝜽𝟏 軸旋轉運動機構之設計

市售之 AACMM 所用之各關節採用兩組軸承用以固定主軸[8]，如圖 2-7 所

示，軸承置於旋轉機構的兩端，用以承受關節臂傳遞置旋轉軸的旋轉力矩，且

為了提高關節的抗旋轉力矩，就需要將旋轉機構設計較長以提供足夠的抗力臂，

因此本研究使用三組軸承用以限制主軸的自由度及抵抗旋轉力矩。

圖 2.7 FaroArm® 系列 AACMM 之關節設計[8]

24
 旋轉運動機構採用三組軸承方式組裝，當使用一組軸承固定於主軸中央時

主軸仍具有 4 個自由度，如圖 2.8 所示，在此之上新增另外兩組軸承於主軸的兩

端，如圖 2.9 所示，此時主軸僅具有 1 個自由度，且於主軸兩端之軸承能提供抵

抗旋轉之力矩以降低旋轉運動機構的偏轉性，並保持旋轉運動機構體積的最小

化。

圖 2.8 單組軸承自由度限制示意圖

圖 2.9 三組軸承自由度限制示意圖

25
 於主軸兩端之軸承與主軸的聯結處因加工精度或裝配誤差而有可能產生間

隙的可能，為避免此間隙的產生必須在軸承與主軸的聯結處加入一彈簧用於填

補可能產生之間隙，如圖 2.10 與圖 2.11 所示，並施加一個彈簧預壓行程，以保

證主軸兩端之軸承運轉時的穩定性，彈簧選用高剛性盤形彈簧，此類彈簧具有

體積小、重量輕、高剛性等特點，應用於旋轉運動機構中可減小安裝所需之空

間，達到小型化之目的。

圖 2.10 𝜑1 軸旋轉運動機構軸承與盤形彈簧配置示意圖

26
 圖 2.11 𝜃1 軸旋轉運動機構軸承與盤形彈簧配置示意圖

機構中軸承的固定是否穩固與旋轉運動機構運行時穩定度有著密不可分的

關係，因此針對軸承的固定方式旋轉運動機構採用了撓性鉸鍊固定、軸承座固

定與緊配合固定，在𝜑1 軸旋轉運動機構中便採用撓性鉸鍊固定與緊配合固定，

如圖 2.12 與圖 2.13 所示，撓性鉸鍊固定結構使用兩個鬆緊調節螺栓進行軸承固

定的調整，緊配合固定則由四個鬆緊調節螺栓將上層固定結構與下層固定結構

鎖緊，壓縮盤形彈簧提供一預壓力用以緊固滾針軸承並消除軸承與主軸之間係，

而𝜃1 軸旋轉運動機構則中採用軸承座來固定軸承，如圖 2.14 所示，上述多種軸

承固定方式皆可透過鬆緊調節螺栓進行軸承固定的調整，方便機構組立時調整

軸承之特性，並在下個章節中分析軸承固定結構的固定功能。

27
圖 2.12(a) 撓性鉸鍊設計示意圖

圖 2.12(b) 撓性鉸鍊固定示意圖

28
圖 2.13(a) 緊配合固定設計示意圖

圖 2.13(b) 緊配合固定示意圖

29
 圖 2.14(a) 軸承座固定設計示意圖

圖 2.14(b) 軸承座固定示意圖

每個旋轉運動機構都安裝有開放式光學旋轉編碼器, (Open, Optical, Linear,

Encoders)，如圖 2.15 所示，用以感測角度的變化量，表 2.1 為開放式光學旋轉

編碼器之規格，開放式光學旋轉編碼器由刻度盤與讀取頭兩部分所組成，能將

刻度盤安裝位置盡量靠近旋轉軸軸心，並將刻度盤與轉軸主軸，以確保量測旋

轉角度的準確度，此設計也用來消除傳統編碼器使用聯軸器所產生的誤差，如

30
圖 2.16 所示，縮小整體旋轉機構的體積，更符合可攜式的設計目的。

圖 2.15(a) 𝜑1 軸旋轉運動機構開放式光學旋轉編碼器安裝示意圖

圖 2.15(b) 𝜃1 軸旋轉運動機構開放式光學旋轉編碼器安裝示意圖

31
 表 2.1,開放式旋轉編碼器規格表[22]
型式 RIK-4C,N5-RZ
Pulse/rev.
9,000
(wtihout,external,interpolation)
Resolution 0.72 arc-sec
Permissible rotating speed 267,rpm
Scanning,frequency max.,500,kHz
Outer diameter 56,mm
Weight (without cable) 40,g
Voltage 5V,±10%
Operating temperature 0°C,to,+55°C,(+32°F,to,+131°F)

圖 2.16 使用聯軸器所產生之誤差示意圖

旋 轉 運 動 機 構 的 軸 承 使 用 高 精 密 角 接 觸 球 軸 承(Super-precision, Angular,

Contact, Ball, Bearings)與滾針止推軸承所構成，高精密角接觸球軸承能提供旋轉

機構運行時主軸的穩定性與低摩擦阻力，而滾針止推軸承能用於極小空間中提

供單一方向支撐，由於角接觸球軸承雖然使用高精密級但仍有一定的軸承特性

(單一軸承運行時具有 5 個自由度的運動)，如圖 2.17 所示，因此在裝配時先使用

32
上述之軸承固定結構固定角接觸球軸承，之後藉由盤形彈簧施加一定的預壓力，

使得角接觸球軸承能在原廠設計的最佳狀態下運行(即滾珠和內外環之間的接觸

角在 15 ﾟ)，如圖 2.18 所示，此方法可使軸承於單一自由度下運行，進而增強旋

轉運動軸運行時的穩定性。

圖 2.17 角接觸球軸承未受壓之示意圖

圖 2.18 角接觸球軸承受壓後之示意圖

33
2.2.3 𝝋𝟐 軸與𝜽𝟐 軸旋轉運動機構之設計

在𝜑2 軸與𝜃2 軸旋轉運動機構中採用與𝜑1 軸與𝜃1 軸旋轉運動機構相同的設計

語彙，其中包含上述之多組軸承固定主軸、高剛性盤形彈簧與開放式光學旋轉

編碼器的使用，以及各式軸承固定方式之設計等特點，且開放式光學旋轉編碼

器採用與𝜑1 軸與𝜃1 軸旋轉運動機構相同的規格，在保持精度不變此基礎上依據

𝜑2 軸與𝜃2 軸旋轉機構的需求不同採用不同的配置。

𝜃2 軸旋轉運動機構由於負載較輕因此選擇使用兩組軸承固定軸心，並將主

軸兩端設計為錐形配合盤形彈簧以達到與三組軸承配置相同的穩定性，如圖

2.17 所示，由於減少一組軸承與其使用之固定結構，進而降低了機構的重量，

更符合可攜式的設計目的。

圖 2.19 𝜃2 軸旋轉運動機構剖面示意圖

在𝜑2 軸旋轉機構的設計部分，保持與𝜑1 軸旋轉運動機構相同的機構設計，

如圖 2.20 所示，將軸承與盤形彈簧的尺寸縮小，將原先的撓性絞鍊結構改為使
34
用固定結構搭配螺栓配鬆緊調節，如圖 2.21 所示，並且𝜑2 軸旋轉運動機構外觀

