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压电 MEMS 器件设计与仿真
Part I
钟振红
应用工程师
COMSOL 中国
日程安排

▪ 第一天 ▪ 第三天
压电材料和本构模型 压电微镜
极化方向、材料切型和欧拉角 薄结构简化技巧
常用边界条件 压电流体阀
压电器件和电路的耦合 压电泵
压电谐振器和能量收集器 MEMS结构的压膜阻尼

▪ 第二天 ▪ 第四天
压电超声换能器 压电陀螺仪
压电换能器与声场的耦合 压电马达
PMUT的频域和瞬态分析 压电器件的发热损耗
声学有限元和边界元应用 电致伸缩和铁电效应
压电扬声器和麦克风 热释电和其它压电相关效应
COMSOL 公司简介

▪ 总部位于瑞典斯德哥尔摩，全球有 19 个
分支机构
▪ 1998 年发布 COMSOL Multiphysics® 的
首个版本
▪ 专注于多物理场仿真分析工具的开发
COMSOL Multiphysics® 多物理场仿真平台
压电效应

▪ Piezo (希腊文) = 压力
+ + -
▪ 正压电效应：应力导致电极化 + -
-
-
▪ 反压电效应：电场导致应变 - 电中性 + - - +
+ + -
+
▪ 压电效应是一种线性响应 + - +
+ -
-
不受力 拉应力 压应力

正效应 反效应
电压

位移
力
电压
压电本构方程

▪ 压电效应反映了压电晶体的机械效应和电效应之间的耦合
弹性本构方程中要增加电学量对于力学的贡献
电学本构中要增加力学量对电学的贡献

▪ 根据测试的条件不同，有四种压电方程
电学上有短路（电场为 0）或开路，力学上有夹持（应变为 0）和自由（应力为 0）
四类压电方程可以互相转化，只影响材料属性输入，不影响材料性质
COMSOL 中提供第一类和第二类的选择，即应变-电荷型和应力-电荷性

第一类（d 型） 第二类（e 型） 第三类（g 型） 第四类（h 型）

线弹性材料 短路，电场为 0 短路，电场为 0 开路，恒定电位移 开路，恒定电位移

𝑇 = 𝑐𝑆 𝑆 = 𝑠𝐸 𝑇 + 𝑑 𝑇 𝐸 𝑇 = 𝑐𝐸 𝑆 − 𝑒 𝑇 𝐸 𝑆 = 𝑠𝐷 𝑇 − 𝑔𝑇 𝐷 𝑇 = 𝑐𝐷 𝑆 − ℎ𝑇 𝐷
𝐷 = 𝜀𝐸 𝐷 = 𝑑𝑇 + 𝜀𝑇 𝐸 𝐷 = 𝑒𝑆 + 𝜀𝑆 𝐸 𝐸 = −𝑔𝑇 + 𝛽𝑇 𝐷 𝐸 = −ℎ𝑆 + 𝛽𝑠 𝐷

