光学和光电子产业 的 主 导 刊 物 www.laserfocusworld.com.

cn 2024年1/2月 第1期
IS SN: 1817-6 917

扫描振镜提升激光加工 11
效率与质量

绿 光 纳 秒 激 光 器 用 于 25
PCB切割

皮秒激光实现车载玻璃 27
盖板高效高质量切割

超快激光切割AR目镜 29
的高折射率玻璃

中国工业激光市场在
动荡时期稳步增长

微信公众号
 光学引领未来 ™

超快薄型平凸 (PCX) 透镜

• 超薄中心厚度可限制 GDD
• 低损耗宽带 IBS 增透膜
• 特别适合超快和激光光学应用
• UV 或 IR 级熔融石英基片

关注公众号

爱特蒙特光学(深圳)有限公司
中国深圳市龙华工业东路
利金城科技工业园3栋5楼，518109 如需了解更多信息，请访问
Tel: +86 (0755) 8435 5459 Email: chinasales@edmundoptics.cn www.edmundoptics.cn/014-8610
 目录 2024 年 1/ 2 月 第一期

市场观察 工业应用专栏
8 中国工业激光市场在动荡时期稳步增长 25 PCB切割
本市场报告重点关注激光加工和工业激光器的 绿光纳秒激光器实现PCB高效高质量切割
趋势，同时涉及超快激光器、光纤激光器、激 用于新型和传统PCB切割的Talon GR70绿光纳秒激
光雷达和手持式焊接市场预期。 光器，展示了高切割速度和优异的切割质量。

访谈
11 激光扫描头进步提升高性能激光加工的效率与质量 27 玻璃切割
Aerotech公司激光加工产品经理Bryan Germann先 皮秒激光实现车载玻璃盖板的高效高质量切割
生，针对最新的扫描头技术和控制方法给出了专业讲
采用50W红外皮秒激光器+贝塞尔切割头，实现对厚
解。
度0.3m m玻璃盖板的一次成型切割，最小切割线宽
0.1mm，崩边小于0.1mm。

技术中心 29 玻璃切割
13 成像探测 ① 光引擎
② 输入结构
①
②
超短脉冲激光切割用于AR目镜的高折射率玻璃
③ 输出结构

利用光致发光成像检查太阳能电池中的隐裂
④ 眼睛看到的图像

③ 超短脉冲激光可切割由高折射率玻璃制成的A R目
镜，可实现较高且可预测的弯曲强度，适用于实验室
太阳能电池表面不可见的内部隐裂，将影响其功率输④
和大规模生产。
出，PLatypus工具可以检测到这些问题。

32 飞秒切割
15 超快激光
飞秒切割改善超薄玻璃和聚合物切割质量
超快激光追踪石墨烯内电子的弹道运动
在不影响速度或效率的情况下，飞秒激光切割实现了
与电探测相比，全光超快激光技术提供了探索弹道和
更高质量的切割边缘，为诸多新应用带来了希望。
相干区内电子传输所需要的分辨率。

17 夹具设计
激光焊接应用中不容忽视的夹具设计
为了充分发挥激光焊接的潜力，应用于激光焊接过程 测试&测量
中的夹具，必须精心设计以保证一些基本功能。
34 光束测量
光束测量系统为动力电池焊接质量保驾护航
19 光学制造 稳定一致的光束参数是保持焊接质量的关键。Ophir
高性能超薄聚合物干涉滤光片的制造方法 B e a m W a t c h I n t e g r a t e d系统实现了光束参数的
一种制造干涉滤光片的新方法，能够将生产时间从数 100%检测，为焊接质量保驾护航。
天缩减到数小时，并且增加了设计灵活性。

22 光学互联 4 编者的话
封装内光学互连实现新的生成式AI架构
5 前沿简讯
封装内光学I/O作为一种新的信息高速公路，可以让
AI数据快速、高效地传输。 37 产品撷英
40 广告索引

关于《激光世界》
《激光世界》杂志创刊于 2005 年，是世界著名杂志 Laser FocusWorld 杂志的中文版本，也是在中国市场为激光与光电子行业的工程师、研究人员、科学家以及专业技术人员提
供的专业期刊。《激光世界》的内容涵盖全球激光与光电子技术、工业与科研应用、市场信息以及中国本地市场的相关报道。
《激光世界》采用简体中文印刷，双月刊，每期发行量超过 9,500 册，面向激光与光电子行业内合格的读者群。同时，我们的电子杂志和网站将覆盖更广泛的读者群。
请查询本刊专业网站 ：www.laserfocusworld.com.cn。
本刊中包含转载自 Laser Focus World 杂志的文章。Laser Focus World 由 Endeavor Business Media 独家拥有和出版。Endeavor Business Media 对编辑政策不承担任何责任，并且
对本刊的内容、或刊物中提到的独立供应商生产的产品的性能或可靠性，不承担任何责任，也不作任何保证。 扫一扫 免费下载电子书

2 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 CONTENTS Jan/ Feb 2024 Issue 1

MARKET WATCH 22 Optical Interconnection

In-package optical interconnects enable
8 China’s industrial laser market shows steady new generative AI architectures
growth in turbulent times An information superhighway of sorts—in-package
This in-depth market update focuses on trends in laser optical I/O—can keep AI traffic flowing quickly and
processing and industrial lasers while touching on efficiently.
what to expect in the ultrafast laser, fiber laser, LiDAR,
and handheld laser markets.
INDUSTRIAL APPLICATIONS COLUMN
25 PCB Cutting
INTERVIEWS Green nanosecond laser demonstrated high
speed and excellent quality PCB cutting
11 Laser Scan Head Advancements Boost Talon GR70 ns-pulse laser has demonstrated high speed
Productivity and Process Quality in High- and excellent quality of results when cutting both new
Performance Laser Processing and traditional PCB materials.
Bryan Germann, product manager for laser processing
products at Aerotech, offers his expertise on the latest
27 Glass Cutting
Car glass cover plate cutting achieving high
scan head technology and control methods.
efficiency and high-quality with picosecond laser
Using a 50W infrared picosecond laser and Bessel cutting
head, a one-time molding cutting of a 0.3mm thick glass
TECHNOLOGIES CENTER cover plate is achieved, with a minimum cutting line
width of 0.1mm and edge chipping less than 0.1mm.
13 Detectors & Imaging
Photoluminescence imaging tool inspects 29 Glass Cutting
solar cells for invisible damage ① 光引擎
① High-index glass cutting for AR enabled by
② 输入结构 ②
Solar cells inside a photovoltaic module can crack ③ 输出结构
④ 眼睛看到的图像
ultrashort-pulsed lasers
③
during hail events or other extreme weather without A laser-based separation process for cutting augmented
breaking the glass—which effects their power ④ reality (AR) eyepieces made of high-index glass achieves
output—but a ‘PLatypus’ tool detects these problems. high and predictable bending strength, and is suitable
for from lab applications to mass production.
15 Ultrafast Laser
Ultrafast lasers track ‘ballistic’ motion of 32 Femtosecond Cutting
electrons within graphene Femtosecond fiber lasers improve processing
Compared to electrical detection, an all-optical ultrafast of ultra-thin glass and polymers
laser technique provides the resolution needed to explore A higher quality edge, without compromising speed or
electron transport within ballistic and coherent regimes. efficiencies, provides promise for new applications.

17 Fixture Design TEST & MEASUREMENT

The essential role of fixture design in laser-
34 Beam Measurement
based welding applications
In order to unlock the full potential of laser welding, several The beam measurement system safeguards
essential functions must be addressed in fixture design. the welding quality of batteries
Stable and consistent beam parameters are key to
maintaining welding quality. The Ophir BeamWatch
19 Optical Fabrication Integrated system achieves 100% detection of beam
Changing the paradigm for ultra-thin, parameters, ensuring welding quality.
high-performance polymer interference
4 EDITOR’S NOTES
filter manufacturing
A new method of making this vital optical system
5 LEADING EDGE SNAPSHOTS
component reduces the production time to hours, not 37 PRODUCTS HIGHLIGHTS
days, and increases design flexibility. 40 AD INDEX

About Laser Focus World China

Published since 2005, Laser Focus World China, the Chinese editionof the world famous Laser Focus World magazine, is the professional magazine for engineers, researchers, scientists, and technical professionalsin
China. It provides comprehensive global coverage of optoelectronictechnologies, industrial and R&D applications, and market information. The editorial content licensed exclusively from Laser Focus World magazine is
supplement by content generated by our own editors in China.
Laser Focus World China is published every other month in simplified Chinese and distributed to over 9,500 qualified optoelectronics professionals in China. Through our digital magazine and website we provide
coverage to an even larger audience base. Please visit our relevant website, www.laserfocusworld.com.cn.

Laser Focus World China, ISSN 1817-6917 is published bi-monthly by ACT International, Unit B, 13/F, Por Yen Building, No. 478 Castle Peak Road, Cheung Sha Wan, Kowloon, Hong Kong, under the license of PennWell
Corporation, 1421 S. Sheridan Road, Tulsa, OK 74112. Copyright 2010. All rights reserved. This publication contains articles reprinted from Laser Focus World magazine. Laser Focus World is exclusively owned and
published by Endeavor Business Media. Endeavor Business Media is not responsible in any way for the editorial policy and expressly disclaims responsibility for, and makes no warranties, express or implied, with respect to
the content of this publication or the performance or reliability of products described herein that are produced by independent vendors.

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 3

Editor's Notes 编者寄语

中国/香港特别行政区 China / Hong Kong SAR

中国激光市场稳步增长， 电话
传真
地址
(852) 2838 6298
(852) 2838 2766
香港九龙长沙湾青山道478号
百欣大厦13楼B室

玻璃加工悄然升温
出版总监 麦协林 Adonis Mak
电邮 adonism@actintl.com.hk
社长 姚丽莹 Hatter Yao
电邮 hattery@actintl.com.hk
中国版主编 庞会荣 Rossie Pang
电邮 rossiep@actintl.com.hk
记者 张辉 Denny Zhang
dennyz@actintl.com.hk
于刚刚过去的 2023 年，尽管面对全球经济复苏疲软、地缘政治形势
电邮

对
记者 胡婴 Lily Hu
电邮 lilyh@actintl.com.hk
复杂严峻、行业内卷越来越厉害等诸多不利因素，但是 2023 年中国 技术顾问 顾正

激光市场依然实现了 6.5% 的增长。虽然这个数字相比于两位数的增 免费赠阅咨询

电话 (86) 755-2598 8573
长有些逊色，但是它依然保持住了过去十年来中国激光市场稳步增长的上扬 (86) 755-2598 8567
传真 (86) 755 2598 8567
趋势。这也反映了中国激光市场的韧性和发展空间，预计 2024 年中国激光市 电邮 circulation@actintl.com.hk

场将继续复苏，年增长率有望达到 10%（p8）。 特约编辑

In My View Jeffrey Bairstow
制造业转型升级、提高产品质量和生产效率、降低成本等需求，以及激 电邮 inmyview@yahoo.com
Industrial Lasers David A. Belforte
光器本身的价格越来越亲民，已经逐渐促使激光这种先进的加工工具，走向 电话 (1) 508-347-9324
电邮 dbelforte@endeavorb2b.com
了越来越广泛的应用空间，比如手持式激光焊接机正在发展成很多工人的必 Valerie Coffey
电话 (1) 978-263-4485
备工具，这就不难理解为什么 2023 年国内手持式激光焊接机市场实现了翻番 电邮 stellaredit@gmail.com
Photonic Frontiers Jeff Hecht
增长。同时，激光技术自身的发展，尤其是近年来超快激光技术的发展，更 电话 617-965-3834
电邮 jeff@jeffhecht.com
是攻克了很多以前无法实现的应用，让激光技术能够胜任的领域越来越多。 Imaging Conard Holton
电话 (1) 603-891-9161
其中，玻璃加工市场正在悄然升温。随着显示器的应用场景越来越多，比 电邮 cholton@pennwell.com
Europe D. Jason Palmer
如手机、电脑、平板、车载显示、手表、AR/VR 眼镜等等，市场对玻璃加工的 电话 (44) 7960 363308
电邮 djasonpalmer@gmail.com
需求越来越多，这随之也刺激了超快激光技术的快速发展。玻璃加工将是超快
尖端技术部市场总监 Adrienne Adler
美术编辑总监 Suzanne Heiser
激光器的一大重要应用阵地。本期内容特别为读者精选了几篇玻璃加工方面的 高级绘图 Chris Hipp

文章，包括使用 50W 红外皮秒激光器搭配贝塞尔切割头，实现 0.3mm 厚的车 制作经理

广告协调员
Sheila Ward
Steve Archer
客户开发经理 Debbie Bouley
载显示屏玻璃盖板的不规则形状的一次成型切割（p27）；利用飞秒激光切割由
高折射率玻璃制成的 AR 目镜（p29）；以及使用飞秒激光切割超薄玻璃、硼硅
酸盐玻璃、聚合物（PMMA、PC、PET、PLA 等）的实验性测试（p32）
。玻璃 尖端技术部通讯与光电子分部
副总裁 / 集团出版人 Alan Bergstein
加工是非常值得关注的一个重要市场，在全球范围内，激光玻璃加工的市场规 电话 (1) 603-891-9178
电邮 alanb@endeavorb2b.com
模和增长率都在逐年增加。根据市场研究机构的数据，全球激光玻璃加工市场 副出版人/总编辑 John Lewis
电话 (1) 603-891-9320
的规模，有望从 2018 年的 100 亿美元增长到 2025 年的 180 亿美元，年均复合 电邮 jlewis@endeavorb2b.com
高级编辑 John Wallace
增长率超过 9%。由此可见，玻璃加工的确是一个不容忽视的增量市场。 电话 (1) 603-891-9228
电邮 jwallace@endeavorb2b.com
AI 技术的火爆发展和在各个领域的落地应用，也为光子学技术带来了商 高级编辑 Gail Overton
电话 (1) 603-305-4756
机。AI 技术应用最为显著的特点之一就是要处理海量的数据，建立模型，推 电邮 goverton@endeavorb2b.com
管理编辑 Lee Dubay
理分析，都需要大量的数据快速、高效地传输，而光传输方式相比于传统的 电话 (1) 603-891-9116
电邮 ldubay@endeavorb2b.com
电传输，无论是在带宽、功耗还是在成本方面，都具有压倒性优势（p22）。
公司行政人员
本期还精选了激光扫描振镜技术（p11）、太阳能电池中的隐裂检测（p13）、 主席 Frank T. Lauinger
总裁兼行政总监 Robert F. Biolchini
焊接夹具设计（p17）、超薄聚合物干涉滤光片的制造（p19）、绿光纳秒激光 财务总监 Mark Wilmoth

切割 PCB（p25）以及光束测量（p34）等内容，供读者参考。 尖端技术分部
读者服务主任 Debbie Bouley

地址 Laser Focus World, 61 Spit Brook Road,

Suite 501, Nashua, NH 03060
本刊编辑部
电话 (1) 603-891-0123
网址 www.laserfocusworld.com

ISSN 1817-6917
2024 版权所有 翻印必究
4 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界
前沿简讯 Leading Edge Snapshots
人工智能将成为下一个光子学前沿领域
2024 年， 人 工 智 能（AI） 将 继 技术结合起来，可以帮助几乎每一台
续成为从跨国企业到初创企业等实体 电子设备，包括无人机、机器人和可
的关键关注点。从医疗保健到金融， 穿戴设备，更真实地感知周围环境。
再到消费电子等行业，都在寻求利用 光子学界已经在推进这项工
AI 技术实现更具成本效益、更高效 作。 比 如 硅 光 子 学 领 域 的 SiLC
的运营和行业领先的解决方案，进而 Technologies 公 司（SiLC）， 致 力 于
增强自身潜力。 让机器能够像人类一样看东西，利用
但任何变革性的技术，都必然会 效、更优化的解决方案。随着行业领 硅光子术支持智能机器学习和人工智
带来该领域内的狂热和竞争。AI 技 先的公司投资于研究以激发这一新的 能。该公司的主要解决方案 Eyeonic
术领导者也在寻求在早期基础上增强 潜力，光子解决方案将成为 AI 背后 视觉系统，已经将 FMCW 激光雷达
和扩展的方法，不断推出竞争市场的 的一大发展驱动力。 与硅光子学相结合，最近已经实现了
最佳解决方案。 例 如， 硅 光 子 学 在 各 种 应 用 的 超过两公里的探测范围。这一进步对
这也为光子学提供了新的市场机 3D 传感器小型化等发展中，发挥着 自动驾驶汽车、无人机、可穿戴设备
会。 至关重要的作用。考虑如何将这些进 等都预示着更广阔的发展前景。
光子学处于可能性的边缘。虽然 步与调频连续波（FMCW）激光雷达 这只是光子学将如何促进 AI 进化
AI 已经建立起来，但目前的解决方 相结合，该激光雷达能够使用眼睛安 的一个独特例子。未来，光子学即使与
案只是触及了其能力的表面。光子技 全的波长，提供瞬时速度，并消除对 AI 技术的结合，将有望激发出 AI 技术
术作为一种使能技术，可以提供更高 高功率激光的远距离需求。将这两种 在更广泛应用领域的无限潜力。

