Chương 4.

CÁC PHƯƠNG PHÁP

ĐO LƯỜNG ĐỘ DÀI BẰNG LASER

4.1 Đo chính xác độ dài bằng giao thoa kế laser.

4.1.1 Hiệu ứng giao thoa.
Hiện tượng giao thoa xảy ra khi hai sóng ánh sáng đơn sắc và
kết hợp gặp nhau tại một điểm, hay nói một cách khác hai
sóng ánh sáng phải phát từ hai nguồn sáng giống hệt nhau
Thường sử dụng hai sóng được tách từ cùng một nguồn phát
sáng .
 4.1.1.1-Sự giao thoa của hai sóng kết hợp
Dao động tổng hợp tại M là tổng véc tơ hai dao động thành
phần đạt tới đó .
t d1
s1 = acos [ 2( -  ) + 1 ]
T

s2 = a cos [ 2 ( t  d 2 ) + 2 ]
T 
Giả sử hai dao động cùng phương , do đó độ lớn của dao động
tổng hợp tìm được theo phép cộng đại số:

Dao động tổng hợp có cùng chu kỳ như hai dao động thành
phần và có biên độ

và do đó cường độ I là
 là hiệu pha của hai sóng khi gặp nhau
tại M Vì (1 - 2 ) / 2 = cosnt , nên sự
phân bố độ dọi phụ thuộc vào hiệu
đường đi d2-d1..

Do thoả mãn điều kiện d2-d1 = const nên quĩ tích của những
điểm đó là các mặt Hypecboloit tròn xoay nhận đường s1s2
làm trục và nhận s1 , s2 làm các tiêu điểm

+ Độ dọi đạt cực đại bằng 4a2 khi hai sóng đồng pha , tức là
d2-d1=m với m là số nguyên hay hiệu quang lộ là một số
nguyên lần bước sóng
+ Độ dọi đạt cực tiểu và bằng không khi hiệu quang lộ là một
số lẻ lần nửa bước sóng .
Hiện tượng khi tổng hợp hai sóng có cùng tần số và có hiệu
pha ban đầu không đổi được gọi là giao thoa ánh sáng.

Thực chất giao thoa của sóng là sự phân bố lại năng lượng
dao động trong không gian, tồn tại những điểm luôn dao động
với biên độ cực đại xen kẽ với những điểm luôn dao động với
biên độ cực tiểu .

Muốn sự phân bố đó là ổn định trong khoảng thời gian đủ để

quan sát được, thì hiệu pha của chúng phải không đổi ít nhất
trong khoảng thời gian đó .
Hai sóng cùng tần số và có hiệu pha không đổi gọi là hai sóng
kết hợp và sóng kết hợp là điêù kiện cần để có giao thoa
4.1.1.2 Sự giao thoa của hai sóng trong trường hợp tổng
quát

Trước hết xem rằng hai sóng s1 ,s2 có phương bất kỳ , khi đó
việc tổng hợp dao động thực hiện bằng phép cộng véc tơ .
S = S1 + S2

Cường độ của sóng

I = S2 =(S1+S2)2 = S12+S22 + 2S1S2

Lấy trung bình theo thời gian quan sát , ta có

(S2) = (S12) + (S22) + 2S1S2
Khi S1 và S2 là sóng phẳng đơn sắc thì (S2)=a 2/2 nên

Số hạng 2(S1S2)gọi là số hạng giao thoa , vì nếu nó bằng

không thì
a2=a12 +a22

Cường độ của dao động tổng hợp là tổng đơn giản của cường
độ gây ra bởi hai dao động thành phần và không có giao thoa
.
Vậy điều kiện thứ nhất để có giao thoa là : phương dao động
của hai sóng không vuông góc với nhau .
Trường hợp hai sóng đồng phưong , chỉ là trường hợp riêng để
có giao thoa
Khi hai sóng đơn sắc dao động cùng phương có tần số khác
nhau
S1 = a1cos(1t-1 ) với 1 =k1d1-01
S2 = a2cos(2t-2 ) với 2 =k2d2-02
Khi đó