电介质 自由，无应力 夹持，无应变 自由，无应力 夹持，无应变

压电材料属性参数
对应的应变张量 S
▪ 压电材料属性 ▪ 弹性矩阵 𝑑11 𝑑12 𝑑13 𝑑14 𝑑15 𝑑16 𝒔𝒙
𝑑21 𝑑22 𝑑23 𝑑24 𝑑25 𝑑26 𝒔𝒚
各向异性 为对称阵 𝑑31 𝑑32 𝑑33 𝑑34 𝑑35 𝑑36 𝒔𝒛
𝑐𝐸 = 𝒔𝒚𝒛
结构、电和耦合属性 𝑑11 𝑑12 𝑑13 𝑑14 𝑑15 𝑑16
𝑑21 𝑑对称
22 𝑑23 𝑑24 𝑑25 𝑑26 𝒔𝒙𝒛
𝒔𝒙𝒚
▪ 耦合矩阵 𝑑31 𝑑32 𝑑33 𝑑34 𝑑35 𝑑36
应力-电荷形式 应变-电荷形式
反映力学量与电学量间相互耦合的系数
𝑇 = 𝑐𝐸 𝑆 − 𝑒 𝑇 𝐸 𝑆 = 𝑠𝐸 𝑇 + 𝑑 𝑇 𝐸 如 𝑑𝑖𝑗 ， 𝑖 指电场方向， 𝑗 指应力或应变方
𝐷 = 𝑒𝑆 + 𝜀𝑆 𝐸 𝐷 = 𝑑𝑇 + 𝜀𝑇 𝐸 向 𝑻𝒙
𝑑11 𝑑12 𝑑13 𝑑14 𝑑15 𝑑16 𝑻𝒚
T = 应力 𝑐𝐸 = 𝑠𝐸−1 𝑑 = 𝑑21 𝑑22 𝑑23 𝑑24 𝑑25 𝑑26 𝑻𝒛
S = 应变 𝑒 = 𝑑𝑠𝐸−1 𝑑31 𝑑32 𝑑33 𝑑34 𝑑35 𝑑36 𝝉𝒚𝒛
𝝉𝒙𝒛
E = 电场 𝜀𝑆 = 𝜀𝑇 − 𝑑𝑠𝐸−1 𝑑𝑇 对应的应力张量 T 𝝉𝒙𝒚
D = 电位移 ▪ 介电矩阵
cE = 弹性矩阵（4 阶张量 cijkl）
反映了材料的介电性质 𝜀11
𝜀12 𝜀13
e = 耦合矩阵 （3 阶张量 eijk）
𝜀= 𝜀22 𝜀23
εS = 介电矩阵（2 阶张量 εij） 对称 𝜀33
压电材料种类

▪ 晶体 氮化铝（AlN）
石英 磷酸二氢铵 (ADP)
铌酸钡钠
酒石酸钾钠类（罗谢尔盐、磷酸二氢铵等） 钛酸钡（BaTiO3）
铌酸盐 硫化镉（CdS）
砷化镓（GaAs）
▪ 半导体 铌酸锂（LiNbO3）

Ⅱ－Ⅳ 族化合物（CdS、ZnO、ZnS等） 钽酸锂（LiTaO3）

Ⅲ－Ⅴ 族化合物（GaAs、AlN等）
▪ 陶瓷多晶压电材料 锆钛酸铅(PZT)

钛酸钡陶瓷
锆钛酸铅陶瓷（PZT）
聚偏二氟乙烯
▪ 高分子材料
石英
天然高分子压电材料（核酸、骨、肌肉等） 罗谢尔盐

合成高分子压电材料（PVDF） 氧化锌（ZnO）
二氧化碲（TeO2）
复合压电材料
硫化锌（ZnS）
石英材料

▪ 石英属于三方晶系，32 点群
压电效应出现在 x、y 轴上，z 轴上无压电效应
𝑇 = 𝑐𝐸 𝑆 − 𝑒 𝑇 𝐸
弹性矩阵、耦合矩阵和介电矩阵的独立分量分别为 6，2，2 个 𝐷 = 𝑒𝑆 + 𝜀𝑆 𝐸
矩阵分量均与温度、应力、坐标系有关

𝒔𝒙 𝒔𝒚 𝒔𝒛 𝒔𝒚𝒛 𝒔𝒙𝒛 𝒔𝒙𝒚 𝑬𝒙 𝑬𝒚 𝑬𝒛

Z(光轴)