設計為圓形，以便更加縮小體積與重量，在保持原先旋轉機構的穩定性與低偏

轉性下，使體積從𝜑1 軸旋轉運動機構的 544.093𝑐𝑚3 縮小到 117.019𝑐𝑚3 ，重量更

是由原先的 969g 降低至 447g。

圖 2.20 𝜑2 軸旋轉運動機構剖面示意圖

圖 2.21 𝜑2 軸旋轉運動機構之軸承固定結構示意圖
35
2.3 旋轉運動機構之分析

將設計完成之旋轉運動機構以商用有限元素分析軟體 ANSYS, 建立 3D 幾何

模型分析，元素種類採用 Solid186, 20 個節點立體結構元素作為元素種類來進行

分析。旋轉運動機構選用鋁合金作為主要材料，而盤行彈簧使用 SUP10 彈簧剛，

軸承則使用 SUJ2 軸承鋼，材料之分析參數如表 2.2、表 2.3,與表 2.4 所示。

表 2.2,6061-T6,Aluminum,材料性質
Specification 6061-T6
Elastic Modulus(N/𝑚2 ) 73×109
Poisson’s,ratio(ν) 0.31
Density(ρ，Kg/𝑚3 ) 2700
Yield,Stress(Ѕ，N/𝑚2 ) 2.55×108

表 2.3,SUP10,Tool,Steel,材料性質
Specification SUP10
Elastic Modulus(N/𝑚2 ) 190×109
Poisson’s,ratio(ν) 0.29
Density(ρ，Kg/𝑚3 ) 7800
Yield,Stress(Ѕ，N/𝑚2 ) 4.123×108

表 2.4,SUJ2,Tool,Steel,材料性質
Specification SUJ2
Elastic Modulus(N/𝑚2 ) 210×109
Poisson’s,ratio(ν) 0.3
Density(ρ，Kg/𝑚3 ) 7810
Yield,Stress(Ѕ，N/𝑚2 ) 1.37×109