Để quan sát được ảnh giao thoa thì thời gian quan sát t’ phải
đủ lớn so với chu kỳ dao động vậy chỉ có tích phân thứ nhất
có thể khác không với điều kiện :
- hiệu 1-2 đủ nhỏ
- 02-01 =const
Vậy điều kiện thứ hai để quan sát được vân giao thoa (tức là
hệ vân ổn định trong suốt thời gian đủ để quan sát ) là hai sóng
phải có tần số khác nhau không nhiều và có hiệu pha ban đầu
không đổi . Điều đó có nghĩa là phải có sự cộng các sóng kết
hợp .
Khi hai sóng biên độ phức U1(r) và U2(r) chồng chất lên nhau
, kết quả là một sóng đơn sắc có cùng tần số và có biên độ
phức
U(r) = U1(r) + U2(r)
cường độ sóng tổng là

Biểu thức cường độ của sóng tổng hợp khi giao thoa giữa
hai sóng kết hợp có biên độ khác nhau là
Trong trường hợp tổng quát này

Đại lượng

được gọi là độ sâu hay độ rõ của ảnh giao thoa .

4.1.1.3 Sự hình thành vân giao thoa đồng độ nghiêng :
Khi đó hiệu quang trình của cặp tia IR và KR1 bằng
4.1.1.4 Ảnh giao thoa của vân đồng độ dầy

Trong trường hợp dọi sáng vuông góc r= 0 , hai vân tối
liên tiếp ứng với hai bề dày e1 và e2 :
2ne1 = m và 2ne2 = ( m+ 1 ) 
và do đó cách nhau một khoảng
Giả sử khoảng cách hai vân là h=0,2 mm thì

Ta thấy rằng khoảng cách giữa các vân không phụ thuộc vào
chiều dày nêm mà chỉ phụ thuộc vào góc nêm . Như vậy ,
bằng việc đếm số vân dịch chuyển ta có thể xác định được
khoảng dịch chuyển của gương .

Trong trường hợp nguồn sáng chiếu thẳng góc vì góc rất nhỏ ,
sự giao thoa xảy ra ngay khi tia phản xạ từ bề mặt thứ nhất và
tia phản xạ từ bề mặt thứ hai gặp nhau trên bề mặt gương thứ
nhất
Giao thoa ke Maikenxon
4.1.2 Phương pháp đo dộ dài bằng giao thoa kế laser.
Ảnh giao thoa nhận được trên mặt phẳng ảnh M có cường độ
sáng I đều nhau trên toàn bộ ảnh giao thoa
I=I1+I2+ 2cos
Trong đó

Gt
St
CT
Nguån Laser S K
S®
G®
Hình 4.4 Sơ đồ nguyên lý đo S't,S'®
độ dài bằng giao thoa kế laser x
M
Kết quả của phép biến đổi trên cho thấy:

-Chu kỳ biến thiên của cường độ sáng trên màn thu M tương
ứng với dịch chuyển của gương động x = /2n.
+khi gương động dịch chuyển quãng dường bằng một số lẻ
lần nửa bước sóng laser ta sẽ thấy màn M là tối nhất,
+ khi gương động dịch chuyển quãng đường bằng một số
chẵn lần nửa bước sóng ta sẽ thấy màn M là sáng nhất.

-Khi dịch chuyển x của gương động theo một chiều thì có thể
xác định được quãng đường x ứng với độ dài cần đo, bằng
cách đếm số lần thay đổi trạng thái sáng tối trên màn M.
-Nếu có thể phân biệt được k mức độ sáng tối giữa vân
sáng và vân tối thì còn có thể xác định được các lượng
dịch chuyển x nhỏ đến /2kn. Đó chính là cơ sở của
phép nâng cao độ phân giải của phép đo lên k lần.

- Quan sát trạng thái sáng tối trên màn M không cho
biết dịch chuyển x theo hướng nào vì ta nhận đưọc kết
quả sáng - tối như nhau khi dịch chuyển x là theo
hướng xa ra hay gần vào tấm chia chùm tia
Để phát hiện chiều biến đổi của dịch chuyển x, cần phải xoay
gương động nghiêng một góc  như sơ đồ nguyên lý trên
hình4.5.
 
Gt
St
CT
Nguån Laser S
S®
G®
S't,S'®
x
M

Hình 4.5 Sơ đồ nguyên lý giao thoa kế khi nghiêng gương

ảnh giao thoa có dạng là các vân giao thoa đồng độ dày
Khoảng cách giữa các vân cùng tên được gọi là bước vân H.
H  /2n
Khi cho gương động Gđ dịch chuyển một khoảng x = /2n ,
các vân cùng tên sẽ dịch chuyển vị trí đi một lượng bằng một
bước vân H.

