濺鍍金屬玻璃薄膜於軟性電路板以製作應變感測器

並整合於微型氣動手指

莊亦鈞、鄭敦議、蔡燿全
國立中興大學 生物產業機電工程學系

摘要

軟性機器人的發展已獲得許多研究團隊的關注，因其不僅可抓取不定型之物
件，亦具有製造成本較低的優勢，對於軟性機器人而言，若具備回饋感測機制則
可達到更準確的控制。因此本研究提出濺鍍金屬玻璃薄膜於軟性電路板以製作應
變感測器並整合於微型氣動手指，應變感測器主要由軟性電路板製成，並使用鋯
基金屬玻璃為感測材料，濺鍍於軟性電路板的目標區域做為彎曲應變感測使用。
由於微型氣動手指與應變感測器的交界面為異質材料，往往在致動的過程中容易
剝離，故此研究中透過矽烷化將黏著界面改質，化學鍵結的方式以增強黏著強度。
在微型氣動手指主體部分，由超彈性高分子組成，並含有三個氣室及一個連通的
氣道，當施加氣體壓力於通道中會造成氣室的膨脹以達到手指彎曲變形的目的。
本研究成功的整合軟性電路板應變感測器於微型氣動手指內，且在輸入不同壓力
下可分辨微型氣動手指不同的彎曲程度。在最高輸入 17 kPa 的壓力下，微型氣
動手指可從水平的狀態彎曲至曲率半徑 2.5 公分。

關鍵詞：金屬玻璃薄膜、軟性電路板、應變感測器、微型氣動手指、表面改質