𝑻𝒙 𝒄𝑬𝟏𝟏 𝒄𝑬𝟏𝟐 𝒄𝑬𝟏𝟑 𝒄𝑬𝟏𝟒 𝟎 𝟎 𝒆𝟏𝟏 𝟎 𝟎 𝒔𝒙

𝑻𝒚 𝒄𝑬𝟏𝟐 𝒄𝑬𝟏𝟏 𝒄𝑬𝟏𝟑 −𝒄𝑬𝟏𝟒 𝟎 𝟎 −𝒆𝟏𝟏 𝟎 𝟎 𝒔𝒚
𝒄𝑬𝟏𝟑 𝒄𝑬𝟏𝟑 𝒄𝑬𝟑𝟑 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝒔𝒛
𝑻𝒛
𝑻𝒚𝒛 𝒄𝑬𝟒𝟒 𝟎 𝟎 𝒔𝒚𝒛
𝒄𝑬𝟏𝟒 −𝒄𝑬𝟏𝟒 𝟎 𝒆𝟏𝟒 𝟎 𝟎
𝟎 𝒄𝑬𝟒𝟒 𝒄𝑬𝟏𝟒 𝒔𝒙𝒛
𝑻𝒙𝒛 = 𝟎 𝟎 𝟎 𝒄𝑬𝟏𝟏 − 𝒄𝑬𝟏𝟐 𝟎 −𝒆𝟏𝟒 𝟎
𝑻𝒙𝒚 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝒄𝑬𝟏𝟒 𝟎 −𝒆𝟏𝟏 𝟎 𝒔𝒙𝒚
Y(力轴) 𝟐 𝑬𝒙
X(电轴) 𝑫𝒙 𝒆𝟏𝟏 −𝒆𝟏𝟏 𝟎 𝒆𝟏𝟒 𝟎 𝟎 𝜺𝒔𝟏𝟏 𝟎 𝟎
𝑫𝒚 𝑬𝒚
𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 −𝒆𝟏𝟒 −𝒆𝟏𝟏 𝟎 𝜺𝒔𝟏𝟏 𝟎
𝑫𝒛 𝑬𝒙
𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝜺𝒔𝟑𝟑
案例演示
压电剪切石英振子
▪ 直径 1.67 mm，厚 334 um 的圆形石英振子
材料用的是 AT 切石英，机械损耗因子 1e-3
上下表面镀 Ag 电极
上表面施加 10 V 电压，下电极接地

▪ 计算石英振子的第一阶剪切振动频率
网格要求？
考虑外接 0.1 pF、0.5 pF 和 1 pF 电容？
如何考虑非对称电极？
1.2mm

1mm
压电物理场和边界

▪ 压电物理场 ▪ 常用边界
固体力学（solid）+静电（es） 定义
• PML
▪ 可考虑的材料类型
固体力学
固体
• 固定/对称/周期性
• 压电材料
• 载荷
• 固体材料（线弹性等）
静电
• 固体电介质
• 终端
非固体
• 接地
• 电介质（如空气）
• 悬浮电位

线性压电效应

非线性电致伸缩

考虑极化饱和电滞非线性
石英材料切型

▪ 压电石英器件的晶片，是按一定方位切割的，切型不同，物理性质不同
▪ 石英晶片切型符号有两种表示法
习惯符号表示法 压电材料切型有两套标准：

• AT 切，CT 切等 • IRE 1949 和IEEE 1978

• 一般石英使用IRE 标准
IRE 符号表示法
• 其它压电材料常用IEEE 标准
• 详细说明请查看博客：压电材料：标准简介
• 如下图为（xytl）5°/-50°

Z Z Z

绕厚度 t 方向旋转 5° 绕长度 l 方向旋转 -50°

w
w t l
w l
l t
t Y Y Y
X X X
切型欧拉角的确定

▪ COMSOL 中自带材料库的压电材料是严格按 XYZ 方向放置的晶体

除石英的其它压电材料默认极化轴为 z
石英的 z 轴为光轴，无压电效应，电轴在 x 方向

▪ 实际建模时一般将压电片的厚度方向沿 z 或 y 向
所以需要建立一个新的坐标系，使其z向和晶体初始坐标系重合
具体做法如下
• 确定绘制几何中长宽厚（lwt）三个方向对应于 xyz 坐标系的方向
• 将坐标方向标注于切型示意图
• 通过欧拉角旋转将 xyz 坐标系旋转到于与 XYZ 重合
• 详细说明请查看博客：压电材料：标准的应用
石英材料切型对照表

石英晶片切型分为三族
旋转 y 切族： 𝑦𝑥𝑙 + 𝜑
• 当晶片厚度沿 z 方形，长度沿 x 方向摆放时，欧拉角为（0，90o − 𝜑，0）
X 切族： 𝑥𝑦𝑡 + 𝜑
• 当晶片厚度沿 z 方形，长度沿 x 方向摆放时，欧拉角为（ −𝜑，−90o ，−90o ）
双转角切族：旋转两次后切割
• 𝑥𝑦𝑡𝑙 + 𝜑 + 𝜃
• 𝑦𝑥w𝑙 + 𝜑 + 𝜃 切型 IRE符号 欧拉角（厚度 z，长度 x） 振动模式 形状 应用频率范围
X0°~5° 𝑥𝑦𝑡 0°~5° （-5°,-90°,-90°） 厚度弯曲 棒 2~50kHz
• 𝑦𝑥𝑙𝑡 + 𝜑 + 𝜃
X-18.5° 𝑥𝑦𝑡 −18.5° （18.5°,-90°,-90°） 长度伸缩 长片 50~500kHz
NT 𝑥𝑦𝑡𝑙 5° /−50° （-5°,-40°,-90°） 面弯曲 长片 16~100kHz
AT 𝑦𝑥𝑙 35.25° （0,54.75°,0） 厚度剪切 圆片/矩形片 500kHz~350MHz
BT 𝑦𝑥𝑙 − 49° （0,139°,0） 厚度剪切 圆片/矩形片 3MHz~75MHz
CT 𝑦𝑥𝑙 37° ~38° （0,53°,0） 面切变 矩形片 200kHz~1MHz
DT 𝑦𝑥𝑙 −52° ~ − 53° （0,142°,0） 面切变 矩形片 100KHz~600kHz
COMSOL 中材料属性的输出