Chiều dịch chuyển của các vân này là:

+ Khi gương động Gđ chạy xa so với gương tĩnh, tức là
khoảng cách x tăng lên thì các vân sẽ dịch chuyển theo hướng
về phía đỉnh nêm.
+ Khi gương động Gđ chạy lại gần gương tĩnh Gt, các vân sẽ
dịch chuyển rời xa đỉnh nêm.

Khi dùng hai cảm biến quang điện Cb1 và Cb2 đặt cách nhau
một phần tư bước vân H trên mặt phẳng hứng ảnh giao thoa, ta
sẽ nhận được hai tín hiệu sin tính lệch pha nhau 900
 Gt Cb1
I
 G®
Cb2 x

H a) DÞch chuyÓn thuËn

I
I Cb1 Cb2
x
Cb1 Cb2
b) DÞch chuyÓn nghÞch
Tín hiệu thu trên cảm biến CB1 và CB2 là:
CB1 = Acos [ ( 4 / ).x ]
CB1 = Acos [ ( 4x / )( x/4) ]
Dấu /4 phụ thuộc vào chiều dịch chuyển gương trong quá
trình đo. Dùng các mạch điện xác định pha hai tín hiệu CB1 và
CB2 ta sẽ xác định được chiều dịch chuyển
 4.1.3 Các sơ đồ biến thể của giao thoa kế laser để
đo độ dài cơ khí.

Với mục đích làm giảm ảnh hưởng của các nguyên nhân gây
nên sai số để cho giao thoa kế laser đo độ dài làm việc ổn
định, chính xác cũng như nâng cao độ phân giải khi đo, người
ta đã nghiên cứu và sử dụng trong đo lường cơ khí một số sơ
đồ biến thể từ nguyên lý cơ bản đã nêu trên.
4.1.3.1 Sơ đồ giao thoa kế với gương phản xạ góc 3 mặt .
Khi đầu đo dịch chuyển trong quá trình đo, các sai lệch trong
đường dẫn động sẽ gây nên sự dao động của gương động . Để
giảm ảnh hưởng của các rung động này dùng gương góc 3
mặt,
Gt

St CT
S
Nguån Laser
S®
G®
S't,S'® x
M
Nhược điểm của sơ đồ này là không thể tạo ảnh giao thoa kiểu nêm
quang học, vì vậy sẽ không xác định được chiều dịch chuyển đầu đo.
 4.1.3.2 Sơ đồ giao thoa kế với ánh sáng laser phân cực.
Để xác định được chiều dịch chuyển của gương động Gđ khi
dùng gương phản xạ góc, sơ đồ giao thoa kế trên hình 4.8, sử
dụng ánh sáng laser phân cực.

Cb2

Cb1 Gt
S't,S'® G®
CP2
St S®
NguånLaser S
x
/4 CP1

Hình 4.8 Sơ đồ giao thoa kế dùng ánh sáng laser phân cực dạng 1
Khi gương đo Gđ dịch đi /2 thì mặt phẳng phân cực
quay 1800, mặt phẳng phân cực tổng sẽ quay 450 nên
cường độ sáng thu trên cảm biến sẽ biến đổi đi một
chu kỳ.

Hướng quay của mặt phẳng phân cực tổng tuỳ thuộc
vào hướng dịch chuyển của gương góc, vì vậy trên hai
cảm biến quang điện ta sẽ thu được hai tín hiệu có pha
lệch nhau 900 tương ứng với chiều chuyển động của
gương đo Gđ.
Một dạng sơ đồ giao thoa kế với ánh sáng laser phân cực khác
được trình bày trên hình 4.9. Trong sơ đồ này sử dụng tấm V
trễ pha /4 để tạo nên sự lệch pha 900 giữa chùm tia đo Sđ
và chùm tia chuẩn St.
Gt