行业首条光波导玻璃晶圆激光加工智能产线交付
2023 年 12 月 28 日，华工激光行 年积累的深厚的产品研发经验，围绕 从而推动玻璃加工行业向高端化、精
业首条光波导玻璃晶圆激光加工智能 AR 市场需求而专门研发的，它实现 细化方向发展，实现高质量跃迁。
产线顺利交付上海客户。 了自动化、智能化的“零突破”，开 光波导玻璃晶圆激光加工智能产
据悉，该条光波导玻璃晶圆激光 启了 AR 产品加工领域量产的新时代。 线的成功出货，标志着华工激光已经
加工智能产线，是华工激光基于其多 该设备采用华工激光自研的激光 具备最新 AR 行业激光加工设备的成
裂纹定向技术（LCO 技术），可以对 熟量产能力，极大地助力 AR 光波导
超快激光能量分布进行实时调节，实 行业迈上自动化、规模化、量产化的
现材料切割裂纹定向延展，减少微裂 发展新台阶，更好地满足智能终端产
纹扩散。 品生产的新需求。
相比于普通的贝塞尔切割技术， 作为脆材行业激光加工引领者，
LCO 技 术 可 以 实 现 加 工 质 量 提 升 5 华工激光将继续携手行业伙伴推动
倍，加工的产品强度提升 30% 以上， AR/VR 领域的技术革命转型，助力
将成为 AR/VR 领域激光加工的首选， 行业高质量快速发展。

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 5

Leading Edge Snapshots 前沿简讯

国内高重频高功率超快激光器研究取得进展
中科院上海光机所强场 好的脉冲质量，压缩脉冲宽
激 光 物 理 国 家 重 点 实 验 室， 度 为 406fs， 且 脉 冲 形 状 规
在高重频高功率超快激光器 范，无基座或旁瓣。这是目
研究方面取得进展。 前 Innoslab 激光器在毫焦耳
大功率、大能量、窄脉 能量范围内、数百瓦平均功
宽的超快激光器对于科研和 率下的最短脉冲宽度。
工业应用具有重要意义。与 实验中对脉冲的演化过
掺钕的全固态皮秒激光器相 程也进行了定性分析，认为
比，掺镱的全固态亚皮秒激 来自激光器前端残余的高阶
光器通常采用啁啾脉冲放大技术，在 构的数百瓦量级 Innoslab 超快激光器 色散、放大器的增益滤波效应、展宽
相同的脉冲能量下具有更高的峰值功 的研制。通过采用平凸柱面镜混合 器和压缩器之间三阶色散的轻微失
率，并且通过进一步的非线性压缩可 腔结构，很好地实现了自激振荡抑 配，以及放大器中累积的非线性相移
以达到 100fs 以下甚至少周期量级的 制，设计并研制了高增益、高功率的 的综合效应，实现了高脉冲质量的输
脉冲宽度，极大地扩展了掺镱超快激 Innoslab 放大器。 出，为 Innoslab 放大器获得更短脉冲
光器的应用场景。部分端面泵浦的板 放 大 器 实 现 了 平 均 功 率 417W、 宽度提供了新思路。该激光器将应用
条（Innoslab）放大器是实现高功率 重 复 频 率 175kHz 的 啁 啾 脉 冲 放 于高次谐波产生和微纳加工等相关应
超快激光放大的主要手段之一。 大 输 出， 输 出 光 束 在 脉 冲 能 量 为 用领域。
本研究完成了基于平凸柱面镜结 1.7~2.38mJ 的 范 围 内 都 表 现 出 了 良

华日激光推出国内首台百瓦毫焦光纤飞秒激光器
近日，华日激光推出的 LumiFemto 面积的同时，还会引发横模不
HE 百 瓦 毫 焦 飞 秒 光 纤 激 光 器 独 树 稳定现象，这也是光纤难以实
一帜，是国内首家同时实现功率＞ 现大能量、高功率的难点所在。
100W、单脉冲能量＞ 1mJ 的光纤飞秒 针对上述光纤放大中的问
激光器。 题与难点，华日激光在多年高
目前市场上鲜有百瓦毫焦飞秒激 功率超快光纤激光研究的基础
光器，因为要实现大能量、高功率飞 上，结合独有的结构设计，攻
秒脉冲输出，主放大是关键，而主放 克了光纤放大过程中“非线性
大基本都采用啁啾脉冲放大技术。光 效应强”和“横模不稳定”这
纤啁啾脉冲放大由于结构简单，可以 两大技术难题。 LumiFemtoHE 具备大单脉冲能量、
多级放大，光纤表面积体积比大，散 该飞秒激光器在 100kHz 的重复 窄脉宽（＜ 300fs）
、高平均功率和高
热性能好，而且光纤的波导结构使得 频率下，实现了 110W 的平均功率输 重复频率四个特点，同时支持脉冲串
激光输出光束质量优异。但是，受限 出，脉冲宽度可低至 250fs，单脉冲 或 GHz 脉冲串功能。主要应用领域包
于光纤中的非线性效应，光纤产生的 能量＞ 1mJ。该激光器全功率段，加 括 ：高速微纳切割和钻孔、显示面板
单脉冲能量难以突破毫焦的瓶颈，并 工脉宽稳定无变化，是国内首次实现 切割、大幅面表面微结构、微电子领域、
且随着平均功率的增加，有源光纤的 单纤突破毫焦的百瓦飞秒光纤激光器 生命科学成像、光谱学领域和高次谐
热负荷急剧上升 ；热效应在减小模场 量产机，突破了国外技术壁垒。 波以及阿秒脉冲的产生等。

6 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 前沿简讯 Leading Edge Snapshots

在光纤上 3D 打印光学器件来制造混合激光器
近期，德国斯图加特大学的研究
团队首次证明了基于 3D 打印聚合物
的微型光学元件，能够承受激光器内
部产生的热量和功率。这一发现为制
造廉价、紧凑且性能稳定的激光源铺
平了道路。这种激光源在多种应用场
景中都极为重要，特别是在自动驾驶
汽车所用的激光雷达系统中。 接在光纤上 3D 打印微型光学器件， 功率和颜色。
团队负责人 Simon Angstenberger 从而将光纤与激光晶体紧密结合在一 Simon Angstenberger 指 出 ：
“迄
“我们利用 3D 打印技术，直
表示 ： 个激光振荡器中。该混合型激光器能 今为止，3D 打印光学主要应用于低
接在激光器内部的玻璃纤维上制造出 够在 1063.4nm 波长处稳定工作，输 功率场景，如内窥镜。但我们证明了
了高质量的微型光学器件，大幅减小 出功率超过 20mW，最大输出功率达 这些技术在高功率应用中的潜力，例
了激光器的体积。这是首次将这种 到 37mW。 如用于光刻和激光打标。我们展示了
3D 打印光学元件应用于实际激光器 这种新型激光器结合了光纤激光 这些直接打印在光纤上的 3D 微型光
中，充分证明了它们的高耐损阈值和 器的紧凑性、坚固性和低成本优势， 学元件可以集中大量光线至一点，这
稳定性。” 以及基于晶体的固态激光器的优点， 在医学领域，比如精确摧毁癌细胞等
研究团队详细描述了他们如何直 后者拥有广泛的性能特点，如不同的 应用中具有重要价值。”

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 7

Market Watch 市场风向标
中国工业激光市场在动荡时期稳步增长
本市场报告重点关注激光加工和工业激光器的趋势，同时涉及超快激光器、光纤激光器、激光雷
达和手持式焊接市场预期。
文/顾波
于中国的大多数激光公司来说，2023 年是追求卓
对 越和坚韧努力的一年。尽管新冠疫情后国际地缘
政治形势复杂严峻，全球和国内经济复苏疲软，
但 2023 年中国激光市场仍实现了 6.5% 的年度增长，市场
规模达到 144.3 亿美元（见图 1）。这个增速虽然没有 2021
年的两位数增长那么高，但比 2022 年的 5% 要好。此外，
与世界其他地区相比，中国激光行业仍然表现良好，显示
了其市场韧性和发展活力。预计 2024 年中国激光市场的年
增长率将达到 10.2%，市场规模将达到 159 亿美元。
激光技术的应用已成为许多制造业提高质量、降低
成本、提高终端行业竞争力、实现新旧产业转型的关键。 蓝光激光器在中国市场值得关注。
2020 年，中国激光产业全年实现 10% 的增长，远超预期。
2021 年，中国激光产业继续保持着积极的增长趋势。在巨
大的经济体量和全球市场需求以及新的双循环经济战略的
共同作用下，2021 年中国激光设备市场的总体规模同比增
长 18.3%，达到创纪录的 129.1 亿美元。
2023年中国激光产业亮点
高功率、高亮度、小型化已成为光纤激光器的主流方
向。高功率光纤激光器仍然是主要的发展方向。中国几家公
司现在提供高达 60kW 的连续波（CW）光纤激光器。此外， 生产出高平均功率（300~600W）和高单脉冲能量（3.5mJ，
对小型化和轻量化特性的关注，代表了光纤激光器的另一
个发展趋势。
我们还看到了高达 3500W 的蓝光激光器的出现。蓝光
激光器的发展主要是由电动汽车电池、金属 3D 打印和消费
电子市场的生产需求所推动。新能源行业对纯铜的焊接需
求正在迅速增长。
与标准光纤激光器的红外（IR）波长相比，铜可以在
蓝光波长下实现更好的吸收，这使得蓝光激光器在动力电
池领域非常有吸引力。与红外激光加工相比，蓝光激光在
焊接和熔覆过程中几乎不会引入气孔和飞溅物，确保了光滑
的外观，避免了二次加工。此外，使用蓝光激光器能够以
8 Jan/ Feb 2024
较低的激光功率焊接纯铜 ；该焊接工艺具有稳定的熔池，
既节能又环保。随着广泛应用带来的成本降低，未来几年
国产化进程全面加快。过去几年，一些欧美公司因去
耦合或去风险而退出中国市场，这无疑为国产化全面替代
腾出了市场空间。十年前，国产化主要体现在激光源领域。
如今，国产化已经从激光器渗透到激光器件的上下游，如
半导体芯片、光纤、光纤布拉格光栅、高速扫描镜、激光
加工头、运动控制和过程监控系统。目前，国产光纤激光
器和大功率激光切割系统占据了中国市场的大部分份额。
随着国产产品质量的不断提升，激光全产品链的国产
化进程正在全面加快。例如，国内超快激光器制造商已经
800fs，50kHz~1MHz）的产品，这正在加速中国市场中超
快激光器的国产替代。
新市场不断涌现。绿色能源、新材料和下一代信息网络
是当今中国经济发展的重要新市场，中国激光行业越来越
融入这些大趋势。因此，市场潜力不断影响电动汽车、3C、
医疗保健、航空航天、高速列车、造船和先进制造业等领域。
促进绿色制造业对中国应对气候变化、实现碳达峰和碳中
和目标至关重要。
俄乌冲突对全球能源供应的影响，重塑了全球能源供
应格局。储能产业已经成为中国和世界发达国家在当前和未
来几年必须竞争的舞台。高功率激光加工技术的成熟和高
www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界
 市场风向标 Market Watch

功率激光加工头性能的提高，使激光技术在减少碳排放、 东南部到西南部，激光产业已经在全国多个地区蓬勃发展。
储能应用和先进制造方面表现更好。 加强合作和跨界成为主流。在过去的几年中，光纤激
工业激光集群在中国多个地点蓬勃发展。在中国东部， 光器、激光切割系统甚至超快激光器领域激烈的价格竞争，
激光加工设备在促进江苏、浙江和山东等省传统制造业的 导致下游制造商要求供应商提供更多的利润空间。因此，上
产业升级和转型方面，发挥了至关重要的作用。尽管近年 游供应商将部分利润转移给下游客户的做法，将成为常态。
来地方政府的财政状况并不好，但他们仍然倾向于在地方经 在经济疲软和利润枯竭的情况下，企业之间加强合作
济中欢迎和投资这些重资本支出的企业。激光企业在与当 将取代垂直整合，成为后疫情时代中国工业激光行业流行
地传统产业的合作中，也获得了持续的红利。济南、临沂、 的商业模式。此外，一些下游大公司已经跨界进入激光设
无锡、宿迁、温州、台州等城市继续吸引激光投资，并招 备制造领域。例如，电池制造商宁德时代与杰普特合作开
聘激光技术相关人才，为当地经济转型创造了以激光技术 发激光生产机；华工激光与世界领先的光纤制造商长飞公司
为基础的先进制造业新生态环境。 （YOFC）合作，开发半导体制造业的激光应用 ；Maxwell、
在中国中部地区，湖北省在经历了疫情的磨难后，开 无锡领先智能设备等半导体设备巨头已经进军激光设备制
始焕发出更加旺盛的生机和活力。省会城市武汉作为全国 造领域，利用其技术和销售渠道优势，进一步巩固其市场
工业激光技术的重要发祥地，积累并迅速发展了新的激光 领先地位。
公司。孝感、鄂州、黄石等周边城市，已经开始接受光谷 资本投资成为融资的首要主题。近年来，激光公司已
等地成果的外溢。 成为中国投资者的宠儿。越来越多的资本进入激光相关投
在西南地区，宜宾、绵阳等城市已经采取多种措施促 资领域 ：华为子公司哈勃投资（Hubble Investment）投资了
进激光产业投资。这些城市吸引了许多激光电池加工设备制 长光华芯、炬光科技和海创光电；盈科 PE 投资了创鑫激光。
造商探索和开发西南动力电池市场。从中国中部到东部、从 然而，今天的投资者更加务实。他们更感兴趣的是投资于

HXP200
高负载六足位移台
HXP200高负载六足位移台是一种并联运动装置，提供六个
自由度: X, Y, Z，俯仰，翻转，偏摆。对于需要高达50 kg
中心负载、至少5 kg偏心负载的复杂运动应用是有效的解
决方案。
• 工作和工具坐标系旋转中心可自行编辑
• 高负载，50 kg
• 高速，81 mm/s
• 长行程范围可达 ±59 mm
• HexaViz仿真软件

了解更多信息，请访问 www.newport.com.cn 或拨打

客服电话 400 799 8000.

欢迎来访我们展位 W3.3100，2024年3月20-22日，
慕尼黑上海光博会, 上海新国际博览中心。
激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 9
Market Watch 市场风向标
行业的隐形冠军或领先的上市激光公司，将其优质资产拆
分到细分市场，然后在公开市场上市，从而实现投资的快
速变现。热门投资领域包括激光加工设备、激光雷达、激
光医疗器械制造、激光数控系统和激光光学元件。
2023年的中国激光市场
我们预计 2023 年各个激光市场的表现都比去年好。具
体而言，估计 2023 年中国光纤激光器市场将增长 6.4%， 激光市场很大，但无序竞争和激烈的价格战，使国内设备
市场规模达到 17.9 亿美元。激光切割和焊接系统市场将分
别增长 7.6% 和 44%，达到 50 亿美元和 42 亿美元。
预计 2023 年激光增材制造和激光清洗市场的规模将
分别达到 28 亿美元和 1.05 亿美元，年增长率分别为 21.7%
和 31%。
图1：预计2024年中国激光市场将达159亿美元，年增长率10.2%。
在半导体和显示器制造业以及玻璃加工应用需求的推
动下，中国超快激光器市场正在快速增长。目前，在中国这
些行业销售的超快激光器中，80% 是皮秒激光器，尽管飞
秒激光器的市场份额从去年的 10% 增加到了 20%。国产超
快激光器占据了超快系统总市值的 30%，2022 年达到 9.13
亿美元 ；预计 2023 年该市场将达到 10 亿美元以上。
手持式激光焊机市场是中国增长最快的激光应用市场之
一。我们估计，2022 年和 2023 年，手持式激光焊机在中国
市场的销量分别约为 7 万台和 15 万台，年增长率超过 100%。
最后是中国激光雷达市场 ：在汽车行业转型升级的背
景下，激光雷达已成为发展中国智能汽车行业的关键引擎。 及时纠正，从而提高生产效率和产品质量，降低成本。在
近年来，中国激光雷达产业受到各级政府的高度重视和国
家产业政策的重点支持。国家先后出台多项政策，鼓励激
光雷达产业的发展和创新。这些政策为发展激光雷达产业
提供了清晰广阔的市场前景，创造了有利的生产经营环境。
随着人工智能技术的不断突破和升级，在自动驾驶需
求扩大、激光雷达应用在高级辅助驾驶中的渗透率不断提
10 Jan/ Feb 2024
高以及机器人和智慧城市建设需求的推动下，中国激光雷
达市场将进入快速增长期。
2022 年中国激光雷达的市场规模为 3.66 亿美元，预计
2023 年该市场将达到 10 亿美元，2024 年达到 19.4 亿美元。
未来展望
开拓海外设备市场正成为行业的首要话题。中国国内
制造商的生存越来越困难。因此，开拓海外市场正成为许
多公司的发展出路。
随着中国部分制造业因国际供应链调整或去风险而转
移到东南亚，越南、泰国和印度尼西亚等东南亚国家，几
年前就开始从中国购买激光设备。此外，印度、土耳其、俄
罗斯、巴西、墨西哥和一些非洲国家，对激光设备的需求
也很高，以帮助实现其经济发展和产业转型。中国激光设
备因其卓越的性价比而在海外市场备受追捧。预计到 2025
年，中国激光行业 30% 的销售收入将来自海外市场。
定制化产品成为获取高利润的重要方式。在激光加工
设备领域，提供和实施定制解决方案，已成为设备制造商
获得高利润的重要来源。由于技术进步、保密性、排他性，
以及对灵活定制生产的需求，更多的客户愿意选择和支付
定制的产品解决方案，以促进智能生产。独特而复杂的环
境也带来了许多新的行业应用。
与此同时，越来越多的激光加工设备制造商正在寻求
高盈利能力。他们不再满足于生产标准化的产品，而是开
始选择与客户共同开发产品的道路。现在，数控机床制造
商与激光光源制造商和激光加工设备制造商合作，开发下
一代智能激光制造设备已成为普遍现象。
人工智能推动激光智能制造。今天，自动化和零缺陷
生产是先进制造业的重要趋势。人工智能在这两个方面发
挥着至关重要的作用。随着 ChatGPT 等人工智能程序的发
展，人工智能通过学习和培训，可以帮助监控激光产品设计、
制造和测试的整个过程。它还可以识别潜在的质量问题并
数字孪生技术的支持下，人工智能可以实现对设计和设备
工作状态的虚拟模拟。人工智能还可以根据客户要求设计
人机界面，提高激光制造设备的可用性。许多中国激光制
造商开始在生产过程中使用人工智能。我们估计，已经有
15% 的中国激光公司使用了人工智能技术，预计这个比例将
在未来三年内达到 60% 以上。
www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界
 访谈 Interviews

