奈米科技事業發展案例—ULVAC

石墨奈米纖維－FED實用化寄予厚望

ULVAC公司於1952年以「日本真空技術」起家；2001年7月改名為現在的ULVAC
(Ultimate in Vacuum)公司。創業之初即是以真空技術起家，所提供的產品從電子、資訊通
訊、能源、環境、醫藥、食品、化學到生物科技的生產設備為中心，屬於高科技真空技術
產品。
ULVAC公司計畫從上述各領域切入，經營各種奈米相關儀器設備，如此的奈米技術
事業其實淵源已久，大約在
20年前就已經進入奈米級的
少量
相關研究，而且不是蜻蜒點 STM/AFM
水偶而為之，而是紮紮實實 FED(CVD)
的從事奈米相關研究。因 FED（印刷）
此，對該公司而言，進入奈 奈
米
米技術新領域的門檻是不會 管
生
太高的。 產
量
ULVAC公司有五個事業 奈米複合材料 二次電池
（機械部品、
部：半導體事業部、電子機 儲氫 電子裝置（分子
導電性材料）
電晶體、不揮發
器事業部、產業機器事業 性隨機記憶體）
大量
部、超高真空事業部、規格 隨機 奈米管控制性 陣列
品事業部。
圖一 奈米管的應用領域
主要的實驗設備，則依
用途而異。其中，特別著重
表一 ULVAC公司碳膜設備的功能
的是由超高真空事業部負責
的奈米碳管的成膜裝置。因 奈米碳管 石墨奈米纖維
為在半導體、顯示器領域， 1吋 10mm×10mm
都需要在基板上成長奈米碳 基板尺寸 4吋 294mm×210mm（A4尺寸）

管的技術，而欲以此技術使 8吋
 表二 ULVAC公司出品設備之用途

用途
半導體 磁性記錄 顯示器 能源 高機能材料
設備名稱
Helicon濺鍍 ˇ ˇ
磊晶 ˇ ˇ
蝕刻 ˇ ˇ ˇ
離子注入 ˇ ˇ ˇ ˇ
奈米碳管 ˇ ˇ ˇ ˇ ˇ
石墨奈米纖維 ˇ ˇ ˇ ˇ ˇ
離子混合濺鍍 ˇ ˇ ˇ

其正確的成長在特定的地方，至今仍是困難重重。而ULVAC已經開發可以在8吋晶圓全面
成長奈米碳管的設備，以及控制同樣屬於奈米碳管之一的石墨奈米纖維，使其成長至A4
大小的設備。
這些傲人的成果，來自於過去在半導體控制及成膜技術所奠下的基礎。也就是說欲在
特定地方固定住奈米纖維之類的觸媒劑技術是目前一項高水準技術。此技術看似簡單，欲
垂直成長在特定地方，其實是難度非常高的技術。在日本，ULVAC是獨家，即使全世界
也只有2-3家擁有此技術。尤其是能夠在8吋基板成長，綜觀全世界，也只有ULVAC一家
公司，未來有信心開發可自由控制其方向，且在12吋基板全面成長用的設備。
運用此獨特技術的用途很多，其中，對場發射顯示器(FED)的開發，寄予厚望。FED
的競爭對手是30-40吋以上大型顯示器領域的電漿顯示器，運用奈米技術的60吋FED，其
厚度只有10公分，是其最大優勢。
ULVAC公司使用石墨奈米纖維為電子放出源，採用新型奈米構造的螢光體，以及熱
化學蒸鍍(CVD)法形成大型FED可利用技術已經成功開發，可預期的是FED的實用化又向
前邁進一步。此外，金屬氧化物半導體電晶體(MOS-FET)等半導體領域亦可應用，這兩個
領域將因技術的革新，帶來極大的發展。

（工研院材料所管理師 劉秀琴）