Cb1
St
CP G®
S®

Nguån Laser
S V
x
/4
Cb2
Hình 4.9 Sơ đồ giao thoa kế dùng ánh sáng laser phân cực dạng 2
Các giao thoa kế sử dụng ánh sáng laser phân cực còn
có ưu điểm là:
-Việc chia chùm tia laser đạt được tỉ lệ chia cường độ
sáng giữa hai tia chùm đều hơn và đạt được hệ số phản
xạ cao hơn. Nhờ vậy mà độ tương phản của ảnh giao
thoa cao hơn.
-Sơ đồ giao thoa kế dùng ánh sáng laser phân cực có
cấu tạo và điều chỉnh phức tạp song giảm được rất
nhiều ảnh hưởng của rung động của gương động trong
quá trình đo. Điều đó làm giảm nhẹ các yêu cầu về độ
chính xác cao của đường dẫn hướng đầu đo cũng như
việc đồng chỉnh trục quang của hệ giao thoa kế, vì vậy
sơ đồ nguyên lý này thích hợp cho điều kiện đo ở phân
xưởng sản xuất.
4.1.3.3 Sơ đồ giao thoa kế có quang lộ chùm tia đo tăng
gấp đôi.
Chu kỳ của tín hiệu đo tương ứng với dịch chuyển gương động
x= /2. Để tăng độ nhậy, người ta cho chùm tia đo Gđ đi qua
một hành trình kép như hình 4.10.

Hình 4.10 Sơ đồ giao thoa có độ phân giải cơ sở được tăng gấp đôi.
Do quãng đường ánh sáng tăng lên 4 lần trong nhánh đo, nên
chu kỳ tín hiệu trên bộ thu tương ứng với độ dài dịch chuyển
của gương động là /4, vì vậy độ phân giải cơ sở được tăng
lên gấp đôi.

Do độ nhậy quang học tăng lên đòi hỏi độ chính xác và sự

đồng chỉnh các chi tiết quang cơ cao hơn, đồng thời cũng nhậy
cảm với rung động nhiều hơn. Sơ đồ nguyên lý này chỉ thích
hợp cho việc đo lường ở phòng thí nghiệm.
4.1.3.4 Sơ đồ giao thoa kế laser đo theo hiệu ứng Đốp-lơ.
Việc đếm chính xác số vân giao thoa theo độ lớn của cường độ
sáng của vân chịu nhiều ảnh hưởng của các yếu tố làm biến
động cường độ sáng trong quá trình dịch chuyển gương động
theo đầu đo. Phương pháp đo theo hiệu ứng Đốp-lơ sẽ giảm
ảnh hưởng của sự biến động cường độ sáng trên ảnh giao thoa.
Gt

St CT
S f
Nguån Laser
S®
G®
S't,S'® V
f& ff
M
Hình 4.11 Sơ đồ giao thoa kế laser đo theo tần số.
Hiệu ứng Đốp-lơ xảy ra khi gương Gđ dịch chuyển với tốc
độ V trong quá trình đầu đo dịch chuyển để thực hiện phép đo

Do mặt phẳng hứng ảnh giao thoa đứng yên, trên bộ thu bằng
cảm biến quang điện nhận được sóng ánh sáng phản xạ lại từ
gương động bị dịch pha theo tốc độ và chiều dịch chuyển của
gương. Sự dịch chuyển này gây nên sự biến đổi tần số dao
động sóng ánh sáng của chùm tia đo Sđ theo hiệu ứng Đốple.

Khi đó, sự giao thoa của hai chùm tia Sđ và St là sự giao thoa
của hai sóng có tần số xấp xỉ nhau. Kết quả của sự giao thoa
này là biên độ sóng ánh sáng giao thoa trên mặt phẳng M bị
điều biến phách. Cường độ ánh sáng giao thoa thu trên cảm
biến quang điện biến đổi theo chu kỳ phách của hiệu hai tần
số đó
Khi gương động dịch chuyển theo đầu đo, nếu xét trong
khoảng thời gian t, gương Gđ chuyển động đều với vận tốc
V, nó đi qua quãng đường /2n trong thời gian T=  / 2nV.
Đó chính là chu kỳ biến đổi của dao động sóng ánh sáng. Hay
nói cách khác tần số ánh sáng bị biến đổi một lượng là:

ở đây f là tần số sóng ánh sáng của laser và c là vận tốc ánh
sáng.
Vận tốc dịch chuyển của gương động Gđ là
V=cf /2nf
Trên mặt phẳng M, cường độ sáng thu được bởi cảm biến
quang điện
I = I1+ I2 +2(I1I2)1/2 sin (2f.t)
Cường độ sáng giao thoa biến thiên theo tần số dịch chuyển
Đốp-lơ với biên độ thay đổi tỉ lệ với căn bậc hai của tích hai
cường độ sáng I1 , I2 và biến đổi theo qui luật sin tính theo
thời gian với tần số 2f.