36
 𝜃1 、𝜑1 軸旋轉運動機構固定於平面，用於承受三次元量測儀的整體重量與

負載，而𝜃2 、𝜑2 軸旋轉運動機構內部元件的強度設計與𝜃1 、𝜑1 軸旋轉運動機

構相同，因此將針對承受較大負載的𝜃1 、𝜑1 軸旋轉運動機構進行變形與受力分

析，分別對𝜃2 軸與𝜑2 軸旋轉運動機構的承重位置施加負載，並判斷分析之結果

是否符合設計之要求，圖 2.22 為機構的位移變形圖，圖 2.23 為機構的應力分析

圖，從結果顯示機構受力皆落在軸承的額定載荷內，且從位移變形圖中可以看

出𝜃1 、𝜑1軸旋轉運動機構負載後其變形量在編碼器的使用範圍內。

圖 2.22(a) 𝜑1 軸旋轉運動機構位移變形圖

37
圖 2.22(b) 𝜃1 軸旋轉運動機構位移變形圖

圖 2.23(a) 𝜑1 軸旋轉運動機構應力分析圖

圖 2.23(b) 𝜃1 軸旋轉運動機構應力分析圖
38
 另外旋轉機構設計中對軸承固定方式採用了撓性鉸鍊固定與軸承座固定，

因此需對上述固定方式行分析，以確保軸承在固定後中心偏移以及軸承受力分

布，如圖 2.24 與圖 2.25 所示，從分析結果可得知撓性鉸鍊與軸承座的固定方式

滿足設計需求，旋轉機構之軸心並無偏移產生且軸承緊固受力均勻。

圖 2.24 撓性鉸鍊固定結構分析圖

圖 2.25 軸承座固定結構分析圖

39
2.4 線性運動軸之設計

線性運動軸的設計主要分為編碼器模組與固定模組兩個部分，如圖 2.26 所

示，在線性軸設計之初，便以高精度為設計要求，因此採用 Abbe 原理作為線性

軸的主要設計，如圖 2.27 所示，將編碼器的刻度尺安裝於線性軸的運行軸心，

使線性運動軸的軸心與刻度尺於同一直線上，針對因環境溫度而導致線性滑軌

所生之熱變形，於刻度尺與線性滑軌之間加入一固定座，並使用聚甲基丙烯酸

甲酯製作，最大程度降低環境溫度的引響，滑塊固定於編碼器的讀取頭的另一

側，並且兩者中心點互相對齊，進而增強編碼器讀取的穩定性。

圖 2.26 線性驅動軸示意圖

圖 2.27 編碼器刻度尺與線性軸軸心之位置示意圖

40
 線性運動軸中固定模組採用三隻中空鋁梁進行設計，如圖 2.28 所示，中空

鋁梁為 120°交錯分布擺放，使用固定銷與環形固定座的方式固定，後期透過中

空鋁梁與線性軸軸心長度的變化，即可實現不同的量測運行空間，此設計大幅

減輕線性軸的重量並保持結構的剛性。

圖 2.28 固定模組示意圖

2.5 手持機構之設計

本研究之三次元量測儀採用手持量測方式，量測儀本身不具有任何致動元

件，此設計可降低量測儀的整體重量並簡化機構，因此針對手持量測的部分需

設計一個供使用者握持的手持機構，如圖 2.29 所示，手持機構由握把、殼型針

狀滾子軸承、C 形扣環、固定軸心與探頭磁吸座所組成，手持機構與𝜃2 軸旋轉

運動機構相連，如圖 2.30 所示。

41
 圖 2.29 手持機構示意圖

圖 2.30 手持機構與𝜃2 軸旋轉運動機構連接示意圖

三次元量測儀於使用時需安裝量測探頭，針對量測儀後期的多用途性可能

42
需要使用到不同的量測探頭，因此設計一量測探頭的探頭磁吸座，如圖 2.31 所

示，磁吸座與固定軸心的末端連接，固定軸心為中空形式一方面可減輕重量，

另外可作為磁吸座的定位孔之一，用以抵抗來自探頭的徑向受力，於兩者之上

各設置強力磁鐵依 90°分部於 4 個位置，方便探頭作為快速安裝之用。

圖 2.31 探頭磁吸座連接設計之示意圖

43
 第三章 光學量測探頭之設計與分析

高精度量測探頭的設計，為能精確量測探針前端的位移量，一般需同時以

數個感測元件來進行量測，如此設計將使整體的設計成本提高，因此設計一種

低自由度的懸吊機構，減少懸吊機構間各軸之耦合運動的誤差與減少感測器的

使用數量，是提高探頭精度與降低成本的最佳方法。

3.1 光學量測探頭之結構設計與分析

光學量測探頭將使用之懸吊機構，如圖 3.1 所示，此懸吊機構是由十字型的

結構與四根微細樑組合而成，利用此對稱式結構設計，達成固定自由度的功能。

將對稱式結構設計繪製成自由體圖，如圖 3.2 所示，則可進一步得知懸吊機構沿

x,軸與 y,軸方向的運動(𝛿𝐴𝑥 ,and,𝛿𝐴𝑦 )與繞著 z 軸的轉動(𝜃𝑧 ),被拘束住，因此懸吊

機構僅剩下三個自由度的運動。

圖 3.1 懸吊機構示意圖

44
 圖 3.2 懸吊機構與探針的自由體圖

由於對稱式的結構設計，使整體懸吊機構於組裝上的誤差降低，且更易於

加工製造，避免不對稱設計所造成的系統誤差。因此，此設計除能減少懸吊機

構各軸耦合運動的誤差與降低不同預行程所造成的誤差，進而提高接觸式類比

探頭的精度外，更能減少感測器的使用數目，使整體的成本降低。

本研究之光學量測探頭的結構設計可分為 XY 軸系統與 Z 軸系統，圖 3.3 所

示，與探針三者相互結合後，將完成一具有三自由度特色之高精度量測探頭機

構。

圖 3.3 具有三自由度特色之高精度量測探頭機構

45
3.1.1 XY 軸系統

XY 軸系統之設計，如圖 3.4 所示，其彈簧片之設計理念來自於微細樑之彎

曲變形位移示意圖，如圖 3.5 所示，此系統是依靠探針前端之受作用力影響而使

結構產生角度變化，因此位於旋轉點之 A 點只能有旋轉角度變化量，而不能有

其他軸向之位移，如 A 點產生位移將會導致量測時誤差的產生，因此在設計 XY

軸系統時必須為對稱式設計，使得各相對之微細梁變化時，,A 點位置始終保持

不動。

圖 3.4 XY 軸系統之設計

圖 3.5 懸吊機構與探針的自由體圖

46
 由於量測探頭在接觸工件時是依靠接觸力使懸吊機構產生形變，其過大的

接觸力會造成待測物的變形，甚至造成彈片發生永久性的塑性變形或產生破壞，

而過小的接觸力則會使彈片容易受自然頻率影響，因此必須針對所需之接觸力

來設計微細樑之長、寬、高的尺寸大小。此設計能將結構之自由度限制為三個

(Z 軸位移、X 與 Y 軸旋轉)，但 XY 彈片之 Z 軸位移將使後續的 Z 軸系統產生無

法量測之位移量，因此在結構中心安裝一頂心，如圖 3.4 所示，能將 Z 軸向之作

用力引導至 Z 軸系統，使結構僅剩 X 軸與 Y 軸角度變化，達成僅具二自由度之

特色。

3.1.2 Z 軸系統

量測探頭之 Z 軸系統設計，如圖 3.6 所示，圖 3.7 為 Z 軸系統位移示意圖，

將需要接合之兩部分分為上基座與下基座，其上下兩基座則以四片長薄彈片加

以連接，上基座保持固定不動，僅造成下基座有位移之變化，此設計不但能將

自由度有效拘束，使結構產生單純的上下位移，所需之接觸力也能夠控制在所

設計之範圍內。

47
 圖 3.6 Z 軸系統之設計

圖 3.7 Z 軸系統位移示意圖

3.1.3 有限元素分析

將設計完成之探頭機構以有限元素分析軟體 ANSYS 建立 3D 幾何模型分析，

48
在此使用的元素種類採用 Soild186, 20 個節點立體結構元素作為元素種類來進行

分析。所選用之材料，XY 彈片與 Z 軸彈片使用 SK-2 工具鋼，其他零件則採用

鋁合金，材料之分析參數如表 2.2 與表 3.1 所示。由於探頭之設計需要在量測範

圍、觸發力、彈片之變形率與彈片之降伏應力四者之間維持在設計所需之範圍

內，因此在研究上將設定 X、Y 與 Z 軸分別施加 0.28N 與 0.39N 的接觸力，和 X

與 Y±1mm，Z 軸, 1mm 之量測範圍，當作分析上之基準，以判斷分析之結果是

否符合設計之要求，探頭整體設計流程如圖 3.8 所示。ANSYS 模擬分析之情況

如圖 3.9、圖 3.10 圖 3.11 所示，表 3.3 為分析之結果。

表 3.1,SK-2,Tool,Steel 材料性質

Specification SK-2
Elastic,Modulus(N/m2) 203×109
Poisson’s,ratio(ν) 0.3
Density(ρ，Kg/m3) 7860
Yield,Stress(Ѕ，N/m2) 1.09×109

圖 3.8 探頭整體設計流程圖

49
圖 3.9 X 軸位移之分析

圖 3.10 Y 軸位移之分析
50
 圖 3.11 Z 軸位移之分析

表 3.2,最大位移與應力分析之結果

彈片變形率(N/mm) 彈片承受之應力(Mpa) 最大位移量(mm)