▪ 弹性矩阵、耦合矩阵、介电矩阵是默认的材料矩阵
▪ 弹性矩阵和耦合矩阵有标准排序和 Voigt 排序的选择
标准形式（11，22，33，12，23，13）
Voigt 形式（ 11，22，33，23，13，12 ）
一般压电材料用 Voigt 形式

▪ 全局坐标系的矩阵为旋转后的参数矩阵
派生值中可以输出材料参数矩阵

旋转坐标系之后的参数矩阵
压电振子的振动模式

▪ 伸缩振动 谐振频率 反谐振频率

1 1
横向长度伸缩（ 𝑘31 ） 𝑓𝑟 =
2𝒍
𝑬
/ 𝜌s𝟏𝟏 𝑓𝑫 =
2𝒍
𝑫
/ 𝜌s𝟑𝟑
振子长度
伸缩振动
径向伸缩（ 𝑘𝑝 ，呼吸振动） 𝑓𝑟𝒏 = 𝑵𝒓𝒏 /𝒅 振子直径

频率常数

1 𝑬
1 𝑫
厚度伸缩（ 𝑘 𝑇 ） 𝑓𝑟 =
2𝒕
/ 𝜌s𝟑𝟑 𝑓𝑫 =
2𝒕
/ 𝜌s𝟑𝟑
振子厚度
▪ 切变振动
厚度切变 呼吸振动
𝒏
泛音厚度切变（ 𝑘15 ） 𝑫
𝑓𝑟 = / 𝜌s𝟓𝟓
2𝒕

▪ 弯曲振动 𝒕
𝑓𝑟 = 𝑵𝒓 切变振动
厚度弯曲 𝒍𝟐

横向弯曲（扭转振动） 频率常数
弯曲振动
机电耦合系数

机电耦合系数是一个综合反映压电材料性能的参数
压电陶瓷常用的 5 个机电耦合系数
• 平面机电耦合系数 𝑘𝑝 ：圆薄片厚度方向极化和激励，径向伸缩振动
• 横向机电耦合系数 𝑘31 ：细长条沿厚度方向极化和激励，长度伸缩振动
• 纵向机电耦合系数 𝑘33 ：细棒沿长度方向极化和激励，长度伸缩振动
• 厚度伸缩机电耦合系数 𝑘 𝑇 ：薄片沿厚度方向极化和激励，作厚度方向伸缩的振动
• 厚度切变机电耦合系数 𝑘15 ：矩形板沿长度方向极化，垂直极化方向激励，厚度切变振动
表示压电材料的机械能与电能的耦合效应

𝑼𝑬 逆压电转化的机械能 𝑼𝑴 正压电转化的电能
2 2
逆压电 𝑘 = 正压电 𝑘 =
𝑼𝑴 𝑼𝑬
输入的电能 输入的机械能

也可以统一写成下式， UI 为压电能密度，UM 为弹性能密度，UE 为介电能密度

𝑈I 𝑑𝑖𝑗
𝑘= 忽略元件形状： 𝑘 𝑖𝑗 =
𝑈𝑀 ⋅ 𝑈E 𝑠𝐸 𝜀 𝑋
𝑗𝑗 𝑖𝑖
终端边界和研究类型

▪ 终端：用于电极，一般认为是等势体 ▪ 频域计算
电势：施加电压 计算导纳 Y11 或者阻抗，终端用电势
电荷：产生接收电势，等同悬浮电位 计算 S 参数 S11，用终止终端
电路：外接电路 外接元件或电路，用电路
终止：计算 S 参数 ▪ 频域计算可使用 AWE 加速
▪ 特征频率计算
寻找特征频率和振型
终端为电势（开路），获得并联谐振频率
终端为电荷（短路），获得串联谐振频率
加速扫频计算

