Chuong 123

Machine Translated by Google 11/2/2023
Công nghệ cảm biến

Trình bày bởi
Nguyễn Trường Duy
Biến cảm ứng là gì?
Cảm ơn: cảm nhận đại lượng đầu vào (vật lý,… không điện)
Biến: biến đổi thành tín hiệu, quang (quan sát, ghi nhận, …được)
1
Biến cảm ứng là gì?
Thiết bị cảm nhận và biến đổi các loại vật chất (không điện) thành tín hiệu
điện
Nguyên tắc cơ bản về cảm biến và cảm biến
Cảm biến là gì và cảm biến là gì?
Không có mô tả thống nhất về cảm biến hoặc quá trình cảm biến. Trong nhiều
trường hợp, các định nghĩa có sẵn được điều khiển bởi các quan điểm ứng dụng.
Nhìn một cách tổng quát, cảm biến có thể được định nghĩa là:
Là thiết bị nhận kích thích và phản hồi bằng tín hiệu điện
Các định nghĩa về cảm biến từ góc độ khoa học hoặc kỹ thuật y sinh mở rộng các
loại tín hiệu đầu ra tiềm năng, chẳng hạn như tín hiệu quang:
Một thiết bị phản hồi đầu vào vật lý quan tâm bằng đầu ra có thể ghi được, liên
quan đến chức năng, thường là điện hoặc quang.
2
Một biến thể phổ biến khác có tính đến yếu tố quan sát của
phép đo, mô tả cảm biến như sau:
Cảm biến thường đề cập đến một thiết bị chuyển đổi số đo vật lý thành tín hiệu
được đọc bởi người quan sát hoặc bởi một công cụ.
Do đó, bỏ qua các sắc thái khác nhau của miền và ứng dụng, cảm biến chỉ cần đo lường thứ gì
đó quan tâm và cung cấp kết quả đầu ra mà bạn có thể làm điều gì đó hữu ích.
ANSI (Viện Tiêu chuẩn Quốc gia Hoa Kỳ) đã tạo ra một tiêu chuẩn cho Điện
Danh pháp và thuật ngữ đầu dò (ANSI, 1975), định nghĩa đầu dò là:
Một thiết bị cung cấp đầu ra có thể sử dụng để đáp ứng một đại lượng đo cụ thể.
Đầu ra được định nghĩa là “đại lượng điện” và đại lượng đo là “Đại lượng vật lý
lượng, tính chất hoặc điều kiện được đo lường”.
Tuy nhiên, Hội đồng Nghiên cứu Quốc gia (NRC, 1995) nhận thấy rằng các tài liệu khoa học
nói chung không áp dụng định nghĩa ANSI (AALIANCE, 2010). Thay vào đó, các mô tả về bộ
chuyển đổi tập trung vào quá trình chuyển đổi chất lượng vật lý thành đầu ra có thể đo
lường được, chẳng hạn như điện hoặc quang học, đã xuất hiện. Một định nghĩa như vậy là:
Bộ chuyển đổi bất kỳ loại năng lượng nào thành loại năng lượng khác [trái ngược với cảm
biến] chuyển đổi bất kỳ loại năng lượng nào thành năng lượng điện.
Một cách mô tả khác là:
Cảm biến khác với đầu dò ở chỗ cảm biến chuyển đổi tín hiệu nhận được
tín hiệu chỉ ở dạng điện. Một cảm biến thu thập thông tin từ thế giới thực. Đầu
dò chỉ chuyển đổi năng lượng từ dạng này sang dạng khác
3
Giới thiệu về các phương thức cảm biến chính
Phân loại cảm biến
Sơ đồ phân loại cảm biến từ rất đơn giản đến phức tạp.
Tùy theo mục đích phân loại mà có thể lựa chọn các tiêu chí phân loại khác nhau. Dưới đây
là một số cách thực tế để xem xét các cảm biến.
Tất cả các cảm biến có thể có hai loại: thụ động và chủ động
Cảm biến hoạt động không cần bất kỳ nguồn năng lượng bổ sung nào. Nó tạo ra tín hiệu điện
để đáp ứng với kích thích bên ngoài. Nghĩa là, năng lượng kích thích đầu vào được cảm biến
chuyển đổi thành tín hiệu đầu ra.
Các ví dụ là cặp nhiệt điện, điốt quang và cảm biến áp điện.
Nhiều cảm biến hoạt động là cảm biến trực tiếp.
4
Các cảm biến thụ động cần có nguồn điện bên ngoài để hoạt động, được gọi là tín hiệu kích thích
Ví dụ, nhiệt điện trở là một điện trở nhạy cảm với nhiệt độ. Nó không
tạo ra bất kỳ tín hiệu điện nào, nhưng bằng cách truyền dòng điện (tín hiệu kích thích) qua nó,
điện trở của nó có thể được đo bằng cách phát hiện sự thay đổi dòng điện và/hoặc điện áp trên điện
trở nhiệt. Những biến thể này (được biểu thị bằng ohm) liên quan trực tiếp đến nhiệt độ thông qua
hàm truyền đã biết.
Một ví dụ khác về cảm biến thụ động là máy đo biến dạng điện trở trong đó điện trở liên quan đến
biến dạng trong vật liệu. Để đo điện trở
của cảm biến, dòng điện phải được cung cấp cho nó từ nguồn điện bên ngoài.
Tùy thuộc vào tham chiếu đã chọn, cảm biến có thể được phân loại thành cảm biến tuyệt đối
và họ hàng. Một cảm biến tuyệt đối phát hiện một kích thích liên quan đến một
thang đo vật lý tuyệt đối độc lập với các điều kiện đo, trong khi cảm biến tương đối tạo ra tín
hiệu liên quan đến một số điều kiện đặc biệt
trường hợp.
Một ví dụ về cảm biến tuyệt đối là nhiệt điện trở—một điện trở nhạy cảm với nhiệt độ. Điện trở
của nó liên quan trực tiếp đến thang nhiệt độ tuyệt đối của Kelvin. Một cảm biến nhiệt độ rất
phổ biến khác— cặp nhiệt điện—
là một cảm biến tương đối.
5
Một cách khác để xem xét cảm biến là xem xét một số thuộc tính của nó có thể
được quan tâm cụ thể
Bảng 1.1 Thông số cảm biến
Bảng 1.2 Vật liệu phần tử cảm biến
6
Bảng 1.3 Hiện tượng chuyển hóa
Bảng 1.4 Lĩnh vực ứng dụng
7
Bảng 1.5 Kích thích
Bảng 1.5 Kích thích
số 8
Cảm biến cơ học
Cảm biến cơ học dựa trên nguyên tắc đo lường những thay đổi trong thiết bị hoặc
vật liệu do kết quả của đầu vào gây ra biến dạng cơ học của thiết bị hoặc vật
liệu đó.
Các đầu vào, chẳng hạn như chuyển động, vận tốc, gia tốc và độ dịch chuyển
dẫn đến biến dạng cơ học có thể đo được.
Khi đầu vào này được chuyển đổi trực tiếp thành đầu ra điện, cảm biến được mô tả là cảm biến cơ
điện. Các tín hiệu đầu ra khác có thể bao gồm từ tính, quang học và nhiệt.
Máy đo biến dạng (biến dạng) là một trong những cảm biến cơ học phổ biến nhất và có
nhiều dạng và chủng loại. Chúng đã được sử dụng trong nhiều năm và là thành phần cảm
biến chính trong nhiều loại cảm biến, bao gồm cảm biến áp suất, cảm biến tải trọng,
cảm biến mô-men xoắn và cảm biến vị trí.
Phép đo dựa trên sự thay đổi điện trở do biến dạng trên vật liệu hoặc sự kết hợp của
vật liệu. Việc triển khai máy đo biến dạng thông thường sử dụng phần tử cảm biến hình
lưới, bao gồm một lá điện trở kim loại mỏng (dày 3 đến 6 mm) được liên kết trên một
lớp nền màng nhựa mỏng (dày 15 đến 16 mm). Toàn bộ cấu trúc được gói gọn trong một
màng polyimide bảo vệ.
Máy đo biến dạng thường có giá trị điện trở danh nghĩa từ hàng chục ohm đến hàng nghìn
ohm, trong đó phổ biến nhất là 120, 350 và 1.000. Một điện áp kích thích (thường là
5V hoặc 12V) được đưa vào các dây dẫn đầu vào của mạng máy đo và giá trị điện áp được
lấy từ các dây dẫn đầu ra
9
Giá trị đầu ra tính bằng milivolt được

đo bằng mạch đo thông thường ở dạng
cầu Wheatstone, như trong Hình. Khi
ứng suất được tác dụng lên máy đo biến
dạng, sự thay đổi điện trở sẽ làm mất
cân bằng cầu Wheatstone.
Điều này dẫn đến một tín hiệu đầu ra,

liên quan đến cường độ của ứng suất
tác dụng. Bạn thường có thể mua cả phần
tử máy đo biến dạng và điện trở cầu
trong một vỏ bọc kín. Dạng gói này
thường được gọi là cảm biến tải trọng.
Một dạng phổ biến khác của máy đo biến dạng dựa trên áp điện
(sản xuất điện khi một số vật liệu nhất định chịu tác động cơ học
ứng suất) tính chất của một số vật liệu bán dẫn, chẳng hạn như silicon hoặc
germani.
Chúng được sử dụng lần đầu tiên trong ngành công nghiệp ô tô vào những năm 1970, trước khi được
được áp dụng trong các lĩnh vực khác, bao gồm cả thể thao. Dạng máy đo biến dạng này là
nhỏ hơn, có điện trở và độ nhạy đơn vị cao hơn và giá thành thấp hơn
máy đo biến dạng dạng lưới.
10
Một vấn đề quan trọng với các phép đo biến dạng là hiệu ứng nhiệt. Thay đổi
nhiệt độ gây ra sự giãn nở hoặc co lại của phần tử cảm biến,
dẫn đến biến dạng do nhiệt gây ra.
Cần phải bù nhiệt độ để giải quyết vấn đề và điều này có thể
được xây dựng vào cầu Wheatstone. Máy đo biến dạng áp điện thậm chí còn có
độ nhạy cao hơn với sự thay đổi nhiệt độ và đặc tính trôi dạt lớn hơn,
phải được bù đắp trong quá trình sử dụng bằng cách hiệu chuẩn lại thường xuyên.
Máy đo biến dạng được sử dụng trong nhiều ứng dụng thể thao và chăm sóc sức khoẻ,
bao gồm cả máy đo lực lâm sàng để đo độ bám
Cảm biến MEMS
Tên MEMS thường được sử dụng để mô tả cả một loại cảm biến và
quá trình sản xuất chế tạo cảm biến. MEMS là ba-
các cấu trúc cơ và điện có kích thước thu nhỏ, điển hình là
từ 1 đến 100 mm, được sản xuất theo tiêu chuẩn
kỹ thuật sản xuất chất bán dẫn. MEMS bao gồm cơ khí
vi cấu trúc, vi cảm biến, vi dẫn động và vi điện tử, tất cả
được tích hợp vào cùng một con chip silicon.
11
Cảm biến MEMS
Cảm biến MEMS được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp ô tô và kể từ đầu
những năm 1990, gia tốc kế đã được sử dụng trong hệ thống hạn chế túi khí,
chương trình ổn định điện tử (ESP) và hệ thống chống bó cứng phanh (ABS).
Sự sẵn có gần đây của các cảm biến MEMS đa trục rẻ tiền, siêu nhỏ gọn, công
suất thấp đã dẫn đến sự phát triển nhanh chóng của các thiết bị điện tử khách
hàng (CE); MEMS có thể được tìm thấy trong điện thoại thông minh, máy tính bảng,
bộ điều khiển máy chơi game, thiết bị chơi game cầm tay, máy ảnh kỹ thuật số và
máy quay phim. Họ cũng đã tìm thấy ứng dụng trong lĩnh vực chăm sóc sức khỏe
trên các thiết bị như máy đo huyết áp, máy điều hòa nhịp tim, máy
thở và mặt nạ phòng độc. Mặc dù có nhiều dạng cảm biến MEMS, hai trong số những
dạng quan trọng nhất và được sử dụng rộng rãi là gia tốc kế và con quay hồi
chuyển, được sản xuất bởi các công ty như Analog Devices và Freescale Semiconductor.
Gia tốc kế
Có năm chế độ cảm biến chuyển động: gia tốc, rung (định kỳ
tăng tốc), sốc (gia tốc tức thời), độ nghiêng (gia tốc tĩnh),
và luân chuyển. Tất cả những điều này, ngoại trừ chuyển động quay, có thể được đo bằng cách sử dụng
gia tốc kế. Do đó, không có gì ngạc nhiên khi gia tốc kế có phạm vi rộng
nhiều ứng dụng, từ việc kích hoạt hệ thống bảo vệ đĩa cứng như một
thiết bị bị rơi, để nhận dạng cử chỉ khi chơi game. Gia tốc kế MEMS
thường là điện dung hoặc áp điện.
12
Gia tốc kế
Gia tốc kế điện dung bao gồm các tấm cố định được gắn vào đế và các tấm có thể di chuyển được
gắn vào khung. Sự dịch chuyển của khung, do gia tốc, sẽ làm thay đổi điện dung vi sai, được đo
bằng mạch điện trên bo mạch. Gia tốc kế điện dung có độ nhạy cao và được sử dụng cho các thiết
bị có biên độ thấp, tần số thấp.
Gia tốc kế áp điện chứa vật liệu điện trở liên kết với chùm đúc hẫng bị uốn cong dưới tác động
của gia tốc. Sự uốn cong này gây ra biến dạng của điện trở, dẫn đến sự thay đổi điện trở của
nó so với gia tốc tác dụng. Gia tốc kế áp điện có xu hướng chắc chắn hơn và được sử dụng cho
gia tốc kế đạt được biên độ cao hơn và đáp ứng tần số cao hơn
Con quay hồi chuyển
Con quay hồi chuyển MEMS đo tốc độ góc của

quay của một hoặc nhiều trục, như trong Hình
2-3. Con quay hồi chuyển có thể đo các chuyển động phức tạp
chính xác trong không gian trống. Họ không có vòng quay
các bộ phận cần có vòng bi và do đó cho mượn
tự thu nhỏ và làm theo mẻ
chế tạo bằng cách sử dụng sản xuất chất bán dẫn
quá trình.
Hầu hết tất cả các con quay hồi chuyển MEMS đều sử dụng cơ chế rung
các yếu tố cơ học (khối lượng bằng chứng) để cảm nhận