X軸 0.28 322.1 1.0001
Y軸 0.28 321.33 1.012
Z軸 0.39 286.46 1.0001

由表 3.2 可以得知所設計之量測範圍內，彈片所承受之最大應力值，此應力

值小於所選用材料之降伏係數應力，以避免在正常使用下造成彈片產生塑性變

形，同時彈片變形率也低於市售之三次元掃描探頭，將有效降低量測時對工件

造成的塑性變形。在 XY 軸分析部分，由分析結果可以發現兩軸之分析結果相

當，表示 XY 軸有達到其對稱式設計之目標，避免在量測時由於彈片中心偏移

造成數據誤差的產生。

51
 從靜態分析結果中，得知探頭結構之設計符合本研究之要求，因此將符合

之結果作模態分析測試。為了避免探頭在量測時產生共振效應而造成量測誤差，

因此需要以 ANSYS 軟體的動態模擬分析，求出探頭在量測時所產生之頻率，避

免在量測移動時產生共振，防止因震動而對工件表面造成塑性變形，並造成量

測上的誤差產生。量測結果如圖 3.12 與圖 3.13 所示。所產生之自然頻率如表 3.3

所示，從圖中可以看到第一自然頻率為 20.754, Hz，整體結構呈現 Z 軸上下垂直

往復振動，第二自然頻率為 191.96Hz，整體機構呈現左右搖擺振動。就本研究

之三次元量測儀的使用功能來說，由於在作量測使用時，手持量測的移動速度

並不高，因此探頭並不會產生共振效應。

圖 3.12 模態測試探頭機構第一自然頻率

52
 圖 3.13 模態測試探頭機構第二自然頻率

表 3.3 自然頻率分析結果

第一自然頻率 第二自然頻率

自然頻率 20.754,Hz 191.96,Hz

3.1.4 探頭機構加工與組裝

經由有限元素軟體對結構作靜態與動態模擬分析後，確定結構之設計保持

在所要求之設計範圍內，確保機構在使用上不會因材料發生降伏導致永久變形

或產生破壞，便可開始作加工的動作。

根據所設計之機構之尺寸樣式與模擬分析為依據，實際製作出相同規格的

探頭機構，以精密線切割加工與傳統加工製作出所設計的各種結構。整體安裝

上，先將 XY 彈片固定於彈片座與底座間，並在彈片上安裝探針固定座，如圖

53
3.14 所示，調校頂心的位置至適當處後，將探針安裝到探針固定座上，如圖

3.15 所示，再將上基座與下基座以 Z 軸彈片將其連接，如圖 3.16 所示，完成後

將 XY 軸系統與 Z 軸系統連接，最後完成一光學量測探頭之組裝，探頭之實體

如圖 3.17 所示。

圖 3.14 XY 軸系統實體

圖 3.15 探針機構實體
54
 圖 3.16 Z 軸系統實體

圖 3.17 XY 軸系統與 Z 軸系統結合實體

55
3.2 感測器設計

3.2.1 雷射二極體

本研究所使用之雷射二極體為宏惠光電所提供的雷射二極體，如圖 3.18 所

示，波長為 650nm 的紅光，輸出功率為 10mW，內建一球面鏡使雷射光聚焦，

其內部具有 APC 電路作回饋控制使用，可自動調節雷射功率提升量測的精度。

圖 3.18 雷射二極體實體

3.2.2 PSD 位置感測器[23]

PSD 為 Position, Sensitive, Detector 的縮寫，是一種利用光點位置變化來感測

位移的一種感測器，當光源照射至 PSD 的感測面上時，能給於一個連續的位置

訊號。PSD 的特色在於光譜響應範圍寬、響應速度快、位置解析度高、感測器

之中心即為原點、處理電路簡單，能檢測光強度。

本研究所使用的 PSD 位置感測器為 ON-TRAK 所出品的一維 PSD 與二維

56
PSD，型號分別為 1L2.5SP 與 2L4SP，其特性規格如表 3.4 所示，圖 3.19 與圖

3.20 為 PSD 實體圖。

表 3.4,PSD 特性規格表[24,25]
1L2.5SP 2L4SP
Model
Min Typ. Max Min Typ. Max
Active,Area(mm) 2.5×0.6 4×4
Respons.@940nm,A/W 0.63 0.63
Dark,Current,nA 2 10 50 200
Noise,Current,pA/Hz1/2 0.4 10 1.3 2.5
Capacitance,pF@15V 1.6 2 20 25
Rise,Time,μs,10-90%,15V 0.3 0.5 0.08 0.16
Reverse,Bias,V 5 15 20 5 15 20

Detector,Resistance(KΩ) 40 50 80 7 10 16
Thermal,Drift,
20 100 40 200
ppm/℃
Position,Non-Linearity 0.1 0.2 0.3 0.8

圖 3.19 一維 PSD 實體圖

57
 圖 3.20 二維 PSD 實體圖

3.3 光路設計

圖 3.21 與圖 3.22 為感測器配置與光路設計示意圖，所使用之元件為雷射二

極體、分光鏡、一維位置感測器、二維位置感測器、反射鏡（Mirror）。整體光

路流程為雷射二極體發射光束，經由分光鏡將光束分為兩道，一道經過聚焦透

鏡將光束聚焦至一維位置感測器上，經由機構帶動感測器產生垂直上下移動，

藉此使感測器能夠得到 Z, 軸位移變化量。另一道光束則投射至位於探針機構上

的反射鏡，再經由分光鏡將光投射至二維位置感測器上，探針機構如產生角度

變化，便可使光點產生位移，藉此得知探針前端之 XY, 軸位移變化量。當有位

移產生時，一維 PSD,與二維 PSD,便會產生電流訊號，經過訊號處理器處理過後，

將電壓之變化作為觸發訊號，搭配三次元量測儀的定位，進一步得知待測物之

三維形貌。

58
圖 3.21 感測器配置圖

圖 3.22 光路設計置圖

59
 第四章
可攜式手持三次元量測儀之自由度與運動學分
析

4.1 可攜式手持三次元量測儀之自由度分析

在此針對可攜式手持三次元量測儀的自由度進行分析，由於光學量測探頭

與𝜃2 軸旋轉運動機構之間使用手持機構進行連結，而手持機構中用以連接兩者

的僅探頭磁吸座與固定軸心，且探頭磁吸座加入定位孔位用以固定探頭位置，

使探頭的 Z 軸量測軸線與固定軸心之軸線在同一線上，因此手持機構的旋轉運

動鏈不包含在量測系統的自由度分析中，以下將量測系統自由度分析與手持自

由度分析分開進行討論。

4.1.1 量測系統自由度之分析

三次元量測儀在使用時最少須具備三自由度的量測系統，才能完成物體表

面輪廓的玩整量測，但三自由度的量測系統無法量測到深孔及複雜曲面，觀察

歷年的三次元量測儀之文獻與產品，使用接觸式量測探頭的三次於量測儀在量

測系統上須具備五個自由度以上，方能達到完善的三維量測功能，因此本研究

將以五自由度的量測系統為標準。

從光學量測探頭到𝜑1 軸旋轉運動機構，兩者之間由五組運動鏈所組成，並

繪製其自由體圖，如圖 4.2 所示。其中有四組為旋轉動機構的旋轉運動鏈，另外

一組為線性運動軸的滑動鏈。
60
 圖 4.1 三次元量測儀自由體圖

量測儀有 6 根桿件，如圖 4.2 所示，滑動鏈之自由度為 1(拘束度c1 =5)，其

滑動鏈數目p1 = 1；而旋轉鏈之自由度為 1, (拘束度c2 =5),,，其旋轉運動鏈數目

p2 =4。將上述運動鏈數目及拘束度代入 Grubler-Kutzbach,criteria 自由度判別式，

將可計算其機構自由度公式如下：

圖 4.2 可攜式手持三次元量測儀之桿件數
61
 F=6(N-1)- ∑ Pi ci ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,(4.1)

其中：

F：自由度

pi ：關節數量

ci ：為該接頭自由度拘束

N：桿件數目

𝐹𝑆 = 6(6 − 1) −1(5)-4(5),=,5,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,(4.2)

