太阳能级多晶硅生产工艺的节能降耗综述

[摘 要]在半导体与光伏产业中，多晶硅是重要的生产原材料。在本文中，将就太阳能
级多晶硅生产工艺的节能降耗进行一定的研究。

[关键词]多晶硅；生产工艺；节能降耗；

中图分类号：TQ127.2 文献标识码：A 文章编号：1009-914X（2015）35-0381-

01

1、引言

随着社会科技水平的提升，太阳能电池产业获得了高速的发展，所具有的前景被业界
人员一致看好。其中，多晶硅太阳能电池在整个太阳能产品中占据着非常高的比例，占据
着 90%以上的比重。而就我国目前多晶硅生产而言，在技术层面同国外发达国家间还存在
着较大的差距，急需通过节能降耗生产技术的应用减少环境污染，在降低生产成本的同时
提升企业竞争力。

2、多晶硅生产节能降耗技术

2.1 优化还原工艺

2.1.1 多对棒还原炉技术

在还原炉发展的过程中，经历过 9、12、18 到现今的 24 棒，而日本三菱公司，则完成

了 48 对棒技术的开发。通过多对棒还原炉技术的开发，则能够在对硅产品单炉产量进行提
升的同时降低生产能耗。

2.1.2 改进硅芯热启动技术
 在该技术改进中，可以从两方面入手：第一，使用等离子预热启动硅芯技术。在该种
方式中，通过等离子体的加热，则能够对硅芯炉的温度与击穿电压进行降低，以此起到节
能降耗的效果；第二，硅芯掺杂工艺。在硅芯上通过 P、B 等元素的掺杂，则能够在对电导
率进行降低的同时使硅芯的温度与启动电压降低，进而获得了节能降耗的效果。

2.1.3 电控系统优化

在生产过程中，多晶硅对电能具有较大的消耗量。对此，则可以通过对电控系统的优
化起到减少电能的效果。对此，可以从两个方面入手：首先，根据工艺条件对电流与电压
调节方式进行优化，即通过反应炉压力以及反映温度对电压与电流进行调节，使两者在生
产中具有更好的匹配性；其次，减少电磁辐射，如通过对电控系统的设计降低电磁辐射，
则能够在降低还原电压的同时减少倒炉次数。

2.2 TCS 提纯优化

2.2.1 反应精馏技术

近年来，反应精馏技术在国外获得了较大的发展。湿氮除硼技术是该技术的一种发展
类型，其在精馏过程中向其中加入了一定具有水分的氢气与氮气，并通过一定的化学反应
形成一种较为复杂的聚合物。该聚合物对于磷、硼都具有着较强的吸附作用，能够起到目
标纯化的作用。而在另一种除硼工艺中，其首先对具有低沸点的精馏技术进行应用，在保
证三氯氢硅没有沸腾的基础上保证其中在不含有杂质的同时去除低沸点的杂质硼。通过这
部分技术的应用，则能够对反应中大部分的磷、硼等杂质进行去除，在对精馏板数、塔数
进行减少的同时获得节能降耗的效果。

2.2.2 高效节能精馏技术

在该种方式中，即将精馏塔根据能位的不同将其分为不同的多塔，使具有较高塔位的
蒸汽向着塔位较低的再沸器实施供热，且在此过程自己也会得到冷凝。在该种多效精馏塔
中，仅仅第一个塔釜中需要注入热量，最后塔的蒸汽需要以冷却介质进行冷凝。除此之外，
系统中的其他塔在生产的过程中并不需要外界的冷却或者供热，并因此具有着非常明显的
节能效果。

2.2.3 优化精馏系统

通过将多晶硅生产物料进行全面、细致的能量平衡以及物料平衡，在对能耗合理性进
行考察的同时对热集成技术进行应用，则能够在优化流程的同时对节能降耗目标进行实现。
如通过高性能填料以及导向浮阀塔的应用对效率较低的筛板塔进行替代，通过模拟软件对
精馏过程模拟、优化等，则能够在对理论板数、回流比进行降低的同时达到节能目标。

2.3 废热废物利用

在对多晶硅生产的过程中，会产生大量的废液与废气。在传统方式中，我国一般是通
过碱液淋洗的方式对其进行处理，但在该种方式应用中，却会在处理后产生较多的高盐分
分水，不仅对于环境是一种较大的污染，对于资源也是一种非常大的浪费。目前，我国部
分企业通过废气焚烧的方式进行处理，在该种方式中，不仅能够对废气中的浓盐酸进行回
收，且在反应过程中产生热量还能对废水进行结晶蒸发，在对废水零排放目标进行实现的
同时实现了废水的再次利用。此外，在氢化以及还原反应中，也会随之产生大量的热。以
往的处理方式会以循环水的应用对热量进行吸收传输，并因此使循环水具有较大的压力与
温度。通过积极的工艺改造，将这部分高热量水用于溴化锂锅炉制冷，则能够起到节能降
耗的效果。

2.4 尾气干法回收

在生产尾气中，具有着大量的化学物质。通过尾气干法回收方式的应用，则能够将尾
气中大量的 TCS、氢气、HCl 以及四氯化硅等进行分离，实现相关元素的循环使用。在该种
方式中，通过尾气不同组分回收率的提升，则同样能起到节能降耗、降低生产成本的作用。

2.5 设备技术管理

除了对节能降耗的生产技术进行积极开发、应用之外，也需要做好技术以及设备的管
理工作，通过管理工作的优化、调整以及操作规范的建立，在对跑、冒、滴、漏现象进行控
制的同时更好达到节能降耗目标。

3、结束语

光伏产业是现今国际社会大力开展的产业类型，作为主要的原材料，多晶硅生产也具
有着非常好的发展前景。在此情况下，就需要我国多晶硅生产企业能够积极开发、优化生
产技术，以科学技术的应用在实现节能降耗的同时获得自身更好的发展。

参考文献

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