TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI

VIỆN CƠ KHÍ

====o0o====

BÀI TẬP LỚN

THIẾT KẾ HỆ THỐNG VI CƠ ĐIỆN TỬ
Thiết kế bơm sử dụng hiệu ứng điện từ

GVHD PGS. TS Nguyễn Thi Phương Mai

SVTH Nhữ Ngọc Hiệp 20161451
Phạm Xuân Hinh 20161466
Phạm Văn Khải 20162179

Hà Nội, 06/2020
 MỤC LỤC

CHƯƠNG I: GIỚI THIỆU TỔNG QUAN VỀ MEMS VÀ MINI BƠM ............ 4

1.1 Giới thiệu tổng quan về công nghệ MEMS ................................................. 4
1.2 Tổng quan về bơm vi cơ .............................................................................. 4
CHƯƠNG II: TÍNH TOÁN, THIẾT KẾ VÀ MÔ PHỎNG MINI BƠM ĐIỆN
TỪ ......................................................................................................................... 7
2.1 Lựa chọn phương án thiết kế ....................................................................... 7
2.1.1 Hiệu ứng điện từ .................................................................................... 7
2.1.2 Nguyên lý hoạt động của bơm ............................................................... 8
2.1.3 Thiết kế .................................................................................................. 8
2.2 Tính toán lực kiểm bền bơm điện từ .......................................................... 10
2.2.1 Tính toán .............................................................................................. 10
2.2.2 Kiểm bền màng bơm ............................................................................ 13
2.2.3 Kiểm bền màng van ............................................................................. 16
CHƯƠNG III: KẾT LUẬN ................................................................................ 19
TÀI LIỆU THAM KHẢO ................................................................................... 20
 DANH MỤC HÌNH ẢNH

Hình 1.1 Mini Pump .............................................................................................. 5

Hình 1.2 Cấu trúc bơm vi cơ ................................................................................. 5
Hình 2.1 Hiệu ứng điện từ..................................................................................... 7
Hình 2.2 Nam châm điện ...................................................................................... 7
Hình 2.3 Các chi tiết 3D của bơm ......................................................................... 8
Hình 2.4 Thiết kế 3D của bơm .............................................................................. 9
Hình 2.5 Cấu tạo bơm ........................................................................................... 9
Hình 2.6 Định luật Biot-Savart ........................................................................... 10
Hình 2.7 Bơm ở trạng thái hút ............................................................................ 12
Hình 2.8 Bơm ở trạng thái đẩy ............................................................................ 13
Hình 2.9 Vật liệu PDMS ..................................................................................... 13
Hình 2.10 Ứng suất màng bơm khi hút ............................................................... 14
Hình 2.11 Chuyển vị màng bơm khi hút ............................................................. 14
Hình 2.12 Ứng suất màng bơm khi đẩy .............................................................. 15
Hình 2.13 Chuyển vị màng bơm khi đẩy ............................................................ 15
Hình 2.14 Hệ số an toàn FOS màng bơm ........................................................... 15
Hình 2.15 Ứng suất màng van............................................................................. 16
Hình 2.16 Chuyển vị màng van .......................................................................... 16
Hình 2.17 Hệ số an toàn FOS màng van ............................................................. 16
Hình 2.18 Bản vẽ chi tiết bơm ............................................................................ 17
Hình 2.19 Quá trình chiếu xạ .............................................................................. 18
 CHƯƠNG I:
GIỚI THIỆU TỔNG QUAN VỀ MEMS VÀ MINI BƠM
1.1 Giới thiệu tổng quan về công nghệ MEMS
MEMS (MicroElectroMechanicalSystems) là hệ vi cơ điện tử bao gồm
các cảm biến và các bộ chấp hành có kích thước rất nhỏ cỡ micro và milimet.
Trong thế kỷ 21, công nghệ MEMS thực sự có tầm ảnh hưởng to lớn. Các linh
kiện MEMS có thể được chế tạo trên cơ sở công nghệ vi điện tử (IC). Tuy nhiên,
không giống như trong công nghệ IC, trong công nghệ MEMS người ta dùng
các kỹ thuật ăn mòn dị hướng như ăn mòn khô và ăn mòn ướt để tạo các cấu trúc
3 chiều chuyển động được. Công nghệ MEMS đã bắt đầu được nghiên cứu và
ứng dụng từ những năm 70 của thế kỷ trước, bắt đầu bằng việc chế tạo cảm biến
áp suất trên cơ sở công nghệ vi cơ khối. Từ cuối những năm 80, giai đoạn phát
triển thứ hai của công nghệ MEMS được bắt đầu với sự phát triển của công nghệ
vi cơ bề mặt. Ngày nay, MEMS trở thành giải pháp công nghệ được sử dụng khá
rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp và là mảnh đất màu mỡ cho những cách
tân trong kỹ thuật. Mỗi thiết bị mới sử dụng MEMS mang những đặc tính cao
hơn về chất lượng, khả năng hoạt động và giá thành. Các thống kê gần đây cho
biết các sản phẩm MEMS trong công nghiệp có trị giá khoảng 6.5 tỷ USD trong
năm 2003 (theo số liệu của System Planning Cooporation) và lên tới 10.5 tỷ
USD trong năm 2005. Thị phần chính hiện nay của các sản phẩm MEMS là các
cảm biến áp suất, các bộ điều khiển chất lỏng, cảm biến quán tính và các bộ
chuyển mạch quang học. Các khó khăn cần vượt qua hiện nay của công nghệ
MEMS chủ yếu liên quan tới việc đóng vỏ, kỹ thuật đo các đặc trưng và việc
tích hợp các linh kiện MEMS với các vi mạch.