sự quay dựa trên sự truyền năng lượng
giữa hai dạng dao động của kết cấu
do gia tốc Coriolis gây ra.
13
Con quay hồi chuyển
Dạng con quay hồi chuyển MEMS phổ biến nhất là con quay hồi chuyển âm thoa,
chứa một cặp khối lượng được điều khiển để dao động với biên độ bằng nhau nhưng
theo hướng ngược lại. Khi quay, lực Coriolis tạo ra một phương trực giao
rung động có thể được cảm nhận bằng nhiều cơ chế khác nhau (Nasiri, 2013).
Các hình thức thiết kế MEMS khác bao gồm bánh xe rung, bộ cộng hưởng ly rượu
(con quay hồi chuyển cộng hưởng bán cầu), dao động hình trụ và áp điện. Lớn lao
các nhà sản xuất con quay hồi chuyển MEMS bao gồm Robert Bosch GmbH,
InvenSense, STMicroelectronics và Thiết bị Analog. Con quay hồi chuyển MEMS có thể
được tìm thấy trong điện thoại thông minh, thiết bị phát hiện rơi và máy chơi game.
Cảm biến quang học
Cảm biến quang học hoạt động bằng cách phát hiện sóng hoặc photon ánh sáng, bao
gồm cả ánh sáng ở các vùng quang phổ khả kiến, hồng ngoại và tia cực tím (UV).
Chúng hoạt động bằng cách đo sự thay đổi cường độ ánh sáng liên quan đến sự phát
xạ hoặc hấp thụ ánh sáng
bằng một lượng quan tâm. Họ cũng có thể đo sự thay đổi pha xảy ra trong chùm
ánh sáng do hiệu ứng tương tác hoặc giao thoa. Đo sự vắng mặt hoặc gián đoạn của
nguồn sáng là một phương pháp phổ biến khác.
Các cảm biến dựa trên nguyên tắc này thường được sử dụng trong các cửa và cổng
tự động để đảm bảo không có chướng ngại vật trên đường mở của chúng. Chúng được
sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng công nghiệp để đo mức chất lỏng và vật liệu
trong bể hoặc trong dây chuyền sản xuất của nhà máy nhằm phát hiện sự hiện diện
hay vắng mặt của vật thể. Cảm biến quang học cũng được sử dụng với động cơ
bước trong các ứng dụng yêu cầu cảm biến và mã hóa vị trí.
14
Bộ tách sóng quang
Cảm biến của bộ tách sóng quang hoạt động dựa trên nguyên lý quang dẫn, trong đó vật liệu mục tiêu thay
đổi độ dẫn điện khi có hoặc không có ánh sáng. Cảm biến rất nhạy đối với một vùng quang phổ nhất định
(phạm vi bước sóng quang) từ tia cực tím đến hồng ngoại. Những ví dụ bao gồm:
Cảm biến pixel hoạt động, chẳng hạn như cảm biến được tìm thấy trong máy ảnh điện thoại thông minh và
webcam.
Các thiết bị tích điện kép (CCD), chẳng hạn như các thiết bị được tìm thấy trong máy ảnh kỹ thuật
số. Điện trở phụ thuộc vào ánh sáng (LDR), chẳng hạn như điện trở được tìm thấy trong đèn đường
hệ thống.
Điốt quang, chẳng hạn như điốt được sử dụng trong hệ thống điều khiển mức chiếu sáng trong phòng hoặc trong
Hệ thống đo tia cực tím.

Các bóng bán dẫn quang, chẳng hạn như các chất được sử dụng trong máy cách ly quang cho nhiều ứng dụng khác
nhau, bao gồm cả thiết bị chăm sóc sức khỏe, để cách ly điện giữa bệnh nhân và thiết bị. Các máy nhân
quang như các máy dò quang phổ kế.
Bộ nhân quang cũng được sử dụng trong máy đo tế bào dòng chảy (công nghệ dựa trên tia laser
được sử dụng để đếm và phân loại tế bào cũng như phát hiện dấu ấn sinh học) cho các ứng
dụng phân tích máu.
15
Hồng ngoại (IR)
Cảm biến hồng ngoại có cả dạng chủ động và thụ động, như minh họa trong Hình.
Ở dạng hoạt động, cảm biến sử dụng nguồn ánh sáng hồng ngoại, chẳng hạn như
điốt phát sáng (LED) hoặc điốt laser, chiếu một chùm ánh sáng được phát hiện
tại một máy dò riêng biệt (tế bào quang điện, điốt quang hoặc bóng bán dẫn
quang). Một vật thể đi qua chùm tia sẽ làm gián đoạn tín hiệu thu được tại máy
dò.
Một cấu hình thay thế là phát hiện dựa trên phản xạ, trong đó nguồn và máy dò
được đặt trong cùng một vỏ. Ánh sáng từ nguồn IR được phản xạ từ một vật thể
khi nó di chuyển vào trường phát hiện của cảm biến. Lượng ánh sáng nhận được
tại máy dò phụ thuộc vào độ phản xạ của bề mặt vật thể. Cảm biến hồng ngoại có
thể được sử dụng làm bộ đếm, cảm biến tiệm cận (như với cửa tự động) hoặc để
xác định sự hiện diện của người hoặc vật thể di động khác trong điều kiện ngày
hoặc đêm.
Hồng ngoại (IR)

Nguồn hồng ngoại
0 1
Máy dò hồng ngoại
Máy dò hồng ngoại
0 1
Cảm biến hồng ngoại thụ động Cảm biến hồng ngoại hoạt động
16
Hồng ngoại (IR)
Không giống như cảm biến chủ động, cảm biến thụ động không tạo ra hoặc tỏa năng lượng
cho mục đích phát hiện. Chúng dựa vào nhiệt được phát hiện từ các vật thể, chẳng hạn
như cơ thể con người trong trường phát hiện của chúng. Chúng thường được sử dụng
trong hệ thống chiếu sáng an ninh xung quanh nhà và trong hệ thống an ninh gia
đình để phát hiện những kẻ xâm nhập. Cảm biến hồng ngoại thường có yêu cầu năng lượng
thấp, khả năng chống nhiễu tương đối cao và không yêu cầu mạch xử lý tín hiệu phức tạp.
Tuy nhiên, chúng có một số nhược điểm chính, bao gồm cần phải ở trong tầm nhìn
của đối tượng quan tâm, phạm vi phát hiện tương đối ngắn và bị nhiễu từ các
nguồn môi trường như ánh sáng mặt trời, sương mù, mưa. , và bụi
Sợi quang
Dạng cảm biến quang học này sử dụng sợi thủy tinh quang học làm phần tử cảm biến.
Sợi đa mode có đường kính lõi lớn (>10 mm) được sử dụng cho các ứng dụng cảm
biến. Sợi quang có thể được phủ bằng vật liệu phản ứng với những thay đổi về độ
căng, nhiệt độ hoặc độ ẩm. Các loại cảm biến sợi quang được sử dụng phổ biến
nhất bao gồm: Cảm biến
biến dạng: Biến dạng cơ học trong sợi làm thay đổi tính chất hình học của sợi,
làm thay đổi độ khúc xạ của ánh sáng truyền qua nó. Những thay đổi này có thể
tương quan với chủng được áp dụng.
Cảm biến nhiệt độ: Độ căng của sợi là do sự giãn nở hoặc co lại vì nhiệt của
sợi. Phép đo biến dạng có thể tương quan trực tiếp với những thay đổi về nhiệt
độ.
17
Sợi quang
Cảm biến áp suất: Cảm biến áp suất sợi quang có thể có hai loại cường độ và
giao thoa kế. Trong các cảm biến sợi quang cảm nhận cường độ, cường độ ánh sáng
cường độ phản xạ từ một màng ngăn mỏng thay đổi theo áp suất tác dụng.
Cảm biến áp suất giao thoa kế hoạt động dựa trên nguyên tắc áp suất thay đổi
đưa nhiễu loạn vào cảm biến, tạo ra những thay đổi về độ dài đường đi trong
chất xơ. Điều này lại làm cho các dải sáng/tối của mẫu giao thoa dịch chuyển. Qua
đo sự dịch chuyển của phổ bước sóng, áp suất tác dụng lên nó có thể là
thu được về mặt định lượng.
Cảm biến độ ẩm: Một loạt các nguyên tắc đã được áp dụng cho cảm biến độ ẩm dựa trên
sợi quang, bao gồm (i) hệ thống phát quang với thuốc nhuộm huỳnh quang
là chỉ số khúc xạ nhạy cảm với độ ẩm (ii) thay đổi do sự hấp thụ trong môi trường
lớp phủ sợi hút ẩm (hấp thụ độ ẩm) như polyimide; và (iii) phản ánh
sợi được phủ màng mỏng làm từ thiếc dioxide (SiO2) và titan dioxide (TiO2),
làm thay đổi chiết suất, dẫn đến sự thay đổi tần số cộng hưởng.
Cảm biến bán dẫn
Cảm biến bán dẫn ngày càng phổ biến do chi phí thấp, độ tin cậy, mức tiêu thụ điện năng
thấp, tuổi thọ hoạt động dài và hệ số dạng nhỏ. Chúng có thể được tìm thấy trong một loạt
các ứng dụng bao gồm:
Giám sát khí
Giám sát ô nhiễm, ví dụ CO, NO2, SO2 và O3

Máy phân tích hơi thở, để đo nồng độ cồn trong hơi thở (BAC)
Giám sát khí sinh hoạt, chẳng hạn như khí propan
Nhiệt độ, như trong thiết bị điện tử tích hợp Từ tính,
ví dụ, từ kế đo sáu bậc tự do

các ứng dụng
Cảm biến quang học, chẳng hạn như trong máy dò thiết bị tích điện tích hợp trong máy ảnh
18
Cảm biến khí
Cảm biến bán dẫn thường được sử dụng để phát hiện hydro, oxy (O2), rượu và các
loại khí độc hại, chẳng hạn như carbon monoxide (CO). Máy dò CO trong nước là
một trong những ứng dụng phổ biến nhất của chất bán dẫn giám sát khí.
Cảm biến khí thông thường có lớp cảm biến và đế cảm biến và được đặt trong một
vỏ xốp. Lớp cảm biến bao gồm một lớp bán dẫn oxit kim loại (MOS) màng dày, xốp,
chẳng hạn như SnO2 hoặc vonfram trioxide (WO3). Chất này được đặt trên một lớp
vi cảm biến chứa các điện cực đo điện trở của lớp cảm biến và một bộ gia nhiệt
làm nóng lớp cảm biến lên 200°C đến 400°C.
Cảm biến nhiệt độ
Cảm biến nhiệt độ bán dẫn dựa trên sự thay đổi điện áp
qua một điểm nối pn, biểu hiện sự phụ thuộc nhiệt mạnh mẽ. Các
dạng đơn giản nhất của cảm biến nhiệt độ là một diode silicon có độ lệch thuận
trên diode có hệ số nhiệt độ xấp xỉ 2,0–
2,3mV/°C. Các phép đo được thực hiện bằng cách giữ cho dòng điện phân cực không đổi và
đo sự thay đổi điện áp. Để có kết quả chính xác, cảm biến cần phải được
được hiệu chuẩn (hiệu chuẩn hai điểm là đủ do tính tuyến tính tốt) như
những biến đổi đáng kể giữa các thiết bị có thể xảy ra trong phạm vi ±30 °C.
19
Cảm biến nhiệt độ

Để đo chính xác hơn, sử dụng bóng bán dẫn lưỡng cực kết nối bằng diode. Một
lần nữa, một dòng điện không đổi được đặt qua điểm nối cực gốc-bộ phát, tạo ra
điện áp là hàm tuyến tính của nhiệt độ.
Có thể áp dụng độ lệch để chuyển đổi tín hiệu từ nhiệt độ tuyệt đối sang độ C
hoặc độ F. Thông thường, phạm vi hoạt động là 55°C đến +150°C.
Cảm biến nhiệt độ bán dẫn thường được phân loại theo loại tín hiệu đầu ra, có
thể là tín hiệu tương tự (điện áp và dòng điện), logic hoặc kỹ thuật
số. Ưu điểm chính của loại cảm biến này là dễ tích hợp vào mạch, độ chắc chắn
chung và chi phí thấp. Nhược điểm chính của chúng là những hạn chế về độ chính
xác và độ ổn định, thiết kế chip nhiệt thường kém và thời gian phản hồi chậm.
Cảm biến từ
Cảm biến từ bán dẫn phát hiện những thay đổi hoặc nhiễu loạn trong từ trường và chuyển
đổi những thay đổi này thành tín hiệu điện có thể đo được. Chúng có thể tạo ra thông
tin về các đặc tính, chẳng hạn như chuyển động có hướng, vị trí, góc quay, góc hoặc
dòng điện trong máy móc hoặc thiết bị. Chúng được sử dụng trong các thiết bị y tế như
máy thở để kiểm soát mức độ chuyển động; trong vỏ của các thiết bị điện tử tiêu dùng
để phát hiện việc mở và đóng thiết bị; và trong các kịch bản năng lượng tái tạo,
chẳng hạn như lắp đặt năng lượng mặt trời.
Ví dụ, trong lắp đặt năng lượng mặt trời trong nước, cảm biến từ tính được sử dụng
trong bộ biến tần điện để chuyển đổi điện do các tấm pin mặt trời tạo ra thành dòng
điện có thể sử dụng cho gia đình. Chúng cũng có thể được sử dụng để theo dõi mức sạc
của pin được sử dụng cùng với các tấm pin mặt trời để lưu trữ năng lượng. Các mạch
tích hợp từ tính bán dẫn phổ biến nhất áp dụng hiệu ứng Hall (được phát hiện bởi Edwin
Hall năm 1879) hoặc các nguyên lý từ điện trở (từ điện trở ansiotropic, khổng lồ hoặc
đường hầm).
20
Cảm biến từ
Cảm biến hiệu ứng Hall bao gồm một lớp bán dẫn loại p (hoặc loại n) mỏng
vật mang dòng điện liên tục. Khi thiết bị được đặt trong một
từ trường, độ chênh lệch điện áp đo được trên chất bán dẫn
phụ thuộc vào cường độ từ trường đặt vuông góc với
hướng của dòng điện. Các hạt mang điện (electron) chuyển động trong
từ trường chịu tác dụng của lực Lorentz (lực tác dụng bởi một
hạt tích điện khi nó chuyển động trong một trường điện từ) vuông góc với nhau
vào hướng chuyển động và hướng của từ trường.
Một điện áp gọi là điện áp Hall được tạo ra để phản ứng với lực Lorentz tác dụng lên
các electron. Điện áp này tỷ lệ thuận với cường độ của
từ trường đi qua vật liệu bán dẫn. Chất bán dẫn
các vật liệu có độ linh động điện tử cao, chẳng hạn như indium (In), indium
antimonide (InSb), indium arsenide (InAs), hoặc gallium arsenide (GaAs) là
thường được sử dụng trong các cảm biến hiệu ứng Hall
Cảm biến từ
Điện áp đầu ra thường tương đối nhỏ—không quá vài micro vôn— cần phải khuếch
đại và điều chỉnh tín hiệu để cải thiện độ nhạy và bù cho hiện tượng trễ (sự
khác biệt về đầu ra giữa giá trị đầu ra tăng và giảm đối với một đầu vào nhất
định). Trong các cảm biến thương mại, cảm biến, khuếch đại tín hiệu, điều chỉnh
điện áp và điều hòa tín hiệu được chứa trong một gói duy nhất.
Cảm biến hiệu ứng Hall thể hiện khả năng miễn dịch tốt với môi trường đối với
các vấn đề như bụi, rung và ẩm. Tuy nhiên, chúng có thể bị ảnh hưởng bởi các
nguồn từ thông khác ở gần nhau, chẳng hạn như những nguồn được tạo ra bởi dây
điện. Chúng bền chắc, không có tiếp xúc cơ học để cảm nhận. Tuy nhiên, chúng
chỉ có hiệu quả trong một khoảng cách giới hạn và không hoạt động ở khoảng cách
lớn hơn 10 cm trừ khi cường độ từ trường rất cao.
21
Đặc điểm cảm biến
Cảm biến cung cấp tín hiệu đầu ra để đáp ứng với phép đo vật lý, hóa học hoặc
sinh học và thường yêu cầu đầu vào điện để hoạt động; do đó, chúng có xu hướng
được mô tả trong thông số kỹ thuật của cảm biến (thường được gọi là “thông số
kỹ thuật”) hoặc bảng dữ liệu theo cách tương tự như các thiết bị điện tử.
Để thực sự hiểu các cảm biến và sự khác biệt của các cảm biến đo cùng một đại
lượng đo, cần phải hiểu hiệu suất của cảm biến
đặc trưng.
Phạm vi
Phạm vi là một đặc tính tĩnh và nó mô tả cả mức tối thiểu và