Khi xác định được lượng biến đổi tần số f trong khoảng thời
gian t ta xác định được quãng đường dịch chuyển của gương
trong thời gian đó:
x = V.t = cf.t / 2nf
 Phương pháp đo dịch chuyển thẳng bằng giao thoa kế laser
theo phương pháp đo tần số là phương pháp đo theo giá trị
trung bình của vận tốc dịch chuyển gương động Gđ. Khi tốc độ
của gương động dịch chuyển không đều trên quãng đường đo
x, cần phải thực hiện cách đo vi phân là chia nhỏ x thành các
độ dài vi phân xi có tốcđộ dịch chuyển Vi với thời gian .ti.

Khi đó, độ dài cần đo được tính là:

x = cfi .ti/ 2nf

Độ phân giải phụ thuộc vào độ phân giải của phép đo tần số
.f và thời gian t.

Độ chính xác khi đo phụ thuộc vào độ chính xác của phép đo
tần số fi và đo thời gian chuyển động.ti của đầu đo.
Phương pháp đo này là phương pháp đo động. Với tần số dịch
chuyển Đốp-lơ khoảng 100 MHz cho phép đo dịch chuyển đến
tốc độ tới 30 m/s,

Sự biến đổi của cường độ sáng I trong biểu thức không phụ
thuộc vào dấu của thành phần f. Vì vậy sơ đồ nguyên lý này
không xác định được hướng biến đổi của kích thước đo.

Đặc điểm cơ bản của phương pháp này là nó đạt được độ

chính xác cao nhờ khả năng đo chính xác tần số dịch chuyển
Đốple , khoảng thời gian dịch chuyển và sự ổn định cao của
tần số laser.

Độ không ổn định của cường độ tín hiệu giao thoa thu nhận
do sự biến động của công suất nguồn phát laser không ảnh
hưởng đến kết quả đo do dao động biên độ điện áp của tín hiệu
thu nhận không ảnh hưởng đến giá trị của tần số.
4.1.4 Phương pháp đo dộ dài bằng giao thoa kế laser với
nguồn laser hai tần số.
Để xác định hướng dịch chuyển của gương động trong
phương pháp đo theo tần số, trên sơ đồ ở hình 4.12 sử dụng
nguồn phát laser có hai tần số f1 và f2 .
Gt
V
f2 CP f1f1
f1&f2
cp
Nguån Laser
f1
G®

f2- f1 f2- f1f1

Cb1 Cb2
Hình 4.12 Sơ đồ giao thoa kế đo bằng laser hai tần số.


Trên cảm biến quang điện Cb2 cường độ sáng là

I = I1+ I2 +2(I1I2) 1/2 sin 2 f.t

Khi gương động Gđ dịch chuyển thì tần số của tia phản xạ f1
thay đổi một lượng f1, còn tần số phách giao thoa nhận được
là f2-(f1  f1).
Khi đó cường độ sáng trên cảm biến Cb2 sẽ biến đổi là:
I = I1+ I2 +2(I1I2) 1/2 sin [2( f f1)t ]