激光扫描振镜进一步提升高性能激光加工
的效率与质量
文/LFWC

能手机、医疗设备和半导体等产 A ：在高精密应用中，其目标是在保证

智 品的大批量生产，需要高速、高
精度的激光加工。市场对体积更
加工质量的同时最大限度地提高产量，但
这绝非易事。激光扫描振镜以极高的速度
小、速度更快、成本更低的产品的需求， 沿特定路径移动，并沿扫描路径精确控制
增加了加工的复杂性和成本压力。因此， 激光能量输出。然而，提高激光扫描振镜
激光加工速度和加工质量之间形成了相互 的速度会影响激光光斑的位置精度，对于
Bryan Germann 冲突的两个方面。Aerotech 公司激光加工 复杂的运动路径更是如此。
Aerotech公司激光加工产品经理
产品经理 Bryan Germann 先生，针对最新 因此，要提高动态性能以保持高精度，
的扫描振镜技术和控制方法给出了专业讲 通常需要对系统进行全面优化，包括运动
解，下文将以问答形式与读者分享该内容。 控制软件和硬件、机械元器件和机器集成
50 多年来，Aerotech 公司始终走在精 等。
密运动控制和自动化的前沿，是高性能激 以赛车运动类比，所有汽车都有不同
光扫描振镜、线性 / 旋转平台、运动控制器 的加速、减速和转弯能力，这取决于其性
和先进制造应用交钥匙自动化系统的领先 能需求。一辆四缸轿车的要求与一辆一级
制造商。 方程式赛车不同。但即使是性能优异的一
Q ：如果要提高激光精密加工的产量， 级方程式赛车，也必须减速转弯。在这种
激光加工、自动化和产品设计工程师将会 情况下，最微小的设计变化能产生巨大的
面临哪些挑战？ 性能优势。

图1：即使是性能出色的一级方程式赛车，在转弯时也必须减速。

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 11

Interviews 访谈
Q ：激光扫描振镜的哪些设计因
素会影响性能？
A ：扫描振镜到加工件的工作距
离，会影响扫描振镜的视场、激光光
斑和分辨率。更宽的视场和更长的焦
距，可以加工更大的表面或一次性可
以加工多个工件。在给定聚焦镜头的
情况下，需要在“更大的光斑尺寸”
与“更低的位置分辨率”之间做出权
衡。激光功率和重复频率必须与光斑
运动曲线同步。针对以上所有因素进
行优化的系统将产生最宽的视场，保
证在满足加工质量的同时实现加工速
度的最大化。
就 扫 描 振 镜 本 身 而 言， 电 机 的
设计应尽量减少惯性，最大限度地提
高刚度，从而提高加工速度并减少抖
动（激光束移动过程中的最小增量距
离）。激光扫描振镜还应具有最大的
刚度、最佳的视场与焦距比以及最小
的热负荷。这将允许用户在切割时保
持更快的速度、更长的焦距以及更小
的偏移与轨迹误差。
Q ：高动态激光加工技术的哪些
发展，提高了加工效率和加工质量？
A ：增加扫描振镜的视场可提高
加工效率。扫描振镜离加工件表面越
远，光斑移动的速度就越快，移动的
距离也会成比例增加。如果工艺允许
增加光斑尺寸，则可以在更短时间内
加工更多工件，同时减少位置浪费。 确定位，从而实现高质量和一致的加
此外，如果在这些较长的工作距离上
仍能保持跟踪误差性能，则不会影响
加工质量和产量。
这听起来像是一个可以提高产量
的简易方法，但它需要系统级的调整。 高带宽光纤连接。扫描振镜和平台
一切都必须改进，以便在长工作距离
内实现微米级加工精度（短工作距离
通常能够实现微米级精度）。否则， 和扫描振镜是连接在一起的，因此扫
在较短工作距离上出现的任何误差都
12 Jan/ Feb 2024
光学系统设计注意事项
有效焦距(EFL)决定光斑尺寸、抖动极限和扫描速度
振镜电机和
反射镜
F-theta透镜组
工作面
因此， 振镜电机和
反射镜
在相同时间内，
镜头2将光束移动的距离是镜头1的2.5倍
F-theta透镜组
但是，
镜头2以相同的精度移动，
需要的光斑尺寸更大，分辨率会更低。
工作面
图2：激光扫描振镜如何将旋转振镜位置转换为工作面上的线性位置，以及与工作面的距离如何影响速度
和分辨率的图示。
会在较长距离上被放大。Aerotech 公 下，实时动态补偿平台运动的误差。
司将 AGV-XPO 扫描振镜与自产驱动 对于寻求更快、更可靠地加工方案的
器相适配，帮助用户实现性能优化。 机器制造商来说，这是一个强有力的
Q ：使用同一个运动控制器控制 解决方案。
激光扫描振镜和伺服平台，有什么优 Q ：在设计激光扫描振镜系统方
势？ 面，能否给设计人员一些提示和建议？
A ：优势在于 ：能够实现激光束 A ：首先要确定特定的应用需要
定位和工件运动同步，简化系统集成 什么样的系统性能，如需要多大的视
和编程，提高性能和灵活性，降低潜 场来适应加工件？光束定位需要达到
在成本。 什么样的精度？目标成本是多少？如
也许最重要的优势是实时同步和 果使用某套元器件，是否需要更多的
协调运动。使用同一个控制器，可实 占地面积和管理费用？满足严格的质
现激光扫描振镜和伺服平台之间的精 量规范需要哪些条件？
确同步，从而确保激光束和工件的精 元器件的性能过高或过低都会增
确同步定位。这种同步运动在高精度 加单位成本，并导致设备需要更多的
激光切割（需要精确的运动曲线）等 时间来编程和维护。此外，无论使用
应用中至关重要。它能确保激光束精 哪种激光扫描振镜，高加速度运动都
会引起一定程度的位置误差。为了满
工效果。 足应用需求，必须在轨迹层面或机器
利 用 Aerotech 公 司 的 无 限 视 场 层面做出妥协。先进的控制策略和卓
（lFOV）控制能力，扫描振镜和平台 越的机械系统设计将最大限度地减少
运动由同一个控制器控制，并通过 这种妥协，因此，在设计激光扫描振
镜时，对元器件的信心应是首要目标。
的运动轨迹来自激光扫描振镜的双轴 使用专为协同工作而设计的元器
指令。由于指令是单一的，并且平台 件肯定有其优势，其能够消除元器件
集成中的协同配合问题，可以更快、
描振镜可以在不需要用户输入的情况 更容易地完成设置并投入生产。
www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界
 技术中心 Technologies Center

成像探测

利用光致发光成像检查太阳能电池中的隐裂
太阳能电池表面不可见的内部隐裂，将影响其功率输出，PLatypus工具可以检测到这些问题。

文/Sally Cole Johnson

了帮助解决人类面临的巨 子倾向于以一种不产生光的

为 大气候变化问题，我们需
要建造大量的太阳能发电
方式重新结合。因此，当我
们拍摄光致发光的照片时，
厂。这些发电厂可以产生廉价、清洁 存在裂纹的区域显示得比周
的电力，但前提是它们能够长期可靠 围区域更暗。”
地运行。
因 此， 美 国 能 源 部 国 家 可 再 生 创建光致发光图像
能 源 实 验 室（NREL） 的 高 级 科 学 为了创建光致发光图 图1：国家可再生能源实验室（N R E L）的研究人员Ti m
Silverman和Nicole Luna正在查看PLatypus生成的数据，该数据与
家 Tim Silverman 和同事们正在通过 像，研究人员将单色光照射 Flatirons校区的光伏系统相连。（图片来源：NREL）

Platypus 系统检测现有太阳能电池中 到太阳能电池板上，并用相机收集重 Silverman 说 ：

“我一直认为光致
的 问 题。PLatypu 是 一 套 相 机 系 统， 新发射的光。最好在晚上进行这项操 发光成像是实验室中使用的一种专门
旨在检测现场光伏模块中不可见的隐 作，以避免阳光照射。 技术。后来我的朋友 Will Hobbs 在他
形问题。 Silverman 说 ：
“光致发光强度比 的车库里使用从网上订购的产品做了
Platypus 系统对光致发光进行成 入射光暗得多，所以我们需要设计一 这件事，这真是一个惊喜。我们意识
像，当光被吸收并以更长的波长重新 个能够发射大量光、并收集波长偏移 到可以把车库里的装置应用到真正的
发射时，就会发生光致发光。太阳能 后返回的少量光的系统。” 发电厂中使用。
”
电池表现出光致发光，重新发射的光 它 需 要 强 大 的 LED、 灵 敏 的 相 研究人员面临的一项有趣的挑战
越强，太阳能电池的质量就越好。 机和滤镜，来防止原始光线出现在图 是，在他们第一次全面演示的中途，
“当太阳能电池内部因恶劣的冰 像中。Silverman 说 ：
“在很长一段时 天 开 始 下 雪 了。Silverman 和 同 事 们
雹天气而破裂时，我们无法用眼睛看 间内，这都是一项在实验室中进行的 没有一个简单的方法来重新安排他们
到 裂 缝。”Silverman 介 绍 说，“ 但 是 小规模测量。但幸运的是，随着主要 的演示，所以他们只能一边演示一边
裂纹产生了两个新的界面，电荷载流 器件变得更好、更便宜，太阳能电池 清理太阳能电池板上的雪。事实证明，
的光致发光强度也越来 他们的概念验证原型是防雪的。
越 强， 这 使 得 我 们 今 天 “通过原型验证表明，我们的技
能 够 以 大 规 模、 低 成 本 术是可行的，而且成本和系统复杂性
的方式做到这一点。” 都 比 较 合 理。”Silverman 表 示，
“但
尽管大多数太阳能 目前它并不是一个用户友好的日常使
发 电 厂 运 行 良 好， 但 研 用工具。在未来的项目中，我们希望
究人员还是设计了他们 制作一个新版本。然后，人们可以使
的 PLatypus 工 具 来 检 测 用 Platypus 自行检查，这样他们就不
图2：国家可再生能源实验室的研究人员Ti m S i l v e r m a n、N i c o l e 太阳能电池板中存在的 用担心发电厂是否存在看不见的隐形
Luna、Byron McDanold和Josh Parker在Flatirons校区的光伏系统中，
测试了Platypus系统的原型。（图片来源：NREL） 隐形故障。 损坏了。”

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 13

 技术中心 Technologies Center

超快激光

超快激光追踪石墨烯内电子的弹道运动
与电探测相比，全光超快激光技术提供了探索弹道和相干区内电子传输所需要的分辨率。

文/Sally Cole Johnson

近，美国堪萨斯大学超快

最 激光实验室的一个研究团
队成功地捕捉到了石墨烯
内电子的实时弹道传输，这可能会在
未来产生更快、更强大、更节能的电
子设备。
电子运动往往会被与固体中其他
粒子的碰撞所打断，大约每秒会被打
断 100 亿到 1000 亿次。这些碰撞会
减慢电子的运动速度，导致能量损失，
并产生多余的热量。如果能够阻止这
些碰撞，那么电子就可以在固体中不
图1：赵辉在堪萨斯大学超高速激光实验室以及他的团队装置。（图片来源：堪萨斯大学）
受阻碍地移动，就像弹道导弹在空中
飞行一样。 神奇的材料，因为它不同寻常的特性 的时间窗口来分析电子运动的特性。
”
堪萨斯大学物理学和天文学教授 而有望实现更快、更高效的下一代电 负责实验的博士生 Ryan Scott 说，
赵辉解释说 ：
“超快激光器提供了超 子设备。 这两层总厚度仅为 1.5nm 的分子，
“迫
高的时间分辨率，是速度最快的实验 “光为电子提供能量， 使电子在大约 50 万亿分之一秒的时间
赵辉表示 ：
工具之一。电子在固体中的弹道传输 使其能够释放出来自由地移动，从而在 内保持移动”
。对于配备了时间分辨率
发生在很短的时间尺度上，因此通过 电子原来的位置处留下一个空穴。
”但 高达 0.1 万亿分之一秒的超快激光器
超快激光研究弹道传输来追踪电子运 是石墨烯中的电子在回落到空穴中之前 的研究人员来说，电子的这段运动时
动，堪称一种完美的匹配方法。” 只能移动大约万亿分之一秒，这使得追 间已经足够用来跟踪它们的运动了。
之前的电学测量已经揭示了弹道 踪电子的运动成为一项巨大挑战。 该团队的测量装置是一种基于
传输的特征，“但是在真实空间中实 为了解决这一问题，该团队设计 超快激光器的瞬态吸收显微镜，能够
时追踪弹道运动是一件很酷的事情。 并制造了一种四层人工结构，即两个 以纳米级的空间分辨率解析电子的运
这为监测固体中的电子提供了一种非 石墨烯层由一层二硫化钼和一层二硒 动。赵辉说 ：
“我们通过石墨烯中的
侵入性和非破坏性工具。”赵辉说道。 化钼隔开。赵辉说 ：
“通过在两个石墨 移动电子对光反射的影响，来追踪电
烯层之间插入两种单层半导体材料， 子——电子会略微增加其所到位置处
全光学超快激光技术 我们将电子和空穴分离——将电子引 样品的反射率。这使我们能够在电子
该团队观察了石墨烯中的弹道运 导到一个石墨烯层，将空穴保留在另 移动时使用激光脉冲去跟踪它们。”
动，石墨烯由单层碳原子组成，形成 一个石墨烯层中，这样电子就不会很 换言之，他们使用一种被称为“泵
六边形晶格结构。石墨烯被誉为一种 快回落到空穴中，从而给了我们足够 浦脉冲”的紧密聚焦激光脉冲，来释

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 15

Technologies Center 技术中心

放样本中的电子 ；然后通过用另 在很长一段时间内保持稳定。这

一种被称作“探测脉冲”的聚焦 需要一些技巧和乏味的工作才能
激光脉冲，绘制样本的反射率来 完成。”
追踪电子。

电子位移(μm)
22km/s的
为了探测到如此微小的变 弹道运动速度
迈向弹道传输
化，他们一次释放了 20000 个电 真正的好消息是 ：弹道电子
子，并使用探针激光反射样品并 传输速度快，没有散射（能量损
测量反射率。该团队对每个数据 失），因此使用弹道传输的电子
点 重 复 该 过 程 8000 万 次。 图 2 设备可能会更快，功能更强大，
显示了微小电子的位移与时间图 更节能，从而减少延迟和热量问
的关键结果，直线意味着以恒定 题。
速度运动。因此，研究人员得出 时间(万亿分之一秒) 赵辉说 ：
“现在我们有了监
结论，电子平均以每秒 22 公里 图2：通过超快激光测量绘制的石墨烯中电子的位移与时间关系图。 测 弹 道 电 子 运 动 的‘ 雷 达 枪 ’，
的速度做弹道运动，大约 20 万亿分 以我们有很好的机会跟踪它们的弹道 我们将尝试将其作为一种工具，去研
之一秒后，撞上某物而终止弹道运动。 运动。我们的团队已经研究范德华异 究如何用电场和其他手段控制电子运
与电探测技术相比，该团队的全 质结构中的电荷转移长达十年之久， 动。我们还想探索新的设计，以延长
光超快激光技术提供了探索弹道和相 所以很高兴看到我们可以使用这些人 电子的弹道传输长度。这项研究中的
干区内电子传输所需要的高分辨率。 工结构来精细控制电子，使它们保持 样品保持在室温下。将样品冷却到较
该团队的工作中最令人惊讶的一 更长的移动时间。” 低温度，也可以延长其弹道长度。”
方面是，他们的初步测试证实了他们 这项研究最大的挑战是什么呢？ 该项目得到了美国能源部的支
的设备结构设计的有效性。“电子确 由于光信号较弱，研究小组不得不对 持，Ryan Scott 的工作得到了堪萨斯
实通过两个单层与空穴分离，并在更 多次测量结果进行平均，以获得结论 大学 Redeker 奖学金和研究生研究奖
长的时间内保持移动。”赵辉说，“所 性特征。赵辉说 ：
“这需要实验装置 的支持。