giá trị tối đa của đầu vào hoặc đầu ra. Thuật ngữ phạm vi thường được sử dụng trong
những cách sau trong biểu dữ liệu:
22
Phạm vi toàn thang đo mô tả các giá trị tối đa và tối thiểu của giá trị đo được
tài sản. Đầu vào quy mô đầy đủ thường được gọi là span.
Đầu ra toàn thang đo (FSO) là chênh lệch đại số giữa tín hiệu đầu ra được đo ở
mức kích thích đầu vào tối đa và kích thích đầu vào tối thiểu.
Khoảng cách (hoặc phạm vi động) mô tả các giá trị đầu vào tối đa và tối thiểu có
thể được áp dụng cho cảm biến mà không gây ra mức độ thiếu chính xác không thể
chấp nhận được.
Dải điện áp hoạt động mô tả đầu vào tối thiểu và tối đa
điện áp có thể được sử dụng để vận hành một cảm biến. Việc áp dụng điện áp đầu vào ngoài phạm
vi này có thể làm hỏng cảm biến vĩnh viễn.
23
Hàm chuyển
Đặc tính cảm biến mô tả mối quan hệ giữa đại lượng đo và tín hiệu điện đầu ra.
Mối quan hệ này có thể được biểu diễn dưới dạng bảng giá trị, biểu đồ hoặc công
thức toán học.
S = F(x)
Trong đó x là đại lượng đo và S là tín hiệu điện do cảm biến tạo ra.
Hàm truyền tuyến tính
Hàm truyền đơn giản nhất là hàm truyền tuyến tính, với biểu thức sau:
hình thức:
S = A + Bx
Trong đó A là độ lệch cảm biến và B là độ dốc cảm biến.
Trong thực tế, rất ít cảm biến thực sự tuyến tính, nhưng chúng được coi là có
đặc tính tuyến tính nếu đồ thị của đại lượng đo so với giá trị đầu ra gần như
là một đường thẳng trong phạm vi hoạt động được chỉ định.
Một đường thẳng lý tưởng, là một xấp xỉ tuyến tính của hàm truyền, được vẽ phổ
biến nhất bằng cách sử dụng một trong các phương pháp sau
24
Phương pháp điểm cuối: Đường thẳng
lý tưởng được vẽ giữa các giá trị ở
phạm vi trên và dưới của cảm biến.

Phương pháp này là
thường kém chính xác hơn phương pháp

phù hợp nhất.
Phương pháp phù hợp nhất: Còn được gọi là
tuyến tính độc lập, lý tưởng
đường thẳng có thể được định vị ở
bất kỳ cách nào nhằm giảm thiểu

những sai lệch giữa nó và
chức năng truyền tải thực tế của thiết bị.
25
Nhạy cảm
Độ nhạy là sự thay đổi đầu vào cần
thiết để tạo ra sự thay đổi đơn vị ở
đầu ra.
Nếu phản hồi của cảm biến là tuyến
tính, độ nhạy sẽ không đổi trên phạm
vi của cảm biến và bằng độ dốc của đồ
thị đường thẳng
Tác động môi trường
Đầu ra của cảm biến có thể bị ảnh hưởng bởi đầu vào môi trường bên ngoài cũng
như chính đại lượng đo. Những đầu vào này có thể thay đổi hoạt động của cảm
biến, do đó ảnh hưởng đến phạm vi, độ nhạy, độ phân giải và độ lệch của cảm biến.
Nếu cảm biến được vận hành ngoài các điều kiện này, bạn nên hiệu chỉnh lại cảm
biến trong các điều kiện mà nó sẽ
được dùng.
26
Sửa đổi đầu vào
Sửa đổi đầu vào sẽ thay đổi tuyến tính
độ nhạy của cảm biến. Điện áp

được cung cấp cho cảm biến, Vs, là
ví dụ phổ biến về sửa đổi

đầu vào vì nó có thể sửa đổi đầu ra
phạm vi của cảm biến, do đó
sửa đổi độ phân giải và
nhạy cảm.
Đầu vào can thiệp
Đầu vào gây nhiễu làm thay đổi

điểm chặn đường thẳng của cảm
biến. Nhiệt độ là một ví dụ phổ
biến về đầu vào gây nhiễu, vì nó
làm thay đổi độ lệch 0 của cảm

biến.
27
Độ trễ
Đầu ra của cảm biến có thể khác nhau đối
với một đầu vào nhất định, tùy thuộc vào
việc đầu vào tăng hay giảm. Hiện tượng
này được gọi là hiện tượng trễ và có thể
được mô tả là sự khác biệt về đầu ra
giữa giá trị đầu ra tăng và giảm đối với
một đầu vào nhất định.
Nghị quyết
Độ phân giải, còn gọi là độ phân biệt, là mức tăng nhỏ nhất của
đại lượng đo gây ra sự thay đổi có thể phát hiện được ở đầu ra.
Độ phân giải của các cảm biến hiện đại thay đổi đáng kể, do đó điều quan trọng là
hiểu độ phân giải cần thiết cho một ứng dụng trước khi chọn một
cảm biến.
Nếu độ phân giải cảm biến quá thấp đối với ứng dụng, những thay đổi nhỏ trong
đại lượng đo có thể không được phát hiện.
Tuy nhiên, một cảm biến có độ phân giải quá cao đối với ứng dụng sẽ
đắt tiền một cách không cần thiết.
28
Sự chính xác
Độ chính xác đề cập đến khả năng của cảm biến trong việc cung cấp đầu ra gần với giá trị
thực của đại lượng đo. Cụ thể, nó mô tả sai số dự kiến tối đa giữa tín hiệu đầu ra thực
tế và tín hiệu lý tưởng. Độ chính xác thường được mô tả liên quan đến khoảng cảm biến.
Ví dụ: nhiệt kế có thể được đảm bảo độ chính xác trong phạm vi 5 phần trăm của nhịp.
Vì độ chính xác tương đối với giá trị thực của đại lượng đo nên nó có thể được định lượng
dưới dạng sai số tương đối phần trăm bằng phương trình sau:
Độ lặp lại
Khả năng lặp lại là khả năng của cảm biến tạo ra cùng một đầu ra khi
đầu vào tương tự được áp dụng cho nó.
Thiếu khả năng lặp lại thường xảy ra do sự biến động ngẫu nhiên của đầu vào môi trường
hoặc lỗi của người vận hành.
29
Sức chịu đựng
Dung sai mô tả sự thay đổi trong kết quả đầu ra được báo cáo giữa một lô
các yếu tố tương tự do những khác biệt nhỏ trong sản xuất ngẫu nhiên. Nếu một
nhà sản xuất báo cáo dung sai là ―5 phần trăm, họ không thể bán bất kỳ cảm biến nào
nằm ngoài phạm vi này.
Thời gian đáp ứng
Cảm biến không thay đổi đầu ra ngay sau
khi thay đổi đầu vào. Khoảng thời gian
cần thiết để cảm biến
thay đổi đầu ra của nó từ trạng thái
trước đó thành giá trị trong dải dung
sai của giá trị chính xác mới
giá trị được gọi là thời gian đáp ứng
30
Miền ứng dụng

Do đó, thường có nhiều loại cảm biến để đo đại lượng quan tâm. Mỗi tùy chọn
cảm biến đều có những ưu điểm và nhược điểm riêng.
Những điều này phải được cân nhắc trong bối cảnh trường hợp sử dụng hoặc ứng
dụng đang được triển khai để xác định nên chọn công nghệ cảm biến nào.
Tùy thuộc vào ứng dụng cụ thể, điều này có thể liên quan đến sự kết hợp phức
tạp của các biến số cạnh tranh cần được xem xét kỹ lưỡng. Các yếu tố như loại
cảm biến, tùy chọn phần cứng, hình thức vỏ bọc và giao thức ứng dụng cần được
xem xét cẩn thận.
Bây giờ chúng ta hãy xem xét ngắn gọn những thách thức và yêu cầu chính đối với
các miền ứng dụng.
31
Cảm biến điện trở
Trình bày bởi

Nguyễn Trường Duy
GIỚI THIỆU
Các cảm biến dựa trên sự thay đổi điện trở của thiết bị rất
chung.
Đó là bởi vì có nhiều đại lượng vật lý ảnh hưởng đến điện trở của một
vật liệu.
Do đó, cảm biến điện trở được sử dụng để giải quyết nhiều vấn đề đo
lường. Điện trở phụ thuộc vào nhiệt độ cũng có thể bù nhiễu nhiệt trong các
hệ thống đo các đại lượng khác.
Các cảm biến điện trở khác nhau được phân loại theo đại lượng vật lý được đo
dưới dạng các biến cơ học, nhiệt, từ tính, quang học và hóa học.
GV: NGUYỄN TRƯỜNG DUY 17/3/2023 2
1
2.1 Chiết Áp
Chiết áp là một điện trở
thiết bị trượt tuyến tính hoặc quay

liên hệ. Sự kháng cự giữa
liên hệ đó và phía dưới
thiết bị đầu cuối là
trong đó r là điện trở suất, A là (a) Chiết áp lý tưởng (tuyến tính) được nối dưới dạng điện áp
tiết diện, l là chiều dài, x là dải phân cách
khoảng cách di chuyển từ (b) biểu tượng của nó; mũi tên chỉ ra rằng sự thay đổi điện trở phản
ứng với tác động cơ học. (c) Cần gạt nước cũng có thể
thiết bị đầu cuối dưới cùng và là
được kết nối với một đầu
phần độ dài tương ứng.
thiết bị đầu cuối để có được một điện trở thay đổi (biến trở).
GV: NGUYỄN TRƯỜNG DUY 17/3/2023 Trang 3
2.1 Chiết Áp
Những hạn chế của chiết áp
Đầu tiên, chúng ta giả sử rằng điện trở là đều dọc theo chiều dài l. Nhưng
điện trở không hoàn toàn đồng đều, điều này làm hạn chế tính tuyến tính của
chiết áp.
Thứ hai, chúng ta giả sử rằng tiếp điểm trượt tạo ra một biến đổi điện trở
trơn tru chứ không phải biến thiên theo bậc và do đó độ phân giải là vô hạn.
Nhưng điều đó không đúng đối với các phần tử điện trở quấn hoặc đối với chiết
áp nhựa dẫn điện.
Hơn nữa, hành trình cơ học thường lớn hơn hành trình điện.
2
2.1 Chiết Áp
Những hạn chế của chiết áp
Nếu chiết áp được cấp điện bằng điện áp xoay chiều, độ tự cảm của nó và
điện dung sẽ không đáng kể.
Điện trở trôi theo nhiệt độ.
Mạch đo có trở kháng đầu vào tương đối thấp có điện trở
hiệu ứng tải lên chiết áp và một số bộ phận của chiết áp có thể
nhiệt vượt quá công suất định mức của họ.
Ma sát và quán tính của cần gạt nước cũng hạn chế tính hợp lệ của mô hình vì chúng thêm vào
tải cơ học lên hệ thống đang được đo.
Cuối cùng, tiếng ồn liên quan đến độ phân giải giới hạn tiếp điểm gạt nước.
2.1 Chiết Áp
Chiết áp kép được vận hành bằng một cần điều khiển
(cần điều khiển) di chuyển theo bốn góc phần tư để
xác định vị trí một điểm trong mặt phẳng. Chuyển động
dọc theo trục x điều khiển Rx và chuyển động dọc theo
trục y điều khiển Ry.
Nếu cả hai chiết áp được cung cấp bởi cùng một điện
áp thì điện áp đầu ra là
trong đó 0 , 1. Tại tâm của mặt phẳng, chúng ta có
= =0,5 và điện áp thu được là (0V, 0V).
3
2.1 Chiết Áp
2.1 Chiết Áp
Chiết áp điện phân hoặc chất lỏng có mục đích sắp xếp cụ thể
để đo độ nghiêng
Cảm biến độ nghiêng dựa trên chiết áp.
Chiết áp chất lỏng. Một quả bóng lăn đóng vai trò như một cái gạt nước trong một con lắc.
4
2.1 Chiết Áp
Trong chiết áp tuyến tính được cung cấp bởi điện áp một chiều, điện trở đầu ra Ro
là sự kết hợp song song của RT.(1- ). và RT
Điện áp đầu ra mạch hở là
trong đó 0 ≤ 1.
Điện áp đầu ra phụ thuộc vào cả điện áp nguồn và vị trí gạt nước. Tỷ số
giữa điện áp đầu ra và điện áp nguồn chỉ phụ thuộc vào vị trí gạt nước.
2.1 Chiết Áp
Cảm biến mức
Cảm biến mức có phản hồi R (0 1)