透過公式計算出量測系統為五個自由度，搭配光學量測探頭便可達到五自

由度的三維量測之功能，符合本研究之需求。

4.1.2 手持自由度之分析

六個自由度是立體空間中所有的運動方式，因此使用者使用量測儀時手持

機構須提供六個移動的自由度，方可在任何角度和方向都能順暢的使用手持三

次元量測儀。

手持機構使量測儀在原本量測機構上增加一個旋轉自由度，將其旋轉角度

定義為𝜑3 ，並重新繪製從手持握把到𝜑1 軸旋轉運動機構之間的自由體圖，如圖

4.3 所示，其中手持機構的加入因此桿件數由量測系統的 6 根桿件增加至 7 根桿

件，而滑動鏈數目p1 = 1、旋轉運動鏈數目p2 =5，代入自由度判別式，將可計

62
算其機構自由度公式如下：,

𝐹𝑆 = 6(7 − 1) −1(5)-5(5),=,6,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,(4.3)

圖 4.3 三次元量測儀之手持機構自由體圖

透過公式計算得出三次元量測儀的手持功能具有六個自由度，提供手持使

用時各個姿態都不會影響使用的順暢性。

4.2 可攜式手持三次元量測儀之運動學

4.2.1 運動學

運動學為討論運動狀態本身之學門，不考慮產生運動的「力」，.其運動位

置、姿態、速度、加速度與時間等，可分為正向運動學（Forward kinematics）

與逆向運動學（Inverse kinematics），如圖 4.4 所示，其中正向運動學是決定要

達成所需要的姿勢所要設置的關節可活動對象的參數的過程，例如：已知個每

個關節轉動之角度，來推算末端量測探頭之座標位置。

63
 圖 4.4 正逆向運動學關係示意圖

於正向運動學中為了求得在空間中任意兩物體之間的相對位置，可以使用

的 方 式 有 許 多 ， 例 如 ： Denavit-Hartenberg(D-H) Method[26] 、 S Model[27] 、

Zero-Reference Model[28]、HomogenousTransformation Matrix Method (HTM)和

Kinematics of Exponential[29]。上述幾種方式中，以齊次轉換矩陣(HTM)較常被

人所使用，因此我們同樣使用齊次轉換矩陣方法來求出座標系統轉換後的相對

各型機器的座標值。

在此假設可攜式手持三次元量測儀其本體的所有元件皆為剛體，於三度空

間座標系統中欲將原始座標系統轉換至參考座標系統時，可利用 HTM 法的一般

通式來解決此問題，其通式由(4.4)式所示，其中原始座標系統中座標值為

(𝑋𝑛 , 𝑌𝑛 , 𝑍𝑛 )經由齊次轉換矩陣後可得參考座標系統座標值為(𝑋𝑅 , 𝑌𝑅 , 𝑍𝑅 )，而齊

次轉換矩陣由(4.5)式所示。

𝑋𝑅 𝑋𝑛
𝑌 𝑌
[ 𝑅 ] = 𝑇𝑛𝑅 ∙ [ 𝑛 ] (4.4)
𝑍𝑅 𝑍𝑛
1 1

𝛾11 𝛾21 𝛾31 𝑃𝑥

𝛾12 𝛾22 𝛾32 𝑃𝑦
𝑇𝑛𝑅 =[ ] (4.5)
𝛾13 𝛾23 𝛾33 𝑃𝑧
0 0 0 𝑃𝑠
64
 矩陣中𝛾𝑖𝑗 向量代表原始座標系統轉換到參考座標系統後的三座標軸方向，

而𝑃𝑖 向量代表的是原始座標系統轉換到參考座標系統之位移，𝑃𝑠 則是一個放大

因子。當新座標系統建立時，若新座標系統未旋轉，僅將原始座標系統由 n

（0,0,0）平移到,R(X,Y,Z)時，如圖 4.5 所示，則可建立一齊次座標轉換矩陣來表

示新座標系統相對於舊座標系統的關係。

圖 4.5 座標系平移

對於新座標系統上的點(𝑋 ′ , 𝑌 ′ , 𝑍 ′ )與其在舊座標系統上對應的座標(X,Y,Z)之

間所存在的對應關係為：

𝑋′ 1 0 0 𝑋 𝑋
𝑌′ 0 1 0 𝑌 𝑌
[ ′] = [ ]∙[ ] (4.6)
𝑍 0 0 1 𝑍 𝑍
1 0 0 0 1 1

1 0 0 𝑋
0 1 0 0
Tx,,=[ ],(沿 x 軸方向平移 X,), ,,,(4.7)
0 0 1 0
0 0 0 1
65
 1 0 0 0
0 1 0 𝑌
Ty,,=[ ](沿 y 軸方向平移 Y,),,, ,,,,,,, ,,(4.8)
0 0 1 0
0 0 0 1

1 0 0 0
0 1 0 0
Tz,,=[ ](沿 z 軸方向平移 Z,),,, ,,(4.9)
0 0 1 𝑍
0 0 0 1

當新座標系統僅繞某一軸旋轉而未平移，如圖 4.6 所示，當座標軸繞 X 軸

旋轉時其旋轉角度假設為𝛼，繞 Y 軸旋轉時其旋轉角度假設為𝛽，繞 Z 軸旋轉時

其旋轉角度假設為𝛾，且軸向與旋轉方向需符合右手定則，如圖 4.7 所示，則可

建立系列 HTM 矩陣來表示新座標系統相對於舊座標系統的關係。

圖 4.6 座標系旋轉

圖 4.7 右手定則

66
 1 0 0 0
0 cos α − sin α 0
Rx=[ ](以 x 軸為中心，正方向轉 α 角，依右手定則),(4.10)
0 sin α cos α 0
0 0 0 1

cos β 0 sin β 0
0 1 0 0
Ry=[ ](以 y 軸為中心，正方向轉 β 角，依右手定則) (4.11)
− sin β 0 cos β 0
0 0 0 1

cos γ − sin γ 0 0
sin γ cos γ 0 0
Rz =[ ](以 z 軸為中心，正方向轉 γ 角，依右手定則) (4.12)
0 0 1 0
0 0 0 1

兩個不同座標間的關係，運用 HTM 法來作表示，一次以上的座標系統轉換，

僅需要將其相對應的轉換矩陣做累乘﹔即座標系統經由 n 次座標軸系統轉換後

可由下式來表示：

𝛾3×3 𝑃3×1
𝑇𝑛0 = 𝑇10 𝑇21 𝑇32 𝑇43 ⋯ 𝑇𝑛𝑛−1 = [ ] (4.13)
0 1

將本研究之三次元量測儀中運動機構的參數，如表 4.1 所示，並代入 4 式至

8 式中，即可得量測儀之齊次轉換矩陣(4.15)式，其中 R=𝛾0 + 𝛾，其中𝛾0的是線

性運動軸延伸長度前的原始長度，設計原始長度為 523.4mm；γ為運動軸延伸

之長度，設計最大伸長量為 313mm；N 為探針前端點至𝜃2 軸旋轉運動機構軸心

之距離。

表 4.1,各運動機構運行範圍限制與參數對照表
𝜑1 軸旋轉 𝜃1 軸旋轉 𝛾軸線性運 𝜑2 軸旋轉 𝜃2 軸旋轉
運動機構
運動機構 運動機構 動機構 運動機構 運動機構
參數 𝜑1 𝜃1 R 𝜑2 𝜃2
位移(轉動) 523.4~836.4
360ﾟ ±90 ﾟ 360ﾟ ±135 ﾟ
範圍限制 mm