Trong quá trình phát triển của công nghệ MEMS, mô phỏng và thiết kế là
quá trình rất quan trọng. Chi phí đầu tư, nghiên cứu và chế tạo sẽ được giảm
thiểu nếu các kết quả mô phỏng, thiết kế là đáng tin cậy. Đề tài rất có ý nghĩa
trong việc đưa ra các cấu hình linh kiện MEMS mới và tối ưu các cấu hình sẵn
có. Kết quả mô phỏng nếu sai khác 5% so với thực tế đã là rất tốt và nếu sự sai
khác đó là 20% thì những thông tin thu được từ mô phỏng, thiết kế vẫn rất hữu
ích. Cho đến nay, trên thế giới vẫn liên tục phát triển các phần mềm mô phỏng
mới phục vụ cho công nghệ MEMS. Ở Việt Nam, việc mô phỏng và thiết kế các
linh kiện MEMS vẫn còn rất mới mẻ.

1.2 Tổng quan về bơm vi cơ

Bơm vi cơ là một máy bơm có kích thước vô cùng nhỏ (cỡ micromet) di
chuyển chất lỏng hoặc khí từ nơi có áp suất cao hơn đến nơi có áp suất thấp hơn.
Bơm hoạt động dựa trên nguyên tắc thay đổi áp suất trong buồng bơm từ đó tạo
ra dòng chảy liên tục của chất lỏng.

4
 Nguyên lý hoạt động của bơm vi cơ giống với nguyên lý hoạt động của
các bơm thông thường với kích thước lớn khác. Khi thể tích buồng bơm thay
đổi, thì áp suất trong buồng bơm thay đổi tỉ lệ nghịch với thể tích, tạo ra chênh
lệch giữa áp trong trong buồng bơm với áp suất bên ngoài. Có thể sử dụng nhiều
phương pháp để thay đổi áp suất trong buồng bơm, như sử dụng hiệu ứng điện
từ, tác dụng nhiệt hay khí nén.

Hình 1.1 Mini Pump

Hệ thống bơm vi cơ được chế tạo bởi màng truyền động polymer tổng
hợp từ tính PDMS với mô hình ma trận.

Bơm vi cơ được chế tạo dựa trên quá trình chế tạo MEMS. Quá trình chế
tạo chia ra làm ba phần: phần điện từ, phần cơ học từ tính và phần vi lỏng. Các
phần được chế tạo riêng biệt.

Hình 1.2 Cấu trúc bơm vi cơ

5
 Hình ảnh trên là mô hình bơm vi cơ điện từ được chế tạo dựa trên tiêu
chuẩn quá trình chế tạo MEMS với vật liệu chính là PDMS. Cấu tạo gồm 3 phần
chính:

- Compisite membrane (Phần màng tổng hợp)

- Embossed matrix design (Phần thiết kế ma trận nhô lên)

- Electromagnetic coil (Phần cuộn dây điện từ)

Ưu điểm của mô hình:

- Kiểm soát hoạt động của bơm tốt

- Dòng chảy liên tục

- Kiểm soát tốt tốc độ dòng chảy

- Chế tạo khá đơn giản

Nhược điểm:

- Dung tích buồng bơm tương đối nhỏ.