nhưng không có cần gạt nước. Có dải đế
bằng thép không gỉ với sọc tiếp xúc màu
vàng ở một bên.
5
2.2 THIẾT BỊ CỨNG
Nguyên tắc cơ bản: Hiệu ứng áp điện
Máy đo biến dạng dựa trên sự thay đổi điện trở của dây dẫn hoặc
chất bán dẫn khi chịu ứng suất cơ học.
Điện trở của một dây dẫn có chiều dài l, tiết diện A và
điện trở suất là
Khi dây chịu ứng suất dọc, mỗi đại lượng trong ba đại lượng đó
ảnh hưởng đến sự thay đổi của R và do đó R trải qua một sự thay đổi được đưa ra bởi
Sự thay đổi độ dài xảy ra khi một lực
F tác dụng lên một sợi dây trong giới hạn đàn hồi được
cho bởi định luật Hooke,
trong đó E là mô đun Young (cụ thể cho từng vật liệu và phụ
thuộc vào nhiệt độ), là ứng suất cơ học và là biến dạng
(biến dạng đơn vị) thường được đưa ra trong “vi biến dạng”
6
(1 microstrain = 1 = 10-6 m/m)
Xét một sợi dây ngoài một
chiều dài l có kích thước ngang t. MỘT
ứng suất dọc thay đổi cả l và t.
Theo định luật Poisson, ta có
trong đó là tỷ số Poisson. Dấu trừ cho biết rằng

kéo dài ngụ ý co thắt. Thông thường, 0 < < 0,5; nó là vậy, vì
ví dụ: 0,17 đối với gang, 0,303 đối với thép và 0,33 đối với
nhôm và đồng. Lưu ý rằng để duy trì âm lượng
không đổi, nó phải là = -0,5, gần như đúng với trường hợp
cao su.
Đối với dây có tiết diện tròn đường kính D, ta có
Sự thay đổi điện trở suất do ứng suất cơ học được gọi là hiệu ứng áp điện. Hiệu ứng
này là kết quả của sự thay đổi biên độ dao động trong mạng kim loại. Sự kéo dài theo
chiều dọc làm cho biên độ đó tăng lên, làm giảm độ linh động của electron, do đó làm
tăng điện trở suất. Trong kim loại, phần trăm thay đổi của điện trở suất và thể tích
tỷ lệ thuận với nhau:
7
trong đó C là hằng số Bridgman. Đối với các hợp kim thông thường có chủng
thiết bị đo được thực hiện, 1,13 < C < 1,15. Đối với bạch kim, C = 4,4.
Sự thay đổi về âm lượng có thể được biểu thị bằng
Do đó nếu vật liệu đẳng hướng thì nằm trong giới hạn đàn hồi
trong đó G là hệ số đo, được định nghĩa là hệ số bên trong ngoặc vuông.
Từ các giá trị đã cho của và C, G 2. Đối với đàn hồi G 3.2, đối với bạch kim G 6.
số 8
Do đó, với những thay đổi nhỏ, điện trở của dây kim loại là
trong đó R0 là lực cản khi không có ứng suất tác dụng và x = G .
Thông thường, x < 0,02.
Ví dụ 2.1 Một máy đo biến dạng 350 có G = 2.1 được gắn vào một tấm nhôm
thanh chống (E = 73 GPa). Đường kính ngoài của thanh chống là 50 mm và bên trong
đường kính là 47,5 mm. Tính sự thay đổi điện trở khi thanh chống
hỗ trợ tải trọng 1000 kg.
Từ
Chúng tôi có
9
Theo hình học, diện tích chịu lực là
Do đó, với R = 350 , G = 2,1, F = 1000 kg = 9800 N và E = 73 GPa,
chúng tôi có
nhỏ hơn 0,15% điện trở ban đầu.
Khi chất bán dẫn bị căng thẳng, ngoài sự thay đổi kích thước của nó, cả số lượng hạt
tải điện và độ linh động trung bình của chúng cũng thay đổi. Không giống như kim
loại, sự thay đổi điện trở suất dưới ứng suất chiếm ưu thế so với sự thay đổi kích thước.
Độ lớn và dấu của hiệu ứng áp điện phụ thuộc vào chất bán dẫn cụ thể, nồng độ chất mang của
nó và hướng tinh thể đối với ứng suất tác dụng.
Hệ số đo thu được là từ khoảng 40 đến khoảng 200. Chất bán dẫn có số hạt mang tương đối
thấp mang lại hệ số đo lớn, nhưng chúng nhạy cảm với nhiệt độ và phụ thuộc vào ứng suất;
nghĩa là chúng phi tuyến.
Chất bán dẫn có số lượng hạt tải điện tương đối cao có hệ số đo nhỏ hơn, nhưng chúng ít
phụ thuộc vào nhiệt độ và ứng suất hơn.
10
Có nhiều hạn chế mà chúng ta phải xem xét liên quan đến nguyên tắc đo lường này để có được thông tin hợp
lệ.
Đầu tiên, ứng suất tác dụng không được vượt quá giới hạn đàn hồi của thiết bị đo. Độ biến dạng không
được vượt quá 4% chiều dài và phạm vi của thiết bị đo, khoảng từ 3000 đối với thiết bị đo bán dẫn
đến 50.000 đối với thiết bị đo kim loại.
Thứ hai, phép đo sẽ chỉ đúng nếu tất cả ứng suất được truyền tới thiết bị đo. Điều này đạt được bằng
cách liên kết cẩn thận thiết bị đo bằng dây đàn hồi .
chất kết dính cũng phải ổn định với thời gian và nhiệt độ. Đồng thời, thiết bị đo phải được cách điện
với vật thể mà nó bám vào và được bảo vệ khỏi môi trường.
Các thông số của máy đo biến dạng lá:
1- chiều rộng ma trận;
2- chiều rộng lưới;
3- chiều dài ma trận (sóng mang);
4- vòng cuối;
5- chiều dài lưới hoạt động;
6- chiều dài tổng thể của thiết bị đo;
7- dấu căn chỉnh. Độ dày điển hình
là 3,8 m và 5 m, tùy thuộc vào
loại vật liệu.
11
Nhiệt độ can thiệp thông qua một số cơ chế. Nó ảnh hưởng đến điện trở
của vật liệu, kích thước của nó , kích thước và mô đun Young của vật liệu hỗ trợ.
Sự nhiễu nhiệt độ có thể được bù đắp bằng các thiết bị đo giả
thực hiện phương pháp đầu vào đối lập.
Sự giao thoa nhiệt độ mạnh hơn trong các máy đo biến dạng bán dẫn. Trong các thiết
bị đo tự bù nhiệt độ, sự gia tăng điện trở suất khi nhiệt độ tăng được bù bằng sự
giảm điện trở do sự giãn nở của vật liệu nền.
Đo điện trở của máy đo biến dạng hàm ý có dòng điện chạy qua
xuyên qua nó, gây ra sự nóng lên
Lắp đặt thiết bị đo biến dạng lá:
1- vật liệu nền;
2- chất kết dính;
3- máy đo biến dạng;
4- thiết bị đầu cuối hàn;
5- hàn;
6- dây dẫn;
7- rào cản môi trường.
12
Các loại và ứng dụng
Các thiết bị đo biến dạng được làm bằng các kim loại khác nhau như
hợp kim cao cấp (Cu55Ni45),
constantan (Cu57Ni43),
karma (Ni75Cr20FexAly),
nichrome (Ni80Cr20), và
isoelastic (Ni36Cr8Fe55.5Mo0.5), và chúng
cũng được làm từ chất bán dẫn như silicon và germanium.
Máy đo biến dạng bán dẫn và kim loại liên kết và không liên kết có thể đơn giản
hoặc nhiều (hoa hồng) và có thể được thiết kế cho các phần tử đàn hồi cụ thể
13
14
Các ứng dụng khác nhau của máy đo biến dạng trong các phép đo cơ học
Một dầm đúc hẫng với một Một thiết bị đo bổ sung trong cùng một thiết
thiết bị đo hoạt động bị đúc hẫng nhưng được đặt trực giao với
thiết bị đo đầu tiên, giúp tăng độ nhạy và
cũng bù cho sự thay đổi nhiệt độ
Load cell kiểu cột với ba cặp cảm Hai chiều dọc và hai chiều ngang
biến biến dạng dọc và ngang Thiết bị đo dòng
15
Chỉ có hai thiết bị đo đang hoạt

động và hai thiết bị đo giả
Có hai bộ thiết bị đo biến dạng để

cảm giác cắt căng
MÁY DÒ NHIỆT ĐIỆN TRỞ (RTD)
RTD (máy dò nhiệt độ điện trở) là máy dò nhiệt độ dựa trên sự thay đổi của điện
trở. Kim loại phổ biến nhất cho ứng dụng này là bạch kim, đôi khi được gọi là
PRT (nhiệt kế điện trở bạch kim)
Ký hiệu của RTD.
Ký hiệu tiêu chuẩn Cho phép ba thiết bị đầu cuối Giấy phép bốn thiết bị đầu cuối
bồi thường chì bồi thường chì
16
Điện trở tăng khi nhiệt độ tăng. Mối quan hệ này có thể
được viết là
trong đó R0 là điện trở ở nhiệt độ tham chiếu T0. Các hệ số có thể được xác định từ các
phép đo điện trở ở nhiệt độ điểm cố định: 0,01oC (điểm ba của nước), 100oC (nước sôi),
660,323oC (nhôm đóng băng), v.v.
Đối với các cảm biến khác, RTD phải ổn định. Sự trôi dạt theo thời gian và nhiệt, đặc biệt
ở nhiệt độ cao, hạn chế độ phân giải nhiệt độ. Ngoài ra, mỗi kim loại được sử dụng đều
tuyến tính trong một khoảng nhiệt độ giới hạn.
Ưu điểm chính của RTD là độ nhạy cao (gấp 10 lần so với cặp nhiệt điện), độ lặp lại cao, độ
ổn định và độ chính xác lâu dài đối với bạch kim (0,1oC/năm đối với đầu dò công nghiệp,
0,0025oC/năm đối với đầu dò trong phòng thí nghiệm) và chi phí thấp . chi phí cho đồng và
niken. RTD sử dụng kết nối đồng chi phí thấp, một lợi thế so với cặp nhiệt điện. Đối với kim
loại được sử dụng làm đầu dò RTD, trong phạm vi tuyến tính tương ứng của chúng, (2.19)
giảm xuống
17
trong đó là hệ số điện trở nhiệt độ (TCR), được tính từ điện trở đo

được ở hai nhiệt độ tham chiếu (ví dụ: 0oC và 100oC):
đôi khi được gọi là độ nhạy tương đối và phụ thuộc vào tham chiếu
nhiệt độ

Ví dụ: Một đầu dò PRT đã cho có 100 và = 0,00389 ( / )/K ở 0oC.
Tính độ nhạy và hệ số nhiệt độ của nó ở 25oC và 50oC. Độ nhạy là độ
dốc của đường cong điện trở nhiệt, ở đây là đường thẳng, do đó có độ dốc không
đổi. Độ nhạy là
S = 0R0 = 25R25 = 50R50

Đối với cảm biến đã cho,
Ở 25oC,
18
Ở 50oC,
Do đó, hệ số nhiệt độ giảm khi nhiệt độ tăng.
Bảng 2.3 đưa ra một số dữ liệu về kim loại được sử dụng trong RTD.
Niken có độ nhạy cao hơn nhưng có phạm vi tuyến tính nhỏ hơn bạch kim.
Đồng có dải tuyến tính rộng nhưng bị oxy hóa ở nhiệt độ vừa phải.
Platinum mang lại hiệu suất tốt nhất; và đầu dò 100 , được chỉ định là
Pt100, là một tiêu chuẩn công nghiệp.
19
Để ngâm trong chất lỏng, có những mẫu bao gồm một sợi dây mỏng
quấn quanh một dạng gốm không cảm ứng để cho phép một số tương đối
chuyển động để nhường chỗ cho sự mở rộng khác biệt
Cảm biến bạch kim cho đầu dò nhiệt độ
sử dụng các yếu tố điện trở vết thương sử dụng các phần tử điện trở màng
20
Đầu dò bạch kim cung cấp đầu ra ổn định và chính xác và vì lý do đó, chúng được sử dụng
làm tiêu chuẩn hiệu chuẩn để nội suy giữa các nhiệt độ điểm cố định trong Thang nhiệt
độ thực tế quốc tế (ITPS) từ -259,3467oC (ba điểm của hydro) đến 961,78 C ( điểm đóng
băng của bạc).
Đầu dò công nghiệp tiêu chuẩn có thể hoán đổi cho nhau với độ chính xác từ
0,25oC đến 2,5oC.
Trong những ứng dụng mà bạch kim quá đắt, niken và
hợp kim là thích hợp hơn.
Ở nhiệt độ rất cao, vonfram được sử dụng. Để giảm tính phi tuyến
hoạt động của nhiệt kế bạch kim ở nhiệt độ cao, một hỗn hợp
nhiệt kế điện trở đã được đề xuất. Nó bao gồm việc thêm một giây
kim loại (quí) bù cho 2 in (2.19).
Vàng và rhodium được ưa chuộng hơn. Đối với nhiệt kế đông lạnh có
Đầu dò điện trở màng mỏng bằng thủy tinh carbon, germani và rhodium-sắt.
Đầu dò bạch kim màng mỏng nhỏ hơn từ 20 đến 100 lần, giá thành thấp hơn
đầu dò quấn dây và mang lại hiệu suất tương tự, nhưng trong một
phạm vi nhiệt độ giảm đi phần nào . Chúng được sử dụng rộng rãi để kiểm soát
các quá trình nhiệt trong công nghiệp hóa chất, trong ô tô (khí thải
điều khiển, quản lý động cơ), trong các thiết bị gia dụng (lò nướng) và các tòa nhà
(hệ thống sưởi ấm trung tâm).
21
Đầu dò nhiệt độ bạch kim cũng được sử dụng để đo vận tốc chất lỏng trong
cái gọi là máy đo gió dây nóng.
Nó dựa trên một sợi dây rất mỏng (đường kính 25 mm) và ngắn (0,2 mm đến 25
mm), được giữ ở hai đầu của nó trên một giá đỡ cứng. Một dòng điện đi qua nó
để tạo ra sự tự sưởi ấm.
Khi nhúng vào chất lỏng, dây nguội đi nhờ sự đối lưu và
do đó điện trở của nó giảm.

