Diss.

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DISS. ETH No. 12745

micromachined ultrasound-
Based Proximity Sensors

A thesis submitted to the

SWISS FEDERAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY ZURICH

for the degree of

Doctor of Natural Sciences

presented by

Mark Rainer Hornung

Dipl. Phys. TU Karlsruhe

Born July 29,1967

Citizen of Germany

submitted on the recommendation of

CatE
Prof. Dr. H. Baltes, supervisor
Prof. Dr. M. G. Allen, co-examiner

Dr. O. Brand, co-examiner

1998
Abstract

This thesis reports on a prototype of a packaged ultrasound barrier microsystem

for object detection based on micromachined silicon transducer elements. Further¬

more, the feasibility of a distance measuring system covering the distance range

between 0.5cm up to 10cm is demonstrated. In both applications the transducer

elements are excited at their fundamental resonance frequency to ensure maxi¬

mum sensitivity. In this thesis four main topics are investigated: (a) optimization
of the transducer elements with respect to the generated sound pressure, (b) long
term stability of the resonators, (c) packaging, and (d) microsystem development
and system characterization.

The ultrasound transducer elements were fabricated using industrial IC technol¬

ogy combined with standard silicon micromachining techniques. This approach

allows a cost effective fabrication of the miniaturized resonators and the cointe-

gration of the driving and read-out circuit. The transducer elements were fabri¬

cated using either an industrial pressure sensor process of Micronas Semiconduc¬

tor or a CMOS process of Austria Mikro Systeme.

The membrane resonators were optimized with respect to the generated sound

pressure. Therefore, the resonator characteristics such as resonance frequency,

vibration amplitude, and generated sound pressure were investigated for the dif¬

ferent resonator geometries and the different fabrication processes. Additionally,

finite element simulations of the device characteristics were performed to find the

optimal membrane geometry. Square shaped membrane resonators with a side

length of approximately 0.8 mm generate the largest sound pressure at their reso¬

nance frequency of approximately 100kHz. The generated sound pressure is suf¬

ficient for measuring object distances up to 10cm.

Reliability and stability of the transducer elements were investigated to ensure the
industrial applicability of the ultrasound microsystems. The long-term stability of

the membrane resonators were tested under various environmental conditions like

high temperature and humidity. Additional temperature cycles of packaged reso-

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Abstract

nators were performed in order to investigate the stress fatigue. No failure of pack¬

aged transducers was observed even at a temperature and a relative humidity of

85°C and 85% RH, respectively, over more than two months. During operation,
the resonance frequency initially slightly increased because the mechanical stress
in the membrane changed. However, after a temperature dependent operation
time, the resonance frequency stabilized. An activation energy £a=0.37eV of the
drift mechanism was measured. The frequency drift, however, does not influence
the applicability of the membrane resonators in the ultrasound systems.

The packaging and housing, which mostly decide on success or failure of a micro¬

system, were intensively investigated. A low stress mounting of the transducer

was developed which minimizes thermomechanical stress influences on the

device. Furthermore, two different packaging approaches were investigated: in the
first one, the generated ultrasound is emitted from the front side of the membrane,

in the second the sound waves are emitted from the rear side through an opening
in the substrate. The developed housing improves the sound generation efficiency
of the transducer by increasing the impedance of the mechanical resonator. Addi¬

tionally, a larger housing opening focuses the emitted sound waves and reduces
the opening angle of the sound cone.

Based on the optimized transducer elements and the investigated packaging

approaches, a packaged ultrasound barrier microsystem was developed. The
micromachined resonators as well as the driving and read-out circuit were

mounted on a common printed circuit board and encapsulated by a special hous¬

ing. The circuit was developed and designed at the Integrated Systems Laboratory
(IIS) of ETH Zurich. Furthermore, a proximity sensor system for measuring dis¬
tances in the range from 0.5 to 10cm was developed in collaboration with the IIS.

This system covers a distance range which is not measurable using conventional
ultrasound proximity sensors. In this thesis three different, suitable measurement

methods based on continuous ultrasound generation were investigated. Using the

best method one can determine the object distance with an accuracy of better than
0.8mm over the whole distance range.

To demonstrate the potential of the membrane resonators for microsensor appli¬

cations, a resonant pressure sensor for differential and absolute pressure measure¬

ments and an ultrasound based gas flow meter were investigated in addition.

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ZUSAMMENFASSUNG

Im Rahmen dieser Dissertation wurden ein Prototyp einer miniaturisierten Ultra-

schallschranke zur Objektdetektion und ein miniaturisierter Ultraschall-

Abstandssensor entwickelt. In beiden Systemen werden Silizium-Membranen als

Ultraschall-Wandlerelemente eingesetzt. Die mit Methoden der Mikromechanik

hergestellten Membranen werden bei ihrer Resonanzfrequenz betrieben, um

maximale Empfindlichkeit zu gewahrleisten. Die Dissertation behandelt die fol-

genden vier Hauptaspekte: (a) Optimierung der Wandlerelemente beziiglich

Schallabstrahlung, (b) Langzeitstabilitat der Resonatoren, (c) Verpackung und
(d) Systementwicklung und Systemcharakterisierung.