Cảm biến Cb1 với tần số phách f . Tín hiệu đo ff1 và tín
hiệu chuẩn f được đưa vào bộ xử lý đếm tần số
Vận tốc dịch chuyển gương động Gđ
V=cf1 /2nf1
Độ lớn của độ dài đo
x = V.t = cf1.t / 2nf1
Khi đo theo vi phân quãng đường dịch chuyển thì
x = cf1i.ti / 2nf1
Dấu của thành phần f1 cho biết chiều biến đổi kích thước đo:
- Dấu cộng tương ứng với chiều dịch chuyển của gương động
lại gần tấm phân chùm CP làm giảm hiệu quang lộ giữa hai
chùm tia giao thoa.
-Dấu trừ tương ứng với chiều dịch chuyển của gương động đi
xa tấm phân chùm CP làm tăng hiệu quang lộ
-Việc xác định dấu dịch chuyển này thực hiện thông qua sự
biến đổi của giá trị tuyệt đối của sự biến thiên tần số  f f1.
 Sơ đồ giao thoa kế đo theo nguyên lý dùng nguồn laser hai
tần số có độ nhạy thấp hơn khi dùng nguồn laser một tần số
song nó cho phép nâng cao tốc độ dịch chuyển của đầu đo,
giảm ảnh hưởng của rung động và sự biến động của cường độ
sáng của ảnh giao thoa. Sơ đồ nguyên lý này hiện đang được
sử dụng nhiều trong các máy đo dùng trong công nghiệp.
4.1.5 Ảnh hưởng của môi trường đo đến độ chính xác của
giao thoa kế laser .
Về nguyên lý thì hình ảnh giao thoa sẽ là duy nhất nếu bước
sóng của ánh sáng laser  luôn luôn ổn định.
Nếu trong quá trình làm việc mà bước sóng biến thiên thì
hình ảnh vân giao thoa cũng sẽ trôi theo..
Độ dài bước sóng ánh sáng phụ thuộc vào tính chất của môi
trường mà nó lan truyền,
Độ dài bước sóng laser trong không khí là

 = 0 /n
-0 là bước sóng của bức xạ laser trong chân không
- n là chiết suất không khí.
 Sự thay đổi chiết suất không khí là yếu tố chính làm hạn chế
độ chính xác của phép đo chiều dài.
Chiết suất của không khí phụ thuộc nhiều vào các thông số
của nhiệt độ, áp suất, độ ẩm và thành phần hoá học của nó.
Khi thực hiện phép đo, chiết suất này còn phụ thuộc vào sự
ổn định trạng thái của không khí.
Giá trị đo được biểu diễn là bội của bước sóng ánh sáng, mà
bước sóng ánh sáng này cần phải được đo tương ứng với các
điều kiện môi trường đo. Vì vậy, bước sóng laser cần phải
được hiệu chỉnh theo sự sai lệch của điều kiện đo thực so với
các điều kiện tiêu chuẩn khi xác định bước sóng của nguồn
laser.
Giá trị chiết suất của không khí khô có 0,03% CO2 ở 150 C và
áp suất 760 mm Hg ứng với chiều dài sóng laser HeNe
=0,63299138m trong chân không là:
nkhô=1,0002765 .

Hiệu chỉnh sự thay đổi độ ẩm, nhiệt độ, áp suất được xác định
theo công thức sau:
(n-1)=(nkhô-1).P/720,775[1+P(0,817-0,0133T).10-
6/(1+0,003662T)]-5,6079.10-8f

f là áp lực riêng phần của hơi nước ở nhiệt độ T0C và áp suất

toàn phần khí quyển P(mm Hg)
Để tính toán trực tiếp sự thay đổi bước sóng ánh sáng của
laser trong không khí có thành phần không đổi, có thể dùng
công thức của Edle.
Trong không khí thường, ví dụ trong không khí với thành
phần CO2 xác định ở nhiệt độ 200C, P=1013hPa, độ ẩm tương
đối H= 50%, bước sóng  =0.63282m. Nếu điều kiện môi
trường sai khác ít với các giá trị này, thì có thể tính sự thay đổi
của bước sóng với độ chính xác tương đối với công thức:

/= 10-6(0,9.t –0,3P +0,01H)

( t: 0K ; P: Pa; H: %)

Với nhiệt độ t sai lệch đến 100C và độ ẩm f =30  50%.
Với độ chính xác đủ dùng trong thực tế, chiết suất không khí
đối với laser HeNe được ổn định trong khoảng Lemba có thể
tính theo công thức
n-1 = (78,64P /T -12f/T).10-6