6
 CHƯƠNG II:
TÍNH TOÁN, THIẾT KẾ VÀ MÔ PHỎNG MINI BƠM ĐIỆN TỪ
2.1 Lựa chọn phương án thiết kế
2.1.1 Hiệu ứng điện từ
Bơm hoạt động dựa hiệu ứng điện từ.

Hình 2.1 Hiệu ứng điện từ

Nam châm điện gồm hai phần là cuộn dây tạo từ trường và lõi dẫn
(khuếch đại) từ. Chi tiết của từng loại nam châm điện có thể khác nhau nhưng
đều theo nguyên lý chung này.

Hình 2.2 Nam châm điện

Thông thường, cuộn dây là cuộn “solenoid” được cuốn nhiều vòng dây
đều nhau.

Lõi dẫn từ của nam châm điện là các vật liệu mềm và thông thường chúng
phải thỏa mãn các yêu cầu:

- Có độ từ thẩm lớn

7
 - Cảm ứng từ bão hòa cao (để không giới hạn dải hoạt động của nam
châm)

- Có tổn hao trễ nhỏ (lực kháng nhỏ) để không làm trễ quá trình thay đổi
từ trường của nam châm.

Khi cho dòng điện chạy qua, nam châm điện sẽ sinh ra từ trường, từ trường này
sẽ tương tác với nam châm vĩnh cửu gắn dưới màng bơm. Khi nam châm được
cấp một dòng điện xoay chiều, cực từ của nam châm sẽ thay đổi liên tục, gây
nên sự hút và đẩy có chu kỳ với nam châm vĩnh cứu được gắn cứng với màng
bơm.

2.1.2 Nguyên lý hoạt động của bơm

Nguyên lý hoạt động : Khi một từ trường được tạo ra bởi một cuộn dây
được cấp điện tương tác với nam châm được gắn dưới đáy màng bơm, nó tạo ra
lực làm cho màng bơm biến dạng theo chu kỳ. Hành động kéo đẩy của màng
trong buồng bơm sẽ tạo ra sự thay đổi áp suất trong buồng và cho phép vận
chuyển chất lỏng từ đầu vào đến buồng bơm và ra ngoài bơm theo hướng nhất
định. Hướng của dòng chất lỏng được xác định bởi thiết kế bộ khuếch tán, vòi
phun và các van của bơm.
2.1.3 Thiết kế
Bơm được thiết kế sơ bộ trên phần mềm 3D Solidworks

Hình 2.3 Các chi tiết 3D của bơm

8
 Hình 2.4 Thiết kế 3D của bơm
Bơm vi cơ có màng van được gắn ở hai đầu vào ra của bơm, cố định dòng
chảy theo hướng nhất định, khi nước được cấp vào van ở cửa vào sẽ mở ra lúc
này van ở cửa ra đang đóng kín, tránh nước tràn ra ngoài và ngược lại khi van ở
cửa ra mở thì van cửa vào đóng lại, tránh hiện tượng nước tràn ngược lại. Dòng
chảy được cố định theo hướng nhất định. Dung dịch cần bơm sẽ được cấp đầy
buồng bơm, sau đó màng sẽ giãn theo chiều ngược lại do tác động của lực điện
từ, dung dịch sẽ chảy lên cửa ra của van.
Với 8 bộ phần chính như hình

1. Đầu vào
2. Đầu ra
3. Màng van
4. Khoang chứa
5. Màng bơm
6. Nam châm
7. Lõi từ
8. Cuộn dây

Hình 2.5 Cấu tạo bơm

9
2.2 Tính toán lực kiểm bền bơm điện từ
2.2.1 Tính toán
B
- Công thức tính lực từ: Fx = m x  x
x

Trong đó: mx là momen quán tính

B
là cảm ứng từ theo phương x
x

- Tính cảm ứng từ theo phương x

Hình 2.6 Định luật Biot-Savart

Áp dụng định luật Biot-Savart để tính toán giá trị của từ trường B tại vị trí
r tạo ra bởi một dòng điện ổn định I, với dl là vector phân vị độ dài, 0 là hằng
số từ môi.
0 I  dl 0 I  dl
dB =  2 =  2
4 r 4 x + R 2