到 2028 年，全球生物光子学市场将以 12% 的复合年均增长率增长

Business Research 公 司 在《2023 近年来，生物光子学的市场规模 Thermo Fisher Scientific、OpGen、NU
年生物光子学全球市场报告》中指出， 迅速增长，预计将从 2023 年的 743.6 Skin Enterprises、IPG Photonics、Idex
微创手术需求的增加，将有助于全球 亿 美 元 增 长 到 2024 年 的 827.4 亿 美 Corporation、东芝、Horiba、Precision
生物光子学市场的增长。光学工程和 元，复合年均增长率（CAGR）高达 Photonics、 罗 氏 集 团、 通 用 电 气、
成像技术通过让远程内部部位的组织 11.3%。市场增长背后的驱动力，可 Koninklijke Philips NV、Affymetrix、
操作可视化，在微创手术的发展演进 归功于医学成像进步、疾病诊断与监 Andor Technology、Becton Dickinson
中发挥着至关重要的作用。 测、生命科学研究、光学传感和光谱 & Co、 卡 尔 蔡 司、FEI Company、
学、激光和光源创新。慢性病患病率 滨 松 光 电、Lumenis、 奥 林 巴 斯、
的不断上升，将推动生物光子学市场 PerkinElmer、Zecotek Photonics、
的发展。预计在未来的几年内，生物 Z e n a l u x B i o m e d i c a l、 G l e n b r o o k
光子市场将继续快速增长，到 2028 Technologies、 牛 津 仪 器 PLC、
年，将有望以 12% 的复合年均增长 Lumicks BV、Creoptix、ThinkCyte、
率增长到 1300.7 亿美元。 PhotoPharmics、Impedimed、Bioptics
生物光子学领域的主要公司包括 等。

16 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 技术中心 Technologies Center

夹具设计

激光焊接应用中不容忽视的夹具设计
为了充分发挥激光焊接的潜力，应用于激光焊接过程中的夹具，必须精心设计以保证一些基本功能。

文/Todd E.Lizotte，Joseph Dagher，Orest Ohar；BOLD Laser Automation

光焊接已经彻底改变了制 验证提供清晰的视线。

激 造业的格局，实现了医疗
器 械、 汽 车、 航 空 航 天 以
在夹具设计中，忽视上
述这些功能很可能导致焊接
及不断增长的电池和电动汽车等不同 质量不合格、出现早期故障
行业所需要的复杂组件的精确高效连 甚至是重大生产问题。图 1
接。虽然激光对实现顶级焊接至关重 中显示了工件间隙将会影响
要，但是焊接过程中使用的夹具设计 焊接效果。
的重要性，再怎么强调也不为过。精
心制作的夹具堪称焊接过程的支柱， 易于装载/卸载
能够确保焊接的稳定性、可重复性， 在 快 节 奏 的 制 造 业 中，
并最终保障焊接操作的成功。 效率至关重要。精心设计的
在夹具设计中，必须精心实现以 夹具必须有助于顺利装载和
下几种基本功能，以便充分发挥激光 卸载待焊接的部件。这在医 图2：托盘化夹具放置在激光焊接工具中。

焊接的全部潜力 ： 疗器械、汽车、航空航天和电动汽车 以确保焊接过程保持高效，从而最大

• 易于装载 / 卸载 ； 等行业尤为重要，因为对这些行业而
• 确保焊接零件之间的紧密接触 ； 言，焊接的精度和速度至关重要。阻
• 保持一致的夹具配准和部件公差； 碍零部件轻松装载和卸载的夹具，将
• 通过工业相机为激光焊接和对准 会阻碍产线的生产量。这一点在托盘
化夹具的情况下尤为明显，在将部件
移动到激光焊接系统中之前，需要将
其预加载到夹具内（见图 2）。
例如，在医疗器械制造场景中， 从而影响最终产品的结构完整性和
微小而复杂的部件必须使用激光进行
焊接。在这种情况下，夹具设计不当
会使操作员难以准确定位这些精密零
件。在许多情况下，夹具选择可能涉
及机器人操作，以便一次将组件组装
在一起。从某种程度上讲，这会延长
组装过程并增加损坏部件的风险。相
比之下，能够实现快速精确加载 / 卸
图1：夹具夹紧不足，导致待焊接零件的下方留有
间隙。 载（手动或自动）零部件的夹具，可
限度地减少操作员错误，并最大限度
地提高生产率。
确保最佳的零件接触
实现高质量的焊接需要待连接工
件之间保持最佳接触。工件之间的间
隙或错位可能导致焊接质量不合格，
可靠性。这一要求在安全和性能至
关重要的航空航天和电动汽车行业
尤为重要。
在图 1 中，显示了两个航空航天
领域的两个关键部件之间，由于夹具
设计不足，导致部件之间存在微小间
隙。当这些部件暴露在严格的飞行条
件下时，这些间隙可能引发应力集中，
导致部件过早失效。在电动汽车行业，

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 17

Technologies Center 技术中心
电池组是使用激光焊接组装的，部件 型夹紧情况。
中的任何间隙或错位都会影响电池的
整体性能和寿命，可能导致成本高昂 无障碍视线和相机对准验证
的召回。这些间隙也会导致失效模式， 在基于激光的焊接应用中，必须
即焊缝会承受应力，并随着时间的推 保持激光束的无障碍路径，这也是实
移最终导致焊缝失效。此外，这种间 现精密焊接的关键。对于各种现成的
隙也很容易积聚氧化物和污染物，导 光学焊接头，制造工程师需要了解聚
致焊缝从背面进一步氧化。 焦头内透镜的激光束输出特性。聚焦
透镜处接收的准直光束直径、锥角输
一致的配准和公差 出、聚焦透镜的工作距离以及目标上
保持部件之间的一致配准和紧 的光斑尺寸，都在焊接过程中的激光
密公差，是设计良好夹具的另一个关 与材料的相互作用中起着至关重要的
键功能。在医疗器械和汽车等关键的 作用。
精密行业，即使是微小的对准变化也 一旦建立了焊接参数，就可以将
会导致不可接受的产品偏差，进而增 初始测试参数带到激光机床上。夹具
加废品率。夹具必须确保零部件在整 的设计必须考虑适当激光焊接的几个
个焊接过程中牢牢地固定在其预期位 因素，包括喷嘴气体压力、喷嘴端部
置。公差在夹具和零部件中都起着至 尺寸、被焊接材料的反射率、激光束
关重要的作用。 焊接的角度以消除背反射，以及观察
不可接受的部件公差叠加，可能 到的视觉对准验证以确保焊接过程的
导致部件错位、零件间隙、夹具内元 准确性。
件夹紧过度或不足，以及激光焊接过 固定装置必须为激光束到达焊接
程的整体效率问题。值得注意的是， 区提供清晰的通道，并使操作员能够
可能需要各种夹具，并且这些夹具的 通过工业相机或其他机器视觉光学系
设置变得至关重要 ；不需要沉重的夹 统验证部件的对准情况。还必须要有
紧，只需要轻微的预加载即可将零部 能够确保焊接飞溅物喷出的开口，并
件保持在固定位置，并将整个夹具固 且能够容易地清洁这些开口。图 4 中
定到位。图 3 显示了托盘化夹具的典 显示了一个典型窗口的图像，以及随
着时间的推移，它可能会受到污染， 于加载 / 卸载、确保最佳零件接触、
需要进行维护和清洁。
例如，在汽车行业，在车辆底盘
的有限空间内焊接复杂的部件需要固
定装置，使激光束能够无障碍地到达
每个焊接接头。此外，使用工业相机
或视觉系统对于验证部件的对准和确
保焊接过程正常进行至关重要。由焊
接角度和定位引起的狭窄焊接区或障
碍物，可能会导致部分激光束堵塞， 发进行投资，以确保其产品在竞争日
导致焊接性能不佳，并可能因这种阴
图3：一种典型的杠杆夹具，用于将托盘夹具固定
到位；托盘夹具上预装有待焊部件并在外部组装。 影而无法焊接。
18 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn
图4：一个窗口和由此产生的喷出材料的图像；该
视图是从激光器侧观察的。
忽视激光焊接夹具设计的后果
在夹具设计中忽略上述这些关键
功能中的任何一个，都可能产生重大
后果。零件公差不匹配、夹紧不良导
致的零件之间的间隙、部件配准松动、
视觉照明不足或激光束阻碍，都可能
导致焊接质量不佳和产品故障。这些
故障不仅会导致昂贵的返工和潜在的
召回，而且会影响制造商的安全和财
务状况。
小结
夹具设计是医疗器械、汽车、航
空航天和电动汽车等行业的激光焊接
应用中不可或缺的一部分。为了实现
精确焊接所需要的稳定性和可重复
性，夹具必须具备以下基本功能 ：易
保持一致的夹具配准和部件公差，以
及为激光焊接和对准验证提供畅通无
阻的路径。忽略这些功能可能导致焊
接质量不合格和高昂的生产成本。
随着这些行业不断突破创新边
界，夹具设计在激光焊接中的作用仍
然不可或缺。制造商必须认识到精心
设计的固定装置的重要性，并对其开
益激烈的市场中，以优异的质量和可
靠性取得成功。
Laser Focus World China 激光世界
 技术中心 Technologies Center

光学制造

高性能超薄聚合物干涉滤光片的制造方法
一种制造干涉滤光片的新方法，能够将生产时间从数天缩减到数小时，并且增加了设计灵活性。

文/Hooman Banaei，Sarah Locknar

学滤光片是光学系统中最 首先，将一个大的聚合物预制件 用干涉物理来获得视觉上吸引人的反

光 常见的组件之一，它能够
让特定波长的光传输到样
按照正确的层组装在一起。然后，将
该预制件加热并在一个方向上拉伸
射表面，并执行基本功能，如红外（IR）
阻挡。然而，这些滤光片主要用于美
本或检测器，并且吸收或反射其余不 （热拉伸），以制成片材，该片材被光 观目的或与其他更高性能的滤光片元
[2-5]
想要的波长。尽管在过去的 15 年中， 谱映射、检测并切割成滤光片。 件一起使用，因此它们的光谱要求比
市场上已经出现了新的波长选择方法 在整个过程中控制多个变量，包括加 热拉伸滤光片宽松得多。
（如全息超材料和体布拉格光栅），但 热轮廓、速度、幅材张力等。Everix
大多数成熟的滤光片公司仍在使用传 Optical Filters 公 司 在 这 一 领 域 拥 有 与真空方法的比较
统方法制造多层干涉滤光片。 30 多项专利，自 2015 年以来，该公 最初于 60 多年前建立的基于真
所有干涉滤光片都由具有高折射 司一直在不断改进这一工艺过程，以 空的滤光片制造工艺，使用热蒸镀薄
率和低折射率的交替材料层组成 ；这 便在拉伸过程中同时监测和控制所有 膜，通常用环氧树脂和盖玻片保护 ；
些层的相对厚度决定了滤光片的光谱 参数。 而在过去的 15-20 年中，更现代的方
性能。传统的滤光片制造商使用真空 市面上也有制造性能较低、但尺 法使用离子辅助和溅射在玻璃基板上
镀膜室来制备每一层，一次制备一层。 寸较大的塑料滤光片的其他工艺，最 生产坚硬的氧化膜。
Everix Optical Filters 公司使用聚合物 常见的是用于大面积窗膜和显示器市 早期的层压滤光片通常厚度有几
热拉伸工艺，能够同时制备所有层， 场的滤光片生产。这些聚合物薄片是 毫米，具有几个层，包括玻璃层、涂
[6]
从而改变了干涉滤光片的传统制造模 通过共挤压方式制备的， 并且还使 层和环氧树脂层，以获得所需要的光
式（见图 1）。
在干涉滤光片中，每一层界面都
透射和反射一部分光，这会导致特定
波长的相长和相消干涉，从而调节给
定的光谱带是通过滤光片还是被滤光
片反射。[1] 大多数干涉滤光片都是用
不吸收光的材料设计的，光要么被反
射，要么被透射。
几 十 年 来， 制 造 商 一 直 使 用 真
空工艺来制备干涉滤光片。但现在，
Everix 公司正在完善一种高度可扩展
的生产高性能塑料干涉滤光片的方
法，该方法使用了一种类似于光纤拉
丝的技术（见图 2）。 图1：在一个方向上拉动整个聚合物堆叠体通过加热区，以形成滤光片。（图片来源：Everix Optical Filters）

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 19

Technologies Center 技术中心

射方法非常缓慢。相比之 是随着时间的推移，滤光片也不会分
下，新方法将聚合物预制 层。Everix 公司已经花了数年时间不
件组装成一个整体，并且 断完善其滤光片的激光切割工艺，以
能通过一步过程创建滤光 最大限度地减少边缘影响并生产密封
片，在几个小时内就能从 边缘。
预制件变成滤光片。 相比之下，真空镀膜的滤光片在
（2）可扩展性。真空 进行光谱测量之前必须从生产设备中
2
室 的 容 量 通 常 约 为 1m ， 卸载下来。此外，这种方法通常使用
这限制了一次真空沉积工 标准的玻璃切割技术，如机械切割（划
艺能够制造的滤光片的数 片）和钻芯，因此当定制形状时就更
量。使用 Everix 工艺，预 难实现良好的生产效率。特别地，钻
制件的尺寸决定了生产批 芯是一个非常缓慢的过程，包括将滤
量的大小，因此这种生产 光片夹在牺牲层之间以减少边缘碎
方式具有简单且灵活的可 屑，然后用孔锯切割，最后再解夹和
扩展性。 清洁。
（3）灵活性。除了滤 （4） 外 形 因 素。 由 于 热 拉 伸 滤
光 片 拉 伸 能 力 外，Everix 光片缺少基底，因此它们比典型的玻
的新方法还可以利用其 璃基干涉滤光片薄 2-10 倍（见图 3）。
他在线处理方法，包括在 它们的重量也更轻，除了因为它们的
图2：Everix Optical Filters公司的拉伸塔与光纤生产中使用的拉丝塔 线 光 谱 测 量 和 激 光 切 割。 厚度更薄之外，还因为它们主要由光
相似。（图片来源：Everix Optical Filters）
Everix 使 用 CNC 激 光 切 学级丙烯酸（一种比玻璃轻得多的材
谱。表面带有涂层的滤光片要薄得多， 割工艺，几乎可以在几分之一秒内切 料）制成。
厚度通常为 1~2mm，但容易受划痕、 割出客户想要的任何形状。激光切割 此外，滤光片可以添加粘合剂背
碎屑、破损和表面污染的影响。相比 机还能密封滤光片的边缘，这样即便 衬，也可以用环氧树脂粘合到其他部
之下，Everix 的滤光片是由聚合物层 表1：真空镀膜和热拉伸方法的比较
形成并嵌入其中的，这些聚合物层非 特性 Everix热拉伸 真空镀膜
常薄，并且具备一定的柔性，对碎屑 高-预制件尺寸决定生产
可扩展性 中-真空室具有一定的容量限制
和破损不太敏感。此外，由于干涉层 批量的大小
低-加入区域小， 高-运转几天溅射室的能耗是前者的
嵌入到较厚的丙烯酸覆盖物之间，覆 能耗
只加热几个小时 70多倍
盖物中的小划痕不会影响整体性能。 光谱定制 高-宽至窄带设计 非常高-宽至超窄带设计
滤光片的总厚度通常为 0.05~0.5mm。 层一致性 高-材料无摩擦粘性流动 高-需要大真空室，定制掩膜和基板
真空沉积和拉伸聚合物滤光片 批量生产的单位成本 低-自动化生产 高-无法自动化生产
都使用相同的原理（数百层之间的干 定制形状 可以-CNC激光切割 定制能力有限，且生产效率低

涉）
，因此任何一种方法都可以获得 最小厚度 0.05mm 0.5mm
是否能AOI补偿 能 不能
优异的性能（见表 1）。然而，新的热
坚固性 边缘密封 边缘容易形成碎屑
拉伸方法还带来了如下好处 ：
灵活性 可柔性、可坚硬 只能是坚硬的
（1）提升速度。如上所述，真空
重-由玻璃制成，相同厚度时重量大
沉积方法可能需要几天时间才能完成 重量 轻-由较轻的聚合物制成
约是前者的两倍
一批滤光片制作，尤其是在生产复杂 工作/存储温度 -40~90℃* -50~200℃

设计的时候。特别需要指出的是，溅 *这是目前产品的耐受温度，更高耐受温度的产品正在开发中。

20 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 技术中心 Technologies Center

件上，以实现独特的光学设计。最后，
众所周知，干涉滤光片表现出作为入
射角（AOI）的函数的蓝色光谱偏移。
因为它们是由热塑性塑料制成的，所
以 Everix 滤光片可以 3D 成型，以减
少或消除光谱上的 AOI 影响。

与吸收滤光片的比较
最古老的光学过滤方法是吸收滤
光片，用于制造教堂窗户和装饰艺术
中使用了数千年的“彩色玻璃”，后
图3：Everix滤光片非常薄且无基材。（图片来源：Everix Optical Filters）
来又被科学家和工程师使用。在真空
室和干涉滤光片出现之前，这种方法 收和干涉 [7] 结合在一个单元中。因为 2. E. Banaei,“Method of thermally drawings

是波长选择的唯一选择。虽然吸收 它们是密封的，因此聚合物吸收滤光 structured sheets,”U.S. Patent 10, 287,

203 B2 (May 14, 2019).
滤光片没有表现出显著的 AOI 效应， 片不会表现出降解（就像许多彩色玻
3. E. Banaei,“Method of thermally drawing
并且可以成功地用于长波长范围的阻 璃中常见的表面起雾一样）。 structured sheets,”Europe Patent EP2 958
断，但是它们的使用受到发色团在基 Everix 为消费市场（如 AR/VR、 865 B1, (Apr. 28, 2021).
质中的溶解度和合适发色团可用性的 可穿戴健康监测）、微型和护理点诊 4. E. Banaei,“Method of thermally drawing
structured sheets,”U.S. Patent 9,994,476
限制。 断（如内窥镜、便携式 PCR 机）、物
B2 (Jun. 12, 2018).
许多干涉滤光片公司将彩色吸收 联网和其他低成本、轻量传感器（如 5. E. Banaei,“Method of thermally drawing
滤光片玻璃与干涉堆叠结合使用，用 一次性食品传感器、无人机上的传感 structured sheets,”U.S. Patent 9,597,829
于长波长范围的阻挡。将干涉层直接 器）等应用，大规模提供高性能滤光 B2 (Mar. 21, 2017).