▪ AWE, 渐进波形展开计算
计算端点区间内的解
执行区间半分法
对已有的解执行泰勒展开
• 如果 AWE 的前向和后向表达式得到的值近似，停止计算
• 如果不是，重新对区间进行对半再计算
对非常密集的频率扫描很合适
对远离谐振的区域非常适用
▪ AWE表达式
用于 AWE 算法的误差估计的全局标量值表达式
理论上所有随频率变化的全局量都能用作表达式
比例一点的位移，面或体的平均位移，导纳，S 参数等
尽量使表达式缩放到 1 量级
当导纳在 AWE 下无法计算时，启用弱约束
案例演示
音叉型石英晶体振荡器
▪ 如图所示音叉型石英振子使用的为 X+5°切型
音叉单臂长 2.4 mm，单臂宽 0.24 mm，厚 0.12 mm，端部长 0.5 mm
表面镀金电极层，厚 5 um，离音叉边缘 12 um
石英材料机械 Q 因子为 1000 + -
- - + + 电势施加方式

▪ 分析振子谐振频率及其 Q 因子 + -
正极电压 1 V，负极电压 -1 V z

分析振子导纳和阻抗特性
考虑金镀层的影响 基部
臂
考虑温度的影响
5°
y

x
谐振器等效电路

▪ 晶体谐振器是通过压电效应将电联系起来的机械振动系统
在电学上它表现为电极形成的电容
在力学上表现为弹簧、质量、阻尼的振动系统

▪ 如何求解 𝐶0 ， 𝐶1 ， 𝐿1 ， 𝑅1 ？
COMSOL 直接计算出 𝑌 𝜔 ，可以直接作为集总导纳使用使用
𝐶0 电学
1 1
𝑌 𝜔 = 𝑗𝜔𝐶0 + 𝑗𝜔𝐶1 + 𝐿1 +
𝑗𝜔 𝑅1
𝐶0 ，静电仿真直接输出
𝐶1 ， 𝐿1 ， 𝑅1 ，根据导纳曲线优化拟合 𝐶1 𝐿1 𝑅1 力学

▪ 注意计算时电学边界的施加条件
电压边界，开路状态 等效

连接电路，增加电路负载
质量 弹簧 阻尼
晶体频率的温度效应-表观

▪ 温度变化会影响器件的谐振频率
以厚度切变谐振器为例
1 𝐶55
𝑓𝑟 =
2𝑡 𝜌

ⅆ log 𝑓𝑛 1 𝑑𝑓𝑟 取一阶线性展开 1 𝑑𝑡 1 𝑑𝜌 1 𝑑𝐶55

𝑇𝑓 = = − +
ⅆ𝑇 𝑓𝑟 𝑑𝑇 𝑡 𝑑𝑇 2𝜌 𝑑𝑇 2𝐶55 𝑑𝑇

热膨胀系数 密度温度系数 刚性温度系数

从式中可看出，温度对振子频率的影响来自热膨胀和对材料参数的改变
在特定切型下， 𝑇𝑓 可以为 0，使频率不受温度影响
对于高 𝑇𝑓 的切型，可用作温度传感器
晶体频率的温度效应-机理

▪ 温度影响材料参数
取 𝑇0 为参考温度，𝜃 = 𝑇 − 𝑇0
1 1
温度影响下的弹性矩阵 𝐶𝜃 = 𝐶 + 𝐶1 𝜃+2 𝐶2 𝜃 2 +6 𝐶3 𝜃 3， 𝐶𝑖 分别为弹性矩阵 𝑖 阶温度系数
1 1
温度影响下的耦合矩阵 𝑒𝜃 = 𝑒 + 𝑒1 𝜃+ 𝑒2 𝜃 2 + 𝑒3 𝜃 3 ， 𝑒𝑖 分别为耦合矩阵 𝑖 阶温度系数
2 6
1 1
温度影响下的介电矩阵 𝜀𝜃 = 𝜀 + 𝜀1 𝜃+2 𝜀2 𝜃 2 + 𝑒3 ε3 ， 𝜀𝑖 分别为介电矩阵 𝑖 阶温度系数
6