67
 cos 𝜑1 − sin 𝜑1 0 0 cos 𝜑2 0 sin 𝜑2 0
sin 𝜑1 cos 𝜑1 0 0 0 1 0 0
𝑇10 =[ ] 𝑇43 =[ ]
0 0 1 0 − sin 𝜑2 0 cos 𝜑2 0
0 0 0 1 0 0 0 1

1 0 0 0 1 0 0 0
0 cos 𝜃1 − sin 𝜃1 0 0 cos 𝜃2 − sin 𝜃2 0
𝑇21 =[ ] 𝑇54 =[ ] (4.14)
0 sin 𝜃1 cos 𝜃1 0 0 sin 𝜃2 cos 𝜃2 0
0 0 0 1 0 0 0 1

1 0 0 0 1 0 0 0
0 1 0 R 0 1 0 N
𝑇32 =[ ] 𝑇65 =[ ]
0 0 1 0 0 0 1 0
0 0 0 1 0 0 0 1

𝛾11 𝛾21 𝛾31 𝑃𝑥

𝛾 𝛾22 𝛾32 𝑃𝑦
𝑇60 =[ 12 ]
𝛾13 𝛾23 𝛾33 𝑃𝑧
0 0 0 1

𝑃𝑥 = N{sin𝜃2 (cosφ1 sinφ2 + cosφ2 sinφ1 sin𝜃1 ) − cos𝜃1 cos𝜃2 sinφ1 }

− Rcos𝜃1 sinφ1

𝑃𝑦 = N{sin𝜃2 (sinφ1 sinφ2 − cosφ1 cosφ2 sin𝜃1 ) + cos𝜑1 cos𝜃1 cosθ2 }

+ Rcos𝜑1 cosθ1

𝑃𝑧 = Rsin𝜃1 + N(cos𝜃2 sin𝜃1 + cos𝜃1 cos𝜑2 sin𝜃2 ) (4.15)

68
4.2.2 量測儀姿態模擬與運動學驗證

本章節以 Matlab 軟體以及 Soliwork 軟體驗證上述齊次轉換矩陣是否正確，

並選擇三個不同的三次元量測儀之姿態進行驗證。,

首先決定個旋轉軸及線性軸的參數如表 4.2 所示，使用 Matlab 軟體建立方

程式 4.15 並將參數帶入，計算出三次元量測儀端點位置的齊次轉換矩陣。

表 4.2,各運動機構預設參數
運動機構 𝜑1 𝜃1 γ 𝜑2 𝜃2
45 ﾟ 30 ﾟ 0,mm 45 ﾟ 30 ﾟ
參數設置 90 ﾟ 60 ﾟ 50,mm 90 ﾟ 60 ﾟ
45 ﾟ 90 ﾟ 100,mm -45 ﾟ 90 ﾟ

接著將上述三組姿態使用 Soliwork 軟體進行 3D 圖形的建構，標示出量測儀

的原點位置，並以此推算量測儀末端位置，如圖 4.8 所示，與齊次轉換矩陣結果

對比以驗證其正確性，如表 4.3 所示。

圖 4.8 第 1 組 3D 圖形姿態與位置

69
 表 4.3,各運動機構預設參數
末端位置 X Y Z
第 1 組計算姿態 -337.7574 393.2574 343.7511
第 1 組 3D 圖形 -337.76 393.26 343.75
第 2 組計算姿態 -314.45 96.1288 544.6434
第 2 組 3D 圖形 -314.45 96.13 544.64
第 3 組計算姿態 0 -111 623.4
第 3 組 3D 圖形 0 -111 623.4

