现代传感器及其应用

主讲：殷俊
MEMS和微系统介绍
 目录

一．MEMS的定义及组成

二．MEMS的发展史

三．MEMS的特点

四．典型MEMS器件及应用
 多年的期盼
一尺之锤，日取其半，万事不绝。
——庄子：天下篇
（公元前571年至公元前471年之间）

《西游记》中孙悟空变成小虫 美国科幻电影《惊异大奇航》中
钻进铁扇公主的肚子里 在人血管中前进的微型舰艇
 发生在20世纪90年代的故事
1.微创手术
如胆结石手术、心脏搭桥手术、肿瘤切除手术等。
能够减轻病人的痛苦。

监视器

遥控操作
腹腔插入腹腔镜、手术工具、摄像头等
发生在20世纪90年代的故事
发生在20世纪90年代的故事

2.汽车中气囊
气囊加速度传感器：感受振动信号，避免强烈冲击
对驾驶员造成伤害。
发生在20世纪90年代的故事
发生在20世纪90年代的故事
3.微型摄像系统

背着微型摄像系统的蟑螂 微型摄像机在地震废墟中
传回图形信号
 一、MEMS的定义及组成
1.MEMS的定义
MEMS（Micro Electro-Machanical System,微机电系统)
是20世纪末发展起来的一门新兴的前沿学科，它是在微电子
二维表面加工技术的基础上发展起来的，以硅、玻璃、有机
材料以及金属材料的三维加工技术为基础，结合功能材料及
薄膜化制备工艺，把微型传感单元、执行单元、微能源以及
微电子电路集成在一个芯片上的具有传感、执行和数据处理
功能的微型系统。
 一、MEMS的定义及组成
2.MEMS的三大流派

◼ 美国：微型机电系统(Microelectro-mechanical System, MEMS)

◼ 日本：微机械(Micro-machine)
◼ 欧洲：微系统(Micro-system)

我们把这些通称为微机电系统(MEMS)
 一、MEMS的定义及组成
3.微型机械尺寸范围 （按特征尺寸）

小型(mini-) 机械(1mm~10mm)
微型机械 微型(micro-)机械(1μm~1mm)
纳米(nano-) 机械(1nm~1μm)

1μm=10-6m（微米）、1nm=10-9m（纳米）
1um~100μm为微米尺度
100nm~1μm为亚微米尺度
1nm~100nm为纳米尺度
小于1nm为原子团簇
 三、MEMS 组成
一、MEMS的定义及组成
4.MEMS的组成
MEMS是微电子同微机械的结合，如果把微电子电路比作人的大脑，微机
械比作人的五官（传感器）和手脚（执行器），两者的紧密结合，就是一个功
能齐全而强大的微系统。

控制部分 控制部分
电子学 微电子学

机械
部分

传感
执行
MEMS
传统的机械 IC工艺发展后
的机械电子系 机械系统和传感系统缩
电子系统
统 小后与控制系统平衡的
MEMS
 一、MEMS的定义及组成
4.MEMS的组成
 二、微机电发展史
1.追溯
“如果有一天可以按照
人们的意志安排一个个
原子，那将会产生什么
样的奇迹呢？”

1959年量子物理学家理查德·费曼
在加州理工学院演讲

推荐书：

《别逗了，费曼先生：怪才历险记 》
 二、微机电发展史
2.三十年的积累 （20世纪50年代末到20世纪80年代末）

（1）起始点（ 20世纪50年代末、60年代初）
集成电路（IC）技术出现，实现在微米尺度上规模制作
电子元器件和电路。
重要研究成果：
1954年：史密斯发现了压阻效应。
1958年：人们用单晶硅制作了半导体应变片，其灵敏度
是金属应变片的数十倍。
1962年：第一个硅压力传感器问世。
 二、微机电发展史
2.三十年的积累