▪ 热膨胀影响材料密度
热膨胀应变取 𝛼𝜃 = 𝛼 + 𝛼1 𝜃+𝛼2 𝜃 2 + 𝛼3 ε3
在 COMSOL 中，力学方程建立在拉格朗日坐标系下
• 所以材料坐标系一直不变，热膨胀不需要更改密度
• 当添加热膨胀后，预应力下自动能考虑密度变化
能量收集器等效电路
质量块位移 𝑢𝑚
质量块 m 质量块

机
械
振 悬臂梁
动

电压输出 压电薄膜 弹簧 K 阻尼 C

驱动端位移 𝑢0
驱动端
▪ 系统机械输入功率
时域下 𝑝𝑚 (𝑡) = 𝐹(𝑡)𝑣(𝑡) 相对位移 𝑢 = 𝑢𝑚 − 𝑢0
1
频域下时均功率 𝑝𝑚−𝑎𝑣 = 2 ‫𝑑𝑣 ∙ 𝑓 ׬‬Ω
ҧ 𝑀𝑢ሷ 𝑚 + 𝐶 𝑢ሶ + 𝐾𝑢 = 0
𝐶 𝐾 𝜔
▪ 换能器输出电功率 取 𝜉=
2 𝑚𝐾
，𝜔𝑛 =
𝑚
，𝑎 =
𝜔𝑛
𝑎2
时域下 𝑝𝑒 (𝑡) = 𝑈 𝑡 𝐼(𝑡) 当 𝑢0 = 𝑈0 𝑠𝑖𝑛 𝜔𝑡 时：𝑢 𝑡 = 𝑈0 𝑠𝑖𝑛 𝜔𝑡 − 𝜑
1−𝑎2 2 + 2𝜉𝑎 2
1
频域下时均功率 𝑝𝑒−𝑎𝑣 = 2 𝑈 ∙ 𝐼 ҧ 机械功率：𝑝 𝑡 =
𝑚𝜉𝑈02 𝑎2 𝜔3 𝑚𝑈02 𝜔𝑛
3

1−𝑎2 2 + 2𝜉𝑎 2 ，当 a=1 时， 𝑝𝑚𝑎𝑥 = 4𝜉

陶瓷多晶压电材料

▪ 钛酸钡陶瓷（ BaTiO3 ）
机电耦合系数高，化学性质稳定
钛酸钡（BaTiO3）
居里点低 115°，机电性能常温下不稳定
强电场下介电损耗大，老化率高

▪ 锆钛酸铅陶瓷（PZT， Pb(ZrxTi1-x)O3）
压电性能优异，居里点高 300-400°，温度稳定性好
机械强度大，化学惰性，制作方便
可改变化学组分，可根据需求添加杂质 锆钛酸铅（PZT）
PZT 材料

▪ 压电陶瓷属于钙钛矿结构（CaTiO3）
分子式可以写成 ABO3 形式，A 是二价正离子（Pb2+,Ba2+ ），B 是四价正离子（Ti4+,Zr4+）
相应的离子在晶胞中的位置相同，A 位于六面体的顶点，B 位于六面体中心，O2 位于面的面心

▪ COMSOL 中自带 8 种 PZT 材料

PZT4（发射型）：低机械损耗和介电损耗，大的交流退极化场、介电常数、机电耦合系数
PZT5（接收型）：高耦合系数、优异的时间稳定性
PZT8（大功率发射型）：高抗张强度和稳定性，高机械 Q 值，适合大振幅激励
多晶格宏观材料