Cảm biến khí xúc tác sử dụng một cuộn dây
bạch kim mảnh và đo nhiệt độ của nó khi được
làm nóng ở khoảng 450oC.
(a) Cảm biến khí xúc tác dựa trên

hạt thiêu kết với một nhúng
(b) sử dụng một viên đạn thụ động được kết nối với
cuộn dây bạch kim (pellistor) tạo thành một nửa cầu cho nhiệt độ và
bù độ ẩm.
22
NHIỆT ĐỘ
Người mẫu
Thermistor xuất phát từ ''điện trở nhạy nhiệt'' và áp dụng cho

điện trở phụ thuộc vào nhiệt độ không dựa trên dây dẫn như
RTD nhưng trên chất bán dẫn. Chúng được chỉ định là NTC khi có
hệ số nhiệt độ âm và như PTC khi có hệ số nhiệt độ dương
hệ số nhiệt độ.
Ký hiệu chuẩn cho điện trở có sự phụ thuộc phi tuyến vào nhiệt độ
TCR dương
TCR âm
NHIỆT ĐỘ
Đối với điện trở nhiệt NTC, trên khoảng 50oC , sự phụ thuộc gần như
số mũ:
trong đó R0 là điện trở ở 25oC hoặc nhiệt độ tham chiếu khác và T0 là nhiệt
độ này tính bằng Kelvin. Với R0 = 25oC, T0 = 273,15oK + 25oK 298oK.
B gọi là nhiệt độ đặc trưng của vật liệu; và giá trị của nó, phụ thuộc vào
nhiệt độ, thường nằm trong khoảng từ 2000 K đến 4000 K.
23
NHIỆT ĐỘ
B(TC) = B(1 - (TC – 100))
trong đó TC là nhiệt độ tính bằng độ C (TC = T – 273,15 K) và =
2,5 x 10-4/K đối với TC >100oC và = 5 x 10-4/K đối với TC < 100oC. B
thay đổi từ đơn vị này sang đơn vị khác ngay cả đối với cùng một vật liệu, nhưng có
các đơn vị có thể hoán đổi cho nhau có sẵn với chi phí bổ sung.
độ nhạy tương đối, là
thể hiện sự phụ thuộc phi tuyến vào T. Ở 25oC và lấy B = 4000 K, = -4,5 %/K,
cao hơn gấp 10 lần so với đầu dò Pt100. Nói chung, các đơn vị có điện trở cao
hơn có TCR cao hơn.
NHIỆT ĐỘ
Ví dụ: Một mô hình thay thế cho (2.22) là RT = A.eB/T . Xác định A cho một đơn vị
có B = 4200 K và 100 k ở 25oC. Tính giá trị của ở 0oC và
100oC.
Ở 0oC (= 273,15 K),
Ở 50oC (= 323,15 K),
24
NHIỆT ĐỘ
B có thể được tính từ điện trở nhiệt điện trở NTC tại hai điểm tham chiếu
nhiệt độ T1 và T2. Nếu điện trở đo được lần lượt là R1

và R2, lần lượt thay các giá trị này vào (2.22) và giải B thu được
B sau đó được chỉ định là BT1/T2 . Ví dụ: B25/85
NHIỆT ĐỘ
Ví dụ: Tính B cho nhiệt điện trở NTC có 5000 ở 25oC và 1244
ở 60oC.
Lưu ý rằng kết quả không phụ thuộc vào nhiệt độ tham chiếu.
25
NHIỆT ĐỘ
Đối với một điện trở nhiệt điển hình, mô hình hai tham số mang lại độ chính xác
0,3oC cho khoảng 50oC . Mô hình ba tham số giảm sai số xuống 0,01oC trong khoảng
100oC. Mô hình sau đó được mô tả bằng phương trình thực nghiệm của Steinhart và
Hart,
hoặc, cách khác, bằng
Đo RT ở ba nhiệt độ đã biết và giải hệ phương trình thu được là a, b và c.
NHIỆT ĐỘ
Có hai loại nhiệt điện trở PTC khác nhau

đặc điểm phụ thuộc vào thành phần và
mức doping.
Điện trở nhiệt PTC bằng gốm, đôi khi được gọi là
điện trở, cho thấy sự thay đổi đột ngột về điện trở
khi chúng đạt đến nhiệt độ Curie.
TCR của chúng dương, lên tới 100 %/C, trong

khoảng nhiệt độ hẹp.
Ngược lại thì âm hoặc không đáng kể. Các

nhiệt độ chuyển mạch được định nghĩa là
tương ứng với điện trở gấp đôi mức tối thiểu của nó
giá trị.
26
NHIỆT ĐỘ
Điện trở nhiệt PTC dựa trên silicon pha

tạp có độ dốc thấp theo nhiệt độ và được
gọi là nhiệt độ hoặc silistor. Trong
khoảng nhiệt độ từ -60oC
đến +150oC, điện trở silicon tuân theo định

luật
trong đó T ở Kelvins.
NHIỆT ĐỘ
Các loại nhiệt điện trở và ứng dụng

Các hình dạng khác nhau của nhiệt điện trở NTC
27
NHIỆT ĐỘ
Các loại nhiệt điện trở và ứng dụng
Các hình dạng khác nhau của nhiệt điện trở NTC
NHIỆT ĐỘ
28
NHIỆT ĐỘ
Loại ứng dụng đầu tiên của điện trở nhiệt là những ứng dụng dựa trên hệ thống
sưởi bên ngoài của điện trở nhiệt, được sử dụng trong đo nhiệt độ, điều khiển
và bù nhiệt độ. Phân loại thứ hai bao gồm các ứng dụng dựa trên việc làm nóng
nhiệt điện trở có chủ ý thông qua mạch đo.
Nhóm thứ hai này bao gồm các phép đo lưu lượng, mức chất lỏng, chân không và
phân tích thành phần khí.
Trong tất cả các trường hợp này đều có sự thay đổi độ dẫn nhiệt của
môi trường xung quanh nhiệt điện trở.
Nhóm thứ hai này cũng bao gồm điều khiển âm lượng và công suất tự động, thời gian
các ứng dụng trì hoãn và triệt tiêu tạm thời.
NHIỆT ĐỘ
Mạch trong Hình 2.20a phù hợp để đo nhiệt độ
trong một phạm vi giới hạn, ví dụ như mạch nước
làm mát trong

ô tô.
Nó bao gồm một pin, một điện trở điều chỉnh nối
tiếp, một nhiệt điện trở và một microampe.
Hình 2.20a
Dòng điện trong mạch là hàm phi tuyến của
nhiệt độ do nhiệt điện trở, nhưng thang đo của

microampe có thể
được đánh dấu tương ứng.
29
NHIỆT ĐỘ
Một ứng dụng bù nhiệt. Mục đích ở đây là để bù

cho độ nhạy nhiệt độ không mong muốn của cuộn
dây rơle đồng.
Đồng có TCR dương. Việc bổ sung nối tiếp một điện
trở có hệ số nhiệt độ âm dẫn đến toàn bộ mạch có
hệ số nhiệt độ không đáng kể.
NHIỆT ĐỘ
Một cách đơn giản để thực hiện phép tính phụ thuộc vào nhiệt độ
hành động điều khiển.
Khi nhiệt độ môi trường tăng lên trên mức cho trước
ngưỡng, điện trở nhiệt điện trở giảm
đủ để cho phép dòng điện có khả năng chạy qua
chuyển mạch rơle.
Điện trở có thể điều chỉnh cho phép sửa đổi
điểm chuyển mạch.
30
NHIỆT ĐỘ
Mạch có thể kiểm soát mức chất lỏng. Điện áp nguồn
phải đủ cao để làm nóng thiết bị

nhiệt điện trở cao hơn môi trường xung quanh.
Khi mức chất lỏng đạt đến nhiệt điện trở và nó

nguội đi, điện trở của nó tăng giá trị và dòng
điện giảm, do đó chuyển mạch rơle.
Phương pháp này được áp dụng để đo mức dầu bôi
trơn trên ô tô.
NHIỆT ĐỘ
Mạch được thiết kế để trì hoãn thời gian. Rơle

không chuyển mạch cho đến khi nhiệt điện trở đủ nóng
để cho dòng điện cao hơn chạy
qua. Điện trở nhiệt NTC có thể hạn chế dòng điện
chạy qua điốt, bộ ngắt mạch và công tắc bằng cách
đặt chúng nối tiếp.
Điện trở ban đầu của nhiệt điện trở NTC đủ cao để
hạn chế dòng điện ở mức an toàn. Khi
thời gian trôi qua, điện trở nhiệt NTC nóng lên do hiệu
ứng Joule và giá trị của nó giảm xuống, cho phép
dòng điện định mức của mạch chạy với tải trọng tối thiểu.
31
NHIỆT ĐỘ
Một số ứng dụng được đề xuất cho nhiệt điện trở PTC chuyển mạch.
Mạch được sử dụng để khởi động động cơ một pha. Khi công
tắc được đóng lần đầu tiên, PTC
nhiệt điện trở có điện trở thấp và cho phép
dòng điện cao chạy qua cuộn dây khởi động.
Khi nhiệt điện trở PTC nóng lên do
dòng điện, điện trở của nó tăng đến mức rất cao, do đó làm
giảm dòng điện xuống giá trị rất thấp.
NHIỆT ĐỘ
Mạch này thường được sử dụng để
tự động khử từ, cho
ví dụ về bộ màu TV.
Trong các thiết bị này, khả năng khử từ cao
dòng điện phải chạy khi lần đầu tiên
đã bật và sau đó nó phải
giảm xuống giá trị thấp.
32
NHIỆT ĐỘ
Việc triệt tiêu tạm thời khi công tắc mở ra rất hữu ích để giảm cả hư hỏng tiếp điểm
và sự lan truyền nhất thời tới bất kỳ mạch nhạy cảm nào gần đó. Khi mở
công tắc, nhiệt điện trở PTC có điện trở thấp

vì không có dòng điện chạy qua nó.
Nhưng theo thời gian, điện trở của nó tăng lên và phần lớn năng lượng tích
trữ trong tải cảm ứng bị tiêu tán trong nhiệt điện trở PTC thay vì tiêu tán
thành hồ quang điện giữa các tiếp điểm công tắc.
Nam châm điện trở
Một từ trường H tác dụng lên một dây dẫn mang dòng điện tạo ra một lực Lorentz
lực tác dụng lên electron:
trong đó e = -q = -1,6 C là điện tích của electron và v là vận tốc của
nó. Lực này làm lệch hướng một số electron khỏi đường đi của chúng. Nếu thời gian
hồi phục do va chạm mạng tương đối ngắn, sự trôi dạt của electron sang một phía của
dây dẫn sẽ tạo ra một điện trường ngang (điện áp Hall) ngăn cản sự trôi dạt của
electron tiếp theo.
Nếu thời gian thư giãn đó tương đối lớn thì sẽ có sự gia tăng đáng kể về
điện trở, gọi là hiệu ứng từ điện trở.
33
Trong hầu hết các vật dẫn điện, hiệu ứng

từ điện trở là bậc hai khi
so với hiệu ứng Hall. Nhưng điện trở của
các vật liệu dị hướng, chẳng hạn như vật
liệu sắt từ, phụ thuộc vào mô men từ của
chúng theo
Điện trở R theo hướng của
dòng điện đạt cực đại đối với từ hóa
song song với dòng điện và tối thiểu đối với một
từ hóa ngang với dòng điện.
Từ trường bên ngoài gây ra
vector từ hóa để quay và thay đổi
góc , do đó điện trở, phụ thuộc vào
cường độ trường
34
Mối quan hệ giữa sự thay đổi điện trở và cường độ từ trường không phải là
tuyến tính. Đối với một trường vuông góc với dòng điện, mối quan hệ đó là
trong đó Hs ( H) là cường độ trường ngoài cần thiết để từ hóa quay 90o so

với hướng của dòng điện (trường bão hòa).
Tuy nhiên, việc thiên vị phần tử có trường hằng số tương đối lớn sẽ tuyến
tính hóa đáp ứng.
Trường thiên vị đạt được góc quay 45o giữa từ hóa và hướng hiện tại mang
lại phản hồi
gần như tuyến tính đối với H/Hs << 1. Thương số (Rmax – Rmin)/Rmin được gọi
là tỷ số từ điện trở.
35
Hiệu ứng Vectơ từ hóa Từ trường bên ngoài

từ điện trở khổng lồ không hoạt động có căn chỉnh
xuất hiện trong nhiều hướng ngược lại với mômen từ của cả hai
lớp mỏng không từ các lớp từ tính: Chúng lớp từ, do đó làm
tính và từ tính. cũng có thể nằm giảm điện trở của
ngang - nghĩa là ở cấu trúc.
trong và ngoài mặt
phẳng giấy.
Nếu chúng ta bỏ qua nhu cầu tuyến tính hóa và sự phụ thuộc nhiệt của điện trở
thì từ điện trở dị hướng (AMR) và từ điện trở khổng lồ (GMR) mang lại một số
lợi thế so với các cảm biến từ tính khác. Đầu tiên, mô hình toán học
của họ là một hệ thống có bậc không. Điều này khác với các cảm biến cảm ứng, phản
ứng của chúng phụ thuộc vào đạo hàm theo thời gian của mật độ từ thông.
Khi so sánh với các cảm biến hiệu ứng Hall, cũng có mô hình bậc 0 và đo lường
không tiếp xúc, điện trở từ cho thấy độ nhạy, phạm vi nhiệt độ (-55oC đến
200oC) và dải thông tần số (từ dc đến 5 MHz và thậm chí 100 MHz) tăng lên so
với với 25 kHz đối với cảm biến hiệu ứng Hall thông thường).
36
Các ứng dụng được đề xuất cho điện trở từ có thể được chia thành các ứng dụng
liên quan đến phép đo trực tiếp từ trường và những ứng dụng liên quan đến phép
đo các đại lượng khác thông qua sự biến thiên của từ trường.
Nhóm đầu tiên bao gồm đo dòng điện, điều hướng la bàn dựa trên việc đo hai thành
phần của từ trường Trái đất, ghi âm từ tính (không nhạy cảm với biến động tốc
độ băng), ổ đĩa máy tính, máy đọc thẻ tín dụng, thẻ giá được mã hóa từ tính
và sân bay và hệ thống an ninh bán lẻ.
Nhóm thứ hai bao gồm phép đo chuyển vị tuyến tính và góc, góc quay, vị trí và
góc, công tắc tiệm cận và phát hiện kim loại sắt từ.
37
Trong tất cả các ứng dụng này, vật chuyển động phải biến đổi từ trường. ĐẾN
để thực hiện được điều này, nó phải là một vật thể bằng kim loại hoặc một vật thể có vỏ kim loại
bao phủ hoặc nhận dạng được đặt trong một từ trường không đổi, hoặc chuyển động
phần tử được phát hiện phải có nam châm vĩnh cửu.
Cảm biến từ điện trở phù hợp với các ứng dụng dựa trên phép đo góc.
Chúng được áp dụng cho vị trí ga ô tô, vị trí bàn đạp ga,
đo tốc độ bánh xe, cam và trục khuỷu , hệ thống chống bó cứng phanh
(ABS), kiểm soát chống trượt (ASC), điều chỉnh đèn pha tự động, máy đo tốc độ,
đồng hồ đo đường, phát hiện ô tô trong hệ thống điều khiển giao thông [dựa trên
phương tiện đi qua làm biến dạng từ trường Trái đất (hơn 1 mT)],
cần điều khiển để nghiêng bàn y tế và định vị van.