沉积在彩色玻璃上，或者将过滤基板 片，并且以更轻的重量、更薄的外观 6. Y. N. F. C. N. Furuno,“Apparatus and

method for manufacturing laminated sheet,”
用环氧树脂粘合到彩色玻璃上，以提 和更低的成本服务这些市场。
U.S. Patent US 2008/0277059 A1 (2008).
供所需的阻挡。相比之下，Everix 及 7. E. Banaei, J. Boga, and C. Bisson,
其定制材料供应商制作了定制的染料 参考文献 “Flexible, ultra-thin, hybrid absorptive-
1. H. A. Macleod, Thin-Film Optical Filters, reflective thin-film filters and methods of
掺杂塑料，直接将其融入到聚合物滤
Fourth ed., Boca Raton, FL: CRC Press making the same,”U.S. Patent 11,435,508
光片的设计中。这些混合滤光片将吸 (2010). B2 (Sep. 6, 2022).

国内最大的激光芯片热沉集成工厂投产
近日，深圳市湃泊科技有限公司 正式开工投产。该项目是深圳宝安松 湃泊科技聚焦高功率激光芯片热
岗街道引进的半导体封装企业， 沉关键工艺环节，帮助高功率工业激
着力解决国产激光芯片热沉这一 光芯片做配套的散热器件，其最主要
“卡脖子”技术难题。据悉，湃 的作用一是实现芯片封装，二是实现
泊科技投产后，不仅将成为国内 高功率、高热量芯片的散热。激光芯
最大的芯片热沉集成工厂，也有 片属于高端制造，近年来已绝大部分
望成为全球芯片热沉细分领域最 实现了国产化，而其中热沉陶瓷散热
大的现代化工厂。 片环节一直被国外垄断。

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 21

Technologies Center 技术中心

光学互联

封装内光学互连实现新的生成式 AI 架构
封装内光学I/O作为一种新的信息高速公路，可以让AI数据快速、高效地传输。

文/Vladimir Stojanovic

从 OpenAI 公 司 于 2022 年

自 11 月 推 出 ChatGPT 之 后，
生成式人工智能
（Generative
AI）就成了技术和商业领域的一个热
点话题。AI 吸引了我们的集体兴趣，
因为它在帮助组织解决挑战和重塑世
界方面所展现出的潜力，已经越来越
清晰。
来 看 一 组 调 查 数 据。2023 年 7
月 VentureBeat 的一项调查显示，55%
的 组 织 正 在 小 规 模 试 验 生 成 式 AI，
看看它是否能满足他们的需求。[1] 麦 据从一个地方传输到另一个地方。传 LLM 是生成式 AI 的核心，并且在继
肯锡 2023 年 8 月的一项全球调查发 统网络就像简单的街道，无法快速承 续快速增长。LLM 擅长识别语言语
现，79% 的受访者表示，他们在日常 载目前繁重的人工智能流量。 法，并作为搜索和视觉技术等其他应
生活或工作中至少接触过生成式 AI， 那针对这种情况的解决方案是什 用的基础（见图 2）。
22% 的受访者表示他们经常在工作中 么呢？一种堪称超级高速公路的“封 DECODER 最 近 的 一 份 报 告 显
[2]
使用生成式 AI（见图 1）。 装内光学 I/O”，可以实现 AI 数据快 示，OpenAI 最 新 的 GPT-4 语 言 模 型
但现在遇到的问题是 ：随着大家 速高效地传输。 依赖于 1.76 万亿个参数，据悉其基于
都投身于生成式 AI，训练所有这些 这些互连在决定生成式 AI 模型的 八个模型，每个模型有 2200 亿个参
模型和处理所有这些查询，需要高性 性能方面，发挥着至关重要的作用。它 数。[3]2020 年 GPT-3 有 1750 亿个参数，
能 的 硬 件（ 如 GPU、TPU 或 ASIC） 们直接影响模型的速度、效率、可扩展 而 2019 年 GPT-2 只有 15.4 亿个参数，
以及大量的内存和存储。此外，这项 性以及适应不断变化的需求和用户需求 可见参数的增速之快。随着参数数量
技术对数据处理的贪得无厌的需求， 的能力。让我们深入了解这个生成式 的不断增加，高吞吐量变得越来越重
还在继续增长。保持高效的数据传输 AI 架构，以更好地了解它们带来的网 要。可以通过增加节点或提高每个节
和资源分配，是解决人工智能数据渴 络挑战、传统互连的局限性，以及封装 点的速度来实现高吞吐量。
求的关键。 内光学 I/O 如何克服这些挑战。 这种规模的生成式 AI 模型需要
对于生成式 AI，由于使用了大 大 量 资 源 ：数 十 个 GPU 用 于 推 理，
型模型，许多 GPU 必须作为一个巨 应对生成式AI的规模化挑战 数百个 GPU 用于微调，数千个 GPU
大的 GPU 发挥作用。这为这些 GPU 大型语言模型（LLM）是一种深 用于训练。随着模型规模和复杂性的
之间的互连带来了更大的压力。想象 度学习算法，其可以使用大型数据集 持续增长，这些数字将继续呈指数级
一下，这些互连就像高速公路，将数 识别、总结、翻译、预测和生成文本。 增长，并推动对效率的更高需求。

22 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 技术中心 Technologies Center

由于规模和功率的限制，数据中
心运营商必须进行战略性思考。例如，
以一个 100MW 的数据中心为例，其
运营决策取决于其有限数量的 GPU
（每个数据中心大约有 10 万个 GPU，
假设每个 GPU 功耗约 1kW）需要完
成的特定任务。推理是最常见的任
务， 这 些 约 束 将 允 许 10000×10 或
1000×100 的 GPU 推 理 系 统。 另 一
方面，每个系统的微调需要 100-1000
个 GPU。所有这些都限制了在一个
10 万个 GPU 的占地面积中可以容纳
的系统数量。生成式 AI 架构的计算
要求指向分解需要，允许为不同的任
图1：各个行业使用生成式AI工具的情况。
务提供更灵活的资源分配。换句话说：
系统可以根据需要动态分配 GPU。 讲中，谈到了这一挑战。[5] 他指出， 是计算机，而是数据中心。尽管他在
为了实现这一切，生成式 AI 系 1000 万美元可以购买 960 台 CPU 服 谈论效率，但这也正突显了对互联互
统的全局通信，需要 GPU 之间的低 务器，这些服务器需要 11GWh 的能 通的需求。
延迟、高带宽互连。这些连接必须能 耗才能训练一个 LLM。然而，同样
够在众多机架之间实现快速、高效的 的 1000 万 美 元 可 以 购 买 48 台 GPU 克服互连的带宽密度和可扩
数据传输。 服务器，这些服务器只需要 3.2GWh 展性障碍
虽然低延迟本身很重要，但统一 的能量就可以训练 44 个 LLM。换言 现在，组织正依赖传统互连的系
延迟与扩大系统中 GPU 的数量一样 之，可以花 40 万美元购买两台 GPU 统运行生成式 AI 任务，这些系统使
重要。在没有统一延迟的情况下，系 服务器，其只需要 0.13GWh 的能量 用集成了可插拔光学器件的电气 I/O。
统的可扩展性会受到一些 GPU 的限 就可以训练一个 LLM。简言之，对 然而，这些互连解决方案正变得日趋
制（这些 GPU 可能遇到了严重的通 于相同的训练性能，GPU 的成本效益 老旧，因为这种方法引入了延迟和带
信瓶颈，或是处于空闲状态），而其 提高了 25 倍，能效提高了 85 倍。 宽瓶颈，其对下一代实用、高效的生
他 GPU 则高效运行。确保整个系统 黄 仁 勋 指 出，GPU 服 务 器 不 再 成式 AI 任务构成了威胁。
的一致延迟对于可扩展性和效率都至
关重要，这将最终有助于打造软件或
编程模型的潜力。
在这些性能挑战的背后，是一个
事实，即训练像 GPT-3 这样的 AI 模
型（见图 3）要消耗 1.287GWh 的能量，
产生 552 公吨的二氧化碳排放，成本
约为 19.3 万美元。[4] 那么，我们将如
何管理这些 LLM 的加速计算架构的
能源需求呢？
NVIDIA 创 始 人 兼 首 席 执 行 官
图2：多年来SOTA模型参数数量的演变，以及AI加速器内存容量（绿点）。大型Transformer模型中的参数数
黄 仁 勋 在 COMPUTEX 2023 主 题 演 量，以每两年410倍的速度呈指数级增长，而单个GPU内存仅以每两年2倍的速度扩展。

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 23

Technologies Center 技术中心

想的可扩展性，使得实施可插拔光学
方案面临艰巨的挑战，尤其是在满足
生成式 AI 模型的需求时。
在处理生成式 AI 的数据密集型
方面（大数据集甚至更大的参数集），
需 要 与 任 务 互 连。 光 学 I/O 为 GPU
之 间 提 供 了 急 需 的 带 宽 容 量。Ayar
Labs 公司的光学 I/O 解决方案，是一
种与先进光源技术匹配的封装内光学
I/O 小芯片，可以通过提供 4Tbit/s 的
双向带宽来满足这一需求。
图3：五个大型自然语言处理（NLP）深度神经网络（DNN）模型训练的能耗和二氧化碳排放量。 而且，光学 I/O 的好处不仅仅是
带宽升级。它还能够影响包级别的度
距离是电互连的致命弱点，在长 成本需要降低大约 10 倍，才能使其 量，并实现计算接口带宽的扩展。通
距离传输中，电互连会受到信号衰减 对生成式 AI 应用具有成本效益（见 过 利 用 基 于 UCIe、CW-WDM MSA
的影响，并且在当前的 100G 链路（甚 图 4）。 的架构和基于微环的光学 I/O 技术，
至是即将到来的 200G 链路）下，仅 另一个缺点是 ：可插拔模块体积 可以解锁 100+Tbit/s 的封装外 I/O 带
限于使用单个底架。随着连接需求从 庞大。它们的边缘带宽密度仅为封装 宽，并支持每个封装最多 128 个端口
底座扩展到跨机架甚至多机架规模， 内光学 I/O 的 1/10，而面积密度则低 的连接（见表 1）。
这时候就需要可插拔光学连接。简言 100 倍。这限制了
之，当在系统中试图提供从每个 GPU 从 GPU 到 系 统 其
到每个其他设备的全局通信时，可以 他部分的可用带
将传统的机架内电互连与跨机架可插 宽，造成了瓶颈，
拔光学器件相结合。 使未来的高参数
但一个不容忽视的事实是 ：随着 生成式 AI 任务无
系统的扩展，我们需要将越来越多的 法运行。
这些更高带宽的连接串起来——从系 总 之， 物 理
统中的任何一个 GPU 连接到另一个 空间和功率的限
GPU。对于传统的互连，这说起来容 制， 加 上 不 太 理 图4：可插拔光学器件的功耗。
易做起来难，因为可插拔光学器件具
Gen=Generation of Ayar Labs TeraPHY optiacal I/O chiplet. *Indicates Current Generation
有相当大的能耗和物理尺寸。它们尚 I/F=Interface
Mod=Modules
且不能有效地扩大规模来满足生成式
AI 的速度和需求。
功耗是可插拔的绊脚石，因为可
插拔的 GPU 到 GPU 链路，每比特消
耗 30 皮焦耳（pJ/b）。相比之下，直
接连接到封装的封装内光学 I/O 解决
方案，需要的功耗不足 5pJ/b。此外，
还有成本方面的考虑。目前可插拔器
件的成本约为每 Gbit/s 1-2 美元，该 表1：光学I/O小芯片的发展路线图
下转第28页

24 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 工业激光专栏 Industrial Laser Column

PCB切割

绿光纳秒激光器实现 PCB 高效高质量切割

用于新型和传统PCB切割的Talon GR70绿光纳秒激光器，展示了高切割速度和优异的切割质量。

文/Jim Bovatsek，MKS Instruments

益于先进的封装技术，设备和模块变得更加紧 量更高的纳秒脉冲和长波激光器是更为恰当的选择。

得 凑。在意识到半导体节点与印刷电路板（PCB）
维度之间存在很大的差别（在极端情况下从纳
为了展示 SiP PCB 基板切割的高加工速度，MKS 应
用工程师对绿光高功率纳秒脉冲激光器进行了测试。测试
米到毫米级别）后，开发商继续专注于开发先进的封装技 使用一台 Spectra-Physics Talon GR70 绿光纳秒激光器，通
术，以便将不同尺寸的元件连接起来。 过采用双轴扫描振镜的高速多次加工技术，对 SiP 材料进
其中一种技术是系统级封装（SiP）架构，在最终封 行了切割，该材料由具有内嵌铜线的薄型 FR4 和双面阻
装和分离之前，将各个集成电路（IC）器件捆绑在 PCB 焊层构成。材料的总厚度为 250µm，其中 150µm 为超薄
基板上，该基板具有嵌入式金属迹线互连。此架构通常包 型 FR4 板，剩余 100µm 为双面聚合物阻焊层。
含一个中介层，用于在 PCB 中实现合理的高密度芯片连 通过采用 6m/s 的高扫描速度，可以缓解严重的热效
接分布。最终封装一般采用环氧塑封料（EMC）封装或 应并避免热影响区（HAZ）的形成。考虑到材料相对较薄，
其他方法，在进行最终封装时，模块仍然排列在单个大面 1/e2 直径）
工程师采用了较小的焦点光斑尺寸（约为 16µm，
板上。然后，采用激光切割工艺对模块进行分离。 和 450kHz 的高脉冲重复频率（PRF）。这种参数组合可以
充分发挥激光器的独特能力，即可以在高 PRF 下保持高
产量、质量和成本必须匹配 功率（本示例中为在 450kHz 下保持 67W），有助于在高
用于 SiP 分离的理想激光器取决于具体要求，并且必 扫描速度下保持适当的能量密度和光斑至光斑的重叠。
须在产量、质量和成本之间取得最佳平衡。当涉及高灵敏
度元件时，可能需要利用超短脉冲（USP）激光器和 / 或 切割时不会发生热降解
紫外波长固有的低热效应。在其他情况下，成本更低、产 多次高速扫描后，实现的总体净切割速度为 200mm/s。
图 1 显示了切口的入射面和出射面，以及切割路径与埋入
铜线交叉的表面下区域。入射面和出射面的切口均干净利

图1：厚度为 250µm 的 SiP 材料的入射面和出射面切口，以及内嵌铜线的光学 图2：激光切割 SiP侧视图，展示了优异的切割质量，特别是在玻璃纤维织物

显微镜视图（净切割速度为 200mm/s）。 内部和内嵌铜线附近。

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 25

Industrial Laser Column 工业激光专栏

落，HAZ 很小或根本不存在。此外，铜线的存在没有对 相对较大且保持不变，这有助于实现高效切割，因为均匀

切割工艺产生不利影响，尽管观察角度受到一定的限制， 的照射体积和所形成的宽沟槽有利于排出碎片。图 3 显示
但铜切口边缘的质量看起来很理想。 了采用 6m/s 的速度多次高速扫描加工的切口的入射和出
如需详细了解铜线（乃至整个切口）周围的质量，可 射显微图像（总体净切割速度为 20mm/s）。
查看切口侧壁的横截面（见图 2）。 与 SiP 板的情况类似，切口入射侧和出射侧表面质量
切割质量非常好，仅存在极小的 HAZ 以及少量碳化 都非常好，并且产生的 HAZ 极小。由于玻璃 / 环氧树脂
和颗粒碎片。FR4 层中的每一根纤维都清晰可辨，熔化部 FR4 基体性质不均匀，以及激光烧蚀切口远端的能量密度
分仅限于从侧壁向外伸出的切割纤维端面（即垂直于沿切 较低，出射切口边缘一般会稍稍偏离完美的直线。横截面
割面延伸的纤维）。重要的是，在这些层中观察不到任何 侧壁成像显示了有关切口质量的更多详细信息（见图 4）。
分层现象。
此外，测试结果表明，铜线周围的区域质量较好，没
有受到有害热效应的影响，例如从周围的 FR4 或阻焊层
流出铜液或出现分层现象。

加厚 FR4 板需要更大的焦点光斑直径
切割厚型 FR4 以实现器件分板，是纳秒脉冲激光器
的一种更加成熟的 PCB 应用，此应用通过切割小型连断
点从面板中分离阵列器件。