Die Wandlerelemente werden mit industriellen Prozessen zur Herstellung von

integrierten Schaltungen gefertigt. Das Freilegen der Membran erfolgt in einem

anschliessenden Silizium-Atzschritt. Dies erlaubt eine kostengiinstige Massen-

produktion und die Integration der Treiber- und Auswerteschaltung auf ein und

demselben Siliziumchip. Die Wandlerelemente wurden sowohl mit einem

Silizium-SensorprozeB der Firma Micronas Semiconductor als auch mit einem

CMOS ProzeB der Firma Austria Mikro Systeme gefertigt.

Die Membranresonatoren wurden auf maximale Ultraschallabstrahlung optimiert.

Dabei wurde die Abhangigkeit der Resonanzfrequenz, der Schwingungsampli-
tude und des Schalldruckes von der Membrangeometrie und dem Herstellungs-
prozess untersucht. Die Optimierung der Wandlerelemente wurde dabei mit

"Finite Element" Simulationen unterstiitzt. Quadratische Resonatoren mit einer

Seitenlange von ungefahr 0.8mm und einer Resonanzfrequenz von 100kHz gene-

rieren den grossten Schalldruck. Dieser Schalldruck reicht aus, um Objektab-

stande bis 10cm zu messen.

Um den Beweis fiir die Anwendbarkeit der Siliziumresonatoren in industrieller

Umgebung zu erbringen, wurde das Langzeitverhalten und die Zuverlassigkeit der

Wandlerelemente eingehend untersucht. Die Membranen wurden bei hohen Tem¬

perate und in Kombination mit Feuchtigkeit getestet. Um die Materialermudung

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Zusammenfassung

zu beschleunigen, wurden Temperaturzyklen mit verpackten Systemen durchge-

fiihrt. Alle getesteten Systeme waren am Ende dieser Untersuchung voll funk-

tionsfahig. Man beobachtet lediglich eine geringe Zunahme der Resonanzfre-

quenz am Anfang der Tests, die die Funktion der Resonatoren aber nicht stort.

Eine Aktivierungsenergie von £a=0.37eV wurde fur den Mechanismus berech-

net, der fur die Frequenzdrift verantwortlich ist.

Die Verpackung der Sensoren entscheidet oft uber Erfolg oder Misserfolg des

gesamten Systems. Aus diesem Grund wurden verschiedene Verpackungslosun-

gen eingehend untersucht. Das Wandlerelement wurde durch eine spannungsarme

Klebeverbindung vom Substrat weitestgehend mechanisch entkoppelt. Somit

minimiert man den EinfluB von thermomechanischen Spannungen auf den Reso¬

nator, die dessen Resonanzfrequenz verandert. Fur die Verkapselung der Resona¬
toren wurden zwei verschiedene Ansatze verfolgt: Im ersten wird der generierte
Ultraschall von der Chipoberseite abgestrahlt, im zweiten von der Unterseite
durch die Atzoffnung. Die entwickelten Gehause schiitzen nicht nur den Silizium-

chip, sondern verbessem durch eine VergroBerung der Wandlerimpedanz auch die
Effizienz der Schallabstrahlung. Daruber hinaus fokussiert das Gehause die
Schallwellen und verkleinert den Offnungswinkel der erzeugten Schallkeule.

Mit den optimierten Resonatoren und unter Verwendung der untersuchten Ver-

kapselungsmethoden wurde eine miniaturisierte Ultraschallschranke entwickelt.

Dabei befinden sich Ultraschallwandler sowie Treiber- und Auswerteschaltung

auf einem gemeinsamen Substrat. Die Schaltung wurde am Institut fur Integrierte
Systeme (IIS) der ETH Zurich entwickelt. Desweiteren wurde in Zusammenarbeit

mit dem IIS ein Ultraschall-Distanzsensor fur Abstande im Bereich zwischen 0.5

bis 10cm entwickelt. Dieser Sensor kann Abstande bestimmen, die mit konven-
tionellen Ultraschallsensoren nicht erfassbar sind. In dieser Dissertation werden

drei geeignete AbstandsmeBmethoden basierend auf kontinuierlicher Schallab¬

strahlung untersucht und miteinander verglichen; die Genaueste erlaubt Abstands-

messungen iiber den gesamten MeBbereich mit einer Genauigkeit besser als
0.8mm.

Am Ende dieser Dissertation werden ein resonanter Drucksensor und ein GasfluB-

sensor als weitere Anwendungen fur mikromechanisch hergestellte Silizium-

Membranresonatoren vorgestellt.