（2）萌芽阶段（20世纪60年代中期到20世纪80年代）
开展了一些有关MEMS的零散研究：
① 硅各向异性腐蚀技术用于在平面硅衬底上加工三维结构。
② 利用集成电路的加工技术制造MEMS器件，如悬臂梁、薄膜
和喷嘴等。
③ 20世纪70年代，IBM实验室研发了薄膜型硅微压力传感器。
这种传感器比传统薄膜传感器有更高灵敏度，并可批量化生
产。
 第一个丰收的季节
二、微机电发展史

3.丰收的季节 （20世纪80年代末，90年代初）

1987年，微机电研究真正兴起

标志：加州大学伯克利分校研制成功
了直径为10μm的硅微马达。
第一台静电微马达

1988年，伯克利分校科研人员为
直径约120μm的静电马达通电并
成功使其运转。
世界上第一个微电机（1988）
12个固定电极、8个转子电极
 二、微机电发展史
3.丰收的季节

90年代初，ADI的气囊 90年代末，Sandia实验室
加速度计实现产业化。 5层多晶硅技术代表最高水平。
 三、MEMS的特点
1.微型化

MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率
高、响应时间短 。

➢ 因为惯性质量小，小的系统比大的系统移动更迅速
➢ 小器件的小尺寸所面临的热变形和振动问题会更小
➢ 小系统除了具有更精确的性能外，它们的小尺寸也使得它们
更适合应用在药品和手术中
 三、MEMS的特点
2.制造材料性能稳定

主要材料：硅
优 点：强度、硬度、杨氏模量：与铁相当
密度：近似铝
热传导率：接近钼和钨

硅片
其他材料：石英，砷化镓——基底材料
玻璃、塑料和金属——封装材料
聚合物、金属材料——微系统制作
 三、MEMS的特点
3.批量化生产

用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型
机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。

在硅晶圆片上制作数百个压力传感元件
 三、MEMS的特点
4.集成化程度高

不同功能、敏感方向、致动方向的多个传感器或执行
器集成于一体，形成复杂的微系统。

集成了传感器、缓冲器、振
荡器、解调器、信号发生器、载
波电容器等。
 三、MEMS的特点
5.多学科交叉
MEMS涉及电子、机械、材料、制造、通讯和自动控制、
物理、化学 和生物等多种学科。
 四、典型MEMS器件及应用
1.MEMS器件

微齿轮

双层微齿轮
一个比蚂蚁头的尺寸还要小得多的齿轮
 四、典型MEMS器件及应用
微齿轮
 微机械部件
四、典型MEMS器件及应用
微机械部件 微泵

图正前方毛毛嘈嘈的东西是一粒灰尘，其后方是一个微机
械部件，只有几个微米！
 微传动机构
四、典型MEMS器件及应用

微驱动系统 微齿轮传动机构

美国Sandia实验室制作的微驱动系统 新加坡南洋理工大学齿轮传动机构
与一只昆虫触须的对比图
 四、典型MEMS器件及应用
微马达

在光纤多路开关中使
用的静电旋转微马达

超声微马达 静电微马达 电磁型微马达与芝麻

 四、典型MEMS器件及应用

微涡轮

微型涡轮叶片 远比蚂蚁还小的微涡轮
微型光开关
四、典型MEMS器件及应用
微镜

用于控制来自光纤的
入射光转到相应的接收光
纤中。
 四、典型MEMS器件及应用
微镜
Support
Structure
Torsion
Hinges Substrate
Hinges
Mirror

2nd DOF
1st DOF
Force-redirecting Linkage
 四、典型MEMS器件及应用
七、MEMS的应用

2.MEMS的应用
MEMS应用领域涉及计算机、汽车、通讯、医药、军事等
 四、典型MEMS器件及应用
应用之一：计算机方面应用

世界上第一台通用计算机于1946年在美国宾夕法尼亚
大学诞生。它是一个庞然大物，用了18000只电子管、30
吨、150平方米、25千瓦。
 集成电路, 笔记本电脑，互联网
四、典型MEMS器件及应用
1958年9月12日: INTEL公司研发了集成电路（IC）。
1958
1971年11月15日: Marcian E. Hoff在INTEL公司开发成
功第一块微处理器4004，含2300个晶体管。