图4：FR4（厚度900µm）的激光切割侧壁视图，展示出优异的质量。碳化程
度极低/为零，纤维束几乎未发生熔化。

图3：以20mm/s的净切割速度切割后的FR4 PCB（厚度900µm）入射面和出射
面。
利用 Talon GR70 进行了这方面的测试，为此，相关
人员开发了一种全新的断点切割工艺，专门用于处理由约
900µm 厚的 FR4 板构成的器件面板。对于这种更厚的材料， 速度和优异质量。
采用尽可能大的焦斑直径，同时保持足够的能量密度，是
实现理想产量的关键环节。
由于激光器在 275kHz 的标称 PRF 下，脉冲能量较高
（>250µJ），工程师采用了更大的光斑尺寸（约 36µm）；而且，
其光束质量极好，聚焦光束的瑞利范围超过 1.5mm，是材
料厚度的 1.5 倍。因此，在材料的整个厚度上，光斑尺寸
在图 4 中，可以看到实现了优异的切割质量。切口处
仅有少量 HAZ 和碳产物（焦炭）形成。此外，几乎没有
发生玻璃纤维熔化现象。Talon GR70 的净切割速度高达
20mm/s，这显然非常适合对较厚的 FR4 PCB 进行分板处
理，同时可确保获得优异质量和高产量。
要想开发出性能更高的电子设备，不断改进和优化制
造工艺是必要前提，同时还需保持或提高现有的质量和产
量。激光技术的发展仍然面临着许多挑战。用于新型和传
统 PCB 应用的 Talon GR70 纳秒脉冲激光器的加工能力，
展示了切割薄型 SiP 和厚型 FR4 PCB 材料时所实现的高
（文章来源 ：microPRODUCTION）

26 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 工业激光专栏 Industrial Laser Column

玻璃切割

皮秒激光实现车载玻璃盖板的
高效高质量切割
采用50W红外皮秒激光器+贝塞尔切割头，实现对厚度0.3mm玻璃盖板的一次成型切割，
最小切割线宽0.1mm，崩边小于0.1mm。

文/纳飞光电

着汽车的智能化、互联网化进程的日益加速， 现足够快的切割速度，又能实现足够高的切割精度，同时

随 以大屏、多屏、3D 曲面屏等组成的仪表盘、车
载平板等车载显示作为入口，汽车中已经融合
还能保证足够好的切割边缘质量，往往要求崩边在数十到
百微米之间 ；激光切割方案应运而生。
了车联网、辅助驾驶、视听影音等功能，通过语音、触控、
手势、图像等方式完成感知、决策、应用、执行，带来 皮秒激光切割方案
了美好的人机交互体验，不断为智能驾驶、潮玩属性赋 相比于传统的接触式机械切割，激光切割属于非接触
能加分。 加工，能够解决传统切割工艺由于机械应力而引发的各种
在这些功能的实现中，车载显示的重要性不言而喻 ； 问题。
而在车载显示屏的最外层，需要贴合一层玻璃盖板，主要 本激光切割方案采用皮秒超快激光器 + 贝塞尔切割
起到保护显示屏的作用，具备防冲击、耐刮蹭、耐油污、 头，光源为功率 50W 的红外皮秒激光器，脉宽为 10ps 左
防指纹、增强透光率等功能。车载显示市场快速发展的同 右。皮秒脉冲的超高峰值功率，可以实现高效切割和冷加
时，也催生了车载玻璃盖板市场。 工，对厚度 0.3mm 的玻璃盖板，可以做到一次切割成型，
随着汽车越来越智能化以及更加重视驾乘体验，不但 精度高，品质好（见图 1）。
车载显示屏的数量增多，而且显示屏的尺寸及形状也越发
多样化 ；这在对玻璃盖板切割应用有更多需求的同时，也
对切割的速度和质量提出了更高要求。车载玻璃盖板是一
层超薄玻璃，可选材料通常为强化钠钙玻璃、高硼硅玻璃，
厚度可低至数十微米 ；而实现如此薄硬材料的各种形状的
精密切割，无疑极具挑战性。

传统切割方式 图1：异形车载玻璃盖板。

传统的机械切割方式主要采用刀切、CNC 切割等， 使用皮秒级超短脉宽激光，其主要优势在于能在极短

这些都是接触式切割，其主要缺点在于施加的机械应力容 的时间内将能量注入到玻璃表面加工区域，且在热效应产
易引起崩边，或是可能因为应力而导致玻璃沿着强度低的 生前便完成能量传递（大部分能量传递到电子，微小部分
地方，从小裂痕扩张成大裂纹。此外，机械切割的切割精 能量传递到晶格），导致玻璃直接从固态变到气态，实现
度和总体切割效率，都相对较低。 蒸发去除。因此，这种“冷加工”对硬脆玻璃的切割面的
随着汽车智能化产业蓬勃发展，车载玻璃盖板显然需 影响最小。
要更高效、更智能的生产技术。新的切割技术，要既能实 激光切割时激光束聚焦形成非常小的点，聚焦后的光

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 27

Industrial Laser Column 工业激光专栏

系统可以快速捕捉并识别玻璃的边缘和特征点，从而实现
快速识别、准确定位和精准切割，确保了产品切割的一致
性，这不仅提高了生产效率，还降低了人为因素对切割精
度的影响。
本皮秒激光切割方案适用于车载显示所需的各种弧
形、直角等异形的高速、高精度无损开料切割（见图 2），
可解决行业内小批量、多品种、多批次、不同造型的车载
玻璃切割难题。

图2：异形车载玻璃盖板切割。
斑直径为微米级，使得焦点处有着极高的功率密度。在进
行弧线或直角以及其他异形切割时，能够实现的最小切割
线宽为 0.1mm，崩边小于 0.1mm，总体切割边缘质感好。
另外，本切割方案还配置了自动对位相机及视觉镜
头，定位精度可达 ±0.002mm，能精确识别各种靶点，自
动补偿，可实现 ±0.02mm 的切割精度。在切割时，视觉
小结
在玻璃加工领域，皮秒激光 + 贝塞尔切割头的黄金
组合正备受青睐。从高端面板玻璃、光伏玻璃到 Low-E
建筑玻璃，乃至精密光学元件制造，该玻璃切割解决方案
都展现出了巨大的潜力和价值。未来，随着技术的进一步
发展与优化，皮秒激光 + 贝塞尔切割技术有望在更多领域
得到应用，在工业制造和科研等领域实现更多可能性。

上接第24页

这种高基数和每个端口高带宽的
组合，再加上低的光学 I/O 链路延迟
（＜ 10nm+ToF）
，在设计全光结构连
接解决方案时，提供了前所未有的灵
活性。这种灵活性对于大规模分布式
计算系统结构至关重要，而这正是促
进未来生成式 AI 发展的驱动力。这
些特性将允许实现大型系统结构设
计，并且具有低且均匀的延迟和高吞
吐量，从而使计算节点得到充分利用。
值得注意的是，光学 I/O 互连的
图5：不同代互连和存储器的带宽和峰值FLOPS。可以看出，带宽增长非常缓慢。
更高带宽可能对分布式系统产生的变
革性影响。虽然峰值 FLOPS 在过去 多功能性可以与互联网的引入相媲 这为前所未有的行业变革开启了新的
二十年中飙升了 6 万倍，但是封装外 美。对于今天的许多组织来说，他们 大门。
互连带宽在这段时间内仅增加了 30 的未来取决于以大胆和创造性的新方
式整合生成式 AI，以保持领先地位。 参考文献
倍。为了实现真正可扩展的分布式系
1. See http://tinyurl.com/yc3vt76h.
统（这对释放生成式 AI 的潜能至关 不幸的是，在面对生成式 AI 架
2. See http://tinyurl.com/2w6wbxez.
重要），我们需要解决互连带宽瓶颈 构的需求时，传统的互连无法胜任。 3. See http://tinyurl.com/4a8wjs2z.
问题（见图 5）。 封装内光学 I/O 是一种强大的技术， 4. D. Patterson et al., arXiv:2104.10350v3
生成式 AI 已经成为近年来最具 它满足了系统对高带宽、低延迟、高 [cs.LG] (Apr. 23, 2021); https://doi.
org/10.48550/arXiv.2104.10350.
颠覆性的技术发展之一，这是有充分 吞吐量和能效的迫切需求。最重要
5. See https://youtu.be/i-wpzS9ZsCs.
理由的。在许多方面，它的可用性和 的是，光学 I/O 允许生成式 AI 扩展，

28 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界


玻璃切割
超短脉冲激光切割用于 AR 目镜的
高折射率玻璃
超短脉冲激光可切割由高折射率玻璃制成的AR目镜，可实现较高且可预测的弯曲强度，
适用于实验室和大规模生产。
文/René Liebers，Mandy Gebhardt，Fabian Wagner
拟现实（VR）指的是创建一个独立的世界，让
虚 用户沉浸在 VR 中的设备，需要一个适应于人
类视觉系统的近眼显示屏，而无需透过显示屏
看到东西。通过增强现实（AR）和混合现实（MR），虚
拟图像与现实世界交互。AR/MR 都需要显示技术，使用
户能够同时看到现实世界和虚拟图像。
设备的光学设计是与 AR 相关的最重要的技术挑战之
一。AR 设备的核心是光学组合器，它将现实世界的图像
与显示器或投影仪生成的虚拟图像结合在一起。而通常情
况下，这些组合器的外形尺寸并不适合消费者日常使用。
波导技术可以为上述问题提供有潜力的解决方案，由
光学级玻璃制成的平面基板可使虚拟图像平行于波导表面
显示，同时允许现实世界的光线垂直于波导表面通过（见
图 1）。AR 设备的大部分性能定义参数取决于波导材料及
其规格，如折射率、比密度、透射率、均匀性、平坦度、 产验证的切割工艺开始。激光改性切割是一种标准的、公
翘曲度等。
① 光引擎
①
② 输入结构
③ 输出结构
④ 眼睛看到的图像
图1：波导组合结构（光导技术）的功能原理示意图。
日益成熟的 AR 市场需要考虑使用寿命和可靠性问
题，这些问题通常与产品的耐用性和加工成品率有关。玻
璃的耐用性取决于其加工方式。通常，人们最关心的是终
激光世界 Laser Focus World China
工业激光专栏 Industrial Laser Column
端消费者的眼睛安全。然而，玻璃在加工过程中发生断裂
也有可能影响生产线上的其他元件。因此，必须采用一种
特殊的玻璃分离工艺，这种工艺能产生较高且可预测的断
裂强度，并能在较长的生产过程中保持其他相关元件的特
性不变。只有这样，生产出的产品才能在终端市场上实现
商业化。
SCHOTT 公 司 和 3D-Micromac 两 家 公 司 联 手 合 作，
以更好地提高 AR 目镜玻璃切割工艺的断裂强度。最终目
标是为 AR 设备制造商提供一种互补的材料和设备解决方
案，为具有成本效益的波导制造（从实验室规模到批量生
产）提供可靠且可扩展的解决方案。
方法和实验
激光工艺和设置。研发工作从决定采用经过大规模生
认的生产工艺，多年来一直在显示行业使用，因此这里选
用激光改性切割工艺。
② 第一步是使用皮秒或飞秒激光脉冲沿预定曲线（预定
1 改性 2 单次
③
CO2 激光
分离
丝状化
图2：激光切割玻璃基板的工艺流程。
www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 29
Industrial Laser Column 工业激光专栏

断裂线）对玻璃进行改性（丝状化）， 0,995
0,98
用所选参数预测响应变量。经过几组
0,95
并贯穿整个材料厚度（见图 2）。每 0,9 实验后，适用于激光入口和出口侧的
0,8
0,7
个改性点都是由单个激光脉冲或脉冲 0,6 合理模型（r2=0.97）基本确定。
0,5
串的局部冲击产生的。脉冲串通常由 0,4
0,3
在确定了最有利的工艺窗口后，

概率 [%]
短时间范围内的许多独立脉冲组成， 0,2 工程师们进行了一次粒度更大的实验
并在单个改性点上有效地相互作用。 0,1
（筛选运行 2），以找到最佳强度值。
0,05
针 对 所 选 玻 璃， 我 们 研 究 了 尽管模型预测激光入口侧和出口侧的
多种超短脉冲激光（脉冲持续时间 0,02 特征值存在显著差异，但研究结果表
350fs~20ps）和脉冲参数，以找到能 0,01
明模型拟合度良好。因此，通过工艺
0,005
够可靠可控的改性工艺。脉冲数从单 优化，可以使入口侧和出口侧表现出
50 60 70 80 90 100
脉冲到每个脉冲串 8 个脉冲变化，累 断裂应力 [MPa] 相同的高强度值。
被测侧：激光出口侧
积的脉冲能量从 80mJ 到 270mJ 不等。 优化状态：优化后 验证结果揭示了多个细节。首
此外，沿切割路径每次改性扫描间距 被测侧：激光入口侧 先，与之前的结果（红线 / 绿线）相
优化状态：优化后
在 1~10µm 之间变化。 被测侧：激光入口侧 比，使用新的激光改性工艺（蓝线）
优化状态：优化前最佳
第二步是沿断裂线分离玻璃。对 后，玻璃的抗弯强度（见图 3）增强
图3：切割工艺优化前后玻璃（SCHOTT RealView 1.8）
于自由形状的几何体，通常采用 CO2 的弯曲强度。 了 30% 以上。
激光作用于改性区域，产生应力使玻璃断裂。 其次，以上结果表明，所设计的激光工艺模型可以预
本 实 验 的 所 有 结 果 都 是 在 折 射 率 为 1.8 测，并通过配置适当的激光参数，也可以达到预期的特征
（RealView1.8）、厚度为 700µm 的 SCHOTT RealView 玻璃 值和模量值。图 3 中红色和绿色分布分别代表玻璃在激光
晶圆上实现的。 入口和出口处的断裂强度，可以看出，入口和出口出的强
强度测量。玻璃的强度是用标准四点弯曲测试装置 度值明显趋于一致。
测量的，样品尺寸为 45mm×44mm。弯曲测试沿着试样 第三，研究结果表明已经开发出一种稳定的、可用于
45mm 的一侧进行。然而，标准的四点测试方法有其局限 大规模生产的玻璃激光切割工艺。该工艺模型验证结果一
性，一旦中心点的位移等于或超过试件的厚度，应用的简 致且可重复，因此可以对产量和稳定性等变量进行推断和
化板理论就会产生误差。此外，根据有限元分析结果调整 预测。
了测得的力与应力的换算。对所有试样的断裂类型进行了 在验证了新激光切割工艺具有高度可重复性后，下
[1,2]
检查，断口在平面上的样品被忽略。 一步就是将该工艺应用到适合大规模生产的设备中。设备
统计和实验设计。3D-Micromac 公司设计了一组随激 的一个最重要的功能是确保集成到工艺流程中的其他组件
光参数变化的统计实验。选取的四个响应变量分别是玻璃 （如材料进给和夹持工具等）不会对工艺参数产生负面影
的激光入口和出口处的特征值和 Weibull 模量。从现象学 响。
的角度来看，预计玻璃的激光入口和出口两侧的性能会有 持续的测试表明，工艺模型中的设置对用于 AR 目镜
所不同。如上所述，了解和控制这些差
定制化输出
异对于建立稳定可靠的工艺至关重要。 裸晶圆
裸晶圆
分离
实验设计反映了这一点，将试样的两侧 ≤12 目镜切割

分开并分别进行测试。首先进行了粗略 设备前端
改性 分离 质量检测
模块
的参数筛选，随后进行了改进和验证。
存储

粘在
胶带上的 粘在
实验结果 晶圆 胶带上的
设备前端
模块
第一次筛选设计（筛选运行 1）的 晶圆
≤8
参数范围很大，目的是找到一个模型， 图4：从晶圆开始进行目镜制备的工作流程示意图。

30 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 工业激光专栏 Industrial Laser Column

选项 1 选项 2 选项 3 选项 4 4 基于上述多载体平台，可根据客户
需求进行升级和降级。由于生产的产
品（目镜）是安装在 AR 设备中售卖，
因此生产成本至关重要。一台配备齐
全的激光设备，在生产线上有四个工
象形图 艺模块，生产一个目镜的时间约为 5s
以内。因此，每年最多可生产约 500
应用场景 研发+预生产 大规模生产
可内场升级 X X X 万个目镜。
经SCHOTT公司允许的加工工艺 X X X 产量和利润直接影响拥有成本。
尺寸(长×宽×高) 3.0 x 1.5 x 2.3 m3 6.5 x 3.6 x 2.3 m3
为机器配备全套设备可将每个目镜的
单片目镜的生产时间(*) n.a. 45 s 10 s 5s
* 单片目镜的生产时间的计算是基于目镜周长为180mm 生产成本降低至少 80%（见图 6）。
microPRO平台 MCS平台 工艺模块 夹持模块
图5：microPOLAR系统选项概览。包括预计的单片目镜生产时间(按照一片6英寸晶片上生产4个目镜计算)。
结论
的其他类型的玻璃也同样适用。同时， 激光系统既可以加工裸晶圆，也 SCHOTT 公 司 和 3D-Micromac
该工艺模型也非常有效地优化了激光 可以加工粘在胶带上的晶圆（见图 公司将各自在材料科学和设备制造方
切割工艺。 4）
。用于分离的工艺模块可以辅以输 面的专业技术相结合，极大地推动了
入和输出处理。此外，在最慢的加工 AR 目镜所用的高折射率玻璃切割工
将工艺集成到可扩展的大规 步骤中，还可以采用多个模块并行加 艺的发展，提高了切割强度和效率。
模生产平台中 工，提高生产效率。 工艺模型可预测切割试样每一侧的强
模块化设备。尽管许多 AR 客户 定制的多载体系统以及集成的激 度特征值。通过该模型，可以采用最
仍处于产品开发的早期阶段，但由于 光源，已经得到了业界的验证。该系 佳激光源和激光参数，开发出稳定、
AR 的量产之路十分清晰，因此团队 统 的 设 计 和 工 作 流 程 是 与 SCHOTT 可量产的工艺，从而使被分割的玻璃
决定设计一种可升级的模块化激光系 公司共同开发并获得批准。由于系统 两侧具有更高且相同的强度。此外，
统（microPOLAR）。该系统的基础是 是完全可升级和可降级的，客户可以 该模型还可根据具体的强度要求实现
经过工业验证的成熟系统，可集成不 在现场改造全自动处理单元或额外的 定制化工艺。
同的工艺、夹持和质量检测模块，为 工作站。晶圆装载过程由符合 SEMI 此外，本文还提出了一种可扩展
用户提供高度的灵活性。 标准的设备前端模块完成。 的设备模块，可支持实验室研究及大
在设计输出模块 规模量产。设备的模块化确保了稳定、
€1.20 6,000,000

时，特别注意保持目 可投入量产的工艺，其已在实验室规
€1.00 5,000,000 镜的断裂强度，因为 模的设备中完全实现。另外，可以通
即使是目镜边缘轻微 过添加更多的工艺模块来提高产量，
€0.80 4,000,000
的损坏，也会对设备 从而避免购买完整的量产设备系统所
€0.60 3,000,000 的产量和使用寿命产 带来的高昂成本。
生负面影响。
€0.40 2,000,000
配置和成本概 参考文献
1. J. Herrmann, Fraktographie, TSA-Z
€0.20 1,000,000 览。图 5 为系统配置
Standard operating Procedure AAW_ZL_
概览。选项 1 是用于
P-002-01 (Nov. 8, 2017).
Option 2 Option 3 Option 4 工艺开发和产品测
Costs per eyepiece Eyepieces per year
2. 2. G. D. Quinn, Fractography of ceramics
试阶段的研发解决 and Glasses, NIST Special Publication
图6：产量和利润直接影响拥有成本。为机器配备全套设备可将每个目镜的
生产成本降低至少80%。 方 案。 选 项 2、3 和 960-16e2 (2016).