Lấy tích phân ta có:

0  I cos  dl R
B =  dB  cos =  ,cos =
4 x +R
2 2
x + R2
2

0  I R 0  I R2
4 ( x 2 + R 2 )3/2 
B= dl =
(x + R2 )
3/2
2 2

Tích phân trên toàn vòng dây cũng như chiếu lên phương x ta được:

10
 0  I R2
B= n 
(x + R2 )
3/2
2 2

Với  = 4. .10−7 , n = 500, i = 100mA, R = 4mm

Sử dụng phần mềm Maple đạo hàm riêng theo biến x ta thu được :

B −3 x
=
x  1 
5/2

6,25.10  x 2 +
9

 62500 

Momen từ m được xác định:

m = VM

Trong đó:

V là thể tích của miếng nam châm

M là từ hóa của nam châm

Chọn nam châm vĩnh cữu có các thông số như dưới.

Kích thước d  h = 4  2,V = 25  10−9 m3

Từ hóa M  1.44  105 ( A.m −1 )

Từ đó ta thu được m  36 10−4

Thay vào công thức (4) ta được:

27  x
F= 5/2
 1 
15625.10   x 2 +
9

 62500 

Với x = 4mm ta có F = 3,75mN

- Lực tác dụng lên màng bơm

Màng bơm có khối lượng nhỏ không đáng kể, nên ta coi bơm như là một
lò xo có độ cứng K, giả sử hoạt động của màng không bị ảnh hưởng bởi áp suất
chất lỏng và không khí.

Theo định luật 3 Newton ta có:

F = m a

11
Trong đó:

F là các lực tác dụng lên nam châm

m là khối lượng nam châm có d  h = 4  2 mm; m = 0,09g
a là gia tốc của nam châm

Xét các lực tác dụng lên nam châm trong trường hợp này ta có:

Ft + Fm + Pnc = m  a

Trong đó:

Ft - lực từ tác dụng từ cuộn dây lên nam châm

Fm - lực kéo của màng
Pnc - trọng lượng của nam châm P = m  g ( g = 9,81)
Xét theo phương chuyển vị tại vị trí cân bằng trong hai trường hợp:

Bơm đang hút: Ft − Fm + Pnc = 0

Bơm đang đẩy: Ft − Fm − Pnc = 0

Từ những thông số đã tính toán ở trên, thay vào công thức (3) ta được:

- Trường hợp bơm hút

Hình 2.7 Bơm ở trạng thái hút

Ta có: Ft − Fm + Pnc = 0  Fm = Ft + Pnc = Ft + m.g = 4,633mN

- Trường hợp bơm đẩy

12
 Hình 2.8 Bơm ở trạng thái đẩy
Ta có: Ft − Fm − Pnc = 0  Fm = Ft − Pnc = Ft − m.g = 2,867mN

2.2.2 Kiểm bền màng bơm

Trong suốt quá trình hoạt động của bơm thì mang bơm là phần hoạt động
chính, chịu tác dụng và biến dạng trong suốt quá trình làm việc. Do đó, cần phải
kiểm tra độ bền của màng bơm.
Trong SolidWorks không có sẵn vật liệu PDMS, nên ta thêm các thông số
của vật liệu vào phần mềm

Hình 2.9 Vật liệu PDMS

13
 Sau đó ta tiến hành mô phỏng ứng suất và chuyển vị của màng khi bị hút
hoặc đẩy và kiểm tra hệ số an toàn FOS.

Mô phỏng với áp lực 100 N / m 2 ta có được kết quả mô phỏng trên

SolidWorks như sau:

Hình 2.10 Ứng suất màng bơm khi hút

- Ứng suất lớn nhất  max = 1,453.103 Pa

Hình 2.11 Chuyển vị màng bơm khi hút

Chuyển vị màng bơm khi hút

- Chuyển vị lớn nhất S max = 1,4.10−5 mm

14
 Hình 2.12 Ứng suất màng bơm khi đẩy

- Ứng suất lớn nhất  max = 1,453.103 Pa

Hình 2.13 Chuyển vị màng bơm khi đẩy

- Chuyển vị lớn nhất S max = 1,4.10−5 mm

Hình 2.14 Hệ số an toàn FOS màng bơm

15
2.2.3 Kiểm bền màng van

Hình 2.15 Ứng suất màng van

- Ứng suất lớn nhất  max = 14,07Pa

Hình 2.16 Chuyển vị màng van

Chuyển vị màng van

- Chuyển vị lớn nhất S max = 1,1.10−7 mm

Hình 2.17 Hệ số an toàn FOS màng van

16
2.3 Chọn vật liệu và quy trình chế tạo

Hình 2.18 Bản vẽ chi tiết bơm

(1) Màng van được chế tạo bằng vật liệu PDMS dày 0,5mm, các lỗ trên van có
đường kính nhỏ nhất là 1mm có thiết kế khá phức tạp. Để có thể đạt độ chính
xác cao, đảm bảo tốt yêu cầu hoạt động, màng van được gia công bằng laser.

(2) Cuộn dây của nam châm điện có kích thước không quả nhỏ, do đó ta có thể
sử dụng các cuộn dây đồng thông thường và mạ điện để cuộn dây bền hơn.

(3) Lõi dẫn từ của nam châm điện phải thoải mãn các yêu cầu:

- Có độ từ thẩm lớn

- Cảm ứng từ bão hòa cao (để không giới hạn dải hoạt động của nam châm)

- Có tổn hao trễ nhỏ (lực kháng từ nhỏ) để không làm trễ quá trình thay đổi từ
trường của nam châm

Ta chọn vật liệu làm lõi nam châm điện là hợp kim sắt silic

(4) Vỏ bơm cần được chế tạo trên các vật liệu không nhiễm từ để không bị ảnh
hưởng khi bơm hoạt động. Có rất nhiều các vật liệu không nhiễm từ như thủy
tinh, nhựa, nhôm, và một số mã thép không gỉ. Ở đây ta sử dụng loại thép không

17
gỉ Austenitic có mác thép SUS 316L, loại này có khả năng chịu ăn mòn cao
trong phạm vi nhiệt độ rộng, không bị nhiễm từ.

(5) Quá trình lắp các bộ phận của bơm

Sau khi gắn nam châm vào màng bơm thì ta tiến hành gắn lần lượt từ dưới lên

Keo UV DELO thích hợp với các vật liệu sử dụng trong bơm, do đó ta dùng keo
này để gắn các vật liệu lại đảm bảo độ tin cậy trong suốt quá trình hoạt động của
bơm.

- Quá trình tra keo gồm ba bước

Làm sạch bề mặt, giã đông keo

Tra keo lên sản phẩm cần kết dính

Chiếu xạ để keo kho hoàn toàn (5-10s)

Hình 2.19 Quá trình chiếu xạ

18
 CHƯƠNG III: KẾT LUẬN

Qua trình tìm hiểu và tính toán thiết kế bơm sinh viên được tìm hiểu sâu
hơn về công nghệ MEMS các vật liệu trong MEMS như PDMS, các sản phẩm
có kích thước nhỏ nhưng có độ chính xác, độ hoàn thiện cao. Từ đó lựa chọn
được vật liệu và phương pháp gia công phù hợp.

Hiểu rõ nguyên lý hoạt động của hiệu ứng điện từ, nguyên lý hoạt động
của bơm vi cơ.

Tính toán lựa chọn từ đo đưa ra thiết kế, mô phỏng được quá trình hoạt
động của bơm.

Bơm thiết kế đáp ứng yêu cầu ban đầu đặt ra, hoạt động ổn định và đảm
bảo độ bền trong suốt quá trình hoạt động.

19
 TÀI LIỆU THAM KHẢO

[1] M. SAID, "The design, fabrication, and testing of an electromagnetic

micropump with a matrix-patterned magnetic polymer composite actuator
membrane," Micromachines, 2018.

[2] "Wikipedia," 30 May 2020. [Online]. Available:

https://en.wikipedia.org/wiki/Biot%E2%80%93Savart_law. [Accessed 20
June 2020].

[3] "Wikipedia," 06 June 2020. [Online]. Available:

https://en.wikipedia.org/wiki/Micropump. [Accessed 20 June 2020].

[4] MIT, "Material PDMS Property Database," [Online]. Available:

http://www.mit.edu/~6.777/matprops/pdms.htm. [Accessed 20 June 2020].

20