ĐIỆN TRỞ PHỤ THUỘC ÁNH SÁNG
Điện trở phụ thuộc ánh sáng (LDR) - điện trở quang, chất quang dẫn - dựa vào sự biến
đổi điện trở trong chất bán dẫn do tác dụng của bức xạ quang học (bức xạ điện từ có
bước sóng từ 1 mm đến 10 nm - 300 GHz đến 30 PHz).
Ký hiệu chuẩn Mô hình chi phí thấp được gói

gọn trong nhựa trong suốt
38
Thời gian đáp ứng của LDR phụ thuộc vào vật liệu, mức độ chiếu sáng,
lịch sử chiếu sáng và nhiệt độ môi trường.
Thời gian tăng là thời gian điện trở đạt 63% giá trị cuối cùng
khi được chiếu sáng và nó thường được biểu thị bằng mili giây.
Thời gian rơi là thời gian cần thiết để điện trở giảm xuống còn 37% giá trị cuối cùng khi bị
tối và được biểu thị bằng mili giây hoặc tính bằng kilohm trên giây. Lưu trữ trong bóng tối
làm chậm phản ứng.
LDR cũng nhạy cảm với nhiệt độ, điều này ảnh hưởng đến độ nhạy của chúng với bức xạ tới, đặc
biệt đối với chiếu sáng ở mức độ thấp, vì nhiệt độ gây ra sự hình thành lỗ electron nhiệt.
LDR phản ứng chậm hơn ở nhiệt độ lạnh hơn. Nhiệt độ cũng gây ra hiện tượng
Nhiễu nhiệt xuất hiện dưới dạng dao động dòng điện khi đặt điện áp vào
tới điện trở quang để đo nó.
Do có độ nhạy cao và đáp ứng phổ nên LDR là cảm biến

được lựa chọn cho các ứng dụng liên quan đến ánh sáng khả kiến.
39
MÁY ĐO ĐỘ ẨM TRỞ
Độ ẩm là lượng hơi nước có trong chất khí. Độ ẩm là lượng nước được hấp
thụ hoặc bị hấp phụ ở dạng lỏng hoặc rắn. Khối lượng
hơi nước chứa trong một thể tích khí nhất định được gọi là độ ẩm tuyệt đối (g/
m3). Cái thường được
đo là độ ẩm tương đối (RH), được định nghĩa là áp suất riêng phần của hơi nước
hiện diện theo phần trăm áp suất cần thiết để khí bão hòa ở nhiệt độ nhất định.
Hầu hết các chất cách điện đều có điện trở suất giảm rõ rệt (và độ thấm điện
tăng) khi hàm lượng nước của chúng tăng lên. Nếu chúng ta thêm
môi trường hút ẩm, chẳng hạn như lithium clorua (LiCl), thì điện trở suất giảm
rõ rệt hơn. Đo sự thay đổi của điện trở sẽ tạo ra ẩm kế điện trở (hoặc `` độ
ẩm '').
40
Có ba loại cảm biến độ ẩm điện trở cơ bản , dựa trên môi trường hút ẩm: muối (LiCl, BaF2,
P2O5), polymer dẫn điện hoặc bề mặt đã được xử lý.
Polymer dẫn điện có muối thay thế. Chúng bị ion hóa khi thấm nước và các ion
có thể di chuyển bên trong chúng. Cảm biến dựa trên sự
thay đổi điện trở polyme số lượng lớn có khả năng chống ô nhiễm bề mặt vì chất
gây ô nhiễm không thể xâm nhập vào polyme, chính xác ở RH cao và tiết kiệm.
Chúng kém chính xác hơn ở RH < 15% vì khó đo được mức độ ion hóa yếu. Phản
ứng về thời gian của chúng chậm vì các phân tử nước phải thấm vào phần lớn vật
liệu để tác động hoàn toàn đến chỉ số điện trở.
Hơn nữa, chúng dễ bị ảnh hưởng bởi các hóa chất có đặc tính tương tự như
gốc polyme. Cảm biến dựa trên sự thay đổi điện trở trên bề mặt được xử lý
nhanh hơn nhưng dễ bị ô nhiễm bề mặt.
So với ẩm kế điện dung, ẩm kế điện trở hơn

chính xác ở RH > 95% - chúng không bão hòa - nhưng chúng chậm hơn một chút, ít hơn
chính xác ở RH < 15% và phù hợp với phạm vi nhiệt độ hẹp hơn.
Do điện trở thay đổi theo bậc với RH nên phần tử Dunmore thay đổi
khoảng cách giữa các phần tử đôi hoặc đặc tính điện trở của màng, hoặc cả hai, để
cung cấp những thay đổi điện trở tuyến tính trong phạm vi độ ẩm cụ thể.
Kết quả là, mỗi phần tử Dunmore có phạm vi RH từ khoảng 10% đến
15 %. Cảm biến điện trở số lượng lớn bao phủ chính xác phạm vi từ 15% đến 99%
với một điện trở duy nhất.
41
Mối quan hệ giữa
độ ẩm tương đối và
sức đề kháng trong polymer
cảm biến không tuyến tính và nó
phụ thuộc vào TRÊN
nhiệt độ: Nhiệt độ
tăng làm giảm sức đề kháng.
Sức đề kháng của mô hình
trong Hình 2.30 thay đổi theo
khoảng bốn thập kỷ, gần như
nhanh chóng.
42
Độ ẩm được đo, ví dụ, trong thiết bị HVAC (nhiệt, thông gió,
và điều hòa không khí), để điều khiển máy tạo độ ẩm và máy sấy công nghiệp (lò nung gỗ,
máy dệt và máy sấy giấy), để giám sát môi trường, trong y tế
thiết bị (máy gây mê, máy thở, lồng ấp trẻ sơ sinh), trong thực phẩm
vận chuyển và bảo quản, trong sản xuất dược phẩm và trong lĩnh vực điện tử
sản xuất linh kiện. Thông thường, độ ẩm và nhiệt độ tương đối
đo đồng thời.
CẢM BIẾN KHÍ ĐIỆN TRỞ
Cảm biến khí điện trở bán dẫn dựa vào sự thay đổi của bề mặt hoặc khối lượng
độ dẫn điện của một số chất bán dẫn oxit kim loại, tùy thuộc vào
nồng độ oxy trong không khí xung quanh
Mạng tinh thể của oxit bán dẫn có khuyết tật, thường là khuyết tật oxy-ion
vị trí tuyển dụng. Ở nhiệt độ trên khoảng 700oC, chất bị hấp phụ và hấp thụ
Các phân tử O2 từ khí quyển phân ly thành O- bằng cách chiết xuất
electron khỏi oxit kim loại, do đó làm giảm độ dẫn điện của nó.
Mối liên hệ giữa độ dẫn điện của oxit và oxy

áp suất riêng phần có dạng
43
Mạng lưới bán dẫn có các đặc điểm

Cấu hình cấu trúc: Oxit bán dẫn có cấu hình cấu trúc hệ thống, với các ô nguyên tử được tạo thành các
mạng lưới lập phương bao quanh các bán dẫn nguyên tử.
Tính chất điện hóa: Oxit bán dẫn có tính chất điện hóa giống như các vật liệu bán dẫn khác, có khả năng dẫn điện tốt ở nhiệt
độ cao và bán dẫn điện thân thiện ở nhiệt độ thấp.
Tính chất nhiệt độ: Tính chất nhiệt độ của bán dẫn oxit có thể được điều chỉnh bằng cách thay đổi
thành phần và cấu trúc của nó.
Khả năng quang hóa: Oxit bán dẫn có khả năng quang hóa, có nghĩa là chúng có thể hấp thụ ánh sáng và chuyển đổi năng lượng
của nó thành điện. Điều này làm cho bán dẫn trở thành vật liệu quan trọng trong các thiết bị quang điện như pin mặt trời
hay các thiết bị phát sáng.
Tính chất cơ học: Bán dẫn Oxit có độ cứng và độ bền cao, điều này giúp nó trở thành vật liệu được sử dụng trong các ứng dụng
cơ học như cảm biến ứng dụng.
Điện tích: Oxit bán dẫn thường có điện tích trên các ôxi nguyên tử và điện tích dương trên các
bán dẫn nguyên tử.
Trong đó A là hằng số, EA là năng lượng kích hoạt để dẫn truyền, k là hằng số
Boltzmann, T là nhiệt độ tuyệt đối và N là hằng số được xác định bởi loại
khuyết tật khối chiếm ưu thế liên quan đến trạng thái cân bằng giữa oxit và
oxy. Ví dụ đối với TiO2 ,
chúng ta có -4 < N < -6. Sự gia tăng nồng độ oxy làm giảm độ dẫn điện.
44
Các oxit kim loại cũng có thể cảm nhận được các loại khí phản ứng với oxy—
tức là các loại khí dễ cháy như carbon monoxide (CO) và hydro (H2). Những
phản ứng này xảy ra ở nhiệt độ trong khoảng từ 300oC đến 500oC và chúng làm
giảm lượng oxy hấp phụ trên bề mặt.
Trong oxit loại n, oxy bị hấp phụ hoạt động như một bẫy bắt các electron từ
khối, do đó làm tăng điện trở của vật liệu. Do đó, việc khử oxy bằng khí sẽ
làm giảm sức cản đó.
Trong oxit loại p, oxy bị hấp phụ hoạt động như trạng thái nhận bề mặt làm
tăng nồng độ lỗ trống, do đó làm giảm điện trở của vật liệu.
Vì vậy, việc khử oxy bằng khí làm tăng sức cản đó.
Điện trở phụ thuộc vào nồng độ khí, nhiệt độ và

độ ẩm, cho cảm biến CO.
45
Cảm biến khí Taguchi (TGS) là một

thiết bị bán dẫn loại n thiêu kết.
Các mô hình ban đầu bao gồm một lớp
dán SnO2 xốp trên các điện cực vàng
xung quanh bên ngoài một ống gốm
cách điện nhỏ. Để phát hiện
khí cụ thể, bạch kim và palladium được
thêm vào làm chất xúc tác. Cuộn dây
nóng chạy bên trong ống gốm
Thiết kế dạng ống của cảm biến khí Tin dioxide.
Các mẫu gần đây sử dụng lớp dày SnO2

phim được in màn hình lên
bạch kim hoặc vàng được mã hóa xen kẽ

điện cực trên nhôm
cơ chất.
Máy sưởi là loại bạch kim hoặc
đường ray oxit ruthenium (RuO2)
bên dưới chất nền và
phủ một lớp nhôm.
Thiết kế màng dày của cảm biến khí Tin dioxide.
46
MGS1100 dựa trên màng mỏng SnO2 được tạo hình trên một khối lớn
Cơ hoành silicon vi cơ bao gồm một lò sưởi khuếch tán
Cảm biến khí polymer dẫn điện được chế tạo bằng cách lắng đọng màng mỏng
giữa hai điện cực trên đế loại silicon, bao gồm một bộ gia nhiệt
có thể nâng màng lên trên nhiệt độ môi trường xung quanh để giảm
tác dụng của độ ẩm. Chúng chủ yếu được sử dụng trong mũi điện tử.
Ứng dụng hàng đầu thúc đẩy phát triển cảm biến khí chi phí thấp
nhu cầu phát hiện oxy trong khí thải từ bên trong
động cơ đốt trong, phụ thuộc vào tỷ số lambda—tỷ lệ giữa không khí và
nhiên liệu trong hỗn hợp đánh lửa—do đó có tên là cảm biến lambda. Một cách phù hợp
Tỷ lệ lambda làm giảm mức tiêu thụ nhiên liệu.
47
Khí dễ cháy trong không khí được đo để bảo vệ khỏi hỏa hoạn bất ngờ hoặc
vụ nổ. Chẳng hạn như trường hợp của CO, H2, rượu, metan, propan, butan,
và các hydrocacbon khác trong các nhà máy hóa dầu, nhà máy tiện ích và cơ sở xử lý nước
thải.
Khí độc trong không khí (CO, amoniac, hydrogen sulfide) được đo để theo dõi
giới hạn phơi nhiễm. Máy thử nồng độ cồn được sử dụng để thực thi các quy định của người lái xe.
Khí làm lạnh, chẳng hạn như chlorofluorocarbons (CFC), dung môi hữu cơ,
chẳng hạn như rượu, toluene và xylene, thường độc hại hoặc dễ cháy hoặc cả hai,
và được đo lường để kiểm soát quá trình và chất gây ô nhiễm.
Cảm biến khí cũng được sử dụng để giám sát chất lượng không khí trong không gian kín
chẳng hạn như nhà hàng, nhà vệ sinh, phòng tắm, văn phòng hoặc xe có động cơ.
CẢM BIẾN ĐỘ DẪN CHẤT LỎNG
Cảm biến dựa trên độ dẫn điện của chất lỏng

sử dụng sự phụ thuộc của chất điện phân
độ dẫn điện theo nồng độ
các loại ion hòa tan.
48
Bộ đếm Coulter cho tế bào máu dựa vào
độ dẫn điện của tế bào máu thấp hơn

liên quan đến giải pháp mà họ đang có
cấm.
Ống thủy tinh kín có lỗ nhỏ 50

đường kính m được treo trong cốc có mỏ và
được kết nối với một máy bơm hút.
Áp suất âm bên trong ống gây ra

máu chảy qua lỗ.
Bất cứ khi nào một tế bào máu đi vào lỗ, điện trở giữa
hai điện cực được nhúng trong chất điện phân có độ dẫn điện cao ở cả hai bên
của khẩu độ tăng lên. Nếu thiết bị được cung cấp ở dòng điện không đổi, các tế bào
chạy qua khẩu độ tạo ra các xung điện áp có thể được phân tích để
suy ra số lượng và thể tích tế bào máu.
49
CHƯƠNG 3
ĐIỀU KIỆN TÍN HIỆU CHO
CẢM BIẾN TRỞ TRỞ
GV: NGUYỄN TRƯỜNG DUY
GIỚI THIỆU
• Chương này trình bày một số phương pháp để thu được điện áp đầu ra từ cảm biến điện trở trong phạm vi
phù hợp với bộ chuyển đổi tương tự sang số (ADC) hoặc các thiết bị đo điện khác. Nó cũng trình bày một
số phương pháp bù nhiễu và tuyến tính hóa cảm biến trong bộ điều hòa tín hiệu theo cảm biến.
• Một số cảm biến và bộ điều hòa tín hiệu này cho phép chúng tôi giới thiệu các phương pháp phân tích lỗi
và các khía cạnh thiết kế mạch chung cho các cảm biến khác có liên quan hơn.
• Chương đầu tiên xem xét các phương pháp đo điện trở, sau đó phân tích các bộ điều hòa cho các cảm biến
có điện trở biến đổi có cường độ lớn, sau đó tiến tới các biến đổi điện trở có cường độ nhỏ hơn.
1
ĐO LƯỜNG SỨC KHỎE