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 31

Industrial Laser Column 工业激光专栏
飞秒切割
飞秒切割改善超薄玻璃和聚合物切割质量
在不影响速度或效率的情况下，飞秒激光切割实现了更高质量的切割边缘，为诸多新应用
带来了希望。
文/Patricia Panchak
了克服激光玻璃和聚合物
为 切 割 所 面 临 的 固 有 挑 战， 的切割边缘质量（在裂纹自定向状态
波兰 Fluence 公司的研究人
员开发了一种使用超快飞秒光纤激光
器的最新切割工艺。这种方法提供了
一种不受加工方向限制的切割工艺，
能够在高切割速度下实现高质量的切
割边缘和更小的切口宽度，即使是
切割厚玻璃也能达到米每秒的切割速
度，并且不会产生碎屑 / 烟雾，对环
境友好。
测试表明，该方法适用于各种材
料，包括蓝宝石，以及显示器和消费
电子领域应用的大多数玻璃，如用于
移动设备中的盖板玻璃和用于可折叠
显示器中的超薄玻璃（UTG）。对于
UTG 的切割结果表明，仅使用 250fs
的脉冲就可以实现低于 100nm 的表
面粗糙度。
在聚合物切割中，特别是医用级
聚乳酸（PLA）和聚甲基丙烯酸甲酯
（PMMA），基于 250fs 脉冲的切割工
艺，有助于克服热积聚问题以及厚聚
合物基底的低切割速度。研究人员证
明，与典型的聚合物烧蚀切割工艺相
比，飞秒工艺的切割速度快了几个数
量级。
具体来说，实验测试了各种参数， 微裂纹定向工艺， 该工艺能够确保
包括脉冲持续时间、脉冲串能量、脉
冲串中的脉冲数和切割不同材料时的
脉冲间距，最终得出以下三个结果 ：
32 Jan/ Feb 2024
1、展示了工艺参数对各种材料
下裂开）的影响。[1] 边缘粗糙度影响
材料加工后的强度，而材料强度对于
可折叠显示器等应用至关重要。
2、展示了在任何方向上都能实现
高速切割的可能性，例如在制造圆形
形状时，无需主动光束转向，而且无
论方向如何都能获得高质量切割边缘。
3、展示了使用相同的简化装置
和激光源，能够切割玻璃和聚合物的
能力。
图1：上图显示的是厚度为100μ m的超薄玻璃
（U T G）的切割样品，其中左图是利用飞秒脉冲
实验装置 切割的，展现出了精密、光滑的切割边缘质量，明
研究人员使用了 Fluence 公司的 显优于右图中使用皮秒脉冲获得的粗糙边缘质量。
下图显示了厚度为200µm的UTG样品的切割效果。
Jasper X0 飞秒光纤激光器，其工作的 （图片来源：Fluence）
平均功率为 20W，在 200kHz 下的单
脉冲输出能量为 100μJ，工作波长为 UTG的超高质量切割
1030nm。 为了测试 UTG 切割，研究人员
测 试 包 括 切 割 厚 度 为 50μm 将使用皮秒脉冲的自裂纹定向机制与
和 100μm 的 UTG（ 见 图 1）、 厚 度 使用几个参数集的新机制进行了比
1.1mm 的 BK7 玻璃、双面层压 UTG、 较。结果表明，250fs 的短脉冲（Jasper
厚 度 0.3mm 的 PLA 和 厚 度 3mm X0 激光器可以产生的最短飞秒脉冲）
的 PMMA。 另 外， 还 使 用 LEXT 以及优化的脉冲间距，可以很容易地
OLS500 激光共聚焦显微镜测量了切 切割厚度为 50μm 和 100μm 的 UTG，
割边缘的粗糙度。 并且边缘粗糙度低于 Sa=0.15μm，即
研究人员使用了之前报道的全向 切割边缘基本上是光滑的。研究人员
[1]
表示，还可以根据 UTG 的厚度调整
微裂纹沿着切割轨迹进行自定向，从 激光参数，以获得最高质量的切割边
而可以在不旋转光路中光学元件的情 缘。
况下，沿任何方向进行切割。 Fluence 公 司 超 快 激 光 应 用 实
www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界
 工业激光专栏 Industrial Laser Column

验 室 激 光 微 加 工 研 发 总 监 Bogusz 将速度提升到现在的三倍。

无定形聚合物
Stepak 认为，实际的切割边缘粗糙
裂
断
以
度 甚 至 可 能 低 于 测 量 值， 因 为 现 难 切割聚合物

扫描速度/脉冲间距
在已经达到了显微镜的分辨极限。 Stepak 解释说，研究人员使用
离性
Stepak 表示，极低的边缘粗糙度非 的分 相同的工艺切割厚度 0.3mm 的 PLA
良好
常有益，因为“粗糙度和 UTG 弯曲 和 厚 度 高 达 3mm 的 PMMA， 并 且
强度之间存在着很强的相关性”。 也获得了非常可喜的结果。他们发
有趣的是，这种新方法不会产 现，使用 250fs 的最短脉冲，获得了
生微裂纹，而且这种工艺也是皮秒 脆性/结晶度 最容易的机械断裂（见图 2）。当使
图2：脉冲间距、脉冲持续时间和断裂各种脆性聚合物的
脉冲无法实现的。Stepak 说 ：
“脉冲 能力之间的关系。更短的脉冲能够切割无定形聚合物， 用皮秒脉冲时，几乎不可能实现相
沉积后，材料内部的能量弛豫不会 并实现更高的切割速度。 同样品的断裂。
导致开裂。这是一种不同类型的改性， 不同的材料需要不同的脉冲间
如果将这些改性彼此靠近，就可以形 切割BK7 距，才能获得良好的切割效果。“因
成一条均匀的改性线，UTG 会沿着 对于厚度 1.1mm 的硼硅酸盐玻 此，对于聚乳酸等半结晶聚合物，我
这条改性线断裂，从而获得非常高质 璃，研究人员使用飞秒激光切割出了 们可以用更大的脉冲间距切割，因为
量的断裂边缘。”然而，研究人员还 圆形，切割中使用了各种参数集，包 这种材料更脆。”Stepak 说，“如果被
需要进行更多的测试，以充分了解该 括不同的能量、脉冲间距和脉冲串中 加工的材料不那么脆（例如 PMMA，
工艺的工作原理，并测试分开后玻璃 的脉冲数。任何一个参数的微小变化 它是一种完全无定形的聚合物），那
的强度。 都会影响切割质量。然而，在使用脉 么我们就需要使用更小的脉冲间距。”
当将相同的设置应用于混合材料 冲间距为 5.0~7.5μm 的三到四次脉冲 Stepak 说 ：
“使用与切割玻璃相
（将一片厚度 90μm 的 UTG 玻璃芯夹 串时，“我们发现脉冲间距有一个最 同的超短脉冲和相同的光学元件，还
在两片厚度 30μm 的聚合物层之间） 佳点，可以获得低于 0.4μm 的高质量 可以切割聚合物。测试显示，这种工
时，使用 250fs 和 8ps 的脉冲都能实 表面粗糙度，这个粗糙度通常足以满 艺没有切口，没有材料损耗和烟雾，
现材料切割，但使用 250fs 脉冲获得 足大多数工业应用的要求。”Stepak 并且几乎没有热影响区。所以这是一
的边缘质量明显更好。 说道。 个非常好的加工过程，尤其是对于医
此外，该方法可以仅使用单次脉 该团队测量了水平和垂直切割的 疗等要求苛刻的应用而言。”
冲通过就实现材料切割，从而消除了 粗糙度，以评估无论切割方向如何， 该工艺显示出在各种无定形物
后处理、分层、开裂或表面污染。 该工艺都能产生相同的切割质量，两 （PMMA、PC）和半结晶聚合物（PET、
“所以， PLA、PA6、PE、PEEK ；见图 3）切
者的粗糙度相似。Stepak 说 ：
我们有一个非常简单的装置，没有任 割方面的应用潜力。未来的测试将探
何旋转部件，并且我们在所有方向上 索其他加工机制，以发现如何进一步
都获得了相同的切割质量。因此，这 优化各种材料的切割质量和切割速
是一个能够轻松分离材料的非常高质 度，并应用该工艺创造更复杂的边缘
量的加工过程。” 形状。
Stepak 补充说，使用更大的脉冲
间距可以增加切割速度。在 100kHz 参考文献
的重复频率下，UTG 和通常厚度高 1. B. Stepak, N. Grudzie
, K. Kowalska,

达 1.5mm 的玻璃，都能以高达 1m/s Y. Stepanenko, and M. Nejbauer,

J. Laser Appl., 35, 012005 (2023);
图3：在无定形物和结晶PLA中，使用飞秒脉冲切
的速度进行单次脉冲切割。使用 60W
割圆形。这种切割方法在聚合物上的应用，展示了 https://doi.org/10.2351/7.0000798.
无缺陷的光滑切割边缘。（图片来源：Fluence） Jasper X0 激光器，在 300kHz 下可以

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 33

Test & Measurement 测试&测量

光束测量

光束测量系统为动力电池焊接质量保驾护航
稳定一致的光束参数是保持焊接质量的关键。Ophir BeamWatch Integrated系统实现了光束参数的100%检
测，为焊接质量保驾护航。

文/MKS Instruments

池模块是电动汽车的心脏。 进行抽查。 唯一能够做到这一点的方法是根据瑞

电 电 动 汽 车 依 靠 电 池 驱 动，
因此电池的可靠性对于汽 在不影响生产周期的情况下
利散射原理，对激光光束进行非接触
式测量，这是 MKS 公司开发的一项
车 的 安 全 至 关 重 要。 早 在 2013 年， 监测光束质量 技术，并应用于 Ophir BeamWatch 系
宝马汽车集团就推出了首款全电动汽 电池生产中的激光焊接要求绝对 列产品中。
车 i3，因此非常清楚电池生产面临多 精确。在焊接前定期检查激光束的关 该公司专门为自动化制造设计了
重挑战。随着产能的不断提高，电池 键参数，对保证电池组的焊接质量具 Ophir BeamWatch Integrated 系统。这
生产的复杂性也在不断增加，例如在 有重要意义。从与宝马汽车集团专家 种光束轮廓仪和功率计的组合有各种
宝马公司第五代电池模块的生产中， 的第一次讨论开始，Ophir 团队就将 接口，直接适配于工业生产。对于宝
就需要多达 144 条焊缝。 工作重点聚焦在“如何在对激光束进 马汽车集团的技术开发专家来说，这
借助 Ophir BeamWatch Integrated 行定期检查的同时，尽可能减少对生 款仪器的问世恰逢其时。
自动化激光束测量系统，汽车制造商 产周期的影响”。激光束检查的关键
可以在焊接每个新电池模块之前对激 指标包括 ：焦点直径、焦点位置、激 焦点偏移的非接触式探测
光束进行检查，并且不影响生产周期。 光功率和焦点偏移。 作为电池生产线原型设计和
而在使用 Ophir BeamWatch Integrated 其中激光功率和焦点偏移这两个 基 础 定 义 的 一 部 分， 第 一 套 Ophir
系统之前，为了确认理想的焊接深度， 参数对于单模激光器尤为重要，但是 BeamWatch Integrated 系统于 2019 年
该汽车制造商每周都要通过显微照片 要快速测量这两个参数却非常困难。 投入使用。随后是技术开发的密集测

34 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 测试&测量 Test & Measurement

图1：Ophir BeamWatch Integrated 500是专为测量焦距超过500mm的单模光纤激光器而开发的。

试阶段，很快该设备就能确定所有需 可以通过测量分析这种散焦现象。由 可以从一开始就避免因激光束散焦偏

要的参数。 于激光束参数的偏差，工程师对每道 差而造成的潜在误差。除了这种主动
然 而， 测 试 结 果 很 快 显 示， 人 焊缝的深度都进行了检查。虽然焊缝 检测外，所有模块在焊接过程结束后
们低估了生产过程中产生的热焦点偏 看起来毫无瑕疵，但焊接深度明显过 都要进行电气功能测试。
移。BeamWatch Integrated 系 统 的 测 浅。最后得出的结论是，必须将测量
量显示，焦点的热偏移在毫米范围内， 技术集成到批量生产过程中，因为只 必不可少的监测工具
这是工程师们始料未及的结果。幸运 有这样才能长期保证焊缝质量。 总的来说，电池模块的生产是一
的是，工程师们知道了焦点的偏移幅 个非常复杂的过程。单个电池单元被
度，就可以在生产过程中对焦点偏移 可重复的接触焊缝质量 堆叠、压制并放置到一个框架中。然
进行调整。 如今，Ophir BeamWatch Integrated 后，所有电池的正极和负极必须焊接
对于汽车制造商来说，这是保持 系统已经集成到宝马汽车第五代电池 在电池接触系统中——每个系统每小
所有接触式焊缝焊接深度一致的重要 模块的全球所有自动化生产线中。在 时要进行多达 15000 次点焊！工程师
一步。在开发阶段，使用接触式焊缝 加载和卸载过程中，激光器在全功率 们确信，电池模块的质量在很大程度
的显微照片来确定焦点偏移与焊缝深 下短暂运行以确定焦点位移。只有在 上取决于始终如一的高质量激光束参
度之间的关系。在此基础上，汽车制 确认（IO 信号）激光束参数符合要 数 ；而 Ophir beam watch Integrated 系
造商与 Ophir 团队专家密切合作，确 求后，才开始焊接。当生产仍处于启 统是在电池模块生产过程中监测激光
定了焦点偏移的极限值。 动阶段时，每生产一个电池模块 / 都 束参数的重要工具，生产线上的设备
要进行激光束校准测量 ；但在进入 操作人员也对此深信不疑。
焊接飞溅物导致焊缝深度减小 正常大批量生产阶段后，可以每生 总之，Ophir BeamWatch Integrated
此外，工程师还发现 ：用于接触 产十个电池模块后进行一次激光束 系统，能够在不影响生产周期的情
焊接的单模光纤激光器的光学系统， 校准测量。 况 下， 能 够 自 动 测 量 激 光 束 质 量，
容易受保护玻璃上飞溅物的影响。飞 如 果 BeamWatch Integrated 系 统 检测焦点偏移，确保焊接质量 ；该
溅物不仅会造成焦点偏移，甚至还会 检测到先前定义的某个参数出现偏 系统是保证电池生产过程中焊接质
直接影响焦点直径。 差，就会显示警告信息。负责生产线 量的关键工具，可促进汽车制造商
保护玻璃上的污点会使激光束发 的操作员就会检查激光器的保护玻 激光焊接工艺的整体发展和电池模
生 散 焦，BeamWatch Integrated 系 统 璃，必要时进行清洁或更换。这样就 块的质量优化。