4.3 量測範圍

本研究之可攜式手持三次元量測儀採用球座標系統為基礎，因此量測儀的

量測範圍將為一球型空間，由於線性運動機構具有原始長度，導致球型量測空

間中有一無法量測的球形範圍，將表 4.1 的參數加入本研究之量測儀模型中，,

將持三次元量測表示為一最大量測半徑𝜙941~523mm 的半球型空間，如圖 4.9 所

示。

圖 4.9 可攜式手持三次元量測儀之量測範圍示意圖

70
 第五章 系統架構設計

三次元量測儀機電系統的整合，是三次元量測儀的重要基礎技術，本研究

之三次元量測儀的機電系統包含各軸量測系統以及探頭量測系統。兩系統彼此

之間並非完全獨立，各軸量測系統將編碼器讀值傳輸至電腦程式，而三次元量

測儀在執行量測工件時，需藉由探頭量測系統的觸發信號來控制程式立刻擷取

各軸量測讀值，因此三次元量測儀的各項機電裝置並非各自獨立，在整合三次

元量測儀機電系統時，除了個別系統運行之外，尚需一主程式整合各項系統的

功能，並規劃整體系統的控制邏輯。

在量測軟體設計上，採用 Microsoft,Visual, Studio, C#[30]撰寫程式，撰寫出

一適用於三維量測功能之可攜式手持三次元量測儀系統架構。

5.1 機台系統架構

由於本研究之機台系統架構採用 PC-Based 開放式系統，在分析國內外目前

市售資料擷取卡(Data,Acquisition，DAQ)，並衡量本系統之使用需求與開發成本

之前提下，本系統採用 Galil, DMC-B140-M 運動控制卡與美商慧基(National,

Instrument)所開發之 DAQ-6009，分別作為本系統編碼器與探頭之資料擷取卡，

並搭配本研究所開發之高精度可攜式手持三次元量測儀，其實體圖如圖 5.1 所示，

而整體機台系統架構，如圖 5.2 所示，以下將針對各部份進行細部述明。

71
 圖 5.1 可攜式手持三次元量測儀實體圖

圖 5.2 三次元量測儀整體架構圖

5.1.1 DMC-B140-M

本研究所使用的運動控制卡(Motion,Control,Card)為 Galil,DMC-B140-M,[31]，

如圖 5.3 所示，其功能為擷取編碼器訊號，藉由系統處理器可將訊號解碼，並將

解碼後的脈波訊號轉換成數值，最終電腦只須接收數值不必再另外解碼；此控

72
制卡採用 10/100,base-T,Ethernet 介面與 RS232 介面通訊速率 19.2/115kb，具有可

控制四軸的能力，由於本研究需同時監控五個編碼器，因此使用兩個運動控制

卡；另外此控制卡使用 RJ45 資訊接口，不需與工業電腦或是桌上型電腦作搭配，

可直接與筆記型電腦作連接使用。

圖 5.3 Galil DMC-B140-M 運動控制卡

5.1.2 DAQ-6009

此 資 料 擷 取 卡(Data, Acquisition，DAQ)為 美 商 慧 基(National,

Instrument)DAQ-6009[32]，如圖 5.4 所示，此卡採用 USB2.0 介面通訊，提供 8

個 ADC 通道以及 2 個 DAC 通道，可分別輸入+10V 至-10V 與輸出+5V 至-5V 之

間的電壓訊號，本研究主要使用類比輸入(Analog, Input，AI)功能，以達到即時

接收 PSD 輸入之電壓( VP )。

73
 圖 5.4 DAQ-6009 資料擷取卡

5.2 系統軟體架構

5.2.1 三次元量測軟體的要求與特點

在撰寫三次元量測軟體之前，應先了解一套面向使用者的三次元量測軟體

所需具備的特點，從使用者的方面來看，其所重視的有二點：

1.,功能完整且正確

2.,簡便明瞭的使用介面,

一套成功的軟體是可隨著使用者的需要，不斷改善其功能與介面，因此程

式的分區及模組化設計可以使程式撰寫時，介面的編排更加人性化，功能的擴

充更加簡便，因此就需要考慮程式中模組的規劃及管理，完善且分明的程式架

構不但方便於程式除錯，更使日後程式的擴充與維護更加簡便。

74
5.2.2 程式的架構與規劃

本 研 究 之 人 機 介 面 採 用 Microsoft, Visual, Studio, C#[30]設 計 ，C#可 以 在

LINUX 與 Mac, OS, X, 上開發，這類 Visual 相關產品都與圖形化的集成開發環境

融合在一起，並且支持基於 Windows 的應用程式的快速開發。

於量測軟體開發部分，先針對各硬體的通訊建立其函式庫，單獨測試確認

各項使用功能無誤後，再透過主程式來連接各個硬體的函式加以使用，有效隔

離各項硬體有關的指令，使程式達到模組化的程式架構設計之目標，程式流程，

如圖 5.5 所示。

圖 5.5 程式流程圖

75
 根據上述，當監測到量測探頭的觸發訊號時，立即擷取當下量測儀中各編

碼器的讀值計算後將其記錄在量測座標資料中，如圖 5.6 所示，在量測功能上使

用在量測座標資料中數據，進行量測兩點間距離、真直度、真平度、真圓度等

功能。

圖 5.6 量測介面

76
 第六章 實驗架設與量測結果

6.1 光學量測探頭之實驗架設與測試結果

6.1.1 量測範圍測試

由前述探頭機構以有限元素軟體 ANSYS 的分析驗證，表示此機構具有良好

且穩定的變形量，為驗證探頭之性能與特性，確認彈片的變形量與感測裝置輸

出是否符合前述之分析，本研究以線性馬達當作驅動軸推動探針前端，同時使

用都普勒雷射干涉儀量測線性馬達與雷射干涉儀之間的距離，並將感測器訊號

利用放大器與訊號處理電路加以處理，最後以 DAQ-6009 資料擷取卡進行 A/D

轉換，再以電腦讀值加以記錄，其實驗架設如圖 6.1 所示。整體實驗以電腦為中

心，先將線性馬達的平台移至適當位置，而後往前 1000µm，同時擷取雷射干涉

儀所量測到的步進馬達位移值與探頭中感測器的輸出訊號，並分別針對探頭的

三軸向做測試，所測出的結果如圖 6.2、圖 6.3 與圖 6.4 所示，重複上述之實驗

過程。由圖可知探頭具有良好的線性度，這表示當擷取到量測時感測裝置的輸

出訊號，可由訊號變化量之間的關係，求得探針前端之位移量、作用力大小、

移動方向與結構變形量。由前述的實驗數據可知，本研究所研發之光學量測探

頭具有±1mm,×,±1mm,×,1mm 的 X/Y/Z 軸量測範圍。

77
 圖 6.1 接觸式量測探頭之實驗架設示意圖

1200

1000
Displacement (μm)

800

600
X
400 Y
200 Z

-200
1 101 201 301 401 501 601 701 801 901
Stage travel in X direction (μm)

圖 6.2 探針前端往 X 軸向移動，感測裝置的輸出訊號

78
 1200

1000

Displacement (μm) 800

600
X
400 Y
200 Z

-200
1 101 201 301 401 501 601 701 801 901
Stage travel in Y direction (μm)

圖 6.3 探針前端往 Y 軸向移動，感測裝置的輸出訊號

1200

1000

800
Displacement (μm)

600
X
400 Y

200
Z

-200
1 101 201 301 401 501 601 701 801 901
Stage travel in Z direction (μm)

圖 6.4 探針前端往 Z 軸向移動，感測裝置的輸出訊號

79
6.1.2 單方向重複性

光學量測探頭的精準度測試上首重於重複性實驗，此實驗所測得知數據為

不確定度，其數值越低表示此探頭的量測精準度越高，其誤差的因素包含彈片

的彈性變形，量測時馬達的移動速度，環境溫度與振動的影響等。實驗架設示

意圖如圖 6.1 所示，使用線性馬達當作驅動軸水平推動探針前端，,並且使用都

普勒雷射干涉儀（型號 MCV-500）量測此精密步進馬達與干涉儀之間的距離，

其干涉儀的解析度可達 0.1nm，且具有壓力與溫度補償裝置，可以精準的測量

定位，減低量測上的誤差。將電壓訊號利用放大器與訊號處理電路加以處理，,

最後以 National,Instruments 公司的 DAQ-6009 資料擷取介面卡進行 A/D 轉換，

再以電腦讀值加以紀錄。首先將線性馬達的平台移至適當位置，而後往前移動

10μm，同時觀察探頭 X 軸、Y 軸與 Z 軸的輸出訊號，, 當平台到達定位時觸發

A/D，擷取定位平台各軸向位移量的依據，並且重複此一測試過程，綜合多次

紀錄的觸發位移量，整理如表 6.1 所示，由表 6.1 可知此量測探頭的單方向重

複性測試數據，經計算後其 X 軸、Y 軸與 Z 軸的標準差 σ 分別為 0.158 𝜇𝑚、

0.17 𝜇𝑚與 0.152 𝜇𝑚：在常態分布中 95％的觀測值、落在距平均數兩個標準差

的範圍內，此範圍即為量測探頭的不確定度，因此，本研究所完成之光學量測

探頭在 10μm 的距離下其不確定度為 0.34𝜇𝑚,(±2σ,Confidence,Level,95％)。

80
 表 6.1 單方向重複性

X-axis Y-axis Z-axis

Number
Pretravel(μm) Pretravel(μm) Pretravel(μm)
1 10.1 9.9 9.8
2 9.8 9.7 10
3 10.1 10.2 9.7
4 10.2 10.1 9.8
5 9.7 9.9 10.1
6 9.9 10.1 10.1
7 10 9.7 9.9
8 9.9 10 10
9 10.2 9.8 10.2
Average 9.988 9.933 9.955
Standard,deviation,σ 0.158 0.17 0.152