1975年,ATARI--8800微电脑问世。
1971
1981年8月12日: IBM发布其个人计算机，
有64K内存、单色显示器 。
1982年问世的Intel286集成了120000个
1982
晶体管
1994年 互联网商业化运作正式开始
1999年推出的Pentium Ⅲ处理器集成的
晶体管数目达24000000个。
1994
1975
 CMOS片上麦克风
四、典型MEMS器件及应用

MEMS技术的里程碑――CMOS片上麦克风这一CMOS器件在体积、成本和性能
参数上都有改进，这种表面装配插件的尺寸是4*4*1.8毫米。
 四、典型MEMS器件及应用
喷墨打印机
惠普公司在1978年首先发明了基于硅微机械加工技术的喷
墨打印机喷嘴。
 四、典型MEMS器件及应用
应用之二：汽车上的应用
 四、典型MEMS器件及应用
汽车未来的发展方向是智能汽车

美国桑迪亚国家实验室研制的小型自 日本一家公司利用MEMS技
动机器人汽车，体积为1立方英寸 术制作的小型化汽车
 四、典型MEMS器件及应用
应用之三：通讯行业应用（手机）

飞思卡尔电容式触摸传感器 ST三轴线性MEMS加速计
为便携式应用带来智能控制 提高超薄设计的产品性能

微机电系统（MEMS）为iPhone提供了很大帮助，因为没
有MEMS，苹果的iPhone就无法触屏，也无法根据用户手持手
机的方向将网页从竖屏旋转成横屏显示。
 四、典型MEMS器件及应用
应用之四：医学领域应用
MEMS在医学领域中的应用主要集中以下几个方面：
◼ 微创外科手术：可以减轻病人痛苦。
◼ 药物定点输送：直接将药物输送到病变位置，同时可
检测病变处血液样品参数，定时遥控释放药物，提高
疗效。
◼ 人造器官：包括人造心脏、肾脏、心肺、电动假肢以
及人造血管、器官、关节等。
 四、典型MEMS器件及应用
为什么扎针时感觉疼痛，被蚊子叮咬时不会感觉疼痛？

药物注射微针头阵列

传统药物注射针尖部分已经刺入到神经末梢的皮肤
组织层，该皮肤组织层处于皮肤表面大约50~70μm。
 四、典型MEMS器件及应用
应用之五：军事上的应用
未来的战争是电子信息战，其重要特征之一就是窃取和
反窃取情报。坦克、大炮等有可能退出历史舞台。微纳米传
感器也可打扮成树叶、草杆、蚂蚁、苍蝇等，用空投等方法
将其投入到所需预定地方，构成一个分布式传感器网络，用
以收集情报。

手指肚大小的微飞行器
 四、典型MEMS器件及应用
微飞行器

拍撲式微飞行器，最长
制空时间达6分钟，总重量不
到20克，应用于军事、航空、
情报、娱乐等领域。

双桨直升机与花生比较
微型机器人
四、典型MEMS器件及应用
欧洲研制微型机器人试图控制敌方雷达

金龟虫机器人 可立于指甲盖上的微型机器人
未来的“跳蚤”大军
四、典型MEMS器件及应用
MEMS技术生产出来的机器人非常精小，其长度，宽度
和高度都小于4毫米。该机器人采用太阳能电池的顶部，并拥
有三个机械触手，以及一个触摸传感器触手。研究人员解释说，
一个单一的微型机器人本身是一个简单的个体，但是相互之间
能够利用红外线传感器与环境互动，形成群体，清理污染物或
修复机器内部故障时非常有效。
结束