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 35

 产品撷英 Products Highlight

LCOS空间光调制器 高功率半导体激光器叠阵GS09和GA03
Santec 推出多款 LCOS 空间光调制器，能够实现高精 炬光科技推出两款小型化高功率半导体激光器叠阵
度纯相位调制 ；具备 1024 灰度级相位调制能力，实现更 GS09 和 GA03，依托炬光科技的共晶键合、界面材料与
小的相位量化误差 ；独特的高频模拟驱动控制技术，实现 表面工程、热管理等核心技术，实现了集成技术的进步、
优异的相位稳定度 ；简单易用的软件界面，基于多种编程 设计效率的提高、热管理能力的升级以及产品可靠性和寿
语言的示例代码、易于集成、操作便捷无忧。 命的提升。
与 多 款 型 号 可 选， GS09 将 芯 片 间 距 从 前
其 中 SLM-200 兼 具 出 色 代 产 品 的 0.73mm 缩 小 到
的 性 能 及 成 本 优 势， 适 0.43mm， 显 著 降 低 叠 阵 发
用 于 全 息 术、 结 构 光、 光区宽度，同时叠阵中的芯
生物医学成像等场景 ； 片数量可拓展到 10bar，实
SLM-210 的 液 晶 响 应 时 现最高 1kW 的峰值功率输出。GA03 在前代产品的基础
间低至 6ms，120Hz 的帧刷新速度，适合高速相位调制 上将整体宽度从 18.2mm 大幅降低到 7.45mm，并保持
场景 ；SLM-250 专为紫外光源量身定制，适合 UV 光硬 相同的单巴输出功率约为 200W，产品芯片数量可以横
化 树 脂 造 型、3D 打 印 等 应 用 ；SLM-300 的 损 伤 阈 值 高 向纵向拓展到 3×10 阵列（30bar），实现最高 6kW 的峰
2
达 200W/cm ，适合激光加工、高功率激光整形等应用 ； 值输出。
SLM-20 为高清 OEM 款，体积小易集成，成本低 ；SLM- 炬光科技，www.focuslight.com
30 为高功率 OEM 款，体积小易集成，成本低。
Santec，www.santec.com 种子源脉冲激光器Kinos
安 特 激 光 的 Kinos 是 一 款 多 功 能 皮 秒 光 纤 激 光 器
用于激光远程焊接的智能PFO SF小场镜 （OEM 版本），设计波长为 1064nm，由一个增益调制的分
通快用于激光远程焊接的 PFO SF 小场镜，采用轻量 布式反馈（DFB）激光二极管和一个高效的光纤放大器组
化镜片和新型扫描振镜结构，可实 成，集成封装。
现镜片的高频摆动和快速跳转。最 经过优化以在 1MHz
大可用激光功率 12kW，是激光摆 重 复 频 率 附 近 运 行， 它
动焊接的理想之选。 非常适合作为工业应用
通过将控制器外置，小场镜扫 中需要高脉冲能量的种
描头尺寸更小，使其可在复杂环境 子源激光器。DFB 种子源的窄线宽还使 Kinos 非常适用于
和有限的工作空间内灵活运行，为 传感应用和高效的非线性频率转换。基于二极管的种子搭
用户提供更大的操作空间。相比于 配保偏设计，保证了免维护长时间运行的稳定性。
定焦镜头，PFO SF 小场镜还具有光束摆动的扩展功能， 激光器还包括一个窄的 ASE 滤波器和一个输出隔离
为加工过程带来更大的优化空间。 器，以限制来自后续光学组件或放大器的背反馈。Kinos
提供多种智能监控选项，通过保护玻璃监控功能，可 被设计用于在 0.5~10MHz 的重复频率范围内运行（光纤
以随时了解保护玻璃的污染程度，从而优化使用寿命并及 放大器的带内 ASE 可以忽略不计），通过使用外部触发，
时更换。小场镜还能监控冷却水的水温。QDS（Quality 可以访问其他重复频率。
Data Storage）选项支持在组件级别对质量相关数据进行 Kinos 有两个具有不同脉冲持续时间的型号，两者在
过程同步存储 ；CM（Condition Monitoring）选项使得小 1MHz 时的峰值功率均超过 500W。A 型有 40±15ps 的脉
场镜的智能功能更加完善，通过对状态数据的分析实现预 冲持续时间，提供更窄的光谱和更高的平均功率 ；B 型的
防性维护。 脉冲持续时间为 60±15ps。
通快，www.trumpf.com 安特激光，www.antelaser.com

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 37

Products Highlight 产品撷英

Coherent Axon飞秒激光器 在 54% 以上）和直冷散热（采

Coherent Axon 是具有固定波长、经济高效的紧凑型 用独立水道设计，将泵源、散
飞秒激光器，目前具有 780nm、920nm 和 1064nm 三种波长， 热板一体化集成设计，实现了
在多光子显微成像、生命科学领域备受青睐，也可用于半 芯片直冷，业界首次实现板上
导体检测和纳米加工等。 芯片的概念）三大领先技术，并且每颗芯片都是独立光路
Axon 激光器的平均功率最高 3.5W、短脉宽（<150fs）、 和电路，不会因为一两颗芯片问题导致整个泵源宕机。
重复频率 80MHz ；具有相同的外形、尺寸和通用接口、 基于该泵源，创鑫 3kW 以下中功率激光器，只需要
易于集成 ；具备 GVD 预色散补偿 ；全功率控制（TPC）， 一个泵源光路，实现一纤一泵一机 ；对于万瓦高功率，采
内置快速功率调制 AOM ；风冷、免维护、即插即用。 用“热 - 光 - 力”一体的系统性优化方案，12kW 只需要
借 助 Axon 激 四个泵源光路，熔接点大为减少，激光器更为稳定，体积
光器，可以开发用 更小、重量更轻、成本更低，更好地满足用户对激光器简
于体内 3D 快速成 单、稳定、高效的诉求。
像的小尺寸双光子 创鑫激光，www.maxphotonics.com
显微镜系统，在活体内获取高分辨率、高速的分子和细胞
过程，例如基因表达、蛋白质活性、细胞运输、细胞间相 飞秒激光器 Tangor 300
互作用 ；还可以探究社会记忆缺陷的神经学基础，从而帮 Amplitude 公司的 Tangor 300，是一款具有高功率、
助那些患有神经发育和智力障碍的个体。 高集成度和高稳定性的商业化飞秒激光器 ；其平均功率
Coherent高意激光，www.coherent.com 可大于 300W，单脉冲能量可达 3mJ，同时还可提供高达
300kHz 的高重复频率，被广泛应用于强场太赫兹产生、
512线超高清超远距激光雷达AT512 高通量高次谐波产生和光电子能谱等尖端科学研究领域。
禾赛科技正式发布面向搭载智能驾驶系统量产车市 Tangor 300 飞秒激光器
场的 512 线超高清超远距激光雷达 AT512。AT512 搭载禾 搭配 Amplitude 独家专利的
赛最新的第四代自研芯片，通过引入 3D 堆叠、光噪抑制 脉宽压缩器，高转换效率的
等前沿技术，以卓越的光学收发效率和垂直整合能力，在 激光倍频器，功能强大的 OPCPA，为全球前沿的阿秒光
体积不变的情况下实现了性能全面升级。 学研究提供了更强大的实验手段和更多的研究可能性。
AT512 可 实 现 300m 标 Amplitude，www.amplitude-laser.net.cn
准测远（@10% 反射率），相
比 AT128 提升了 50%。最远 高性能可调谐激光源TLS1056
测距达到 400m，是市场同类 德力光电科技（天津）有限公司推出高性能可调谐
远距激光雷达的两倍，让车辆至少提前一倍距离发现目标， 激光源 TLS1056。该仪器具有 160nm 精准扫描范围，在
为系统安全决策增加了 40% 以上的反应时间。AT512 展 大范围扫描的同时，避免了跳模现象的发生，以保证扫描
现了激光雷达技术的突破性进展，主要面向对性能、可靠 的稳定性和准确性。具有 15dBm 的超高峰值功率，可在
性、安全性有极高要求的高端智能驾驶量产车型。 短时间内进行高强度扫描实验，提高了工作效率 ；同时，
禾赛科技，www.hesaitech.com 200nm/s 的高扫描速度使得该仪器能在短时间内完成大量
数据采集，极大地缩短了实验时间。
4200W一体成型泵浦源 TLS1056 在
创鑫激光发布功率达 4200W 的泵浦源，实现了一 连续百万次扫描
体 集 成（ 泵 源 壳 体 采 用 定 制 的 轻 量 化 合 金 材 料， 并 一 后， 仍 然 能 够 保
体成型而成，重量减轻 50% 以上）、三波长合束（采用 持高稳定的调谐
915+940+976 多波长合束技术，高效耦合，电光效率维持 精 度， 兼 备 可 靠

38 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 产品撷英 Products Highlight

的实验结果和超长的使用寿命，具有很高的性价比。 材加工过程中，推出 GYP 系列超高功率坡口切割机，在

德力仪器，www.deviser.com.cn 60kW 高功率的加持下，无惧厚板切割，突破切口断面只
能是垂直立面的限制，实现板材 45°端面切割。
三合一激光“手提焊”A2M系列 该切割机采用自主研
桓日激光推出三合一激光“手提焊”A2M 系列，主 发的切割头光、水、气三
机重量仅 19kg，主机、送丝机一体化仅重 24kg，可以手 系统创新技术，使切割更
提。该产品配备舒适肩带，可背可挂，便携于各类狭窄空 加稳定 ；机床采用行业首
间、高空作业以及需要频繁移动的场合。 创的中空／半中空结构床身，避免高功率激光对机床造成
A2M 系列产品采用电 热变形，使用寿命更长久 ；其智能除尘设计，可以分时分
线 路、 光 路 和 气 路 三 合 一 区分段抽尘，避免生产过程中尘烟满天飞，从未保障安全
的 一 体 化 铠 缆 设 计， 铠 缆 生产。
线 芯 从 13 根 降 低 到 5 根， 迅镭激光，www.quicklaser.com
刷新自身最细最轻记录（内
置抗拉绳 + 抵抗高温的保护套管 + 全数字通讯技术，一 准连续半导体激光器叠阵
体化铠缆更稳定更强抗干扰能力）。该系列产品可通过遥 亮点光电推出传导冷却准连续半导体激光器叠阵系
控器和手机 APP 调节主机参数，并支持机械臂外控出光， 列产品 LM-808-Q2000-F-G10-P0.38-0，依托先进的真空共
配备安全门检测、报警灯、双重紧急停止等，确保焊接过 晶键合、界面材料与融合工程、瞬态热管理等核心技术，
程更安全。 可实现产品集成化、工作效率高、热管理能力升级，确保
桓日激光，www.huanrilaser.com 产品的长期可靠性及寿命的提升。
这款产品精准地将半导体
940nm超长距激光雷达M3 激光器重要泵浦源巴条激光器
速 腾 聚 创 发 布 面 向 L3+ 智 能 驾 驶 前 装 量 产 的 超 长 的间距从原本的 0.73mm 缩小到
距激光雷达全新产品 M3。M3 基于 M 平台成熟的二维 0.38mm，显著降低了叠阵发光
扫 描 技 术 打 造， 是 全 球 首 款 通 过 940nm 激 光 技 术 实 现 区的宽度。叠阵产品的巴条数
300m@10% 反 射 率 测 距 能 力 的 超 远 距 激 光 雷 达， 具 有 量同时可扩充至 10bar，进一步提升产品功效，最高峰值
0.05° ×0.05°角分辨率的超高清三维成像能力。 功率可达 2kW 以上。相比 0.73mm 间距的传统产品，这
相较于传统的采用 款新型产品在光功率密度上实现了大约 92% 的显著提升。
1550nm 激光技术的超长 亮点光电，www.lumispot.cn
距 激 光 雷 达，M3 的 体
积 缩 减 50% 以 上， 成 本 半导体脉冲种子源
减 少 约 50%， 功 耗 降 低 光越科技成功研发出适应光伏行业应用的半导体
30% 以上。在发射端，M3 采用经过充分验证的 940nm 脉 冲 种 子 源， 其 脉 冲 宽 度 可 低 至 80ps， 重 复 频 率 在
VCSEL 激光器，不仅体积小、可靠性高且生产工艺成熟， 1~200MHz 之 间 可 调 ；输
相关技术已在 RoboSense 全固态补盲激光雷达 E1 实现落 出脉冲的长时间稳定性高
地应用 ；在接收端，M3 采用激光雷达行业主流的 SiPM <1%RMS@72h ；噪 声 低，
作为接收器件，具有响应快、增益高、易量产等优势。 拖尾小，光束质量高 ；适
速腾聚创，www.robosense.cn 用于各种不同中心波长的半导体激光器。
该产品可以既可用于半导体脉冲激光器种子源，也适
GYP系列超高功率坡口激光切割机 用于材料分析及科学研究等应用。
迅镭激光将万瓦级坡口切割技术运用到中厚金属板 光越科技，www.optizonetech.com

激光世界 Laser Focus World China www.laserfocusworld.com.cn Jan/ Feb 2024 39

 www.laserfocusworld.com.cn
广告索引 Advertisers Index

Advertiser 广告客户 网址 页码
CDIIF 2024 www.cdiif.com IFC
Edmund Optics China 爱特蒙特光学 (深圳) 有限公司 www.edmundoptics.cn/014-8610 1
华光光电 www.haucore.com 7
LASER World of PHOTONICS CHINA 慕尼黑上海光博会 www.world-of-photonics-china.com.cn/zh-cn/ IBC
Newport Corp www.newport.com.cn 9
ITES深圳工业展 www.iteschina.com 14
第十七届深圳国际激光与智能装备、光子技术博览会 www.laserfair.cn 36

文章投稿指南 发布新产品投稿指南
《激光世界》不发表公然推销某一具体产品或服务的文章。只有 1、请清晰地写明新产品的名称、型号、功能、独特之处和用途等。
文章内容需要或与主题相关时，才可偶尔提及某一具体产品。 2、请附上产品照片。照片的分辨率不低于300dpi，大小不低于
100万像素。最好是在单色背景下的简单的产品实物照片。
具体要求 3、请提供能查阅产品更多信息的网址。
1、最好配两幅以上相关图表。 4、写清负责答复读者咨询的人员的姓名和联系方式。
2、应在预定发表日期之前一个月投到编辑部。 5、写清能提供进一步信息的人的姓名、电话、e-mail。
3、切勿一稿多投。 6、本刊有权决定稿件录用与否。编辑部有权修改稿件。
5、编辑部有权修改稿件。作者或供稿公司如需在出版前 7、本刊收到的稿件会在最近的一期发表，时间最长会延迟2个
确认修改后的稿件，请事先声明。 月。当提供对时间敏感的信息时，请注意预计发表的时间。
6、请留下作者的各种联系方式。 8、出版日期前5天截稿。
请将您的新闻或文章E-mail至庞会荣女士 Rossie Pang, E-mail:rossiep@actintl.com.hk,电话：13641292731

行政及销售人员 Administration & Sales Offices

行政人员 Administration 销售人员 Sales Offices

HK Office (香港办公室) China (中国) Wuhan (武汉) West & Mountain
Grace Zhu ( 朱婉婷) Anne Marie St.John-Brooks,
ACT International (雅时国际商讯) Hong Kong (香港特区)
gracez@actintl.com.hk amstjohn@endeavorb2b.com
Unit B, 13/F, Por Yen Building, Floyd Chun (秦泽峰) Tel: 86 159 1532 6267 Tel: 510.606.0630
No. 478 Castle Peak Road,Cheung floydc@actintl.com.hk
Sha Wan, Kowloon, Hong Kong Tel: 852 2838 6298
Tel: 852 2838 6298 Asia (亚洲) Europe & Middle East
Shanghai (上海) Japan (日本)
Publishing Director (出版总监)
Sales Director-China
(欧洲及中东)
Adonis Mak (麦协林) Masaki Mori
(中国区销售总监) Europe
adonism@actintl.com.hk masaki.mori@ex-press.jp
Hatter Yao (姚丽莹) Tel: 81 3 6721 9890 Holger Gerisch
Editor-in-Chief (总编辑)
hattery@actintl.com.hk hgerisch@endeavorb2b.com
Rossie Pang (庞会荣)
Taiwan, Singapore, Malaysia Tel: 49(0)8801 9153791
rossiep@actintl.com.hk Amber Li (李歆)
(台湾，新加坡，马来西亚)
amberl@actintl.com.hk Israel
Regional Sales Director
US Offices Tel: 86 21 6251 1200 Dan Aronovic
Floyd Chun (秦泽峰)
ENEADOR Business Media, LLC floydc@actintl.com.hk aronovic@actcom.co.il
Shenzhen (深圳)
61 Spit Brook Rd, 5th Floor Nashua, Tel: 852 2838 6298 Tel: 972-9-899-5813
Jenny Li (李文娟)
NH 03060 jennyl@actintl.com.hk
Group Publisher
Paul Andrews
Tel: 86 755 2598 8572 North America (北美)
pandrews@endeavorb2b.com Beijing (北京) East & Central
Editor in Chief Cecily Bian (边团芳) Jeff Nichols
John Lewis cecilyb@actintl.com.hk jnichols@endeavorb2b.com
jlewis@endeavorb2b.com Tel: 86 10 8484 4007 Tel: 1-413-442-2526

40 Jan/ Feb 2024 www.laserfocusworld.com.cn Laser Focus World China 激光世界

 20
24
2024激光技术

年
8月
·苏
创新及产业应用交流会

州
2024 展 览 展 示 | 技 术 报 告 | 专 家 论 坛
致力于打造激光行业专项技术及细分领域应用的交流平台

为了帮助激光产业链上下游搭建面对面交流互动的广阔平台，雅时国际商讯将于 2024 年 8 月隆重推出为期两天的

“2024 激光技术创新及产业应用交流会”，以产品展览 + 主题峰会 + 多专题分会场的形式，汇聚激光产业链上游的企业展示
产品、技术，并与下游用户现场交流探讨，促成共赢合作，进一步加强自身在市场中的品牌形象与地位。

主题峰会 激光技术最新进展与市场发展趋势

分会场 1：激光焊接技术及焊缝质量跟踪监控

分会场 2：超快激光技术进展与应用
专题分会场
分会场 3：增材制造与激光熔覆技术及应用

分会场 4：激光清洗技术进展及应用

展示范围 (拟)

激光器 光学材料、光学元件和器件 激光加工系统、组件及周边

《激光世界》《工业激光应用》合作伙伴 (部分)

主办单位

大会媒体

扫码咨询会议 关注LFWC公众号
支持媒体 LFC 2024 了解更多资讯