Sai số đo nẩy sinh khi sai lệch áp suất, nhiệt độ, độ ẩm khômg
khí với giá trị chuẩn là P=760 mmHg, T=200C, f=1mm Hg, có
thể xác định theo công thức
( L/L) =(-0,93T+0,36P-0,06f).10-6
: L là sai số tuyệt đối đo
L là giá trị dịch chuyển do
T là sai lệch nhiệt độ đối với nhiệt độ chuẩn
P là sai lệch áp suất đối với áp suất chuẩn
f là sai lệch độ ẩm đối với chuẩn
Giá trị bước sóng ch của laser HeNe đối với giá trị chuẩn của
nhiệt độ, áp suất và độ ẩm khi hiệu chỉnh theo tần số trung tâm
của môi trường laser là ch = 0,63281976 m.
Các giá trị hiệu chỉnh có thể dùng hiệu chỉnh độc lập từng
thông số hoặc hiệu chỉnh đồng thời
Khi đó trong kết quả đo cần phải đưa vào hiệu chỉnh  LT, liên
quan đến sự thay đổi kích thước của chi tiết đo khi nhiệt độ
thay đổi.
LT/L = - t

 là hệ số dãn nở thẳng do nhiệt độ của vật liệu chi tiết đo.

L là kích thước chi tiết đo cần xác định.
t là sự thay sai lệch nhiệt độ của vật cần đo đối với điều kiện tiêu
chuẩn.
• Hình 4.13 Sơ đồ đo có hiệu chỉnh sai số tự động.
4.1.6 Ảnh hưởng của rung động môi trường đến giao thoa
kế laser.
Trong môi trường xung quanh ta luôn xuất hiện các rung
động do mọi vật luôn chuyển động và tác động tương hỗ lẫn
nhau. Các rung động này lan truyền trên mặt đất, trên nền nhà
của các xưởng sản xuất và các phòng thí nghiệm. Các thiết bị
đo lường và công nghệ lắp đặt trên nền các nhà xưởng và
phòng thí nghiệm sẽ chịu sự tác động của các rung động này.
Các rung động này gây ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ chính
xác của các phép đo và các nguyên công công nghệ chính xác.
Khi xảy ra các cộng hưởng cục bộ tại các bộ phận của dụng cụ
đo, gây nên các biến dạng và dịch chuyển vị trí lớn của các bộ
phận, chi tiết thiết bị.
 Các rung động trong môi trường xung quanh có thể làm thay
đổi vị trí tương quan giữa các chi tiết quang. Tạo nên các sai
lệch như: độ không thẳng hàng, sự thay đổi khoảng cách tương
đối giữa các chi tiết quang làm giảm sự rõ nét hoặc sai lệch
các ảnh quang mà các sai lệch này thay đổi theo sự biến động
của rung động.
Do độ nhạy của hiệu ứng giao thoa đến một phần mười bước
sóng thì những rung động trực tiếp rất nhỏ đến một vài phần
mười của micromet cũng làm cho hệ giao thoa không ổn định,
vị trí vân giao thoa thay đổi, gây nên sai số đo. Vì vậy, việc
giảm ảnh hưởng của rung động môi trường đối với máy đo
giao thoa là hết sức cần thiết, đặc biệt là trong quá trình nghiên
cứu việc đo độ dài bằng giao thoa laser.
4.1.6.1 Đặc điểm của rung động môi trường.
Sàn nền của các phòng thí nghiệm và các phân xưởng chịu
các rung động có dải tần số rộng từ các nguồn không thể tránh
khỏi như hình 4.14:
+ Sàn nhà mang các dao động thẳng đứng trong dải từ 10 đến
30Hz từ người, xe cộ, các hoạt động địa chấn, các công trường
xây dựng.
+ Các toà nhà cao tầng dao động đến hàng mét trong gió thổi
với tần số từ 1 đến 10Hz.
+Máy, thiết bị hoạt động tạo nên các dao động đến 200Hz.
Các rung động lan truyền trên nền nhà các phòng thí nghiệm
và nhà xưởng là các sóng cơ học ngang và dọc:
+ Khi nền phòng nằm trên mặt đất và nền nhà đủ cứng thì
thành phần sóng dọc lan truyền theo bề mặt nền nhà là chủ
yếu.
+ Khi nền phòng nằm ở các tầng cao của nhà và nền phòng
không đủ cứng thì thành phần dao động ngang thường là chủ
yếu. Ngoài ra còn có sự lắc ngang do dao động của nhà
Tính chất của các rung động là ngẫu nhiên về biên độ và tần
số..
Phổ tần số từ 0 đến hàng chục kHz với các đặc tính biên độ-
tần số là thường có biên độ lớn ở tần số nhỏ và giảm đi khi tần
số tăng lên.
Theo tài liệu của hãng Mellgriot, mật độ phổ công suất của các
rung động môi trường tại các điểm là rất khác nhau tuỳ theo
môi trường, ví dụ:
- Trong công nghiệp nặng: <10-7 g2/Hz.
- Trong công nghiệp nhẹ: <10-8 g2/Hz.
- Gần đường giao thông: <10-9 g2/Hz.
- Bước chân người bước nhẹ: <10-2 g2/Hz.
4.1.6.2 Các biện pháp giảm rung động và hệ thống giảm
chấn.
Để giảm ảnh hưởng của rung động môi trường đến các thiết bị,
thường sử dụng các biện pháp:
+Sử dụng thiết bị giảm chấn trong mối liên kết giữa nền nhà
và thân máynhư đệm cao su, đệm khí... Thiết bị này sẽ triệt
giảm năng lượng của rung động truyền đến máy.
+ Thiết kế máy và bệ máy có khả năng chịu ảnh hưởng ít nhất
của rung động như: tăng khối lượng bệ máy hoặc thân máy để
tăng lực quán tính chống lại rung động ở tần số cao. Tăng độ
cứng của thân máy để giảm biến dạng và ảnh hường của rung
động ở tần số thấp.
+ Sử dụng các chất hấp thụ năng lượng rung động bằng ma sát
nội như chất dẻo lỏng nhớt, dầu có độ nhớt cao, các vật liệu
hạt rời như cát.
Đệm tấm Lò so Đệm khí