6.1.3 接觸作用力

由前文可知，光學量測探頭於量測過程中，由探針前端與待測物表面之間

的作用力使量測機構變形，隨著機構變形增大接觸立也會隨之增加。針對探頭

在量測時所受的作用力進行接觸力實驗，由微力檢測器測試得知，其實驗架設

如圖 5.5 所示，於線性馬達上方放置一微力檢測器，當探針前端受到微力檢測

器中懸臂量末端的推動使圓球位移達到 1mm 時，抓取感測器的位移輸出訊號

與微力檢測器的輸出訊號，三軸接觸力整理如下圖 6.6、圖 6.7 與圖 6.8 所示。

81
 圖 6.5 接觸作用力的實驗架設示意圖

X軸向接觸力
0.4

0.35
Contact force (N)

0.3

0.25

0.2

0.15

0.1

0.05

0
0 200 400 600 800 1000
Displacement (μm)

圖 6.6 X 軸向接觸力

82
 Y軸向接觸力
0.4
0.35
Contact force (N)

0.3

0.25
0.2

0.15
0.1

0.05
0
0 200 400 600 800 1000
Displacement (μm)

圖 6.7 Y 軸向接觸力

Z軸向接觸力
0.4

0.35

0.3
Contact force (N)

0.25

0.2

0.15

0.1

0.05

0
0 200 400 600 800 1000
Displacement (μm)

圖 6.8 Z 軸向接觸力

83
 6.2 三次元量測儀實驗架設與測試結果

本研究之可攜式手持三次元量測儀的精度測試將採用 ISO,10360-12[33]標準

設計實驗流程，利用 Newport, SA2 光學版、標準鉻鋼球與螺絲組成球板，如圖

6.9 所示，設計由 8 個球桿排列成 8 個不同距離的球板，如圖 6.10 所示，並放置

於五個不同的方位進行量測，如圖 6.11 所示，取得 40 個距離量測數值，量測數

據將可同時表示 XYZ 三軸向量測精度。球板經 MITUTOYO,BRIGHT,A707 量測

儀較驗，其量測精度為 3 𝜇𝑚，以確保可攜式手持三次元量測儀實驗的準確性，

球板經校正後的實際值如表 6.2 所示。

圖 6.9,球板實體圖

84
 圖 6.10,球板 8 點間距示意圖

表 6.2,球板 8 點間距實際量測值

1 2 3 4 5 6 7 8
起
訖 1-2 2-3 3-4 4-5 5-6 6-7 7-2 2-8
點
代
A B C D E F G H
號
實
際
50.2924 75.016 99.8499 124.8621 150.0004 70.7572 106.2044 212.1720
距
離
單位：mm

85
 圖 6.11 實驗測試球板擺放方位示意圖

由實驗的量測結果，如圖 6.12 所示，在未經過任何軟體的補償前提下，經

計算後其標準差σ為 8.98μm：在常態分布中 95％的觀測值、落在距平均數兩

個標準差的範圍內，此範圍即為量測儀的不確定度，因此，本研究所完成之可

攜式手持三次元量測儀其不確定度為 17.96μm,(±2σ,Confidence,Level,95％)。

誤差區間圖
30

20
誤差值 (μm )

10

-10

-20

-30
A B C D E F G H
球板8點間距代號
NO.1 NO.2 NO.3 NO.4 NO.5

圖 6.12 可攜式手持三次元量測儀之定位精度
86
 第七章 結論與未來展望

7.1 結論

本研究開發一可攜式手持三次元量測儀，整體系統除採用市售的編碼器與

控制器外，其餘各系統皆自行研發，確實掌握了從設計、製造到測試等各階段

的關鍵技術。且為了提升整體的精度，本文提出了一些創新的設計概念，主要

特點如下：

1. 採用球座標系統作為基礎設計，加入新的旋轉軸提升量測功能，並在
此基礎上加入 Abbe 原理進行改良，保持各個運動機構的軸心線相交，以利
量測精度的提升，量測儀採用模組化設計於使攜帶功能更加便利。

2. 在旋轉運動機構部分加入三組軸承固定、盤行彈簧預壓、軸承固定結
構等創新設計，致力於旋轉運動機構的小型化，並保持機構運行時的穩定性
與偏轉性，解決各個軸承的特性問題，搭配開放式編碼器直接讀取旋轉主軸
的角度變化量，相較於市售 AACMM 的旋轉機構，動態誤差大幅的減少。

3. 在線性運動機構部分以 Abbe 原理作為主要設計概念，使本研究之量

測儀相較於市售 AACMM 有較低的結構誤差，並使用輕量化的固定結構，使
其在 313mm 的伸縮行程下其重量僅 823g，模組化設計在後期可依據需求修
改線性運動機構的行程。

4. 本研究所研發之接觸式探頭採用光感測之位置感測器，研製出一高精
度光學量測探頭，探頭整體結構設計以 Z 軸系統與 XY 軸系統結合而成，其
特色在於將結構之自由度限制為三個，經由實驗驗證具有±1mm, ×, ±1mm, ×,

1mm 之的量測範圍，不確定度為0.34 μm，且 XY 軸之接觸力均為 0.28,N/mm，

87
 Z 軸之接觸力則為 0.39,N/mm。

5. 可攜式手持三次元量測儀之整體機台尺寸約為 560mm, × 120mm, ×

160mm，其量測範圍為𝜙,941~523mm 的半球型空間，不確定度為17.96 μm，

完成之低成本高精度之可攜式手持三次元量測儀。

6. 軟體設計方面，本研究使用 Microsoft,Visual, Studio, C#建立一個量測軟

體，其中包括量測座標資料庫、系統參數設定和功能選用等，模組化系統提
供後續發展基礎，並且在 C#軟體下提供一個較為容易操作和人性化的軟體介
面。

7.2 未來展望

本研究所開發一可攜式手持三次元量測儀已具備三圍量測之功能，且國內

製造業所使用之工具機與機械手臂的精度也需提高，因此未來將對「空間軌跡

誤差」之量測功能，在現有三次元量測儀基礎上進行研製，以下幾點未來將可

繼續進行研發之工作。

1. 工具機與機械手臂空間誤差檢測

本研究之可攜式手持三次元量測儀具有五自由度量測功能，已滿足工具

機與部分機械手臂在校正時所需的量測要求，未來將使用現已完成之三次元

量測儀進行改良，可將光學量測探頭調整為可拆卸之旋轉量測設備，以便整

合現有的「三次元量測儀器」與未來之「工具機與機械手臂空間誤差檢測儀

器」之功能，成為一部『一機多用』的量測儀器。

88
 2. 軟體設計

因本研究所量測之工件並未很複雜，如在未來能於軟體方面加強，達到

可量測更複雜的曲面與快速量測之功能，並開發上述工具機與機械手臂空間

誤差檢測之函式庫，加入現有的量測軟體中，程式模組化架構可為未來需求

提供一人性化的開發流程。

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