• Phương trình tổng quát của một cảm biến có điện trở thay đổi một lượng
phân số x ứng với đại lượng đo là R = R0 f(0) giả sử f(0) = 1.
Đối với cảm biến tuyến tính chúng ta có
• Phạm vi giá trị của x phụ thuộc nhiều vào loại cảm biến và
trên khoảng đo.
• Đối với cảm biến tuyến tính, x thay đổi từ 0 đến -1 đối với chiết áp tuyến tính và
có thể lên tới 10 đối với polyme dẫn điện và nhỏ tới 10-5 đến 10-2
cho các thiết bị đo biến dạng.
• RTD và điện trở đo nhiệt độ có giá trị trung gian cho x.
• Tỷ lệ giữa điện trở cảm biến đối với các giá trị cực trị đo được
có thể cao hơn 1000 trong LDR và máy giữ ẩm, và nhỏ hơn 100
trong điện trở từ, cảm biến khí và cảm biến độ dẫn chất lỏng.
• Chuyển đổi nhiệt điện trở PTC làm tăng điện trở của chúng lên hơn
10.000 đối với nhiệt độ trên nhiệt độ chuyển mạch.
Có hai yêu cầu đối với tất cả các bộ điều hòa dành cho cảm biến điện trở.
• Đầu tiên, họ phải điều khiển cảm biến bằng điện áp hoặc dòng điện để thu được tín hiệu đầu ra, vì bản thân
sự thay đổi điện trở không phải là tín hiệu.
• Thứ hai, nguồn cung cấp này, có cường độ ảnh hưởng đến tín hiệu đầu ra, bị hạn chế bởi khả năng tự làm nóng
của cảm biến, điều này phải tránh trừ khi nguyên lý cảm biến sử dụng cảm biến tự làm nóng, như trong một
số lưu lượng kế và máy đo mức chất lỏng.
• Một số cảm biến yêu cầu các mạch điện đặc biệt. Nhiệt điện yêu cầu tuyến tính hóa. Máy đo biến dạng yêu cầu
loại bỏ nhiễu. Các cảm biến tạo ra đầu ra nhỏ đòi hỏi mức tăng lớn để dải động của tín hiệu đầu ra khớp
với phạm vi đầu vào của ADC.
2
• Bộ điều hòa cho cảm biến từ xa phải không nhạy cảm với
kết nối điện trở dây dẫn hoặc bù đắp cho nó. Điện áp đo được
• Tuy nhiên, sự thay đổi nhiệt độ môi trường sẽ gây ra sự thay đổi
điện trở dây và không thể loại bỏ được. Điện áp đo được trong mạch
4 dây
• Phương pháp làm lệch đơn giản nhất bao gồm cung cấp cho điện trở
một nguồn điện áp không đổi rồi đo dòng điện qua mạch, hoặc bằng
nguồn dòng không đổi rồi đo điện áp.
• Hình 3.3a cho thấy một cảm biến điện trở được điều khiển bởi hằng số
hiện hành. Điện áp đầu ra của cảm biến tuyến tính là
đó cũng là tuyến tính. Nếu x <<1 thì vo sẽ gồm những dao động nhỏ (do
x) chồng lên một điện áp bù rất lớn tương ứng với x = 0.
3

• Nếu thiết kế Rr = R0 thì trừ đi điện áp rơi trên Rr
từ vo mang lại
bằng 0 đối với x = 0. Nếu sai số tương đối được chấp nhận là thì
điện áp bù đầu vào của op amp phải là Vio < Vr .
• Hình 3.3b thể hiện một mạch thực hiện nguyên lý tương tự. Hai
các nguồn hiện tại giống hệt nhau điều khiển cảm biến và một loạt-
Điện trở được kết nối, cung cấp điện áp để triệt tiêu sự sụt giảm
điện áp trên cảm biến khi x = 0.
• Nếu Rz = R0 thì điện áp đầu ra là

Ví dụ: Nhiệt độ từ 20oC đến 100oC được đo với độ phân giải 0,1oC sử dụng
mạch trong Hình và màng mỏng Pt100, có 100 và = 0,00385 / /K ở
0oC và = 40 mW/ K trong 0,4 m/s nước. Tính Rr nếu điện áp tham chiếu có
sẵn là Vr
= 5 V.
• Độ phân giải nhiệt độ bị giới hạn bởi khả năng tự gia nhiệt vì bất kỳ
sự thay đổi nào về khả năng tản nhiệt sẽ gây ra sự thay đổi về điện trở.
Chúng tôi ước
• Vì cảm biến được điều khiển ở dòng điện không đổi nên giá trị tối đa
tản nhiệt sẽ ở mức 100oC (điện trở cảm biến tối đa). Do đó điều kiện
cần thỏa mãn là
4
• Từ
• Vì thế
• Một tiêu chí bổ sung để chọn Rr có thể là độ nhạy, chẳng hạn như 1 mV/oC. Điện áp
đầu ra khi đó sẽ là
• và độ nhạy sẽ là
• Vì thế,
• Nếu chọn Rr = 1,93 k , dung sai 0,1% thì độ nhạy thực tế có thể lên tới
Nhỏ hơn 0,36% so với 1 mV/oC, nhưng đây là sai số không đổi và có thể giảm bớt.
Ngoài ra, ở 20oC, R20 = 107,7 , dẫn đến điện áp bù khoảng 279 mV. Dòng điện
qua cảm biến sẽ vào khoảng 2,5 mA
5
• Một phương pháp đo độ lệch khác để đo điện trở là phương pháp hai-
phương pháp đọc thể hiện trong hình 3.4. Nó bao gồm việc đặt một điện trở
ổn định đã biết nối tiếp với một điện trở chưa biết.
• Đầu tiên, một giá trị đọc được thực hiện trên điện trở đó, mang lại Vr =
I.Rr , và sau đó một giá trị khác được thực hiện trên điện trở chưa biết,
mang lại vo = IR. Sau đó, thương số giữa cả hai lần đọc được tính toán để
thu được
• Nếu Rr R sai số của vôn kế ở cả hai số đo sẽ giống nhau và sẽ bị loại bỏ
khi lấy thương số. Chúng tôi thường chọn Rr = Rmax trong khoảng đo. •
Ngoài ra, tỷ lệ ADC sử dụng Vr làm

Hình 3.4
tham chiếu trực tiếp cung cấp
thương số ở định dạng kỹ thuật số
BỘ CHIA ĐIỆN ÁP
• Bộ chia điện áp thường được sử dụng để đo các giá trị cao

sự phản kháng. Trên hình 3.5a, nếu giả sử điện trở vào của vôn kế lớn
hơn nhiều R thì ta có
• từ đó chúng ta có thể tính giá trị của điện trở chưa biết
• Ngoài ra, nếu Rr và R đổi vị trí, ta có
6
• Bộ chia điện áp phù hợp với các cảm biến có điện trở thay đổi lớn và cả các cảm biến phi tuyến như
như điện trở nhiệt NTC vì tính phi tuyến của mối quan hệ giữa vo và R cho phép
tuyến tính hóa nhiệt điện trở. Nếu chúng ta hiểu Rr và R là hai phần của chiết áp thì điện áp
bộ chia có thể được áp dụng cho chiết áp
• Ví dụ: Cảm biến khí CO MGS1100 (Motorola) có 1000 k trong không khí, từ 30 k đến 300 k
(150 k điển hình) cho nồng độ CO là 60x10-6 (R60) và tỷ lệ R60/R400 = 2,5 (điển hình). Nếu
điện áp cho phép trên điện trở cảm biến và công suất tiêu tán trong đó là 5 V và 1 mW,
thiết kế bộ chia điện áp theo Hình 3.5a cho cảm biến như vậy nếu lượng CO dự kiến
phạm vi nồng độ là từ 0 đến 400x10-6.
• Để đảm bảo giới hạn điện áp, ta có thể chọn Vr = 5V. Tiêu tán năng lượng áp đặt điều kiện
• Từ
sự tiêu tán cực đại sẽ xảy ra khi R = Rr , do đó chúng ta phải đáp ứng
• Phạm vi điện trở của cảm biến là từ 1000 k đến
thông thường và tối đa 750 k . Do đó, giới hạn do sự tiêu tán công suất áp đặt sẽ không bao giờ
đạt. Do đó, chúng ta có thể chọn Rr bằng, ví dụ, với điện trở nghỉ của cảm biến đối với
khí quyển để theo dõi.
7
• Mối quan hệ điện áp – điện trở trong các bộ chia điện áp không phải là tuyến tính
vì dòng điện trong mạch phụ thuộc vào ẩn số

sức chống cự.
• Nếu dòng điện đó không đổi thì sự sụt giảm điện áp trên một
cảm biến điện trở tuyến tính sẽ là một hàm tuyến tính của
đại lượng đo như trên Hình 3.3a.
• Đối với các cảm biến có điện trở giảm khi áp dụng
đầu vào, chẳng hạn như cảm biến lực polymer dẫn điện, mạch trong
Hình 3.5b bơm một dòng điện không đổi vào cảm biến và
tạo ra điện áp đầu ra vo tăng theo

đại lượng đo.
• Ví dụ: Thiết kế mạch trong Hình để thu được điện áp đầu ra 0,5V đến
5V ứng với lực từ 0 kg đến 45 kg khi sử dụng cảm biến FlexiforceTM
SSB-T có 200 k khi không tải và 20 k khi áp dụng 45 Kilôgam.
• Từ
• Do đó chúng ta cần Vr Rr = -100 V xk . Chúng ta có thể chọn Vr

= -5V, dẫn đến Rr = 20 k , là tiêu chuẩn.
• Dung sai của nó phải bằng độ không đảm bảo được chấp nhận đối với
nhận được.
số 8
• Phương pháp thông thường để đo những thay đổi nhỏ của điện trở bao gồm việc đặt một điện áp khác
bộ chia song song với bộ chia có cảm biến. Nếu cả hai dải phân cách được thiết kế sao cho
khi không có đầu vào nào được áp dụng, cả hai đều cho cùng một điện áp, sự khác biệt giữa đầu ra của chúng
là tín hiệu chỉ phụ thuộc vào biến đo được. Sự sắp xếp này được biết đến như một
Cầu lúa mì.
• Ngoài lợi thế cơ bản này, trong một số trường hợp cầu Wheatstone còn tăng
độ nhạy của phép đo bằng cách sử dụng một số cảm biến được bố trí thuận tiện ở các nhánh khác nhau.
Ngoài ra, một số can thiệp từ bên ngoài có thể bị hủy bỏ.
chiết áp
• Hình 3.6a thể hiện cách điều hòa tín hiệu đơn giản nhất cho một chiết áp có tổng điện trở RT.
Chuyển động tuyến tính hoặc quay từ thiết bị cần đo làm quay hoặc trượt cần gạt nước.
Mạch tương đương
9
chiết áp
trong đó k = Rm/
RT. • Do đó, mối quan hệ giữa điện áp đo được và độ dịch chuyển của cần gạt nước chỉ là tuyến tính
khi k >> 1; nghĩa là chúng ta cần Rm >>
RT. • Nếu phản hồi lý thuyết (lý tưởng) là vo = Vr thì không có sai số ở cuối thang đo. Tại
các điểm trung gian, sai số tương đối phụ thuộc vào k theo
• Chúng ta có thể biết điểm e cực đại bằng cách xác định khi d /d = 0.
chiết áp
= 0,5, tức là điểm trung tâm của nhịp. Chúng ta đánh giá (0,5) bằng cách giải ở = 0,5, trong đó
sản lượng
Vì và 1 - có thể hoán đổi cho nhau mà không ảnh hưởng gì nên sai số tương đối đối xứng với
tôn trọng vị trí trung tâm. Ngoài ra, vì sai số tối thiểu là = 0 nên cần biết liệu = 0,5
là cực đại hoặc cực tiểu thì không cần lấy đạo hàm bậc hai.
10
chiết áp
Một cách đơn giản để giảm lỗi tải mà không tăng Rm là

đặt một điện trở bằng Rm ở phía trên của chiết áp.
Điện áp đo được là
Lực điện trở được thêm vào vm = Vr /2 tại vị trí

trung tâm ( = 0,5) do đó đạt được sai số bằng 0
tại điểm đó.
Bằng cách sử dụng hai điện trở khác nhau, chúng ta có thể đạt được
sai số bằng 0 tại bất kỳ điểm mong muốn nào. Điều này rất hữu ích để
tinh chỉnh điện áp xung quanh một giá trị nhất định
chiết áp
Một phương pháp khác để giảm sai số phi tuyến do

hiệu ứng tải là sử dụng nguồn điện đối xứng được
kết nối. Điện áp đầu ra là
11
chiết áp
Đối với chiết áp từ xa, mạch ba dây mang lại lỗi bằng 0 và độ nhạy (độ lợi). Nếu để giảm hiệu ứng
tải ta đặt k >> 1, với = 0 ta có
Điều này ngụ ý một lỗi bù đắp. Với = 1 ta có
Chiết áp Tỷ số
điện áp thực tế có độ dốc nhỏ hơn tỷ số lý tưởng

và không vượt quá 0.
12
chiết áp
Mạch 4 dây tránh được lỗi offset
vì bây giờ vm(0) = 0V. Tuy nhiên, cần gạt ở =
1 mang lại
Ứng dụng cho nhiệt điện trở
Phần 2.4 lưu ý rằng trong phạm vi nhiệt độ giảm, nhiệt điện trở
NTC có thể được mô hình hóa bằng hai tham số và phương trình
nơi nhiệt độ tính bằng kelvins. Hành vi phi tuyến này có thể được
tuyến tính hóa ở một mức độ nhất định bởi bộ chia điện áp vo
không thay đổi tuyến tính với R.
Đầu ra của bộ chia điện áp là
13
Từ
Chúng ta có
trong đó chúng ta đã xác định s = R0/R. do đó vo có thể được biểu thị dưới dạng
Hình dạng của F(T) phụ thuộc vào từng vật liệu cụ thể và vào s. Nếu một hành vi tuyến tính của vo với
đối với T là mong muốn thì F(T) phải là một đường thẳng. Giá trị thích hợp của s để có
hình dạng như vậy phụ thuộc vào phạm vi nhiệt độ của nhiệt điện trở.
Đối với vật liệu có đường cong
Thể hiện trong hình
Ví dụ, trong khoảng từ 10oC đến 50oC ,
độ tuyến tính tốt nhất đạt được với s
= 1,5. Nhưng đối với khoảng nhiệt độ
từ 90oC đến 100oC thì giá trị s = 20,0 là
tốt nhất.
14
Bộ khuếch đại cho bộ chia điện
áp Bộ chia điện áp cần có đồng hồ đo điện áp có trở kháng cao. Bộ khuếch đại không đảo mang lại trở
kháng đầu vào và mức tăng cao (1 + R2/R1).
Bộ khuếch đại cho bộ chia điện áp
Nếu chúng ta xem xét mạch tương đương Thévenin cho bộ chia điện áp và nguồn lỗi op amp—điện
áp và dòng điện bù đầu vào—điện áp đầu ra là
15
Bộ khuếch đại cho bộ chia điện áp