Đệm cao su Mang đàn Đệm Màng

hồi
• 4.1.6.2. Các hệ giảm chấn quang học của hãng
Mellesgriot.
• Hãng MellesGriot đã chế tạo các hệ giảm chấn dùng cho
các nghiên cứu về quang học còn được gọi là bàn quang
học. Các bàn giảm chấn này có các kích cỡ và khả năng
giảm chấn khác nhau tuỳ thuộc vào các mục đích sử dụng
và mức độ rung động của môi trường. Hãng MellesGriot
chia các loại bàn giảm chấn quang học thành 3 cấp độ:
• -Cấp độ 1- Bàn Hoàn thiện (Perfomance):

Dùng trong các lĩnh vực quang học thông thường như laser
xung, quang sợi đa mốt, các định vị vị trí cần đến độ chính
xác cỡ micromet... trong môi trường yên tĩnh hoặc ít rung
(có mật độ phổ công suất nhiễu nhỏ hơn 10-10g2Hz).

- Thân bàn với độ phẳng đạt đến 0,10 mm / 1m2,

-Hệ số biến dạng động học nhỏ hơn 1,3 x 10-3 mm/N.
-Biến dạng thân bàn khi đặt tải trọng113 Kg nhỏ hơn
1,65m.
-Chân bàn không dùng các phần tử giảm chấn
• -Cấp độ 2- Bàn Hoàn thiện hơn (Perfomanceplus):

Sử dụng với quang sợi đơn mốt, các phổ kế, tốc kế quang...
ở môi trường mật độ phổ công suất nhiễu đến 10-8 đến 10 -9
s2Hz.
-Độ phẳng thân bàn đạt đến 0,05 mm/m2.
- Hệ số biến dạng động học nhỏ hơn 0,9 x 10-3 mm/N.
- Độ biến dạng thân bàn khi chịu tải 113 kg đặt giữa thân
bàn 1,5 m.
- Các phần tử giảm chấn ở 4 chân bàn Tần số cộng hưởng
theo phương thẳng đứng nhỏ hơn 5,5Hz và theo phương
nằm ngang nhỏ hơn 4,5Hz.
• -Cấp độ 3- Bàn siêu hoàn thiện (UtraPerfomance):
Với các giao thoa kế, hologram, các định vị vị trí nhỏ hơn
micromet hoặc cỡ nanomet.. và môi trường có rung động
nhiều tới hơn 10-7g2Hz.
-Độ phẳng thân bàn đạt 0,05 mm/1m2.
-Hệ số biến dạng động học nhỏ hơn 0,5 x 10-3 mm/N.
-Các phần tử giảm chấn ở 4 chân bàn
-Có khả năng điều chỉnh độ cao 13mm và tự động ổn định
độ cao đạt 0,25mm
-Tần số cộng hưởng theo phương thẳng đứng nhỏ hơn
1,35Hz và theo phương nằm ngang nhỏ hơn 1,0Hz.