钙钛矿晶胞

未极化 极化中 极化后

压电陶瓷的材料参数

▪ 压电陶瓷属立方晶系，与 6mm 点群相同

材料参数矩阵
𝒔𝒙 𝒔𝒚 𝒔𝒛 𝒔𝒚𝒛 𝒔𝒙𝒛 𝒔𝒙𝒚 𝑬𝒙 𝑬𝒚 𝑬𝒛

𝑻𝒙 𝒄𝑬𝟏𝟏 𝒄𝑬𝟏𝟐 𝒄𝑬𝟏𝟑 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝒆𝟑𝟏 𝒔𝒙

𝑻𝒚 𝒄𝑬𝟏𝟐 𝒄𝑬𝟏𝟏 𝒄𝑬𝟏𝟑 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝒆𝟑𝟏 𝒔𝒚
𝑻𝒛 𝒄𝑬𝟏𝟑 𝒄𝑬𝟏𝟑 𝒄𝑬𝟑𝟑 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝒆𝟑𝟑 𝒔𝒛 𝒄𝑬𝟏𝟏 − 𝒄𝑬𝟏𝟐
𝑻𝒚𝒛 𝟎 𝟎 𝟎 𝒄𝑬𝟒𝟒 𝟎 𝟎 𝟎 𝒆𝟏𝟓 𝟎 𝒔𝒚𝒛 𝒄𝑬𝟔𝟔 =
𝑻𝒙𝒛 = 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝒄𝑬𝟒𝟒 𝟎 𝒆𝟏𝟓 𝟎 𝟎 𝒔𝒙𝒛 𝟐
𝑻𝒙𝒚 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝒄𝑬𝟔𝟔 𝟎 𝟎 𝟎 𝒔𝒙𝒚
𝑫𝒙 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝒆𝟏𝟓 𝟎 𝜺𝒔𝟏𝟏 𝟎 𝟎 𝑬𝒙
𝑫𝒚 𝟎 𝟎 𝟎 𝒆𝟏𝟓 𝟎 𝟎 𝟎 𝜺𝒔𝟏𝟏 𝟎 𝑬𝒚
𝑫𝒛 𝒆𝟑𝟏 𝒆𝟑𝟏 𝒆𝟑𝟑 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝟎 𝜺𝒔𝟑𝟑 𝑬𝒙

▪ 除长度或厚度方向极化，压电陶瓷经常用作径向极化
径向极化不能通过直角坐标系旋转获得
一般以基矢坐标系建立极化坐标系
径向极化 PZT 盘 径向极化球形压电换能器
案例演示
压电能量收集器
4mm

▪ 如图所示微型压电能量收集器
压电材料为 PZT-5A，其余为结构钢
12mm
2mm
悬臂厚 0.1mm，PZT 厚 0.04mm
左侧提供竖直方向 1g 加速度的简谐振动 PZT-5A
1mm
所有材料的机械损耗因子 1e-3 8mm

压电材料介电损耗 2e-3 20mm

压电薄膜两侧电极连接 10kΩ 的负载 10mm

▪ 求解
PZT
其最佳工作频率
机械能输入功率和电能输出功率

10kΩ
坐标系转换

▪ 对于能量收集器驱动端和质量块的运动状态，可有不同的坐标系选取方式分析
惯性系：振动系统外部静止处观测，驱动端以指定加速度运动
非惯性系：站在驱动端上观测，驱动端固定
相对位移引起应力，绝对加速度引起惯性力

绝对位移𝑢𝑚
绝对速度𝑣𝑚 相对位移𝑢
绝对加速度𝑎𝑚 相对速度𝑣
相对加速度𝑎

存在以下关系
𝑢 = 𝑢𝑚 − 𝑢0 = 𝑢𝑚 + 𝑎0 /𝜔2
𝑣 = 𝑣𝑚 − 𝑣0 = 𝑣𝑚 − 𝑎0 /𝑗𝜔
𝑎 = 𝑎𝑚 − 𝑎0

绝对位移𝑢0 固定

绝对加速度𝑎0
惯性力−𝑚𝑎0
案例演示
多层压电材料
▪ 多层结构的优势
相同厚度和位移下，多层结构可输出较大驱动电压
可在较低的绝对电压下产生较大电场强度 V
通过电路并联优化电流输出特性

▪ 对上述案例中的能量收割器使用 5 层的 PZT 结构
交替方向极化
思考：极薄的结构如何处理网格？

▪ 考虑悬臂梁上下各放置一块 PZT
两块 PZT 串联或并联

串联 并联
偏压调谐

▪ 给压电材料施加偏压或者应力，可改变系统刚度，影响谐振频率
在偏压作用下，结构中存在预应力和变形
可使用预应力-特征频率和预应力-频域研究

▪ 给能量收集器施加 100V 偏置电压

分析振动响应和功率

预应力-频域

预应力-特征频率
Day 1 End
support@comsol.com