Do đó, có lỗi đầu ra bằng 0 (OZE),
chia cho mức tăng tín hiệu sẽ tạo ra sai số 0 đầu vào (IZE),
CẦU WHEATSTONE: ĐO LƯỜNG CÂN BẰNG
• Nó dựa trên hệ thống phản hồi, bằng điện hoặc bằng tay, để điều chỉnh giá trị của
điện trở tiêu chuẩn cho đến khi dòng điện qua điện kế hoặc chỉ báo null khác bằng 0
16
Bố trí để loại bỏ ảnh hưởng của điện trở tiếp
xúc lên cân.
• Đối với các cảm biến từ xa, chúng ta phải xem xét các
dây dẫn dài có điện trở cộng thêm điện trở của cảm biến.
Dây dẫn có TCR thấp như Constantan
và manganin có điện trở suất cao ( 44
.cm). Ngược lại, dây đồng có điện trở suất thấp
hơn ( 1,7 .cm); nhưng vì TCR của nó vào khoảng
0,004 / /K nên sự thay đổi nhiệt độ có thể dẫn đến
những lỗi quan trọng.
• Phương pháp ba dây của Siemens giải quyết được vấn đề này
vấn đề. Dây 1 và 3 phải bằng nhau và chịu sự
thay đổi nhiệt độ như nhau. Đặc điểm của dây 2
không liên quan
vì ở điều kiện cân bằng không có
dòng điện qua cánh tay trung tâm của cầu. Sai số
tương đối trong phép đo R3 là
17
• Một mạch thay thế có cùng mục tiêu. Lỗi tương tự. Trong cả hai trường hợp, sai số giảm khi
R3 >> Rw
Hình minh họa cách áp dụng phương pháp này cho một số cảm biến bằng cách sử dụng một bộ ba dây dài.
18
Việc áp dụng phương pháp null cho các phép đo động phụ thuộc vào sự sẵn có của hệ thống cân
bằng tự động đủ nhanh.
CẦU WHEATSTONE: ĐO LƯỜNG
• Cầu Wheatstone thường được sử dụng ở chế độ

lệch. Thay vì đo tác động cần thiết để khôi
phục lại sự cân bằng trên cầu, phương pháp này đo
chênh lệch điện áp giữa cả hai bộ chia điện áp hoặc
dòng điện qua một máy dò bắc cầu giữa
chúng. • Nếu cầu cân bằng khi x = 0, đó là trường hợp

thông thường, chúng ta xác định tham số k,
• Hiệu điện thế giữa hai nhánh là
19
Như vậy điện áp ra chỉ tỷ lệ thuận với sự thay đổi của R3 khi x << k + 1; nghĩa là độ nhạy phụ thuộc
vào x (và k và Vr ). Với x = 0, độ nhạy là
Nếu cầu được cung cấp bởi dòng điện không đổi Ir
thì điện áp đầu ra là
Đầu ra thực tế khởi hành từ một đường thẳng
qua gốc tọa độ cho k = 1
• Để có đầu ra gần như tuyến tính, chúng ta cần x << 2(k+1), và x << 4 khi k = 1. Để đạt được độ chính xác
tốt thì không cần tuyến tính. Điều quan trọng là độ lặp lại của kết quả. Nhưng đầu ra có thể dễ dàng
được giải thích khi nó tỷ lệ với đại lượng đo.
• Đối với máy đo biến dạng kim loại, x hiếm khi vượt quá 0,02. Do đó, thường k = 1 để cải thiện độ nhạy
và trừ khi mong muốn có độ tuyến tính rất cao, sự hiện diện của x trong mẫu số sẽ bị bỏ qua.
Ngoài ra, x thực tế có thể được tính từ điện áp hoặc dòng điện đầu ra bằng cách giải x trong các phương
trình đó. Ví dụ, đối với một cây cầu được cấp điện bằng điện áp không đổi và k = 1, chúng ta thu được
• Yếu tố thứ hai ở bộ phận bên phải sửa lỗi đầu ra ''không hiệu chỉnh'' 4vo/Vr
20
Buộc một dòng điện không đổi đi qua cảm biến tuyến tính và trừ đi điện áp không đổi sẽ tạo ra
điện áp tuyến tính
một cây cầu kháng chiến có năm đầu cuối
một cây cầu chung có bốn bến cuối
Hiệu chuẩn và cân bằng cầu cảm biến
Hiệu chuẩn Shunt của cầu cảm biến điện trở
21
Các phép đo chênh lệch, trung bình và cầu bù có lợi thế hơn,
so với các bộ chia điện áp, cho phép đo chênh lệch giữa các đại lượng hoặc giá trị trung bình của nó.
Hơn nữa, bằng cách sử dụng một số cảm biến, chúng cho phép tăng độ nhạy và bù nhiễu.
Mạch đo lường sự khác biệt bằng cách bao gồm hai cảm biến ở các nhánh cầu liền kề ở các nhánh khác nhau.
Điện áp đầu ra là
Đo lường và đền bù sự khác biệt và trung bình
Bất cứ khi nào x1, x2 << k + 1, ta có thể xấp xỉ
Đối với các cảm biến nhiệt độ, phương pháp này mang lại sự chênh lệch nhiệt độ—ví dụ: hữu ích để tính
toán gradient nhiệt hoặc tổn thất nhiệt trong đường ống hoặc để cảnh báo về rủi ro đóng băng trong nông
nghiệp: gradient nhiệt độ nhanh, lớn cho thấy tổn thất nhiệt quá lớn từ đất lên bầu trời , kết thúc
trong đất đóng băng.
22
Các phép đo và sự khác biệt, trung bình và bù trừ • Một số
máy đo biến dạng được bố trí trong cùng một cây cầu cũng mang lại nhiều lợi ích. Hai cảm biến
biến dạng được liên kết với một phần tử và nối thành cầu mang lại điện áp đầu ra:
• Sử dụng hai thiết bị đo biến dạng chủ động, một dọc và một ngang, trong phép đo
cầu tăng độ nhạy bằng tỷ lệ Poisson
• Đo lường và đền bù chênh lệch và trung bình
Hai thiết bị đo chịu biến dạng có cùng độ lớn nhưng trái dấu và được nối với nhau mang lại điện áp
đầu ra:
Việc sử dụng hai máy đo biến dạng hoạt động trải qua các biến thể trái ngược nhau sẽ tăng gấp đôi độ nhạy và
mang lại đầu ra tuyến tính. Do đó, không chỉ độ nhạy tăng lên mà đầu ra cũng tuyến tính
23
• Sự khác biệt và các phép đo trung bình và sự bù đắp Cây cầu kết hợp
hai hoa thị kép bằng nhau được liên kết ở mỗi bên của dầm đúc hẫng. Điện áp đầu ra là
Hai hoa hồng kép được kết nối như hình vẽ mang lại điện áp tuyến tính.
• Đo lường và đền bù chênh lệch và trung bình
Các kết nối đo khác nhau này lần lượt được gọi là cầu một phần tư (một cảm biến), cầu nửa (hai cảm biến) và
cầu đầy đủ (bốn cảm biến).
Bảng 3.2 liệt kê các điện áp đầu ra tương ứng cho nguồn điện áp không đổi hoặc dòng điện không đổi.
Cầu có kích thích bằng dòng điện không đổi thì tuyến tính hơn cầu có kích thích bằng điện áp không
đổi. Kết nối cầu đầy đủ là phổ biến trong các cảm biến tải trọng và cảm biến áp suất áp điện.
24
• Cung cấp điện cho cầu Wheatstone

Để thu được tín hiệu đầu ra từ cầu Wheatstone bao gồm một hoặc nhiều cảm biến, chúng ta phải
cung cấp cho cầu một điện áp hoặc dòng điện, dc hoặc ac. Nguồn cung cấp này phải ổn định theo thời
gian và nhiệt độ vì nếu không độ trôi của nó sẽ lan truyền đến đầu ra. Trong một cầu điện trở được
cung cấp bởi điện áp một chiều,
• Ví dụ, điện áp đầu ra được cho bởi.
• Nếu x không đổi nhưng điện áp nguồn thay đổi, chúng ta có
25
• Nguồn điện của cầu Wheatstone Hình

3.28 cho thấy một mạch đo tỷ lệ được áp dụng cho cầu cảm biến.
Hình 3.28 Các phép đo tỷ lệ dựa trên bộ chuyển đổi tương tự sang số
loại bỏ nhu cầu về độ ổn định cao của nguồn cung cấp cầu.
• Cung cấp điện cho cầu Wheatstone
Hình 3.29 cho thấy một phương pháp cung cấp số lượng lớn,
dòng điện ổn định. Phần lớn dòng điện xuất phát từ
cấp nguồn qua R nhưng điện áp giảm
qua cầu được điều khiển bởi điện áp

IC tham khảo
26
• Phương pháp phát hiện cầu Wheatstone
Loại thiết bị phát hiện tín hiệu đầu ra của cầu cảm biến phụ thuộc vào mục đích sử dụng
ứng dụng. Hầu hết các tình huống đều yêu cầu chuyển đổi tương tự sang số.
Do đó, máy dò phải khuếch đại điện áp hoặc dòng điện đầu ra của cầu để phù hợp với động năng của nó.
phạm vi và mức tương đương với ADC và phải có trở kháng đầu vào thích hợp: cao đến
cảm nhận điện áp, thấp để cảm nhận hiện tại.
Hơn nữa, cấu hình đầu vào của nó phải tương thích với loại tín hiệu (vi phân hoặc
một đầu, nối đất hoặc nổi) được cung cấp bởi đầu ra của cầu.
• Phương pháp phát hiện cầu Wheatstone Các phương

pháp thay thế để phát hiện điện áp đầu ra của cầu cảm biến tùy thuộc vào việc nối đất nguồn điện.
Bộ khuếch đại vi sai
Bộ khuếch đại một đầu với kiểu nổi
Nguồn cấp
27
• Phương pháp phát hiện cầu Wheatstone
Một sự kích thích nổi cho phép chúng ta sử dụng

Một tụ điện nổi cho phép kết nối một
một bộ khuếch đại nối đất một đầu.
cầu với sự kích thích nối đất tới một
bộ khuếch đại nối đất đã kết thúc.
28

Chuong 123

Uploaded by

Document Information

Original Title

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

Chuong 123

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

Machine Translated by Google 11/2/2023

Công nghệ cảm biến

Biến cảm ứng là gì?

Biến cảm ứng là gì?

Nguyên tắc cơ bản về cảm biến và cảm biến

Cảm biến là gì và cảm biến là gì?

quan đến chức năng, thường là điện hoặc quang.

Nguyên tắc cơ bản về cảm biến và cảm biến

Nguyên tắc cơ bản về cảm biến và cảm biến

Một cách mô tả khác là:

Giới thiệu về các phương thức cảm biến chính

Phân loại cảm biến

là một số cách thực tế để xem xét các cảm biến.

chuyển đổi thành tín hiệu đầu ra.

Các ví dụ là cặp nhiệt điện, điốt quang và cảm biến áp điện.

Nhiều cảm biến hoạt động là cảm biến trực tiếp.

Phân loại cảm biến

hàm truyền đã biết.

biến dạng trong vật liệu. Để đo điện trở

Phân loại cảm biến

hiệu liên quan đến một số điều kiện đặc biệt

phổ biến khác— cặp nhiệt điện—

là một cảm biến tương đối.

Phân loại cảm biến

Bảng 1.1 Thông số cảm biến

Phân loại cảm biến

Bảng 1.2 Vật liệu phần tử cảm biến

Phân loại cảm biến

Bảng 1.3 Hiện tượng chuyển hóa

Phân loại cảm biến

Bảng 1.4 Lĩnh vực ứng dụng

Phân loại cảm biến

Bảng 1.5 Kích thích

Phân loại cảm biến

Bảng 1.5 Kích thích

Cảm biến cơ học

Cảm biến cơ học

Cảm biến cơ học

Giá trị đầu ra tính bằng milivolt được

Điều này dẫn đến một tín hiệu đầu ra,

Cảm biến cơ học

Cảm biến cơ học

nhiệt độ gây ra sự giãn nở hoặc co lại của phần tử cảm biến,

dẫn đến biến dạng do nhiệt gây ra.

Cần phải bù nhiệt độ để giải quyết vấn đề và điều này có thể

bao gồm cả máy đo lực lâm sàng để đo độ bám

Cảm biến MEMS

Tên MEMS thường được sử dụng để mô tả cả một loại cảm biến và

từ 1 đến 100 mm, được sản xuất theo tiêu chuẩn

vi cấu trúc, vi cảm biến, vi dẫn động và vi điện tử, tất cả

được tích hợp vào cùng một con chip silicon.

Cảm biến MEMS

thường là điện dung hoặc áp điện.

bị có biên độ thấp, tần số thấp.

Con quay hồi chuyển

Con quay hồi chuyển MEMS đo tốc độ góc của

các yếu tố cơ học (khối lượng bằng chứng) để cảm nhận

do gia tốc Coriolis gây ra.

Con quay hồi chuyển

Cảm biến quang học

Cảm biến quang học

Bộ tách sóng quang

Cảm biến quang học